JPS6119183U - 回り止め機構付き弁装置 - Google Patents

回り止め機構付き弁装置

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JPS6119183U
JPS6119183U JP10345084U JP10345084U JPS6119183U JP S6119183 U JPS6119183 U JP S6119183U JP 10345084 U JP10345084 U JP 10345084U JP 10345084 U JP10345084 U JP 10345084U JP S6119183 U JPS6119183 U JP S6119183U
Authority
JP
Japan
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piston
valve device
prevention member
rotation prevention
rotation mechanism
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JP10345084U
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JPH0245568Y2 (ja
Inventor
知樹 只腰
正好 鵜飼
Original Assignee
シ−ケ−デイ株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案による回り止め機構付き弁装置の実施例
を示す縦断面図、第２図は同弁装置の要部拡大断面図、
第３図は第２図のＡ−Ａ断面図、第４図は第２図のＢ−
Ｂ断面図、第５図は従来の弁装置と本考案による回り止
め機構付き弁装置の特性を比較する図、第６図は従来の
弁装置を示す縦断面図である。 図において、５は弁体、６はシリンダー、６１はロツド
カバー部、６２は環状の凹溝、６３は筒状部、６４は平
坦部、８はピストン、、９はピストンロツド、９１はネ
ジ棒、１０はベロース、１６は回り止め部材、１７は取
り付け孔、１８．２０は折り曲げ片、１９は孔をそれぞ
れ示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 先端に弁体を備えたべローズで、ピストンロツドの先端
    を覆い、該ピストンロンドに連結されたピストンで弁体
    を峨動する構造の弁装置において、回り止め部材に開け
    られた取り付け孔で回り止め部材をピストンないしピス
    トンロツド側に取り付け、・該回り止め部材の一端をピ
    ストン側に折り曲げて該ピストンと係合させ、他端はシ
    リンダーのロツドカバー側に折り曲げて該ロツドカバー
    側と係合させてなる回り止め機構付き弁装置。
JP10345084U 1984-07-09 1984-07-09 回り止め機構付き弁装置 Granted JPS6119183U (ja)

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Publication Number Publication Date
JPS6119183U true JPS6119183U (ja) 1986-02-04
JPH0245568Y2 JPH0245568Y2 (ja) 1990-12-03

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6387485A (ja) * 1986-10-01 1988-04-18 株式会社東芝 群管理エレベ−タの制御装置
JP2005282712A (ja) * 2004-03-30 2005-10-13 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 単動空気シリンダ弁およびそれを備えた基板処理装置
JP2008121859A (ja) * 2006-11-15 2008-05-29 Ckd Corp 真空弁

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6387485A (ja) * 1986-10-01 1988-04-18 株式会社東芝 群管理エレベ−タの制御装置
JP2005282712A (ja) * 2004-03-30 2005-10-13 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 単動空気シリンダ弁およびそれを備えた基板処理装置
JP2008121859A (ja) * 2006-11-15 2008-05-29 Ckd Corp 真空弁

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JPH0245568Y2 (ja) 1990-12-03

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