JPS61200848A - 真空容器 - Google Patents
真空容器Info
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- JPS61200848A JPS61200848A JP4321685A JP4321685A JPS61200848A JP S61200848 A JPS61200848 A JP S61200848A JP 4321685 A JP4321685 A JP 4321685A JP 4321685 A JP4321685 A JP 4321685A JP S61200848 A JPS61200848 A JP S61200848A
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- JP
- Japan
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- aluminum
- vacuum container
- fluorine
- vacuum
- aluminum carbide
- Prior art date
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- Pending
Links
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、真空容器に関する。
［従来技術］
現在用いられている真空容器は、ステンレス鋼でできて
いるものがほとんどである。近年、例えばＩＣ，特にＬ
ＳＩの製造装置において真空容器を用いる必要が増して
いる。しかし、従来の真空容器を用いる場合にはＩＣの
品質低下が生じる。
いるものがほとんどである。近年、例えばＩＣ，特にＬ
ＳＩの製造装置において真空容器を用いる必要が増して
いる。しかし、従来の真空容器を用いる場合にはＩＣの
品質低下が生じる。
ステンレス鋼の構成成分の金属（例えば、ＦｅまたはＮ
ｉなど）が高温処理時に拡散、付着して、５ｉ−ＳｉＯ
ｙ界面に析出するからである。このように、が高かった
。
ｉなど）が高温処理時に拡散、付着して、５ｉ−ＳｉＯ
ｙ界面に析出するからである。このように、が高かった
。
［発明の目的］
本発明の目的は、環境汚染なく真空を形成する真空容器
を提供することにある。
を提供することにある。
［発明の構成］
本発明の要旨は、アルミニウムカーバイドおよび含フッ
素化合物が積層されたアルミニウムまたはその合金から
なる真空容器に存する。
素化合物が積層されたアルミニウムまたはその合金から
なる真空容器に存する。
本発明の真空容器は、内側において、アルミニウムまた
はその合金の上にアルミニウムカーバイド、次いで含フ
ッ素化合物が積層されている。
はその合金の上にアルミニウムカーバイド、次いで含フ
ッ素化合物が積層されている。
アルミニウムまたはその合金は、純粋なアルミニウム、
または他の元素（例えば、銅、亜鉛および／またはマグ
ネシウムなど）を含有する従来のアルミニウム合金であ
る。アルミニウムまたはその合金は、軽量で耐圧性、耐
食性に優れている。
または他の元素（例えば、銅、亜鉛および／またはマグ
ネシウムなど）を含有する従来のアルミニウム合金であ
る。アルミニウムまたはその合金は、軽量で耐圧性、耐
食性に優れている。
アルミニウムカーバイドは、通常のものでよい。
アルミニウムカーバイドは、アルミニウムまたはその合
金および含フッ素化合物との接着性、なら含フッ素化合
物は、フッ化炭素、フッ化黒鉛または含フッ素重合体（
例えば、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニ
リデンなど）などである。含フッ素化合物は、表面エネ
ルギーが小さいのでゴミの付着がなく、更に（例えば、
薬品に対する）耐食性に優れている。
金および含フッ素化合物との接着性、なら含フッ素化合
物は、フッ化炭素、フッ化黒鉛または含フッ素重合体（
例えば、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニ
リデンなど）などである。含フッ素化合物は、表面エネ
ルギーが小さいのでゴミの付着がなく、更に（例えば、
薬品に対する）耐食性に優れている。
アルミニウムまたはその合金は、真空容器として通常用
いるものと同様の形状および寸法でよい。
いるものと同様の形状および寸法でよい。
アルミニウムカーバイドならびに含フッ素化合物の厚さ
は、その用途などに応じて選択ずろが、好ましくはそれ
ぞれ０．１〜１０μｍおよび１〜１００μｍである。
は、その用途などに応じて選択ずろが、好ましくはそれ
ぞれ０．１〜１０μｍおよび１〜１００μｍである。
アルミニウムカーバイドをアルミニウムまたはその合金
の上に被覆するには、炭素で被覆し高温処理すればよい
。含フッ素化合物は、単量体の形でアルミニウムカーバ
イド上に被覆して重合させてもよいが、重合体の形でア
ルミニウムカーバイド上に被覆することが好ましい。含
フッ素重合体は、重合体の溶液または分散液の形でアル
ミニウムカーバイド上に塗布して溶剤または分散媒を除
去することによって被覆できる。アルミニウムカーバイ
ドと含フッ素化合物の接着性を更に向上させるため、含
フッ素化合物を適用する前にアルミニウムカーバイド上
に適切なプライマー処理を適用してもよい。例えば、凹
凸を与えてよい。
の上に被覆するには、炭素で被覆し高温処理すればよい
。含フッ素化合物は、単量体の形でアルミニウムカーバ
イド上に被覆して重合させてもよいが、重合体の形でア
ルミニウムカーバイド上に被覆することが好ましい。含
フッ素重合体は、重合体の溶液または分散液の形でアル
ミニウムカーバイド上に塗布して溶剤または分散媒を除
去することによって被覆できる。アルミニウムカーバイ
ドと含フッ素化合物の接着性を更に向上させるため、含
フッ素化合物を適用する前にアルミニウムカーバイド上
に適切なプライマー処理を適用してもよい。例えば、凹
凸を与えてよい。
第１図は、本発明の真空容器の断面図である。
真空容器の内面において、アルミニウム１の上にアルミ
ニウムカーバイド２および酋フッ素化合物３か被覆され
ている。本発明の真空容器の形状は、その用途などによ
って異なっている。
ニウムカーバイド２および酋フッ素化合物３か被覆され
ている。本発明の真空容器の形状は、その用途などによ
って異なっている。
［発明の効果コ
本発明の真空容器は、ある程度の高温においてさえら環
境汚染なく、真空を形成する。本発明の真空容器は、イ
オンブレーティング、スパッタリング、ＭＢＥ、蒸着な
ど、特にＩＣ製造において有用である。
境汚染なく、真空を形成する。本発明の真空容器は、イ
オンブレーティング、スパッタリング、ＭＢＥ、蒸着な
ど、特にＩＣ製造において有用である。
［実施例］
以下に実施例および比較例を示す。
実施例
アルミニウム合金５０５２の成形材に、アルミニウムカ
ーバイド（厚さ５μｍ）を被覆し、更にポリテトラフル
オロエチレン（厚さ３０μｍ）を被覆した。この容器を
イオンブレーティング装置に用い、Ｓｉ単結晶からｒｃ
を製造し、ｒｃのＩ−Ｖ特性を評価した。結果は良好で
あった。
ーバイド（厚さ５μｍ）を被覆し、更にポリテトラフル
オロエチレン（厚さ３０μｍ）を被覆した。この容器を
イオンブレーティング装置に用い、Ｓｉ単結晶からｒｃ
を製造し、ｒｃのＩ−Ｖ特性を評価した。結果は良好で
あった。
比較例
真空容器をアルミニウム製容器に代える以外は実施例を
繰り返した。ＩＣのＩ−Ｖ特性の結果において、Ｖｇ値
は実施例のＶｇ値より３０％以上悪かった。
繰り返した。ＩＣのＩ−Ｖ特性の結果において、Ｖｇ値
は実施例のＶｇ値より３０％以上悪かった。
第１図は、本発明の真空容器の断面図である。
Ｉ・・・アルミニウム、２・・・アルミニウムカーバイ
ド、３・・・含フッ素化合物。 特許出願人 住友電気工業株式会社 代 理 人 弁理士 青白 葆 ばか２名第１図
ド、３・・・含フッ素化合物。 特許出願人 住友電気工業株式会社 代 理 人 弁理士 青白 葆 ばか２名第１図
Claims (1)
- １、アルミニウムカーバイドおよび含フッ素化合物が積
層されたアルミニウムまたはその合金からなる真空容器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4321685A JPS61200848A (ja) | 1985-03-04 | 1985-03-04 | 真空容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4321685A JPS61200848A (ja) | 1985-03-04 | 1985-03-04 | 真空容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61200848A true JPS61200848A (ja) | 1986-09-05 |
Family
ID=12657717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4321685A Pending JPS61200848A (ja) | 1985-03-04 | 1985-03-04 | 真空容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61200848A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01110234A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-04-26 | Showa Alum Corp | 金属材中のガス分析装置 |
| JPH01110235A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-04-26 | Showa Alum Corp | 金属材中のガス分析装置 |
| US5022829A (en) * | 1987-12-15 | 1991-06-11 | The Boc Group Plc | Vacuum apparatus |
-
1985
- 1985-03-04 JP JP4321685A patent/JPS61200848A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01110234A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-04-26 | Showa Alum Corp | 金属材中のガス分析装置 |
| JPH01110235A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-04-26 | Showa Alum Corp | 金属材中のガス分析装置 |
| US5022829A (en) * | 1987-12-15 | 1991-06-11 | The Boc Group Plc | Vacuum apparatus |
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