JPS61220486A - レ−ザ発振装置 - Google Patents
レ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS61220486A JPS61220486A JP6076685A JP6076685A JPS61220486A JP S61220486 A JPS61220486 A JP S61220486A JP 6076685 A JP6076685 A JP 6076685A JP 6076685 A JP6076685 A JP 6076685A JP S61220486 A JPS61220486 A JP S61220486A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microwave
- discharge tube
- laser
- medium gas
- laser medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分計〕
この発明は、原子が放出するマイクロ波領域の電磁波に
よって励起されるレーザ発振器に関するものである。
よって励起されるレーザ発振器に関するものである。
第２図は従来のこの種レーザ発振装置を示す構成図であ
る。図において、（１）は空胴共振器、（２）は空胴共
振器（１）を貫通してこれの内部に収容され、両端部に
互いに対向する全反射鏡αυと、部分透過鏡ａｚとを装
着した放電管で、この放電管（２）内と、この放電管（
２）の両端部を互いに連通させる連通管−内にはレーザ
媒質ガス（３）が封入されておシ、このレーザ媒質ガス
（３）は、連通管（イ）Ｋ装着された熱交換器（４）に
よって冷却され、さらにとの熱交換器（４） Ｋ １ｍ
接する送風機（５）によって矢印方向に循環するように
なされている。（８）は空胴共振器（１）内に連通ずる
導波管（９）の一端に装着されたマグネトロン等からな
るマイクロ波発生器で、このマイクロ波発生器（８）は
所定電圧の電源（６）に対応するマイクロ波（７）を出
力するよ、うＫなされており、また空胴共振器（１）は
このマイクロ波（７）の周波数に共振するように構成さ
れている。
る。図において、（１）は空胴共振器、（２）は空胴共
振器（１）を貫通してこれの内部に収容され、両端部に
互いに対向する全反射鏡αυと、部分透過鏡ａｚとを装
着した放電管で、この放電管（２）内と、この放電管（
２）の両端部を互いに連通させる連通管−内にはレーザ
媒質ガス（３）が封入されておシ、このレーザ媒質ガス
（３）は、連通管（イ）Ｋ装着された熱交換器（４）に
よって冷却され、さらにとの熱交換器（４） Ｋ １ｍ
接する送風機（５）によって矢印方向に循環するように
なされている。（８）は空胴共振器（１）内に連通ずる
導波管（９）の一端に装着されたマグネトロン等からな
るマイクロ波発生器で、このマイクロ波発生器（８）は
所定電圧の電源（６）に対応するマイクロ波（７）を出
力するよ、うＫなされており、また空胴共振器（１）は
このマイクロ波（７）の周波数に共振するように構成さ
れている。
従来のレーザ発振装置は上記のように構成されているの
で、マイクロ波発生器（８）が発生するマイクロ波電力
が空胴共振器（１）内において共振されることによって
電界が高くなシ、放電管（２）内でマイクロ被放′電α
値が発生する。彦お、この放電管（２）はガラス等の誘
電体によって作られているので、マイクロ波が放電管（
２）内を容易に通過することができる。そして、マイク
ロ波放電員にマイクロ波電力が吸収されることＫよって
レーザ媒質ガス（３）が励起され、放電管（２）の両端
部にそれぞれ取付けられた会友射鏡αυと、部分透過鏡
ａりとによってレーザ発振現象が発生し、レーザ光ａ階
が出力される。
で、マイクロ波発生器（８）が発生するマイクロ波電力
が空胴共振器（１）内において共振されることによって
電界が高くなシ、放電管（２）内でマイクロ被放′電α
値が発生する。彦お、この放電管（２）はガラス等の誘
電体によって作られているので、マイクロ波が放電管（
２）内を容易に通過することができる。そして、マイク
ロ波放電員にマイクロ波電力が吸収されることＫよって
レーザ媒質ガス（３）が励起され、放電管（２）の両端
部にそれぞれ取付けられた会友射鏡αυと、部分透過鏡
ａりとによってレーザ発振現象が発生し、レーザ光ａ階
が出力される。
なお、電源αｅの電圧制御によシマイクロ波発生器（８
）のマイクロ波電力強度を変換することによって、レー
ザ媒質ガス（３）の励起強度が調整され、レーザ光ａ湯
の出力強度を制（資）することができる。
）のマイクロ波電力強度を変換することによって、レー
ザ媒質ガス（３）の励起強度が調整され、レーザ光ａ湯
の出力強度を制（資）することができる。
従来のレーザ発振装置は上記のように構成されているの
で、高出力のレーザ光ａ３を出力するためには必然的に
長さの長い放電管（２）を必要とするが、この放電管内
に封入されているレーザ媒質ガス（３）の温度上昇によ
ってレーザの励起効率が低下するため、放電管（２）内
におけるマイクロ波放電員部の長さは、一般的にレーザ
光１５０Ｗに対し１５０Ｘ前後が限度である。このため
、必要以上に放電管（２）の長さを長くしてもレーザの
励起効率が低下して高出力のレーザ光α尋を得ることが
できない欠点があった。
で、高出力のレーザ光ａ３を出力するためには必然的に
長さの長い放電管（２）を必要とするが、この放電管内
に封入されているレーザ媒質ガス（３）の温度上昇によ
ってレーザの励起効率が低下するため、放電管（２）内
におけるマイクロ波放電員部の長さは、一般的にレーザ
光１５０Ｗに対し１５０Ｘ前後が限度である。このため
、必要以上に放電管（２）の長さを長くしてもレーザの
励起効率が低下して高出力のレーザ光α尋を得ることが
できない欠点があった。
この発明はかかる点に着目してなされたもので、放電管
の長さを長くすることなく高出力のレーザ光を出力する
ことができるレーザ発振装置を提供しようとするもので
ある。
の長さを長くすることなく高出力のレーザ光を出力する
ことができるレーザ発振装置を提供しようとするもので
ある。
この発明のレーザ発振装置は、高出力のレーザ光を出力
するために、マイクロ波発生器から出力されたマイクロ
波をマイクロ波分配器によって複数の空胴共振器に分配
し、この各空胴共振器に単一の放電管を収容して実質的
に放電管の長さを長くしたものである。
するために、マイクロ波発生器から出力されたマイクロ
波をマイクロ波分配器によって複数の空胴共振器に分配
し、この各空胴共振器に単一の放電管を収容して実質的
に放電管の長さを長くしたものである。
この発明においては、高出力レーザ光を出力するために
、マイクロ波発生器から出力されたマイクロ波をマイク
ロ波分配器によって複数の空胴共振器に分配し、この各
空胴共振器に直管状の放電管を収容することＫよって放
電管内に封入されているレーザ媒質ガスの温度上昇が阻
止され、レーザの励起効率の低下を防止することができ
る。
、マイクロ波発生器から出力されたマイクロ波をマイク
ロ波分配器によって複数の空胴共振器に分配し、この各
空胴共振器に直管状の放電管を収容することＫよって放
電管内に封入されているレーザ媒質ガスの温度上昇が阻
止され、レーザの励起効率の低下を防止することができ
る。
第１図はこの発明の一実施例を示すものであるが、上述
した従来のもの（第２図）と同一符号は同一構成部材に
つきその説明を省略する。
した従来のもの（第２図）と同一符号は同一構成部材に
つきその説明を省略する。
α４はマイクロ波発生器（８）から出力されたマイクロ
波（７）を複数の導波管（９Ａ） 、 （９Ｂ）を介し
て複数の空胴共振器ＣＩＡ） 、 （ＩＢ）に分配する
マイクロ波分配器で、各空胴共振器（ＩＡ） 、 （Ｉ
Ｂ）内に紘、レーザ媒質ガス（３）を封入し、マイクロ
波放電（１０Ａ） 、 （１０Ｂ）を発生させるための
単一の放電管（２）が貫通した状態で収容されている。
波（７）を複数の導波管（９Ａ） 、 （９Ｂ）を介し
て複数の空胴共振器ＣＩＡ） 、 （ＩＢ）に分配する
マイクロ波分配器で、各空胴共振器（ＩＡ） 、 （Ｉ
Ｂ）内に紘、レーザ媒質ガス（３）を封入し、マイクロ
波放電（１０Ａ） 、 （１０Ｂ）を発生させるための
単一の放電管（２）が貫通した状態で収容されている。
（６０）は単一の放電管（２）の両端部を互いに連通さ
せた連通管（１）の中間部と、放電管（２）の中間部と
をバイパスするバイパス管で、このバイパス’ＩＦ（５
０）Ｋａレ−′ザ媒質ガス（３）を冷却する熱交換器（
４）と、レーザ媒質ガス（３）を矢印方向に循環させる
送風機（５）とが装着されている。なお、単一の放電管
（２）内で発生するマイクロ波放電（１０Ａ） 、 （
１０Ｂ）は、空胴共振器（ＩＡ） 、 （ＩＢ）内のモ
ードを適正に設定することによシ、同時に発生させるこ
とができる。
せた連通管（１）の中間部と、放電管（２）の中間部と
をバイパスするバイパス管で、このバイパス’ＩＦ（５
０）Ｋａレ−′ザ媒質ガス（３）を冷却する熱交換器（
４）と、レーザ媒質ガス（３）を矢印方向に循環させる
送風機（５）とが装着されている。なお、単一の放電管
（２）内で発生するマイクロ波放電（１０Ａ） 、 （
１０Ｂ）は、空胴共振器（ＩＡ） 、 （ＩＢ）内のモ
ードを適正に設定することによシ、同時に発生させるこ
とができる。
なお、上述した一実施例は、一対の空胴共振器（ＩＡ）
、 （ＩＢ）を形成した場合について述べたが、一対
以上であっても同様の効果を奏することはいうまでもな
い。
、 （ＩＢ）を形成した場合について述べたが、一対
以上であっても同様の効果を奏することはいうまでもな
い。
以上述べたように、この発明によれば高出力のレーザ光
を出力するために１マイクロ波発生器（８）から出力さ
れたマイクロ波（力をマイクロ波分配器Ｑ４）によって
複数の空胴共振器（ＩＡ） 、 （ＩＢ）に分配し、こ
の冬空胴共振器に単一の放電管（２）を収容するように
したので、放電管（２）内に封入されているレーザ媒質
ガスの温度上昇が凪止され、レーザの励磁効率の低下を
防止することができる優れた効果を有するものである。
を出力するために１マイクロ波発生器（８）から出力さ
れたマイクロ波（力をマイクロ波分配器Ｑ４）によって
複数の空胴共振器（ＩＡ） 、 （ＩＢ）に分配し、こ
の冬空胴共振器に単一の放電管（２）を収容するように
したので、放電管（２）内に封入されているレーザ媒質
ガスの温度上昇が凪止され、レーザの励磁効率の低下を
防止することができる優れた効果を有するものである。
第１図はこの発明の一実施例を示す構成図、第２図は従
来のレーザ発振装置を示す構成図である。 図において、ＣＩＡ） 、 （ＩＢ）は空調共振器、（
２）は放電管、（３）はレーザ媒質ガス、（至）は連通
管、（４）は熱交換器、（５）は送風機、（６）は電源
、（７）はマイクロ波、（８）はマイクロ波発生器、（
１０Ａ） 、 （１０Ｂ）はマイクロ波放電、αυは全
反射鏡、α３は部分透過鏡である。なお、図中同一符号
は同一または相当部分を示す。
来のレーザ発振装置を示す構成図である。 図において、ＣＩＡ） 、 （ＩＢ）は空調共振器、（
２）は放電管、（３）はレーザ媒質ガス、（至）は連通
管、（４）は熱交換器、（５）は送風機、（６）は電源
、（７）はマイクロ波、（８）はマイクロ波発生器、（
１０Ａ） 、 （１０Ｂ）はマイクロ波放電、αυは全
反射鏡、α３は部分透過鏡である。なお、図中同一符号
は同一または相当部分を示す。
Claims (3)
- （１）単一のマイクロ波発生器から出力されたマイクロ
波をマイクロ波分配器によつて複数の空胴共振器に分配
し、この各空胴共振器内に、レーザ媒質ガスを封入しマ
イクロ波放電を発生させる単一の放電管を収容したこと
を特徴とするレーザ発振装置。 - （２）単一の放電管の両端部には、それぞれマイクロ波
放電を所定方向に反射させる全反射鏡と、部分透過鏡と
を設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
レーザ発振装置。 - （３）単一の放電管の両端部を互いに連通させた連通管
の中間部と、単一の放電管の中間部をバイパスするバイ
パス管にレーザ媒質ガスを冷却する熱交換器と、レーザ
媒質ガスを所定方向に循環させる送風機とを設けたこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ発振装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6076685A JPS61220486A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | レ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6076685A JPS61220486A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | レ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61220486A true JPS61220486A (ja) | 1986-09-30 |
Family
ID=13151726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6076685A Pending JPS61220486A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | レ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61220486A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990013151A1 (de) * | 1989-04-17 | 1990-11-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Erzeugung eines elektrischen hochfrequenzfeldes in einem nutzraum |
| US5781579A (en) * | 1996-01-25 | 1998-07-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Microwave excited gas laser apparatus |
| WO2003015122A1 (de) * | 2001-08-07 | 2003-02-20 | Schott Glas | Vorrichtung zum beschichten von gegenständen |
-
1985
- 1985-03-27 JP JP6076685A patent/JPS61220486A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990013151A1 (de) * | 1989-04-17 | 1990-11-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Erzeugung eines elektrischen hochfrequenzfeldes in einem nutzraum |
| US5781579A (en) * | 1996-01-25 | 1998-07-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Microwave excited gas laser apparatus |
| WO2003015122A1 (de) * | 2001-08-07 | 2003-02-20 | Schott Glas | Vorrichtung zum beschichten von gegenständen |
| US7434537B2 (en) | 2001-08-07 | 2008-10-14 | Schott Ag | Device for the coating of objects |
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