JPS61213213A - 光重合性組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は新規な光重合性組成物に関するものであり、更
に詳しくは、有機溶剤を含有しない弱アルカリ水溶液に
よって現像できる改善された光重合性組成物に関する。

「従来の技術」 従来、光重合性組成物の現像液として有機溶剤が使用さ
れてきたが有機溶剤は一般に高価で、有毒であり、かつ
可燃性でもある。その上使用に当っては労働衛生対策お
よび公害対策設備等に多額の費用全必要とする。そのた
め、このような有機溶剤を使用しないで現像できる光重
合性組成物が長い間熱型されてきた。一般に光重合性組
成物の溶解性およびその他の性質を決定するのは光重合
性組成物の結合剤成分である。

アルカリ水溶液で現像可能な光重合性組成物に関する文
献の代表的なものには、次のようなものがある。特公昭
３！−／ダｏｂｓ号（結合剤は側鎖酸素識含有重合体で
ある）、特公昭４Ｉ６−．７コツ／４Ｉ号（結合剤は例
えばメタクリル酸メチル／メタクリル酸共重合体である
）、特公昭５ダ一３ダ３２７号（結合剤は例えばメタク
リル酸メチル／メタクリル酸−２−エチルヘキシル／メ
タクリル酸の三元共重合体である）、特公昭ｊ−ｊ−−
３１９６１号（結合剤は例えばスチレン／マレイン酸モ
ノｎ−ブチルエステル共重合体である）、特公昭！１４
−、Ｉ、ｌｌｌ１Ｊ号（結合剤は例えばメタクリル酸エ
チル／アクリル酸エチル／メタクリル酸の三元共重合体
である）、特公昭５４Ｉ−２３９５７号（結合剤は例え
ばスチレン／メタクリル酸メチル／アクリル酸エチル／
メタクリル酸の四元共重合体である）、特開昭３コ一９
９１１０号（結合剤は例えばメタクリル酸ベンジル／メ
タクリル酸共重合体である）、特公昭！ｌａｇ−／２に
７７号（結合剤は例えばアクリロニトリル／メタクリル
酸−２−エチルヘキシル／メタクリル酸の三元共重合体
である）および特公昭ｊ？！−４２１０号（結合剤は例
えばメタクリル酸メチル／アクリル酸エチル／アクリル
酸三元共重合体とイソプロパツールチ一部分エステル化
したスチレン／マレイン歳無水物共重合体のコ種である
）。

しかしこれら参考文献に記載されている組成物は、ある
用途においては利点があるが、しかし特にフォトレジス
トとして使用された場合にはある種の欠点を示すのであ
る。通常は銅である金属箔を積層した基体を用いてプリ
ント配線基板を作成するに際し、その基体上に感光性の
固体フィルムを圧着積層する工＠を含むいわゆるドライ
フィルムレジスト法については特公昭ｌｌ５−ｘｓａｓ
ｉ号に記載されている。この方法に適合しうる光重合性
組成物は例えば現像性および剥膜性（ただし重合された
状態においてはエツチング又はメッキ溶液に対する抵抗
性）、低い粘着性、基体に対する高い接着性および可撓
性が適当にバランスしていることが必要である。

従来公知のアルカリ水溶液で現像可能な光重合性組成物
は、それらが粘着性でありすぎるか又は脆すぎること、
または高分解能の画僚を与えるには不十分な基体への接
着性と耐膨潤性を有していること、またはそれがアルカ
リ水溶液で現像できるとしても現像時間がかかりすぎる
というような、一つまたはそれ以上の不利な点を有して
いる＠また特に近年、プリント配線の高密度化が望まれ
、そのために原稿に忠実で高解偉力のレジスト画線像を
与えるドライフィルムレジストが必要となってきた。

「本発明が解決しようとする問題点」 従来公知のアルカリ水溶液で現像可能な光重合性組成物
は、この目的に対し不十分であった。こ　　−れは主と
してフォトレジスト層の現像液に対する耐膨潤性および
基板への接着性の欠除に基づくものである。

能な光重合性組成物の不利な点を克服することにある０
すなわち目的とする組成物は、短時間で弱アルカリ水溶
液で現像でき、ドライフィルムとして基体く積層するに
十分な可撓性金持ち、そして基体に対して高度の接着性
を有し、そして表面の粘着性は少なく、また保存時にコ
ールドクローを起すほどには軟質でなく、そしてｌｉｉ
儂露光露光って重合した部分の現像液への耐膨潤性が優
れているが、さらに有機溶剤を含有しない強アルカリの
希薄水溶液で処理することにより剥膜が可能である。さ
らに本発明の目的は原稿に対する忠実な画線像の再現で
あり、高解偉力の発現である。

本発明者等は、次のような光重合性組成物を用いること
でこれらの目的が達成されることを見出し本出願に到っ
た。

「問題点を解決するための手段」 不発明の光重合性組成物は、以下の通りである。

すなわち、分子中に少なくとも一個のエチレン性不飽和
二重結合を含有する付加重合性不飽和化合性組成物にお
いて、前記結合剤が次の（Ａ）、（Ｂ）。

（Ｃ）の各群より少なくとも７種ずつ選ばれた重合性物
質を共重合させたものであり、重量平均分子量が５ｏｏ
ｏ〜７０００，０００の多元共重合体であること全特徴
とする光重合性組成物である。

（Ａ）　　下記一般式ＣＩ）で表わされる重合性物質Ｈ
２−Ａｒ （ただし、式中Ａｒは置換もしくは無置換の７二二ル基
） （Ｂ）　　下記一般式（…）で表わされる重合性物質Ｃ
Ｈ２＝ＣＣＨ３ Ｃ＝０　　　　　（Ｉ） 言 Ｒ＋ （ただし、式中Ｒ＃ｉ炭素数／−４のアルキル基）（Ｃ
）　　α、β−不飽和カルボン酸である重合性物本発明
に用いる（Ａ）　、　（Ｂ）　、　（Ｃ）の重合性物質
よりなる共重合体は感光層中の他成分の結合剤として使
用されるものであり、感光性ドライフィルムレジストの
主要な性能を決定する。

（Ａ）の重合性物質である一般式（Ｉ）において人ｒの
具体例として、フェニル、ｐ−メチル７エ二ル、ｍ−メ
チルフェニル、０−メチルフェニル。

ｐ−エチルフェニル、０−エチルフェニル、ｐ−イソプ
ロピルフェニル、ｐ−メトキシフェニル。

ｐ−クロロフェニル、ｍ−クロルフェニル、ｏ−クロル
フェニルｔｐ−７’ロモフェニル、２，４ｃｍジメチル
フェニル、５−ａ−ジメチルフェニル、　ｊ、４！−ジ
メトキシフェニル基を挙げることができ、特に好ましい
のはフェニル基である。

（Ｂ）の重合性物質である一般式（Ｉ）において凡の具
体例として、メチル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロ
ピル、ｎ−ブチル、５ｅｃ−ブチル、イソブチル、ｔｅ
ｒｔ−ブチル、ｎ−ペンチル、ｎ−ヘキシル、シクロヘ
キシル、シクロインチル基ｔ−挙ケることかでき、ｌ！
！＃り好ましいのはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル
基である。

（Ｃ）の重合性物質であるα、β不飽和カルボン酸の具
体例として、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、
フマル酸、イタコン酸、マレイン酸モノメチルエステル
、マレイン酸モノエチルエステル、マレイン酸モノメチ
ルエステル、マレイン酸モノベンジルエステル、イタコ
ン酸モノメチルエステル、イタコン酸モノブチルエステ
ルを挙げることができ、特に好ましいのは、アクリル酸
とメタクリル酸である。

本発明釦用いる多元共重合体において（Ａ）の第一重合
性物質は約−θ〜約約７壬 約−〇モルチ以下ではレジストの密着性が劣り約７θモ
ルチ以上では感光層の現像性が劣る、特に好ましいのは
約ダＯ〜約３３モルチである。

（Ｂ）の第二重合性物質は約３〜約７０モルチが好まし
く、約３モルチ以下ではレジストの剥膜性が劣り、約７
０％ルー以上ではレジストのアルカリｍ＊＊耐性に欠け
る、特に好ましいのは約３〜約７０モルチである。

（Ｃ）　（ｔ）第三重合性物質は約−３〜約７０−Ｅニ
ル−が好ましく約２３モルチ以下では現像性が不良で約
７０％ルー以上ではレジストの耐アルカリ現儂液性が劣
る。

本発明に用いる多元共重合体の重量平均分子量は、約よ
０００から約ｔｏｏａｏｏｏ　が適当であり、約ｓ．ｏ
ｏｏ以下ではテントの強度が劣り、約ｔｏｏａ０００以
上では現像性が劣る。＃ＫｔＨ−ましくは、約２ＱＯＯ
Ｏから約コｋＱＯＯＯである。

好ましい共重合体の具体例を第１表に示すが、これのみ
に限定されるものではない。これらの共重合体は当業者
には公知の任意の重合技術により製造することができる
。

本発明の光重合性組成物に好適に用いられる、重合性不
飽和化合物は、分子中に少なくとも２個のエチレン不飽
和二重結合を含有するものであり付加重合しうるもので
あればよい。そして１種又は２種以上の化合物を存在さ
せることができる。

好ましい具体例としては、特公昭３！ｒ−１０９３号、
特公昭Ｊ！ｒ−／弘’１１９号、特公昭リグ−λｇ７２
７号の各明細書に記載されている、ポリオールのアクリ
ル酸又はメタクリル醗エステル類、すなワチジエチレン
グリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリ
コールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコ
ールジ（メタ）アクリレート、ノナエチレングリコール
ジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（
メタ）アクリレート、トリメチロールプロノＱントリ（
メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ
）アクリレート、インタエリスリトールテトラ（メタ）
アクリレート、ジにンタエリスリトールベンタ（メタ）
アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）
アクリレート、１．６−ヘキサンシオールジ（メタ）ア
クリレート等、又はビス（メタ）アクリルアミド類、す
なわちメチレンビス（メタ）アクリルアミド、エチレン
ビス（メタ）アクリルアミド、ｍ−キシリレンビス（メ
タ）アクリルアミド等、あるいはウレタン基を含有する
化合物、すなわち、ジ（−一メタクリロ牛ジエチル）コ
、ｌＩ−トリレンジウレタン、ジー（コーアクリロキシ
エチル）へキサメチレンジウレタン、又はポリオールと
ジイソシアネートとを予め反応させて得られる末端イソ
シアネート化　　゛合物に更にβ−ヒドロキシアルキル
（メタ）アクリレートを反応せしめることで得られる（
メタ）アクリルウレタンオリゴマー、例えばすなわち、
コ、タートリレンジイソシアネートヲタモルとエチレン
グリコールを３モルとの反応生成物に７モルのβ−ヒド
ロキシエチルアクリレ−１ｔ−反応して得られるオリゴ
マー又は２．２−ビス（ヒドロキシフェニル）−フロノ
ξン、λ、２−ビス（ヒドロキシエトキシフェニル）プ
ロパン、コ９，２−ビス（ヒドロキシエトキシエトキシ
フェニル）プロパン等のジアクリレート等が挙げられる
。

重合性不飽和化合物の含有量は光重合性組成物の全重量
基準で、好ましくは約７．ｙ−６３重量％、そしてより
好ましくは約１３〜４！、を重量−である。

本発明の光重合性組成物に好適に用いられる光重合開始
剤としては、前記重合性不飽和化合物の重合を開始させ
うる単一の化合物、または二種以上の化合物の組合せた
光重合開始剤系はすべて用いることができる。好ましく
は、この光重合開始剤又は光重合開始剤系は約３０００
〜ｔｏｏｏｈ。

好ましくｆｉ３３００−！０００にの範囲内に少なくと
も約ｇｏの分子吸光係数を有する成分を少なくとも一種
含有している。

光重合開始剤の好ましい具体例として、次の化合物を挙
げることができる。芳香族ケトン類、例えばベンゾフェ
ノン、＄、！’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノ
ン、ｐ、４＜’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノ
ン、ダーメトキシーダ′−ジメチルアミノベンゾフェノ
ン、ｐ、４Ｉ’−ジメトキシインシフエノン、ダージメ
チルアミノベンゾ７二ノン、ダージメチルアミノアセト
フェノン、ベンジル、アントラキノン、２−ｔｅｒｔ　
−ブチルアントラキノン、コーメチルアントラキノン、
７エナントラキノン、キサントン、チオキサントン、λ
−クロルーチオキサントン、コ、ｌＩ−ジエチルチオキ
サントン、フルオレノン、アクリドンおよびベンゾイン
、ベンゾインエーテル類、例エハヘンゾインメチルエー
テル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピル
エーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイ
ンフェニルエーテル、ベンジルジメチルケタールおよび
コ、り。

３−トリアリールイミダゾール二量体類、例えばコー（
０−／ロロフェニル）−ａ、ｓ−ジフェニルイミダゾー
ルニ量体、コー（０−クロロ７エ二ル）−＋、、１−ジ
（ｍ−メトキシフェニル）イミタソールニ量体、コー（
ｏ−フルオロフェニル）−タ、ヨージフェニルイミダゾ
ールニ量体、コー（０−メトキシフェニル）−＃、ｓ−
ジフェニルイミダゾールニ量体、λ−（ｐ−メトキシ７
エ二ル）−〇、ｊ′−ジフェニルイミダゾールニ量体、
およびポリハロゲン化合物、例えば四臭化炭素フェニル
トリブロモメチルスルホン、フェニルトリクロロメチル
ケトン、および特開昭！Ｊ−７．７．７’７２１号、特
公昭ｚｙ−ｉｔｉｑ号、特公昭３７−ｂｏｑｂ号、米国
特許第、ｙ６ｉｓ；弘ｊｊ号各公報類に開示されている
化合物。二種以上の組合せ、例えばコｅ４’＊ｊ　　）
！Ｊアリールイミダゾールニ量体とλ−メルカプトベン
ズオキサゾール又はロイコクリスタルバイオレット等と
の組合せ、また米国特許第Ｊ’１２７／ｌ、／号明細書
く記載のり、ｌＩｌ　＋＋ビス（ジメチルアミノ）ベン
ゾフェノンとベンゾフェノン又はベンゾインメチルエー
テルとの組合せおよび米国特許第１Ｉ２３９１！；０号
明細書に記載の、ベンゾイル−Ｎ−メチルナフトチアゾ
リンと２．ダービス（トリクロロメチル）−ルー弘−メ
トキシフェニルトリアゾールの組合せ、また特開昭５７
一−３４０２号公報に記載のジメチルチオキサントンと
ダージアルキルアミノ安息香酸エステルの組合せが挙げ
られる。

光重合開始剤又は光重合開始剤系の含有量は好ましくけ
光重合性組成物の総重量基準で約０．１〜７０重量％そ
してより好ましくは約０．２〜６重量−である。

本発明の光重合性組成物は、光重合開始剤とエチレン不
飽和化合物と結合剤を必須成分とするが、必要に応じて
熱重合防止剤、可塑剤、色素、変色剤、単官能エチレン
不飽和化合物、さらに基体表面への密着促進剤およびそ
の他の助剤類を併用してもよく、これによって目的とす
る感光層の写真性、焼出し性、膜物性等の性質を調節す
ることができる。

熱重合防止剤は、本発明の光重合性組成物の熱的な重合
又は経時的な重合を防止するために添加するもので、例
えば、ｐ−メトキシフェノール、ヒドロキノン、ｔ−ブ
チルカテコール、ピロガロール、コーヒドロキシベンゾ
フエノン、グーメトキシ−２−ヒドロキシベンゾフェノ
ン、塩化第１銅、フェノチアジン、クロラニル、ナフチ
ルアミン、β−ナフトール、コ、６−ジーｔ−ブチルー
ｐ−クレゾール、ニトロベンゼン、ジニトロベンイン、
ピクリン酸、ｐ−トルイジン等が挙げられる０ ２可塑剤は、感光層およびレジスト像の膜物性をコント
ロールするために添加するもので、例えば１ジブチルフ
タレート、ジアリルフタレート、ジオクチルフタレート
、ジアリルフタレート等の７タル酸エステル類；トリエ
チレングリコールジアセテート、テトラエチレングリコ
ールジアセテート等のグリコールエステル類；トリクレ
ジルホスフェート、トリフェニルホスフェート等のリン
酸エステル１ｌｙｐ−）ルエンスルホンアミド、ベンゼ
ンスルホンアミド、Ｎ−ｎ−ブチルアセトアミド等のア
ミド類；ジイソブチルアジペート、ジオクチルアジは一
ト、ジメチルセパケート、ジオクチルアゼレート、ジブ
チルマレート等の脂肪族二塩基酸エステル類；クエン酸
トリエチル、クエン酸トリブチル、グリセリントリアセ
チルエステル、ラウリン酸ブチル、４ｔ、！−ジェポキ
シシクロヘキサンー１．コージカルボン酸ジオクチル等
が挙げられる。

色素の例は、ブリリアントグリーン、エオシン、エチル
バイオレット、エリスロシンＢ１メチルグリーン、クリ
スタルバイオレット、ペイシックツクシン、フェノール
フタレイン、７．３−ジフェニルトリアジン、了りザリ
ンレッドＳ１チ七−ル７タレイン、メチルバイオレット
２Ｂ、キナルジンレッド、ローズベンガル、メタニル−
イエロー、チモールスルホフタレイン、キシレノールブ
ルー、メチルオレンジ、オレンジＮ１ジフェニルチオカ
ルバゾン、コ、クージクロロフルオレセイン、ノラメチ
ルレツド、コンゴーレッド、ベンゾプルプリン参Ｂ１α
−す７チルーレツド、ベンゾプルプリン＃Ｂ、α−ナフ
チルレッド、ナイルブルーＡ１７エナセタリン、メチル
バイオレット、マラカイトグリーン、バラツクシン、オ
イルブルー＝ｂ。

３〔オリエント化学工業■製〕、ビクトリアピュアブル
ーＢＯＨ，スピロンブル一〇Ｎ（保士谷化学工業■製〕
、ローダミンＢ１０−ダミン６Ｇなどである＠ 変色剤は、露光により可視儂を与えることができるよう
に光重合性組成物に添加される。これらの具体例として
、前記色素の他にジフェニルアミン、ジベンジルアニリ
ン、トリフェニルアミン、ジエチルアニリン、ジフェニ
ル−ｐ−７二二レンジアミン、ｐ−トルイジン、ダ、４
！′−ヒフェニルジアミン、０−クロロアニリン、ｐ、
　ｐ’　、　ｐ”　−ヘキサメチルトリアミノトリフェ
ニルメタン、ｐ。

ｐ′−テトラメチルジアミノトリフェニルメタン、ｐ、
ｐ’、ｐ”−トリアミノトリフェニルカルビノール、ロ
イコメチルバイオレッ′ト等が挙げられる。

密着促進剤の具体例としては、ベンズイミダゾール、ベ
ンズチアゾール、ベンズオキサゾール、ベンズトリアゾ
ールなど特公昭！０−９／７７号に記載の化合物、コー
メルカブトベンズチアゾール、−一メルカブトベンズイ
ミダゾールなど特開昭ｊ−、７−７０：１号忙記載の化
合物等が挙げられる。

本発明の光重合性組成物は、前述の各種構成成分を溶媒
中に溶解せしめ、所望の支持体上に公知の方法により塗
布して用いられる。その場合に使用される溶媒としては
エチレンジクロリド、モノクロルベンゼン、シクロヘキ
サノン、メチルエチルケトン、アセトン、酢酸メチルセ
ロソルブ、酢酸エチル、酢酸メチル、メタノール、エタ
ノール１ｎ−プロノノール、インプロパツール、ｎ−ブ
タノール、ｌ−メトキシーコープロＡノール、コーメト
キシー７−プロＡノール、ｌ−メトキシーコーアセトキ
シプロパン、−一メトキシー／−アセトキシプロ／ｑン
、メチルセロソルブ、トルエン、キシレンなどの単独、
又は混合物である。

本発明の光重合性組成物は、ドライフィルムレジストの
フォトレジスト層として好適である。その場合、フォト
レジスト層の厚みとしては　０．７μから５００μが適
当であり、特に好ましくはｌμから２００μの範囲であ
る。また本発明の光重合性組成物を用いて感光性平版印
刷版を製造する場合、塗布量は一般的に乾燥時０．／　
−１０，０？／ｍ２　　が適当であ０４ＩＩＣ好まＬ　
＜　ｆｆ：、０．　！ｒ　〜！ｒ、０？／ｍ２　である
。

本発明の光重合性組成物をドライフィルムレジストとし
て使用する場合、好適な支持体としてポリアミド、ポリ
オレフィン、ポリエステル、ビニル重合体およびセルロ
ースエステルなどのフィルムから選ばれ３μから７００
μの厚みを持つものがよい。特に好適な支持体フィルム
は約２３μの厚さを持つ透明なポリエチレンテレフタレ
ートフィルムである。又この場合好適な保護フィルムと
してはポリオレフィンが挙げられ、特に好ましいものと
して２０〜２ｊμの厚さのポリエチレンフィルムを挙げ
ることができる。

また本発明の光重合性組成物上フォトマスク用フィルム
の製造に使用する場合、好適な支持体としてはアルミニ
ウム、アルミニウム合金やクロムを蒸着させたポリエチ
レンテレフタレートフィルムや着色層を設けたポリエチ
レンテレ７タレートフイルムを挙げることができる。

また本発明の光重合性組成物を感光性平版印刷版の感光
層として使用する場合の好適な支持体としては、親水化
処理したアルミニウム板、たとえばシリケート処理した
アルミニウム板、陽極酸化したアルミニウム板、砂目立
てしたアルミニウム板、シリケート電着したアルミニウ
ム板があり、それ以外にも、亜鉛板、ステンレス板、ク
ローム処理鋼板、親水化処理したプラスチックフィルム
や紙を挙げることができる。

また印刷用カラープルーフ、オーバーヘッドプロジェク
タ−用フィルム、第一原図用フィルムの製造忙、本発明
の光重合性組成物を用いる場合、これらに適する支持体
としてはポリエチレンテレ７タレートフイルム、三酢酸
セルａ−ズフイルム等の透明フィルムや、これらのプラ
スチックフィルムの表面を化学的又は物理的にマット化
したもｏｔ−挙げることができる。

本発明の光重合性組成物は、弱アルカリ水溶液によって
ｆｉ儂できる。また水と混和性の有機溶剤を少量（約２
０重量％以下）含んでいてｔ屯い。

添加する適轟な塩基としてはアルカリ金属又はアンモニ
ウム、ダ級アンモニクムの水酸化物、炭酸塩、重炭酸塩
、ケイ酸塩、リン酸塩、ピロリン酸塩、酢酸塩及びアミ
ン類から選はれる。それらの具体的な例としては、水酸
化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸
化アンモニウム、トリメチルベンジルアンモニウムヒド
ロキシド、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナ
トリウム、炭酸水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、リン
酸ナトリウム、リン酸カリウム、ピロリン酸ナトリウム
、酢酸ナトリウム、ジェタノールアミン、トリエタノー
ルアミンが挙げられる。特に炭酸ナトリウムのｌ−コチ
水溶液が好ましい。

本発明の結合剤を含む光重合性組成物が、フィルム形成
時の可撓性、基体との密着性に優れ容易なレジスト剥膜
性を有し、しかも原稿画像の忠実な再現性および高い解
儂力を与えることは驚くべきことである。結果として、
高精度で基体の加工が可能となる。

さらに本発明の光重合性組成物は耐コールドフロー性が
優れていて、表面の粘着性の低いフォトレジスト表面を
与える。ｉた基体への密着性が優れているため通常の塩
化第二鉄水溶液、過硫酸アンモニウム水溶液等のエツチ
ング液に対してもまたハンダメッキ、ピロリン酸鋼メッ
キ、硫酸銅メッキやその他の通常のメッキ処理中におい
ても十分なレジスト性を有している。

本発明の組成はフォトレジストに特に好ましく適用でき
るが、別の用途にも有利である。例えば、本発明の組成
物は、予め感光性を付与した平版印刷版ＣＦ２版）の製
造にも使用することができる◎「実施例」 実施例／−／３ 本発明の第１表に記載した共重合体あるいは比較のため
に第２表に記載した比軟用共重合体を含み、他の要素は
同一の下記感光液を調製し、ロッドコーターで、−３μ
厚のポリエチレンテレ７タレートフイルムに乾燥膜厚が
約３０μになるように塗布し、ｌＱＯｏＣのオーブン中
で３分間乾燥した。

結合剤（第１表及び第２表記載）の　　’Ｉ！？ｆ３３
重量％溶液 Ｊ、ｌ−ジメチルチオキサントン　　　０．３ｆｐ−ジ
メチルアミノ安息香酸エテル　０．３Ｊ　？トリフロモ
メチルフェニルスルホン　　　　　ｏ、ＩＩｙトリメゾ
ロールプロパン）９７　　　　　ｓ、Ｏｆクリレート トリメチロールプロパンシフ／　　　　　！ｒ、Ｏｆリ
レート テトラエテレングリコールジア　　　　コ、ｏｙ−クリ
レート ロイコメチルバイオレット　　　　　ｏ、ｏｔｙ／−フ
ェニル−３−モルホリノ　　　ｏ、ｏｑｙ−メチル−／
、３．ｌＩ−トリア ゾール−コーチオン ビクトリアピュアブルーＢＯＨＯ，０／　？メチルセロ
ソルブ　　　　　　　　　　　１０ｙ−整面し、乾燥し
た鋼張積層板上に、上記塗膜面が銅表面に接触するよう
に、ＡコｌＩｍラミネーター（ＤｕＰｏｎｔ社製）を用
いて７２０°（４”ラミネートした。配線パターン（導
体パターン（線幅１００μ）が不透明背景上に透明部分
として現れている高コントラスト透明体画像）Ｉｋ通し
て露光した（コＫＷ超高圧水銀灯ニジエツトライト（オ
ーク■製）ｔ−使用）。−ポ、リエテレンテレフタレ−
トフイルムを剥ぎ取ｔ）、ＵＯ″Ｃｏ／重量％炭酸ナト
リウム水溶液を／　、　！ｒ　ｋｆ／　ｃｍ２で６θ秒
間スプレーするととにより未露光部を除去した。得られ
るレジスト像の画像の形成状況や画線の切れ全観察し、
更に画線幅の太りを測定した。次に配線パターンの代９
に解像力チャートを焼きつけて、上記と同様に未露光部
を除去してレジスト像が判別できる線幅を観察して解像
力とした。また、内径コ、ｊ１１ｍｌのスルホール１０
０個を有する両面鋼張積層板の両側に、同様圧してレジ
ストフィルムをラミネー）ｔ、、ＪＫＷ超高超高圧水銀
灯両面同時１装光装置Ｈ−ｂ−Ｎ型（オーク■製）Ｋ：
！り、スルホール上にランド径Ｊ、９１１１１の円形ノ
ターンを焼きつけて上記と同様に未露光部を除去してテ
ントを形成した。テントの強度を評価するため、この板
ｔ−３４Ａ０Ｃでｚｋｐ／ｅｍ２ｒ）熱水スプレーヲ通
過させた後で破れないで残っているテントの数を数えて
、テントの残存率（チ）を求めた。

導体ノにターンを焼き付は現像した銅張積層板を塩化第
一鉄の３！チ水溶液のスプレー（ダ０°Ｃ１／　、　ｓ
　ｋｇ／ｃｍ２）でエツチングした。エツチングはレジ
スト画線に覆われていない部分の銅が完全に溶解するま
で実施した。エツチングした板を水洗し、乾燥して未だ
レジストで被覆されている銅の導体パターンを得た。と
のレジス）ｉ４Ｌ＜７°Ｃのタチ水酸化ナトリウム水溶
液で１分間スプレーして銅の表面から剥膜して剥膜性を
調べた◇これらの結果を第３表に示す。

第３表の結果より明らかなように、本発明の重合体を用
い九場合には、レジスト画線の質が良好で、画線幅の再
現性に優れかつ、高解像力が得られる。またテントの強
度も高く、剥膜性も良好である。

実施例　／４Ｉ 下記組成の感光液を調製し、ロッドコーターで、１５μ
厚のポリエチレンテレフタレートフィルムに乾燥膜厚が
約５０μになるように塗布し、ｌＯＯｏＣのオーブン中
でＳ分間乾燥して、感光層を形成した。

２、ダージメテルテオキサントン　　０．３を亭−Ｎ、
Ｎ−ジメチルアミノ安息　　０．３ｙ−香酸エテル トリメデロールプロノ２ンジアクリ　　４ｔ、Ｏｆレー
ト トリメテロールプαノ破ントリアク　　λ、４１？リレ
ート コ、−一ビス（アクリロイルオキ　　！、６？ジェトキ
シエトキシフェニル） 一ブーツにン ロイコメチルバイオレット　　　　　０．Ｏｔｆトリフ
ロモメチルフェニルスル　　　Ｏ，ダ？ホン ／−７二二ルー３−モルホリ／　　　０．Ｏｇｆメチル
−／、Ｊ、ダートリア ゾールーコーテオ／ ビクトリアビニアープルーＢＯＨｏ、ｏｏｔ　）共重合
体（第１表の番号ｌ）の　　　　ダｊ？メチルセロソル
ブ／メチルエ チルケトン（／’／／）３３重 量−溶液 メテルセロノルブ　　　　　　　　　　　１０ｆこの感
光性ドライフィルムレジスト材料ヲ実施゛例１と同様に
して銅張積層板上にラミネートした。

光学濃度差０．１！のステップウェッジを重ね、ジェッ
トライト（オーク■製）で２０カウント露光した。ポリ
エチレンテレフタレートフィルムを剥ぎ取った後で、ダ
０６Ｃｏｉ−炭酸ナトリウム水溶液ｔ−６０秒間スプレ
ーすることで未露光部を溶解した。こうして得られるス
テップウェッジの画僚の段数を読みとったところ、ｔｗ
ｉｔまで硬化していた。

また本組成物を用いて得られた配ｆｓノターンのレジス
ト像は３０μの解像力を持ち原稿の忠実な線幅の再現を
示した。また、塩化第二鉄のエツチング液、硫酸鋼メッ
キ液、ピロ銅メッキ液、ハンダメッキ液に十分耐えるも
のであつ九。

そして、得られたレジストを剥離するＫは、ＩＩＯｏＣ
で１Ｉｑｂ水酸化ナトリウム水溶液を八！ｒｋｐ／ｅｌ
１２でコ分間吹きつけることにより可能であった。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 分子中に少なくとも２個のエチレン性不飽和二重結合を
   含有する付加重合性不飽和化合物と光重合開始剤および
   結合剤を含有する光重合性組成物において、前記結合剤
   が次の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）の各群より少なくとも１
   種ずつ選ばれた重合性物質を共重合させたものであり、
   重量平均分子量が５，０００〜１，０００，０００の多
   元共重合体であることを特徴とする光重合性組成物。 （Ａ）下記一般式（ I ）で表わされる重合性物質▲数
   式、化学式、表等があります▼（ I ） （ただし、式中Ａｒは置換もしくは無置換のフェニル基
   ） （Ｂ）下記一般式（II）で表わされる重合性物質▲数式
   、化学式、表等があります▼（II） （ただし、式中Ｒは炭素数１〜６のアルキル基） （Ｃ）α，β−不飽和カルボン酸である重合性物質