JPS61199049U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61199049U JPS61199049U JP1985084015U JP8401585U JPS61199049U JP S61199049 U JPS61199049 U JP S61199049U JP 1985084015 U JP1985084015 U JP 1985084015U JP 8401585 U JP8401585 U JP 8401585U JP S61199049 U JPS61199049 U JP S61199049U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- arm
- jig
- sandwich
- arms
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Description
第１図は本考案の第１の実施例を示す正面図、
第２図は第１図のａ―ａ′線断面図、第３図は本
考案の第２の実施例の斜視図、第４図は第３図の
ｂ―ｂ′線断面図、第５図は本考案の第３の実施
例を示す正面図、第６図は第５図のｃ―ｃ′線断
面図、第７図は本考案の第４の実施例の斜視図、
第８図は第７図のｄ―ｄ′線断面図、第９図は第
５の実施例を示す斜視図、第１０図は第９図のｅ
―ｅ′線断面図である。 １ａ，ｂ，４ａ，４ｂ，８ａ，８ｂ，１４ａ，
１４ｂ，１７ａ，〜１７ｃ……アーム、３，６，
１０，１１ａ〜１１ｄ，２０……凹部。
第２図は第１図のａ―ａ′線断面図、第３図は本
考案の第２の実施例の斜視図、第４図は第３図の
ｂ―ｂ′線断面図、第５図は本考案の第３の実施
例を示す正面図、第６図は第５図のｃ―ｃ′線断
面図、第７図は本考案の第４の実施例の斜視図、
第８図は第７図のｄ―ｄ′線断面図、第９図は第
５の実施例を示す斜視図、第１０図は第９図のｅ
―ｅ′線断面図である。 １ａ，ｂ，４ａ，４ｂ，８ａ，８ｂ，１４ａ，
１４ｂ，１７ａ，〜１７ｃ……アーム、３，６，
１０，１１ａ〜１１ｄ，２０……凹部。
Claims (1)
- 半導体ウエーハを径方向から挾み込む少なくと
も２本のアームを有し、各アームの内側対向面に
半導体ウエハーの側面を嵌合保持する凹部を設け
たことを特徴とする半導体ウエーハ支持用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985084015U JPS61199049U (ja) | 1985-06-04 | 1985-06-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985084015U JPS61199049U (ja) | 1985-06-04 | 1985-06-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61199049U true JPS61199049U (ja) | 1986-12-12 |
Family
ID=30633163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985084015U Pending JPS61199049U (ja) | 1985-06-04 | 1985-06-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61199049U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6247542U (ja) * | 1985-09-10 | 1987-03-24 | ||
| JP2010098130A (ja) * | 2008-10-16 | 2010-04-30 | Hirata Corp | エンドイフェクタ |
-
1985
- 1985-06-04 JP JP1985084015U patent/JPS61199049U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6247542U (ja) * | 1985-09-10 | 1987-03-24 | ||
| JP2010098130A (ja) * | 2008-10-16 | 2010-04-30 | Hirata Corp | エンドイフェクタ |