JPS61217574A - 蒸着膜の補強方法 - Google Patents
蒸着膜の補強方法Info
- Publication number
- JPS61217574A JPS61217574A JP5930485A JP5930485A JPS61217574A JP S61217574 A JPS61217574 A JP S61217574A JP 5930485 A JP5930485 A JP 5930485A JP 5930485 A JP5930485 A JP 5930485A JP S61217574 A JPS61217574 A JP S61217574A
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- JP
- Japan
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- fluororesin
- vapor
- metal
- vapor deposition
- deposition film
- Prior art date
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- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は蒸着膜の補強方法に関するものである。
さらに詳しくは、本発明はフッ素樹脂もしくはセ・ラミ
ック等の比較的耐熱性の良好な材料からなる基体に真空
蒸着法もしくはスパッタリング法により蒸着された金属
あるいは金属化合物の蒸＠膜の補強方法に間するもので
ある。
ック等の比較的耐熱性の良好な材料からなる基体に真空
蒸着法もしくはスパッタリング法により蒸着された金属
あるいは金属化合物の蒸＠膜の補強方法に間するもので
ある。
従来の技術
従来、プラスチック、セラミック、ガラスあるいは金属
などの基体に、真空蒸着法あるいはスパッタリング法に
より金属、金属酸化物あるいはその他の金属化合物を蒸
着してｓｍを形成する方法が多くの分野で採用されてい
る。
などの基体に、真空蒸着法あるいはスパッタリング法に
より金属、金属酸化物あるいはその他の金属化合物を蒸
着してｓｍを形成する方法が多くの分野で採用されてい
る。
発明が解決しようとする問題点
ところが、蒸着膜を形成する基体材料が殊にフッ素樹脂
、セラミックあるいはガラスの場合には、蒸着膜のこれ
らの基体への固着強度は必ずしも大きくなく、そのため
蒸着膜がしばしば剥離するという現象が認められた。こ
の蒸着膜の耐剥離性を向上させるために、例えば２枚の
プラスチックフィルムの間に蒸！１１１！１層を挟持一
体化するという方法が特別な用途のためには採用されて
いる。しかし、蒸着膜材料の特性が要求される用途の場
合には、この方法は効力を発揮し得ない。
、セラミックあるいはガラスの場合には、蒸着膜のこれ
らの基体への固着強度は必ずしも大きくなく、そのため
蒸着膜がしばしば剥離するという現象が認められた。こ
の蒸着膜の耐剥離性を向上させるために、例えば２枚の
プラスチックフィルムの間に蒸！１１１！１層を挟持一
体化するという方法が特別な用途のためには採用されて
いる。しかし、蒸着膜材料の特性が要求される用途の場
合には、この方法は効力を発揮し得ない。
問題点を解決するための手段
本発明はフッ素樹脂あるいはセラミック等の耐熱性を有
する基体に金属、金属酸化物あるいはその他の金属化合
物を真空蒸着法もしくはスパッタリング法により蒸着せ
しめ、その上にフッ素樹脂の水もしくは有機溶媒懸濁液
を吹きつけ、浸漬などによって付着せしめた後、加熱処
理することによって、上述の如き問題点を解決するもの
である。
する基体に金属、金属酸化物あるいはその他の金属化合
物を真空蒸着法もしくはスパッタリング法により蒸着せ
しめ、その上にフッ素樹脂の水もしくは有機溶媒懸濁液
を吹きつけ、浸漬などによって付着せしめた後、加熱処
理することによって、上述の如き問題点を解決するもの
である。
作 用
蒸着膜は、蒸着ｍあるいは蒸着条件にもよるが、多（の
場合、多孔性である。したがって、フッ素樹脂の懸濁液
で処理すると、フッ素樹脂の粒子（約０．２μ）が蒸着
膜の孔の一部に侵入し、蒸着膜の補強をする。
場合、多孔性である。したがって、フッ素樹脂の懸濁液
で処理すると、フッ素樹脂の粒子（約０．２μ）が蒸着
膜の孔の一部に侵入し、蒸着膜の補強をする。
ここで、蒸着膜を処理する上でフッ素樹脂の水もしくは
有機溶媒懸濁液が必須である理由は、フッ素樹脂が他の
プラスチック材料のように膜状になって蒸着膜の全面を
被覆することなく点状に付着するので、蒸着膜が露出し
ている部分も充分多い状態にすることが可能だからであ
る。このような意味からすると、蒸着膜をフッ素樹脂膜
で処理した後の加熱処理の際の温度は、用いるフッ樹脂
の転移点あるいは融点よりも低くする方がよい。
有機溶媒懸濁液が必須である理由は、フッ素樹脂が他の
プラスチック材料のように膜状になって蒸着膜の全面を
被覆することなく点状に付着するので、蒸着膜が露出し
ている部分も充分多い状態にすることが可能だからであ
る。このような意味からすると、蒸着膜をフッ素樹脂膜
で処理した後の加熱処理の際の温度は、用いるフッ樹脂
の転移点あるいは融点よりも低くする方がよい。
蒸着膜の表面に付着すべきフッ素樹脂の懸濁液としては
、ポリ４フツ化エチレンの水懸濁液、あるいは４フッ化
エチレン−６７ツ化プロピレンコポリマーの水もしくは
有機溶媒懸濁液が適している。またこれらの懸濁液の中
にさらに、粉末状の４７フ化エチレン−６フツ化プロピ
レンコポリマーあるいは４フッ化エチレン−エチレンコ
ポリマーを懸濁させると効果的なこともある。
、ポリ４フツ化エチレンの水懸濁液、あるいは４フッ化
エチレン−６７ツ化プロピレンコポリマーの水もしくは
有機溶媒懸濁液が適している。またこれらの懸濁液の中
にさらに、粉末状の４７フ化エチレン−６フツ化プロピ
レンコポリマーあるいは４フッ化エチレン−エチレンコ
ポリマーを懸濁させると効果的なこともある。
実施例
以下、本発明の実施例について詳述する。
（１）アルミナ基板の片面に、櫛型状に金を冥空蒸着し
た。蒸着膜の厚みは１０００人とした。次にこの金を蒸
着した面に４フッ化エチレン−６フツ化プロピレンコポ
リマーの３０％水懸濁液を吹きつけ、一旦乾燥した後、
２７０℃で熱処理を施した。このように処理した金蒸着
膜を有するアルミナ基板の金蒸着膜部分をキリで傷をつ
けようとしてもつかなかった。しかし、４フッ化エチレ
ン−６フツ化プロピレンコポリマーで処理をしなかった
場合には、金蒸着膜が簡単に剥離した。
た。蒸着膜の厚みは１０００人とした。次にこの金を蒸
着した面に４フッ化エチレン−６フツ化プロピレンコポ
リマーの３０％水懸濁液を吹きつけ、一旦乾燥した後、
２７０℃で熱処理を施した。このように処理した金蒸着
膜を有するアルミナ基板の金蒸着膜部分をキリで傷をつ
けようとしてもつかなかった。しかし、４フッ化エチレ
ン−６フツ化プロピレンコポリマーで処理をしなかった
場合には、金蒸着膜が簡単に剥離した。
なお、上述の金の蒸着面に高分子電解質からなる感湿膜
を１ｋｌＬ、、湿度センサーとしての特性を求めたとこ
ろ、４フッ化エチレン−６７フ化プロピレンコポリマー
で処理しない場合とほぼ同等の特性が得られた。即ち、
櫛型の金蒸着膜は４フッ化エチレン−６フツ化プロピレ
ンコポリマーで処理しても、電極として充分機能するこ
とがわかった。
を１ｋｌＬ、、湿度センサーとしての特性を求めたとこ
ろ、４フッ化エチレン−６７フ化プロピレンコポリマー
で処理しない場合とほぼ同等の特性が得られた。即ち、
櫛型の金蒸着膜は４フッ化エチレン−６フツ化プロピレ
ンコポリマーで処理しても、電極として充分機能するこ
とがわかった。
（２）厚みが５０μの４７フ化エチレン−〇フッ化プロ
ピレンコポリマー膜の片面に銀をスパッタリング法によ
り蒸着した。次にこの銀を蒸着したフッ素樹脂膜を２５
％の固形分を有するポリ４フツ化エチレン水懸濁液に浸
漬し、取り出してから一旦乾燥し、Ｊ［ｌｉに２００℃
で熱処理を施した。このようにして得られた銀を蒸着し
たフッ素樹脂膜の繰り返し折り曲げテストを５０回施し
たが、何等異常は認められなかった。これに対して、ポ
リ４フツ化エチレンで処理していない場合には、３回の
繰り返し折り曲げテストで、銀がフッ素樹脂膜から剥離
してしまった。
ピレンコポリマー膜の片面に銀をスパッタリング法によ
り蒸着した。次にこの銀を蒸着したフッ素樹脂膜を２５
％の固形分を有するポリ４フツ化エチレン水懸濁液に浸
漬し、取り出してから一旦乾燥し、Ｊ［ｌｉに２００℃
で熱処理を施した。このようにして得られた銀を蒸着し
たフッ素樹脂膜の繰り返し折り曲げテストを５０回施し
たが、何等異常は認められなかった。これに対して、ポ
リ４フツ化エチレンで処理していない場合には、３回の
繰り返し折り曲げテストで、銀がフッ素樹脂膜から剥離
してしまった。
発明の効果
以上詳述せる如く本発明は、特に耐熱性のある基体に金
属あるいは金属化合物を蒸着した際の蒸着膜の基体への
固着強度を大きくする上で、顕著な効果を示し、その工
業的価値極めて大である。
属あるいは金属化合物を蒸着した際の蒸着膜の基体への
固着強度を大きくする上で、顕著な効果を示し、その工
業的価値極めて大である。
Claims (1)
- フッ素樹脂もしくはセラミック等の耐熱性を有する基体
に金属あるいは金属化合物を真空蒸着法もしくはスパッ
タリング法により蒸着せしめ、その上にフッ素樹脂の水
もしくは有機溶媒懸濁液を付着せしめた後、加熱処理す
ることを特徴とする蒸着膜の補強方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5930485A JPS61217574A (ja) | 1985-03-22 | 1985-03-22 | 蒸着膜の補強方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5930485A JPS61217574A (ja) | 1985-03-22 | 1985-03-22 | 蒸着膜の補強方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61217574A true JPS61217574A (ja) | 1986-09-27 |
Family
ID=13109496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5930485A Pending JPS61217574A (ja) | 1985-03-22 | 1985-03-22 | 蒸着膜の補強方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61217574A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5143067A (ja) * | 1974-10-09 | 1976-04-13 | Tokyo Shibaura Electric Co | Magunetoron |
-
1985
- 1985-03-22 JP JP5930485A patent/JPS61217574A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5143067A (ja) * | 1974-10-09 | 1976-04-13 | Tokyo Shibaura Electric Co | Magunetoron |
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