JPS611941A - エア−シヤワ−装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はクリーンルームの出入口に多く設置されるエア
ーシャワー装置に関するものである従来例の構成とその
問題点 超ＬＳＩを製造するような、いわゆるスーパークリーン
ルームでは、各製造設備はもちろんクリーンルーム本体
とそれに付属する機器もより一層の高度化が求められて
いる。エアーシャワー装置についても同様に、完全なエ
アーロック機能を持たせ、更に十分な除塵効果が期待さ
れている。

以下図面を参照しながら上記したようなエアーシャワー
装置について説明する。

第１図において、１は本体、２は清浄空気のシャワー室
、３は清浄空気を得るだめのＨＥＦ’Ａフィルター４に
空気を送り、得られた清浄空気をシャワー室２に面した
バンカーノズル６がら吹出すだめの送風機、６はシャワ
ー室２に吹き込捷れだ清浄空気の回収口で、７はパンチ
ングで形成した孔を有する床、８はプレンイルターで共
に回収口６の中に設けられている。

９は送風機でシャワー室２の中の空気を回収口６の中に
設置されたパンチングの床７、プレフィルタ−８を通し
て回収し、そしてＨＥＰＡフィルター１０に供給し、得
られた清浄空気を整流板１１を通してシャワー室２に再
び送風する。１２はシャワー室内を照明する螢光灯であ
る。

以上のように構成された従来例のエアーシャワー装置に
ついて、以下その動作について説明する。

シャワー室２に入り、エアーシャワーのスイッチが入る
と、捷ず送風機３が始動し、シャワー室２の空気を、回
収口６に設置したパンチングの床７、プレスフィルター
８を通してＨＥＰＡフィルター４に供給する。）ｉＥＰ
Ａフィルター４を通過することにより得られた清浄空気
は、シャワー室２に而して設けられたバンカーノズル５
から吹出される。送風機３は３０秒後タイマーにより停
止する。一方、天井面に設けられた送風機９は常に運転
されており、シャワー室２に全面垂直層流の清浄空気を
与えるものである。その送風機９は、シャワー室２内の
空気を回収口６に設置されたパンチングの床７、プレス
フィルター８を通してＨＥＰＡフィルター１ｏに供給し
ＨＥＰＡフィルター１０により得られた清浄空気は整流
板１１を通ってシャワー室２に送風される。まだシャワ
ー室２は螢光灯１２により照明される。

以］−のような従来例のエアーシャワー装置に入ると、
初めの３０秒間はノ（ンカーノズル５からのエアーシャ
ワーをあびる。）（ンカーノズル６からの吹出風速は吹
ビ直後で３０　ｍ　／　ｓｅｃ、中央部で６ｍ　／　Ｓ
ｅｅ程度である。

バンカーノズル６からのエアーシャワーが１すると、次
に全面垂直層流の清浄空気を浴びる。

この時の時間は１５秒間で風速は０．５ｍ／ｓｅｃ程度
である。

しかしながら上記のような構成では、）くンカーノズル
６からの清浄空気の吹出風速が一定であるだめ、作業者
自身が衣服をたたいて付着したダストを落とす必要があ
ったＯまだ除塵効果そのものも不十分であるという欠点
を有していた。

発明の目的 本発明は上記従来例の欠点に鑑みてなされたもので、エ
アーシャワー用吹出ノズルからの清浄空気の吹出しを間
欠的に行ない、エアーシャワーを浴びる人の衣服や物に
付着したダストをより多く除去して、クリーンルーム内
への持込みダスト量の減少が可能々エアーシャワー装置
を提供するものである。

発明の構成 この目的を達成するだめに本発明のエアーシャワー装置
は、シャワー室に面して設けられた清浄空気の吹出口か
らの吹出しを間欠的に行なう一実施例として、吹出口の
直前に可動式の吹出口閉鎖板と、前記吹出口閉鎖板を可
動可能とする可動手段を有している。

この構成によって、シャワー室に入った人の衣服、物等
に付着したダストは、清浄空気の吹出口から間欠的に吹
出される清浄空気によってより効果的に除去できる。

実施例の説明 以下本発明の一実施例について図面を参照しながら説明
する。ただし、第１図と同一部材については同一番号を
用い説明を省略した。

第２図で１３は可動式バンカーノズル閉鎖板、１４は前
記可動式バンカーノズル閉鎖板１３の可動手段である。

第３図では１３は前記可動式バンカーノズル閉鎖板で、
ここでは防塵処理された基塩化ビニール製の板（以下塩
ビ板という）を使用した。３１は前記バンカーノズル閉
鎖板１３に前記バンカーノズル６の径に等しくなるよう
に設けられた打ち抜きの穴。第４図で４１は、前記塩ビ
板製のバンカーノズル閉鎖板１３を可動手段１４に連結
する連結部である。第５図では、３は送風機で、６１は
そのモーター、そして６２は羽根部である。５３はモー
ター５１の動力を羽根部６２に伝えるシャフト、６４は
ウオーム歯車減速器、６６はカム機構、６６は連結棒５
７のガイド、６８はスプリングである。

以上のように構成されたエアーシャワー装置について以
下その動作について説明する〇シャワー室２に入す、エ
アーシャワーのスイッチが入ると送風機４、詳しくはモ
ーター５１が始動し、シャフト６３によって羽根部６２
が回転し、送風を始める。この時、同時にウオーム歯車
減速器６４が働き、更にカム機構６６によって連結棒６
７に往復運動を与える。この往復運動する連結’５４’
、５７の先端を可動式バンカーノズル閉鎖板１３の連結
部４１に接続し、上記可動式バンカーノズル閉鎖板１３
を上下に移動させる。その可動式バンカーノズル閉鎖板
１３には、前記バンカーノズル５の径に等しい打ち抜き
穴３１があり、移動する位置によりバンカーノズル５の
吹出口の状態は「全開」、「全閉」および「一部間口」
となる。

このようにＨＥＰＡフィルター４を通過した清浄空気は
バンカーノズル５より間欠的にシャワー室２に吹出され
る。間欠吹出は１サイクル４秒としだ。

以」二のように本実施例によれば、ＨＥＰＡフィルター
４を通過した清浄空気を間欠的に人、あるいは物にフラ
ッシングすることで、衣服や物の表面に付着しているゴ
ミ、はこりを効果的に除去できる。その量について、衣
服や物の表面から吹き落とされたゴミ、はこりがシャワ
ー室の空気を汚染するという観点から、シャワー室のダ
ストレベルどシャワ一時間について第６図に示しだ。第
６図において発塵は全てシャワー室の人あるいは物から
のもので、全て回収口６より回収されるとすれば、間欠
吹出のフラッシングで、より多くのゴミ、はこりを人の
衣服や物の表面から除去できる。

発明の効果 以上のように本発明は、エアーシャワー装置の吹出ノズ
ルからの清浄空気の吹出しを間欠的にすることにより、
人の衣服や物の表面をブラッシングして、それらを叩く
ようにして付着したゴミ、はこりを除去でき、その実用
的効果は大なるものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例の概略線図、第２図は本発明の一実施例
の概略線図、第３図は同実施例の部分詳細正面図、第４
図は同実施例の部分断面図、第６図は同実施例の機構図
、第６図は同実験データを示すグラフである。 ２・・・・・シャワー室、３．９・・・・送風機、４゜
１０・・・・・・ＨＥＰＡフィルター、６　・・・バン
カーノズル、６・・・・・・リターン口、１３・・・・
・バンカーノズル閉鎖板、１４　・・・・バンカーノズ
ル閉鎖板可動手段、６４・・・・・ウオーム歯車減速器
、６６・・・・・・カム機構。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 第２図 第３図　　　　　第４図 ハ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 空気中の塵埃を除去できるフィルターと、前記フィルタ
   ーにより得られる清浄空気を浴びるシャワー室と、シャ
   ワー室に面して設けられた清浄空気の吹出口と、シャワ
   ー室内に前記吹出口より吹き込まれた清浄空気の回収口
   と、前記回収口より空気を回収し、前記フィルターに供
   給し、得られる清浄空気を前記吹出口に送る送風機とを
   備え、前記吹出口からの吹出しを間欠的にしたエアーシ
   ャワー装置。