JPS61207034U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61207034U JPS61207034U JP9235985U JP9235985U JPS61207034U JP S61207034 U JPS61207034 U JP S61207034U JP 9235985 U JP9235985 U JP 9235985U JP 9235985 U JP9235985 U JP 9235985U JP S61207034 U JPS61207034 U JP S61207034U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- mounting device
- external table
- external
- internal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Jigs For Machine Tools (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す断面図、第
２図は従来のこの種ウエハ保持装置を示す断面図
である。 図中、１は外部テーブル、２は内部テーブル、
１１，２１は送りねじ、１２はギヤ、３はリニア
ボールベアリング、４は小径ギヤ、５は駆動用モ
ータ、６は取付用台座、７はウエハ、８はテーブ
ル、９はピン、１０はピストンである。尚、図中
同一符号は同一又は相当部分を示す。
２図は従来のこの種ウエハ保持装置を示す断面図
である。 図中、１は外部テーブル、２は内部テーブル、
１１，２１は送りねじ、１２はギヤ、３はリニア
ボールベアリング、４は小径ギヤ、５は駆動用モ
ータ、６は取付用台座、７はウエハ、８はテーブ
ル、９はピン、１０はピストンである。尚、図中
同一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 上面にウエハが載置される内部テーブル、
この内部テーブルの外周に回動可能に配置され、
上面にウエハが載置される外部テーブルを備え、
上記外部テーブルの回動時に外部テーブルが昇降
可能に構成されているウエハ載置装置。 (2) 内部および外部テーブルは送りねじによつ
て相互に係合している実用新案登録請求の範囲第
１項記載のウエハ載置装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9235985U JPS61207034U (ja) | 1985-06-17 | 1985-06-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9235985U JPS61207034U (ja) | 1985-06-17 | 1985-06-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61207034U true JPS61207034U (ja) | 1986-12-27 |
Family
ID=30649086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9235985U Pending JPS61207034U (ja) | 1985-06-17 | 1985-06-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61207034U (ja) |
-
1985
- 1985-06-17 JP JP9235985U patent/JPS61207034U/ja active Pending
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