JPS6120832A - 差圧伝送器 - Google Patents
差圧伝送器Info
- Publication number
- JPS6120832A JPS6120832A JP14147184A JP14147184A JPS6120832A JP S6120832 A JPS6120832 A JP S6120832A JP 14147184 A JP14147184 A JP 14147184A JP 14147184 A JP14147184 A JP 14147184A JP S6120832 A JPS6120832 A JP S6120832A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- pressure
- main body
- body case
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、差圧伝送器に係り、特に過圧保護機構を具え
た差圧伝送器の構造に関する。
た差圧伝送器の構造に関する。
第３図に従来の差圧伝送器を示す。本体ケース（１）の
凹部の底面と間隙をおいてセンタダイアフラム（２）が
周囲を溶接固定されて配置されている。
凹部の底面と間隙をおいてセンタダイアフラム（２）が
周囲を溶接固定されて配置されている。
そして、本体ケース（１）の凹部にはセンタダイアフラ
ム（２）を挟むようにディスク（３）が内嵌され、その
外側端面の周囲が本体ケース（１）に溶接されてシール
されている。本体ケース（１）の外側の端面およびディ
スク（３）の外側の端面にはそれぞれ受圧フランジ（４
ａ） 、 （４ｂ）から導入された被測定流体の圧力Ｐ
ａ、Ｐｂを受ける隔液ダイアフラム（５ａ） 。
ム（２）を挟むようにディスク（３）が内嵌され、その
外側端面の周囲が本体ケース（１）に溶接されてシール
されている。本体ケース（１）の外側の端面およびディ
スク（３）の外側の端面にはそれぞれ受圧フランジ（４
ａ） 、 （４ｂ）から導入された被測定流体の圧力Ｐ
ａ、Ｐｂを受ける隔液ダイアフラム（５ａ） 。
（５ｂ）が周囲を溶接固定されて張設されており、この
隔液ダイアフラム（５ａ） 、 （５ｂ）に対向する面
には、隔液ダイアフラム（５ａ） 、 （５ｂ）が光壁
しても変形しないように同一形状を有する隔液ダイアプ
ラム座（６ａ） 、 （６ｂ）が設けられている。
隔液ダイアフラム（５ａ） 、 （５ｂ）に対向する面
には、隔液ダイアフラム（５ａ） 、 （５ｂ）が光壁
しても変形しないように同一形状を有する隔液ダイアプ
ラム座（６ａ） 、 （６ｂ）が設けられている。
本体ケース（１）には感圧素子（７）が装着されており
、隔液ダイアフラム（５ａ） 、 （５ｂ）で受けた圧
力Ｐａ。
、隔液ダイアフラム（５ａ） 、 （５ｂ）で受けた圧
力Ｐａ。
Ｐｂは、圧力伝達媒体（８ａ） 、 （８ｂ）を介して
連通孔（９ａ） 、 （９ｂ）、センタダイアフラム（
２）、連通孔（１０ａ） 、 （１０ｂ）と伝達され、
感圧素子（７）によって差圧（Ｐａ−Ｐｂ）が電気信号
に変換され、この出力がリード（１１）を介して図示し
ない前置増幅回路や種々の制御回路に接続される。
連通孔（９ａ） 、 （９ｂ）、センタダイアフラム（
２）、連通孔（１０ａ） 、 （１０ｂ）と伝達され、
感圧素子（７）によって差圧（Ｐａ−Ｐｂ）が電気信号
に変換され、この出力がリード（１１）を介して図示し
ない前置増幅回路や種々の制御回路に接続される。
この差圧伝送器にＰａ＞、Ｐｂなる圧力Ｐａ、Ｐｂが加
わると、センタダイアフラム（２）および隔液ダイアフ
ラム（５ａ） 、 （５ｂ）は図示左方向へ移動する。
わると、センタダイアフラム（２）および隔液ダイアフ
ラム（５ａ） 、 （５ｂ）は図示左方向へ移動する。
次に測定範囲を越える過大差圧（Ｐａ）Ｐｂ）が加わる
と、センタダイアフラム（２）がさらに図示左方向へ移
動し、その移動した容積分だけ隔液ダイアフラム（５ａ
） 、 （５ｂ）も図示左方向へ移動し、ついには隔液
ダイアフラム座（６ａ）に着座する。隔液ダイアフラム
（５ａ）が隔液ダイアフラム座（６ａ）に着座すると、
それ以上の過大差圧が加わっても隔液ダイアフラム（５
ａ）が図示左方向へ移動せず、圧力伝達媒体（８ａ）
、 （８ｂ）の移動も止まるため感圧素子（７）にもそ
れ以上の過大差圧が加わらず保護される。
と、センタダイアフラム（２）がさらに図示左方向へ移
動し、その移動した容積分だけ隔液ダイアフラム（５ａ
） 、 （５ｂ）も図示左方向へ移動し、ついには隔液
ダイアフラム座（６ａ）に着座する。隔液ダイアフラム
（５ａ）が隔液ダイアフラム座（６ａ）に着座すると、
それ以上の過大差圧が加わっても隔液ダイアフラム（５
ａ）が図示左方向へ移動せず、圧力伝達媒体（８ａ）
、 （８ｂ）の移動も止まるため感圧素子（７）にもそ
れ以上の過大差圧が加わらず保護される。
この状態で、周囲の温度変化により圧力伝達媒体（８ａ
） 、 （８ｂ）が膨張または収縮した場合には、セン
タダイアフラム（２）の移動によって感圧素子（７）に
加わる過大差圧を最小限にしている。また、過大差圧が
（Ｐａ＜Ｐｂ）の場合にも、隔液ダイアフラム（５ａ）
、 （５ｂ）、センタダイアフラム（２）が図示右方
向へ移動して前記説明と同様に感圧素子（７）の保護を
する。
） 、 （８ｂ）が膨張または収縮した場合には、セン
タダイアフラム（２）の移動によって感圧素子（７）に
加わる過大差圧を最小限にしている。また、過大差圧が
（Ｐａ＜Ｐｂ）の場合にも、隔液ダイアフラム（５ａ）
、 （５ｂ）、センタダイアフラム（２）が図示右方
向へ移動して前記説明と同様に感圧素子（７）の保護を
する。
しかしながら、この過圧保護機構は、内部に封入された
圧力伝達媒体（８ａ） 、 （８ｂ）が周囲温度変化に
よって膨張または収縮した場合には、隔液ダイアフラム
（５ａ） 、 （５ｂ）と隔液ダイアフラム座（６ａ）
。
圧力伝達媒体（８ａ） 、 （８ｂ）が周囲温度変化に
よって膨張または収縮した場合には、隔液ダイアフラム
（５ａ） 、 （５ｂ）と隔液ダイアフラム座（６ａ）
。
（６ｂ）との間隙容積が変化するため過圧保護機構の作
動圧力も変わる。この作動圧力値の変動は、差圧伝送器
の最大測定範囲以下になってはならず且つ感圧素子（７
）の耐圧力を越えてはならない。そのため、感圧素子（
７）の耐圧力が測定範囲の数倍程度の半導体素子を用い
た場合には、過圧保護作動圧力値の変動１幅を小さくす
る必要がある。過圧保護作動圧力値の変動幅を小さくす
るためには圧力伝達媒体（８ａ） 、 （８ｂ）の量を
少なくすることが必要である。
動圧力も変わる。この作動圧力値の変動は、差圧伝送器
の最大測定範囲以下になってはならず且つ感圧素子（７
）の耐圧力を越えてはならない。そのため、感圧素子（
７）の耐圧力が測定範囲の数倍程度の半導体素子を用い
た場合には、過圧保護作動圧力値の変動１幅を小さくす
る必要がある。過圧保護作動圧力値の変動幅を小さくす
るためには圧力伝達媒体（８ａ） 、 （８ｂ）の量を
少なくすることが必要である。
しかしながら、本体ケース（１）にセンタダイアフラム
（２）を取着する際、電子ビーム溶接等でセンタダイア
フラム（２）の外周部を板厚方向に溶接しており、本体
ケース（１）とセンタダイアフラム（２）とに熱容量の
差があるため、溶接時の熱の影響によりセンタダイアフ
ラム（２）か撓んだ状態で溶接される。このため、セン
タダイアフラム（２）と本体ケース（１）およびディス
ク（３）との隙間を大きくとることが必要となり、その
結果、圧力伝達媒体 （８ａ） 、 （８ｂ）の量が多くなり、過圧保護作動
圧力値の変動幅が大きくなる欠点がある。
（２）を取着する際、電子ビーム溶接等でセンタダイア
フラム（２）の外周部を板厚方向に溶接しており、本体
ケース（１）とセンタダイアフラム（２）とに熱容量の
差があるため、溶接時の熱の影響によりセンタダイアフ
ラム（２）か撓んだ状態で溶接される。このため、セン
タダイアフラム（２）と本体ケース（１）およびディス
ク（３）との隙間を大きくとることが必要となり、その
結果、圧力伝達媒体 （８ａ） 、 （８ｂ）の量が多くなり、過圧保護作動
圧力値の変動幅が大きくなる欠点がある。
また、本・体ケース（１）のセンタダイアフラム（２）
取着部は、深い凹部の底になり１図示のように断面形状
がコ字状をしているため１本体ケース（１）内部に高い
静圧がかかると本体ケース（１）の変形様式が図示左右
で異なり、センタダイアフラム（２）、隔液ダイアフラ
ム（５ａ） 、 （５ｂ）に対称的な応力の加わり方を
しないため静圧誤差が大きくなる欠点もある。
取着部は、深い凹部の底になり１図示のように断面形状
がコ字状をしているため１本体ケース（１）内部に高い
静圧がかかると本体ケース（１）の変形様式が図示左右
で異なり、センタダイアフラム（２）、隔液ダイアフラ
ム（５ａ） 、 （５ｂ）に対称的な応力の加わり方を
しないため静圧誤差が大きくなる欠点もある。
本発明は、上記の欠点を除去し、過圧保護作動圧力値の
変動が少なく、また静圧誤差も少ない差圧伝送器を提供
することを目的とする。
変動が少なく、また静圧誤差も少ない差圧伝送器を提供
することを目的とする。
本発明は、円筒状でその外周面の一部に感圧素子を収納
したセンサ収納部を有する本体ケースと、この本体ケー
スに内嵌する一対のディスクによりセンタダイアフラム
をその外周部で挟持し且つその外周面を溶接シールする
とともにこのセンタダイアフラム両側の閉空間に連通孔
で連通した各ディスク外側端面に形成された一液ダイア
フラム座と所定の間隙をおいてそれぞれ周縁部を溶接さ
れて張設された一対の隔液ダイナフラムを有してなり前
記本体ケース内に内嵌装着され外側端面の周縁をそれぞ
れ本体ケースに溶接シールされた過圧防止ユニットと、
この過圧防止ユニットの前記センタダイアフラム両側の
閉空間を前記感圧素子の両受圧面に滲通する連通孔と、
前記過圧防止ユニットの一対の隔液ダイアフラムによっ
て閉塞された過圧防止ユニット内空間および前記感圧素
子に連通ずる空間内に封入された圧力伝達媒体と、前記
本体ケースの両側端面にそれぞれ周辺部を気密に取着さ
れ隔液ダイアフラムとの間に被測定流体を導入する一対
の受圧フランジとを具備してなる差圧伝送器を実現して
所期の目的を達成した。
したセンサ収納部を有する本体ケースと、この本体ケー
スに内嵌する一対のディスクによりセンタダイアフラム
をその外周部で挟持し且つその外周面を溶接シールする
とともにこのセンタダイアフラム両側の閉空間に連通孔
で連通した各ディスク外側端面に形成された一液ダイア
フラム座と所定の間隙をおいてそれぞれ周縁部を溶接さ
れて張設された一対の隔液ダイナフラムを有してなり前
記本体ケース内に内嵌装着され外側端面の周縁をそれぞ
れ本体ケースに溶接シールされた過圧防止ユニットと、
この過圧防止ユニットの前記センタダイアフラム両側の
閉空間を前記感圧素子の両受圧面に滲通する連通孔と、
前記過圧防止ユニットの一対の隔液ダイアフラムによっ
て閉塞された過圧防止ユニット内空間および前記感圧素
子に連通ずる空間内に封入された圧力伝達媒体と、前記
本体ケースの両側端面にそれぞれ周辺部を気密に取着さ
れ隔液ダイアフラムとの間に被測定流体を導入する一対
の受圧フランジとを具備してなる差圧伝送器を実現して
所期の目的を達成した。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
本発明一実施例の差圧伝送器を第１図に示す。
本体ケース（２１）は円筒状で、その外周面の一部に感
圧素子（２７）を収納したセンサ収納部（３３）を有す
る。本体ケース（２１）に内嵌する一対の形状対称なデ
ィスク（２３ａ） 、 （２３ｂ）によりセンタダイア
フラム（２２）をその外周部で挟持し、且つセンタダイ
アフラム（２２）の外周面をこの面に直角な方向から溶
接シールするとともに、このセンタダイアフラム（２２
）の両側の閉空間に連通孔（２９ａ） 、 （２９ｂ）
で連通した各ディスク（２３ａ） 、 （２３ｂ）の外
側端面に形成された隔液ダイアフラム座（２６ａ） 、
（２６ｂ）と所定の間隙をおいてそれぞれ周縁部を溶
接されて張設された一対の隔液ダイアフラム（２５ａ）
、 （２５ｈ）を有しててなる過圧防止ユニット（２
０）が本体ケース（２１）内に内嵌装着され、その外側
端面の周縁をそれぞれ本体ケース（２１）に溶接シール
され、且つ中央部をオーリング（３２）でシールされて
いる。
圧素子（２７）を収納したセンサ収納部（３３）を有す
る。本体ケース（２１）に内嵌する一対の形状対称なデ
ィスク（２３ａ） 、 （２３ｂ）によりセンタダイア
フラム（２２）をその外周部で挟持し、且つセンタダイ
アフラム（２２）の外周面をこの面に直角な方向から溶
接シールするとともに、このセンタダイアフラム（２２
）の両側の閉空間に連通孔（２９ａ） 、 （２９ｂ）
で連通した各ディスク（２３ａ） 、 （２３ｂ）の外
側端面に形成された隔液ダイアフラム座（２６ａ） 、
（２６ｂ）と所定の間隙をおいてそれぞれ周縁部を溶
接されて張設された一対の隔液ダイアフラム（２５ａ）
、 （２５ｈ）を有しててなる過圧防止ユニット（２
０）が本体ケース（２１）内に内嵌装着され、その外側
端面の周縁をそれぞれ本体ケース（２１）に溶接シール
され、且つ中央部をオーリング（３２）でシールされて
いる。
過圧防止ユニット（２０）のセンタダイアフラム（２２
）の両側を感圧素子（２７）の両受圧面に連通する連通
孔（３０ａ） 、 （３０ｂ）が設けられている。そし
て、過圧防止ユニット（２０）の一対の隔液ダイアフラ
ム（２５ａ） 、 （２５ｂ）によって閉塞された過圧
防止用ユニット内空間および感圧素子（２７）に連通す
る空間内には圧力伝達媒体（２８ａ） 、 （２８ｂ）
が封入されている。
）の両側を感圧素子（２７）の両受圧面に連通する連通
孔（３０ａ） 、 （３０ｂ）が設けられている。そし
て、過圧防止ユニット（２０）の一対の隔液ダイアフラ
ム（２５ａ） 、 （２５ｂ）によって閉塞された過圧
防止用ユニット内空間および感圧素子（２７）に連通す
る空間内には圧力伝達媒体（２８ａ） 、 （２８ｂ）
が封入されている。
また１本体ケース（２１）の両端面には、隔液ダイアフ
ラム（２５ａ） 、 （２５ｂ）との間に被測定流体を
導入する一対の受圧フランジ（２４ａ） 、 （２４ｂ
）がそれぞれ周辺部を気密にシールされて取着されてい
る。感圧素子（２７）の出力はリード（３１）を介して
外部へ伝送される。
ラム（２５ａ） 、 （２５ｂ）との間に被測定流体を
導入する一対の受圧フランジ（２４ａ） 、 （２４ｂ
）がそれぞれ周辺部を気密にシールされて取着されてい
る。感圧素子（２７）の出力はリード（３１）を介して
外部へ伝送される。
上記のように構成された本発明一実施例し２差圧伝送器
においては、過圧防止用ユニット（２０）を組立てた後
、本体ケース（２１）に装着する前にセンタダイアフラ
ム（２２）の特性を試験することができる。
においては、過圧防止用ユニット（２０）を組立てた後
、本体ケース（２１）に装着する前にセンタダイアフラ
ム（２２）の特性を試験することができる。
そして、特性が良いことを確認役本体ケース（２１）に
装着される。
装着される。
受圧フランジ（２４ａ） 、 （２４ｂ）を介して導入
された被測定流体圧力Ｐａ、Ｐｂは隔液ダイアフラム（
２５ａ）。
された被測定流体圧力Ｐａ、Ｐｂは隔液ダイアフラム（
２５ａ）。
（２５ｂ）に印加され、圧力伝達媒体（２８ａ） 、
（２８ｂ）を介して連通孔（２９ａ） 、 （２９ｂ）
、センタダイアフラム（２２）、連通孔（３０ａ） 、
（３０ｂ）と伝達され、感圧素子（２７）によって差
圧Ｐａ−Ｐｂが検出され電気信号に変換されてリード（
３１）を介して外部へ伝送される。
（２８ｂ）を介して連通孔（２９ａ） 、 （２９ｂ）
、センタダイアフラム（２２）、連通孔（３０ａ） 、
（３０ｂ）と伝達され、感圧素子（２７）によって差
圧Ｐａ−Ｐｂが検出され電気信号に変換されてリード（
３１）を介して外部へ伝送される。
差圧伝送器に測定範囲を越えると過大差圧Ｐａ−Ｐｂ
（Ｐａ＞Ｐｂ）が印加されると、隔液ダイアフラム（２
５ａ） 、 （２５ｂ）、センタダイアフラム（２２）
が図示左方向へ移動し、隔液ダイアフラム（２５ａ）が
隔液ダイアフラム座（２６ａ）に着座してそれ以上の圧
力が感圧素子（２７）に印加されるのを防止してν洩る
。
（Ｐａ＞Ｐｂ）が印加されると、隔液ダイアフラム（２
５ａ） 、 （２５ｂ）、センタダイアフラム（２２）
が図示左方向へ移動し、隔液ダイアフラム（２５ａ）が
隔液ダイアフラム座（２６ａ）に着座してそれ以上の圧
力が感圧素子（２７）に印加されるのを防止してν洩る
。
この過圧保護圧力は、センタダイアフラム（２２）の移
動容積および隔液ダイアフラム（２５ａ）と隔液ダイア
フラム座（２６ａ）との間隙容積で決まる。この実施例
の差圧伝送器の場合、前もってセンタダイアフラム（２
２）の特性（圧力〜体積変化）をテストすることができ
るため、過圧保護作動圧力値を所定値におさえることが
容易になり、高精度な過圧保護特性が得られる。差圧伝
送器に加わる過大差がＰａ＜Ｐｂの場合も同様である。
動容積および隔液ダイアフラム（２５ａ）と隔液ダイア
フラム座（２６ａ）との間隙容積で決まる。この実施例
の差圧伝送器の場合、前もってセンタダイアフラム（２
２）の特性（圧力〜体積変化）をテストすることができ
るため、過圧保護作動圧力値を所定値におさえることが
容易になり、高精度な過圧保護特性が得られる。差圧伝
送器に加わる過大差がＰａ＜Ｐｂの場合も同様である。
また、高い静圧が加わった場合にも１本体ケース（２１
）が左右対称な形状であり、ディスク（２３ａ） 。
）が左右対称な形状であり、ディスク（２３ａ） 。
（２３ｂ）も対象な形状になっているため、本体ケース
（２１）の左右の変形様式が同一となり、センタダイア
フラム（２２）、隔液ダイアフラム（２５ａ） 、 （
２５ｂ）、ディスク（２３ａ） 、 （２３ｂ）が均一
に撓み、静圧誤差が非常に小さくなる。さらに、左右対
称なディスク（２３ａ） 、 （２３ｂ）の中央部にセ
ンタダイアフラム（２２）がその外周面をこの面に直角
な方向から溶接されて取着されているので、溶接時の熱
分布が均一になり、センタダイアフラム（２２）の初期
撓みを少なくすることができ、したがって、センタダイ
アフラム両側のディスクとの隙間を小さくすることが可
能となり、圧力伝達媒体（２８ａ） 、 （２８ｂ）の
量が少なくなって過圧保護作動圧力値の変動幅が小さく
なる。
（２１）の左右の変形様式が同一となり、センタダイア
フラム（２２）、隔液ダイアフラム（２５ａ） 、 （
２５ｂ）、ディスク（２３ａ） 、 （２３ｂ）が均一
に撓み、静圧誤差が非常に小さくなる。さらに、左右対
称なディスク（２３ａ） 、 （２３ｂ）の中央部にセ
ンタダイアフラム（２２）がその外周面をこの面に直角
な方向から溶接されて取着されているので、溶接時の熱
分布が均一になり、センタダイアフラム（２２）の初期
撓みを少なくすることができ、したがって、センタダイ
アフラム両側のディスクとの隙間を小さくすることが可
能となり、圧力伝達媒体（２８ａ） 、 （２８ｂ）の
量が少なくなって過圧保護作動圧力値の変動幅が小さく
なる。
なお、本発明は上述した実施例に限らず、第２図に示す
ように変形して実施できる。第２図に示す変形例のもの
では、過圧防止ユニット（４０）が、センタダイアフラ
ム（２２）を挟持し且つその外周面を溶接シールした一
対のインナーディスク（４４ａ）。
ように変形して実施できる。第２図に示す変形例のもの
では、過圧防止ユニット（４０）が、センタダイアフラ
ム（２２）を挟持し且つその外周面を溶接シールした一
対のインナーディスク（４４ａ）。
（４４ｂ）がその外側端面の周縁を本体ケース（２１）
に溶接シールされてなるセンタダイアフラムユニット（
４１）と、このセンタダイアフラムユニット（４１）の
両側にそれぞれ一端面を当接され他端面にその隔液ダイ
アフラム座（２６ａ） 、 （２６ｂ）と所定間隙をお
いて隔液ダイアフラム（２５ａ） 、 （２５ｂ）が張
設された一対のディスク（４３ａ） 、 （４３ｂ）と
で構成された構造である。このような構造にすることに
より、センタダイアフラムユニット（４１）を組み上げ
た時点でセンタダイアフラム（２２）の特性を試験して
特性が良好なることを確認した上、本体ケース（２１）
に挿入して溶接し、その後隔液ダイアフラムが溶接され
たディスク（４３ａ） 、 （４３ｂ）を本体ケース（
２１）に組込み溶接することができる。作用および効果
は第１図のものと同等である。
に溶接シールされてなるセンタダイアフラムユニット（
４１）と、このセンタダイアフラムユニット（４１）の
両側にそれぞれ一端面を当接され他端面にその隔液ダイ
アフラム座（２６ａ） 、 （２６ｂ）と所定間隙をお
いて隔液ダイアフラム（２５ａ） 、 （２５ｂ）が張
設された一対のディスク（４３ａ） 、 （４３ｂ）と
で構成された構造である。このような構造にすることに
より、センタダイアフラムユニット（４１）を組み上げ
た時点でセンタダイアフラム（２２）の特性を試験して
特性が良好なることを確認した上、本体ケース（２１）
に挿入して溶接し、その後隔液ダイアフラムが溶接され
たディスク（４３ａ） 、 （４３ｂ）を本体ケース（
２１）に組込み溶接することができる。作用および効果
は第１図のものと同等である。
以上詳述したように本発明によれば、差圧伝送器におい
て、形状が対称な一対のディスクでセンタダイアフラム
の外周部を挟持しその外周面をこの面に直角な方向から
溶接シールするようにしたため、溶接時の熱分布が均一
になり、センタダイアフラムの初期撓みを少なくするこ
とができ、したがってセンタダイアフラム両側のディス
クとの隙間を小さくすることが可能で、圧力伝達媒体の
量が少なくなって過圧保護作動圧力値の変動幅を小さく
できる。
て、形状が対称な一対のディスクでセンタダイアフラム
の外周部を挟持しその外周面をこの面に直角な方向から
溶接シールするようにしたため、溶接時の熱分布が均一
になり、センタダイアフラムの初期撓みを少なくするこ
とができ、したがってセンタダイアフラム両側のディス
クとの隙間を小さくすることが可能で、圧力伝達媒体の
量が少なくなって過圧保護作動圧力値の変動幅を小さく
できる。
また、一対のディスクにセンタダイアフラムを溶接し、
各ディスクの外側端面にそれぞれ隔液ダイアフラムを溶
接して過圧防止ユニットを完成したものを本体ケースに
挿入して装着する構造にしたことにより、過圧防止ユニ
ット単体の状態でセンタダイアフラムの特性試験を予め
行ない、特性の良いことを確認した過圧防止ユニットを
本体ケースに装着することが可能となり、過圧保護作動
圧力を所定値におさえることが容易化され、高精度な過
圧保護特性を持った差圧伝送器が得られる。
各ディスクの外側端面にそれぞれ隔液ダイアフラムを溶
接して過圧防止ユニットを完成したものを本体ケースに
挿入して装着する構造にしたことにより、過圧防止ユニ
ット単体の状態でセンタダイアフラムの特性試験を予め
行ない、特性の良いことを確認した過圧防止ユニットを
本体ケースに装着することが可能となり、過圧保護作動
圧力を所定値におさえることが容易化され、高精度な過
圧保護特性を持った差圧伝送器が得られる。
さらに、本体ケースが左右対称な形状であり、一対のデ
ィスクも対称な形状になっているため、高い静圧が加わ
った場合にも、本体ケースの左右の変形様式が同一とな
り、センサダイアフラム、一対の隔液ダイアフラム、一
対のディスクが均一に撓み、静圧誤差が非常に小さくな
る。
ィスクも対称な形状になっているため、高い静圧が加わ
った場合にも、本体ケースの左右の変形様式が同一とな
り、センサダイアフラム、一対の隔液ダイアフラム、一
対のディスクが均一に撓み、静圧誤差が非常に小さくな
る。
上記の各効果が得られる結果、高精度な過圧保護特性を
有するとともに静圧誤差も少なく且つ生産性にも優れた
差圧伝送器を提供することができる。
有するとともに静圧誤差も少なく且つ生産性にも優れた
差圧伝送器を提供することができる。
第１図は本発明一実施例の差圧伝送器を示す断面図、第
２図は本発明変形例の差圧伝送器を示す断面図、第３図
は従来の差圧伝送器を示す断面図、である。 ２０・・・過圧防止ユニット ２１・・・本体ケース２
２・・・センタダイアフラム ２３ａ 、 ２３ｂ・・・ディスク ２４ａ 、 ２４
ｂ・・・受圧フラジジ２５ａ 、 ２５ｂ・・・隔液ダ
イアフラム２６ａ 、 ２６ｂ・・・隔液ダイアツクを
座２７・・・感圧素子 ２８ａ 、 ２８ｂ・・・圧力伝達媒体２９ａ 、 ２
９ｂ一連通孔 ３０ａ 、 ３０ｂ一連通孔３３・
・・センサ収納部 ４０・・・過圧防止ユニット４１
・・・センタダイアフラムユニット４３ａ、４３ｂ・・
・ディスク
２図は本発明変形例の差圧伝送器を示す断面図、第３図
は従来の差圧伝送器を示す断面図、である。 ２０・・・過圧防止ユニット ２１・・・本体ケース２
２・・・センタダイアフラム ２３ａ 、 ２３ｂ・・・ディスク ２４ａ 、 ２４
ｂ・・・受圧フラジジ２５ａ 、 ２５ｂ・・・隔液ダ
イアフラム２６ａ 、 ２６ｂ・・・隔液ダイアツクを
座２７・・・感圧素子 ２８ａ 、 ２８ｂ・・・圧力伝達媒体２９ａ 、 ２
９ｂ一連通孔 ３０ａ 、 ３０ｂ一連通孔３３・
・・センサ収納部 ４０・・・過圧防止ユニット４１
・・・センタダイアフラムユニット４３ａ、４３ｂ・・
・ディスク
Claims (2)
- （１）円筒状でその外周面の一部に感圧素子を収納した
センサ収納部を有する本体ケースと、この本体ケースに
内嵌する一対のディスクによりセンタダイアフラムをそ
の外周部で挟持し且つその外周面を溶接シールするとと
もにこのセンタダイアフラム両側の閉空間に連通孔で連
通した各ディスク外側端面に形成された隔液ダイアフラ
ム座と所定の間隙をおいてそれぞれ周縁部を溶接されて
張設された一対の隔液ダイアフラムを有してなり前記本
体ケース内に内嵌装着され外側端面の周縁をそれぞれ本
体ケースに溶接シールされた過圧防止ユニットと、この
過圧防止ユニットの前記センタダイアフラム両側の閉空
間を前記感圧素子の両受圧面に連通する連通孔と、前記
過圧防止ユニットの一対の隔液ダイアフラムによって閉
塞された過圧防止ユニット内空間および前記感圧素子に
連通する空間内に封入された圧力伝達媒体と、前記本体
ケースの両側端面にそれぞれ周辺部を気密に取着され隔
液ダイアフラムとの間に被測定流体を導入する一対の受
圧フランジとを具備してなる差圧伝送器。 - （２）過圧防止ユニットが、センタダイアフラムを挟持
し且つその外周面を溶接シールした一対のインナーディ
スクがその外側端面の周縁部を本体ケースに溶接シール
されてなるセンタダイアフラムユニットと、このセンタ
ダイアフラムユニットの両側にそれぞれ一端面を当接さ
れ他端面にその隔液ダイアフラム座と所定間隙をおいて
隔液ダイアフラムが張設された一対のディスクとで構成
されたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の差
圧伝送器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14147184A JPS6120832A (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | 差圧伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14147184A JPS6120832A (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | 差圧伝送器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6120832A true JPS6120832A (ja) | 1986-01-29 |
Family
ID=15292654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14147184A Pending JPS6120832A (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | 差圧伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6120832A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109141734A (zh) * | 2017-06-16 | 2019-01-04 | 罗斯蒙特公司 | 用于工作高压应用的压力传感器模块 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5951328A (ja) * | 1982-09-17 | 1984-03-24 | Shimadzu Corp | 圧力検出器 |
| JPS5956137A (ja) * | 1982-09-25 | 1984-03-31 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 差圧発信器 |
-
1984
- 1984-07-10 JP JP14147184A patent/JPS6120832A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5951328A (ja) * | 1982-09-17 | 1984-03-24 | Shimadzu Corp | 圧力検出器 |
| JPS5956137A (ja) * | 1982-09-25 | 1984-03-31 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 差圧発信器 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109141734A (zh) * | 2017-06-16 | 2019-01-04 | 罗斯蒙特公司 | 用于工作高压应用的压力传感器模块 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4670733A (en) | Differential pressure transducer | |
| US4829826A (en) | Differential-pressure transducer | |
| US4173149A (en) | Differential pressure sensing devices | |
| US4072058A (en) | Differential pressure transmitter with pressure sensor protection | |
| US4163395A (en) | Pressure transmitter with simplified pressure sensing head | |
| US4072057A (en) | Differential pressure cell with diaphragm tension and overpressure protection | |
| US4086815A (en) | Device for use in sensing pressures | |
| US4034610A (en) | Differential pressure measuring device | |
| JPS59125032A (ja) | 差圧測定装置 | |
| JPS6120832A (ja) | 差圧伝送器 | |
| US2879802A (en) | Differential pressure-responsive device | |
| JPS6239368B2 (ja) | ||
| US3731266A (en) | Inertia-compensated a.c. biased hydrophone incorporating a porous capacitance transducer | |
| JPS6120831A (ja) | 差圧伝送器 | |
| JPH07229807A (ja) | 差圧測定装置 | |
| JPS6329217Y2 (ja) | ||
| JPS59135337A (ja) | 差圧伝送器 | |
| JPH01110231A (ja) | 静電容量形差圧測定装置 | |
| JPS60142227A (ja) | 差圧伝送器 | |
| JPS5836997Y2 (ja) | 温度補償付差圧伝送器 | |
| JPS5957134A (ja) | 圧力検出装置 | |
| JPH0436424Y2 (ja) | ||
| JPS6349175B2 (ja) | ||
| JPH0444222B2 (ja) | ||
| JPS5813728Y2 (ja) | 圧力伝送器 |