JPS61214351A - 管球類の金属蒸着被膜形成装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、バルブ内面に環状の金属蒸着被膜を形成する
管球類の金属蒸着被膜形成装置に関する。

従来の技術 従来、蒸着金属を内部に配した上端開口の規正筒と、そ
の規正筒よシ支持線で規正筒の上部に支持された円板状
の規正体とをバルブ内に設け、バルブ内面に所定の幅を
持った環状の金属蒸着被膜を形成する装置が発明者らに
よって提案されている（特公昭５８−３０９４５号）。

そして、円板状の規正体は、規正筒の上部にこの規正筒
に取付けられた支持線でもって支持されていた。

発明が解決しようとする問題点 ところが、このような蒸着装置で蒸着する場合に、支持
線によって蒸着金属が遮蔽され、遮蔽された部分の金属
蒸着被膜が他の部分より薄くなるか、前記被膜の上端、
下端に支持線による未蒸着部が発生した。

かかる支持線による金属蒸着被膜形部の膜薄。

膜欠けを解決するために、前記支持線径を１朋以下にし
た場合、蒸着機の振動が支持線を振動させ、上部規正体
も振動し、上部規正体によって規正される金属蒸着部上
端ラインが不鮮明となる。また、蒸着を繰シ返えして行
ってゆくと、支持線に曲シが生じる。

前記支持線の形状を円柱から矩形断面支持性とし、バル
ブ内面に向く一短辺を０．６ｆｆとし、バルブ中心部に
向く一長辺を１．５ｆｆとしたが、完全な問題点の解決
はできなかった。

問題点を解決するための手段 支持柱の存在によって起こる前記一部膜薄および膜ライ
ンの欠けを解決するために、前記蒸着規正筒、規正体を
蒸着期間中回転させるようにしたものである。

作用 この構成によシ、支持線を太くすることができて、蒸着
機の振動が支持線によって規正体に増幅して伝えられる
のが防げ、また蒸着金属の蒸発蒸気が支持線で局部的に
飛散防止されるのが防げ、よって蒸着金属膜の局部的な
膜薄および膜規正ラインの欠けを防ぐことができる。

実施例 以下、本発明の一実施例について図面とともに説明する
。

第１図において、蒸着ポット１は開閉弁２を介して真空
系に接続されている。支持台３は、蒸着ポット１の底面
を通して外部に導出され、その先端部には歯車４が取シ
付けられておシ、さらにこの歯車には別の歯車６がかみ
合うことにより、歯車４が駆動されるようになっている
。

蒸着ポット１の底面と支持台３とは回転真空シール６で
、蒸着ボット１内の真空度を維持しつつ回転可能にされ
ている。支持台３の上部には規正筒７と支持線８によっ
て支持された規正体９とが取り付けられている。規正筒
７の先端部は、この中に蒸着金属１０が配設できるよう
にするため、分離できるようになっており、下側の簡７
凰に上側の筒７ｂが嵌合されている。電極棒１１は、絶
縁板１２によって所定の間隔に維持されて規正筒７の中
に設けられ、その画先端間に蒸着コイル１３が取り付け
られている。バルブ１４は蒸着ポット１の開口部をふさ
ぐようにこの開口部に設置される。そしてバルブ１４の
中には、その内面に接触することなく規正体９と規正筒
７が設けられる。

次にかかる装置の操作および動作について説明する。

まず、蒸着ポット１の中に、支持台３と規正筒７の筒７
＆と電極棒１１で支持された蒸着コイル１３とを設ける
。次に、蒸着コイル１３内に蒸着金属１０を挿入した後
、簡７＆に支持棒８によシ連絡された規正体９を有する
簡７ｂを嵌合する。

そして、蒸着ポット１にバルブ１４を挿入し、第１図に
示す状態に装置を設定する。

そこで、開閉弁２を開けて蒸着ポット１内を真空に保ち
つつ、電極棒１１に通電すると同時に、駆動中の歯車５
を、支持台３の蒸着ポット１の外部に取シ付けた歯車４
に接続して、支持台３上に設置した規正筒７および規正
体９を回転させつつ蒸着金属１０を蒸発させる。蒸着さ
れた蒸着金属は、規正筒７の開口内縁および規正体９の
外縁で規正されて、所定の幅の環状の金属蒸着被膜１５
がバルブ１４の内面に形成される。

第１図に示す構造のものにおいて、バルブ１４としてム
７０φのもの、規正体９として直径３４ｍｍの円板状の
もの、また規正筒７として直径３１ｍｍのものをそれぞ
れ用い、相互の関係をａが５１１ＩＩＩ１１ｂが１９ｍ
ｍ、ｃが１５市、ｄが３４市、ｅが３９１ｎａＩとなる
ように設定した。蒸着条件は、バルブ１４内を１０　　
’ｍｍＨｇの真空に保ち、蒸着金属として直径０．５ｍ
ｍ、長さ１８１１１ｆｌ＋のアルミニウム線を用いて、
蒸着コイル１３間にｓＶ　、３５ム、１０秒間通電し、
この間に規正筒７および規正体９を１回または２回回転
させた。とれによって、バルブ１４内面に形成された金
属蒸着被膜１５は、Ｘが３６鰭、Ｙが１５ｍｍ、　Ｚが
１６印であった。同被膜の端縁は、凹みがなくすっきり
として美しく、また支持線８による局部的な膜薄もなく
なった。

発明の詳細 な説明したように、本発明は従来のように、バルブ内面
に形成された金属蒸着膜の支持線による局部的な膜薄お
よび膜端部の凹みをふせぐことを可能とした管球類の金
属蒸着被膜形成装置を提供することができるものである
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である装置を用いて管球類の
金属蒸着被膜を形成する説明図、第２図は同装置と同被
膜との関係を示す図である０１・・・・・・蒸着ポット
、３・・・・・・支持台、４・・・・・・歯車、６・・
・・・・歯車、７・・・・・・規正部、８・・・・・・
支持線、９・・・・・・規正体、１０・・・・・・蒸着
金属、１１・・・・・・電極棒、１３・・・・・・蒸着
コイル、１４・・・・・・パル７”、１５・・・・・・
金属蒸着被膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 蒸着金属が内部に配される上端開口の規正筒と、前記規
   正筒の上端開口部の上方に配された円板状の規正体とを
   備え、バルブ内に前記規正筒およびこのバルブ内面に接
   触することなく前記規正体を設け、前記蒸着金属の前記
   バルブ内面への蒸着域を前記規正筒の開口内縁および前
   記規正体の外縁で規正することにより、所定の幅を持っ
   た環状の金属蒸着被膜を前記バルブ内面に形成する装置
   において、蒸着期間中、前記蒸着規正筒および前記規正
   体を回転するようにしたことを特徴とする管球類の金属
   蒸着被膜形成装置。