JPS61199576U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61199576U JPS61199576U JP8257285U JP8257285U JPS61199576U JP S61199576 U JPS61199576 U JP S61199576U JP 8257285 U JP8257285 U JP 8257285U JP 8257285 U JP8257285 U JP 8257285U JP S61199576 U JPS61199576 U JP S61199576U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- port
- airtight container
- single crystal
- explosion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 3
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
図面は本考案を実施した単結晶引上装置の気密
容器の構造例断面図である。 １…気密容器（チヤツバ）、２…チヤンバベー
ス、３…防爆弁用ポート、４…防爆弁、５…支持
部、６…オーリング。
容器の構造例断面図である。 １…気密容器（チヤツバ）、２…チヤンバベー
ス、３…防爆弁用ポート、４…防爆弁、５…支持
部、６…オーリング。
Claims (1)
- 単結晶引上装置の気密容器内が加圧状態となる
ことを防止するために前記気密容器の側壁に設け
たポート（出入口）とこのポートの前面を開閉可
能な扉状の弁にて形成した防爆弁を設け、前記弁
はポートの上方より支持され前記引上装置の運転
停止または休止時には弁の自重とばねまたは磁石
によつてポートに軽く押付けられ、前記引上装置
の運転時には減圧となつたポート側に気密容器内
外の差圧分で強く押付けられて気密を維持し、ま
た気密容器が加圧状態となれば弁はポートを開く
ように外方に押出されるように構成したことを特
徴とする防爆弁を有する単結晶引上装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8257285U JPH0232688Y2 (ja) | 1985-06-03 | 1985-06-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8257285U JPH0232688Y2 (ja) | 1985-06-03 | 1985-06-03 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61199576U true JPS61199576U (ja) | 1986-12-13 |
| JPH0232688Y2 JPH0232688Y2 (ja) | 1990-09-04 |
Family
ID=30630410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8257285U Expired JPH0232688Y2 (ja) | 1985-06-03 | 1985-06-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0232688Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-06-03 JP JP8257285U patent/JPH0232688Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0232688Y2 (ja) | 1990-09-04 |
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