JPS61206154A - 質量分析計の試料導入装置 - Google Patents
質量分析計の試料導入装置Info
- Publication number
- JPS61206154A JPS61206154A JP60044833A JP4483385A JPS61206154A JP S61206154 A JPS61206154 A JP S61206154A JP 60044833 A JP60044833 A JP 60044833A JP 4483385 A JP4483385 A JP 4483385A JP S61206154 A JPS61206154 A JP S61206154A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pipette
- shaft
- main shaft
- transfer
- pulp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/10—Ion sources; Ion guns
- H01J49/14—Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers
- H01J49/147—Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers with electrons, e.g. electron impact ionisation, electron attachment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/04—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
- H01J49/0409—Sample holders or containers
- H01J49/0413—Sample holders or containers for automated handling
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/04—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
- H01J49/0431—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components for liquid samples
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/04—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
- H01J49/0468—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components with means for heating or cooling the sample
- H01J49/049—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components with means for heating or cooling the sample with means for applying heat to desorb the sample; Evaporation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は質量分析計の試料導入装置に係シ、特に複数の
試料を自動的に分析するのに好適な装置の改良に＋４す
る。
試料を自動的に分析するのに好適な装置の改良に＋４す
る。
従来の装置は実開昭５９−２５２１号に記載のようにピ
ペット移送軸方向とピペットをイオン化室に挿入する挿
入方向が直角に配置ｔさル、ピペット選択手段、ピペッ
ト保持手段、主軸の回転運動と往復運動などから構成さ
れていた。この方式では交換機構が複雑で自動化しにく
いこと、装置が大形となり、池の目的の導入装置と交換
する場合型いため、交換操作性が良くないこと、ピペッ
トをホルダに着脱する機構、などが複雑であるという間
趙点があった。
ペット移送軸方向とピペットをイオン化室に挿入する挿
入方向が直角に配置ｔさル、ピペット選択手段、ピペッ
ト保持手段、主軸の回転運動と往復運動などから構成さ
れていた。この方式では交換機構が複雑で自動化しにく
いこと、装置が大形となり、池の目的の導入装置と交換
する場合型いため、交換操作性が良くないこと、ピペッ
トをホルダに着脱する機構、などが複雑であるという間
趙点があった。
本発明の目的は軽量で操作性が良く、信頼性の高い試料
導入装置を提供することにある。
導入装置を提供することにある。
上記目的を達成するため本発明の試料導入装置では、ピ
ペットを直列に配置し、ピペットでピペットを押出し落
下させる方式とした。
ペットを直列に配置し、ピペットでピペットを押出し落
下させる方式とした。
以下本発明の一実施例″ｆｒ：第１図第１之、第２シ説
明する。第１図において、直列に配列されたピペット４
は主軸２の中心に挿入されているピペット移送軸３の軸
方向への移動により押出される構造になっている。主軸
２はボデイエにボディはパルプ本体１４にそれぞれ接続
されている。ノくルプ本体１４にはゲートバルブ５、差
動排気パルプ１５、リークパルプ１７、ピペット受け１
８などが接続されている。また、ボディ１と主軸２の間
と、主軸２とピペット移送軸３０間にそれぞれエアシリ
ンダなどの軸移送機構６が設置されている。
明する。第１図において、直列に配列されたピペット４
は主軸２の中心に挿入されているピペット移送軸３の軸
方向への移動により押出される構造になっている。主軸
２はボデイエにボディはパルプ本体１４にそれぞれ接続
されている。ノくルプ本体１４にはゲートバルブ５、差
動排気パルプ１５、リークパルプ１７、ピペット受け１
８などが接続されている。また、ボディ１と主軸２の間
と、主軸２とピペット移送軸３０間にそれぞれエアシリ
ンダなどの軸移送機構６が設置されている。
パルプ本体１４は゛またイオン源ノ・シリンダ１９に接
続されている。イオン源ノ・シリンダ１９の内部は１０
″Ｓパスカル以下の圧力に排気されておシ、この内部に
ヒータ７、フィラメント９、イオン化室８、レンズ１０
．アーススリット１１などが配置されている。
続されている。イオン源ノ・シリンダ１９の内部は１０
″Ｓパスカル以下の圧力に排気されておシ、この内部に
ヒータ７、フィラメント９、イオン化室８、レンズ１０
．アーススリット１１などが配置されている。
さて、以上のような構造の装置の動作について説明する
。最初に第２図において時間１０の状態から考える。す
なわち、リークパルプ１７は開けられた状態、差動排気
パルプ１５は閉、ゲートバルブ５は閉、主軸は引込んだ
状態、すなわち、ピペット４の先端がボディ１とパルプ
本体１４の境界の位置にちるものとする。したがって、
この状態では、パルプ本体の中は大気圧、イオン源ノ・
ウジング内は高真空である。
。最初に第２図において時間１０の状態から考える。す
なわち、リークパルプ１７は開けられた状態、差動排気
パルプ１５は閉、ゲートバルブ５は閉、主軸は引込んだ
状態、すなわち、ピペット４の先端がボディ１とパルプ
本体１４の境界の位置にちるものとする。したがって、
この状態では、パルプ本体の中は大気圧、イオン源ノ・
ウジング内は高真空である。
最初にリークパルプ１７を閉じ、次に差動排気パルプ１
５を開けると、排気系１６によりパルプ本体内が排気さ
れる。十分排気されたのち、パルプ１５を閉じ、ゲート
パルプ５を開ける。次に主軸２をピペット先端がヒータ
７の内部に達するように、軸移送機構６を用いて移送す
る。この状態でヒータ７のフィラメント電ｉを徐々に上
げてヒータの温度を上げるとピペット先端に保持されて
いる試料２０は気化され、イオン化室８内に達しさらに
フィラメント９で発生された電子によシイオン化される
。このイオンはレンズ１Ｇ、アーススリット１１によシ
加速されイオンビーム１２となって質量分析計に送られ
る。質量分析計ではヒータ７の温度上昇と同時にデータ
の取込が行なわれる。このようにして得られたデータは
、データ処理で処理された任意の形で出力される。この
ようにして、第１のピペット内の試料の測定が終るとヒ
ータの温度を下げると同時にデータの測定を停止し、同
時に主軸を元の位置に戻す。次にピペット移送軸をピペ
ット１個分だけ押出すとピペットはピペット受け１８の
中に落下すると同時に新しいピペットが主軸の先端に現
われる。同様に同じ操作をくり返すことによ）複数の試
料が次々とイオン化され測定されることになる。最後に
ゲートバルブ５を閉め、リークバルブ１７を開け゛て、
バルブ本体内に空気を入れたのちピペット受け１８に落
下したピペットを回収する。回収したピペットに再び試
料を入れて使用される。
５を開けると、排気系１６によりパルプ本体内が排気さ
れる。十分排気されたのち、パルプ１５を閉じ、ゲート
パルプ５を開ける。次に主軸２をピペット先端がヒータ
７の内部に達するように、軸移送機構６を用いて移送す
る。この状態でヒータ７のフィラメント電ｉを徐々に上
げてヒータの温度を上げるとピペット先端に保持されて
いる試料２０は気化され、イオン化室８内に達しさらに
フィラメント９で発生された電子によシイオン化される
。このイオンはレンズ１Ｇ、アーススリット１１によシ
加速されイオンビーム１２となって質量分析計に送られ
る。質量分析計ではヒータ７の温度上昇と同時にデータ
の取込が行なわれる。このようにして得られたデータは
、データ処理で処理された任意の形で出力される。この
ようにして、第１のピペット内の試料の測定が終るとヒ
ータの温度を下げると同時にデータの測定を停止し、同
時に主軸を元の位置に戻す。次にピペット移送軸をピペ
ット１個分だけ押出すとピペットはピペット受け１８の
中に落下すると同時に新しいピペットが主軸の先端に現
われる。同様に同じ操作をくり返すことによ）複数の試
料が次々とイオン化され測定されることになる。最後に
ゲートバルブ５を閉め、リークバルブ１７を開け゛て、
バルブ本体内に空気を入れたのちピペット受け１８に落
下したピペットを回収する。回収したピペットに再び試
料を入れて使用される。
このような連続的に試料を気化させて分析する場合、−
向見化した試料が次に分析する試料表面に吸着しパック
グランドとなることがあるが、本システムでは、ピペッ
トを直列に配置しであるため、上記バックグランドの影
響も受けない。
向見化した試料が次に分析する試料表面に吸着しパック
グランドとなることがあるが、本システムでは、ピペッ
トを直列に配置しであるため、上記バックグランドの影
響も受けない。
予備排気の場合、十分排気されることが必要であるが、
本実施例ではピペット４に排気孔１３を考慮しである。
本実施例ではピペット４に排気孔１３を考慮しである。
これはピペット４の長手方向に開けられた溝である。
移送機構にはピペットの着脱機構が無いため単純で信頼
性が高い。移送機構は直線運動のみであるからエアシリ
ンダなども使用し易い。ピペットの移送機構は積重ね移
送方式となっているが、主軸２の途中の径方向からのピ
ペット供給部を設ければ往復運動機構で制御できる。こ
の場合軸移送機構はすべて単純な２点位置制御となりエ
アシリンダで簡単に実現可能となる。以上の制御はすべ
てコンピュータで自動的に制御することが好ましい。
性が高い。移送機構は直線運動のみであるからエアシリ
ンダなども使用し易い。ピペットの移送機構は積重ね移
送方式となっているが、主軸２の途中の径方向からのピ
ペット供給部を設ければ往復運動機構で制御できる。こ
の場合軸移送機構はすべて単純な２点位置制御となりエ
アシリンダで簡単に実現可能となる。以上の制御はすべ
てコンピュータで自動的に制御することが好ましい。
本発明によれば、従来の自動試料導入装置にくらべ部品
数は１／２以下に重量では１／３以下になっている。ま
た着脱など精密な位置制御を不必要としたため、信頼性
が向上した。このため、安価にシステムを構成出来ると
同時に軽量となったＡめ取付取外しが容易になり操作性
も向上した、
数は１／２以下に重量では１／３以下になっている。ま
た着脱など精密な位置制御を不必要としたため、信頼性
が向上した。このため、安価にシステムを構成出来ると
同時に軽量となったＡめ取付取外しが容易になり操作性
も向上した、
第１図は本発明の実施例を示す断面図、第２図は各部の
動作を示すタイムチャートである。 １・・・ボディ、２・・・主軸、３・・・ピペット移送
軸、４・・・ピペット、５・・・ゲートパルプ、６・・
・軸振送機構、７・・・ヒータ、８・・・イオン化室、
９・・・フィラメント、１０・・・Ｖンズ、１１・・・
アーススリット、１２・・・イオンビーム、１３・・・
排気孔、１４・・・パルプ本体、１５・・・差動排気パ
ルプ、１６・・・排気系、１７・・・リークパルプ、１
８・・・ピペット受け、１９・・・イオン源ハウジング
、２０・・・試料。
動作を示すタイムチャートである。 １・・・ボディ、２・・・主軸、３・・・ピペット移送
軸、４・・・ピペット、５・・・ゲートパルプ、６・・
・軸振送機構、７・・・ヒータ、８・・・イオン化室、
９・・・フィラメント、１０・・・Ｖンズ、１１・・・
アーススリット、１２・・・イオンビーム、１３・・・
排気孔、１４・・・パルプ本体、１５・・・差動排気パ
ルプ、１６・・・排気系、１７・・・リークパルプ、１
８・・・ピペット受け、１９・・・イオン源ハウジング
、２０・・・試料。
Claims (1)
- １、気化用ヒータ、試料を保持するためのピペット、上
記ピペットを真空外から真空中のイオン化室部へ挿入す
るための主軸と真空バルブより成る質量分析線型の試料
導入装置において、直列に配置された複数のピペットと
このピペットを軸方向に押出す作用をするピペット移送
軸と上記移送軸とサンプルピペットを内部に包含するパ
イプ状の主軸と主軸を滑動保持するためのボディと主軸
とピペット移送軸を移動せしめる軸移送機構とピペット
を保持するためのピペット受けを備え主軸とピペット移
送軸を交互に移動することによつて複数のピペット中の
試料を次々と気化、イオン化することを特徴とする質量
分析計の試料導入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60044833A JPS61206154A (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 | 質量分析計の試料導入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60044833A JPS61206154A (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 | 質量分析計の試料導入装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61206154A true JPS61206154A (ja) | 1986-09-12 |
Family
ID=12702465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60044833A Pending JPS61206154A (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 | 質量分析計の試料導入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61206154A (ja) |
-
1985
- 1985-03-08 JP JP60044833A patent/JPS61206154A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Harrison et al. | Glow discharge techniques in analytical chemistry | |
| JPH04313050A (ja) | グロー放電分光計及びグロー放電分光分析方法並びにグロー放電源組立体 | |
| KR20130086041A (ko) | 하전 입자선용 시료 장치 | |
| US3117223A (en) | Sample insertion vacuum lock for a mass spectrometer | |
| Yao et al. | Analysis of high-mass biomolecules using electrostatic fields and matrix-assisted laser desorption/ionization in a Fourier transform mass spectrometer | |
| AU2026200390A1 (en) | Load lock chamber assemblies for sample analysis systems and related mass spectrometer systems and methods | |
| Hogg | Conversion of mass spectrometers for fast-atom bombardment using easily constructed components | |
| JPS61206154A (ja) | 質量分析計の試料導入装置 | |
| Beggs et al. | A chemical ionization mass spectrometer source | |
| Falick et al. | Cooled sample introduction probe for liquid secondary ionization mass spectrometry | |
| Cameron | Electron‐Bombardment Ion Source for Mass Spectrometry of Solids | |
| Duan et al. | Characterization of an improved thermal ionization cavity source for mass spectrometry | |
| Barber et al. | Fast atom bombardment mass spectrometry (FAB). Negative-ion spectra of some simple monosaccharides | |
| Burlingame et al. | Mass spectrometry(Atomic and molecular interactions investigation by computer aided mass spectrometry, considering applications in bio-organic chemistry, isotope analysis, geochemistry and cosmochemistry) | |
| JP2619731B2 (ja) | 脱離ガスの検出装置および方法 | |
| GB922438A (en) | Vacuum locks for use in mass spectrometers | |
| US3578969A (en) | Solid sample inlet system for a mass spectrometer | |
| Olivares et al. | Instrumentation for high-efficiency, high-sensitivity actinide analysis | |
| JPS6176676U (ja) | ||
| Houzhi et al. | A multisample, high‐intensity Cs sputter negative ion source for accelerator mass spectrometry applications | |
| US8288719B1 (en) | Analytical instruments, assemblies, and methods | |
| JPS6237156U (ja) | ||
| Sakai et al. | Mass Spectrometer Systems for Isotope Geochemistry (1). High Sensitivity Mass Spectrometry of Rare Gases by a System with a Getter Ion Pump | |
| JPS6195233A (ja) | 二次イオン質量分析計における残留ガスイオン化装置 | |
| JPS6015247Y2 (ja) | 質量分析用イオン源装置 |