JPS61220599A - 超音波センサ - Google Patents
超音波センサInfo
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- JPS61220599A JPS61220599A JP6133685A JP6133685A JPS61220599A JP S61220599 A JPS61220599 A JP S61220599A JP 6133685 A JP6133685 A JP 6133685A JP 6133685 A JP6133685 A JP 6133685A JP S61220599 A JPS61220599 A JP S61220599A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal input
- input electrode
- electrode
- high polymer
- polymer film
- Prior art date
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- Granted
Links
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Landscapes
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１，産業上の利用分野）
本発明は、超音波センサに関し、特にコンデンサタイプ
の超音波センサに関するものである。
の超音波センサに関するものである。
（従来技術とその問題点）
一般に、超音波センサの一種としてコンデンサタイプの
超音波センサが知られている。これは主に測距センサと
して用いられるセンサで、薄い金属電極が表面に設けら
れた高分子フィルムとこの高分子フィルムと一定の空間
を、隔てて設置された電極によ多形成される。
超音波センサが知られている。これは主に測距センサと
して用いられるセンサで、薄い金属電極が表面に設けら
れた高分子フィルムとこの高分子フィルムと一定の空間
を、隔てて設置された電極によ多形成される。
従来、上記のコンデンサタイプの超音波センサは主に測
距用に使用され、このセンサの表面から ゛送シ
出される超音波が正面の物体にはねかえってセンサに戻
るまでの遅延時間を測ることによシロ計算式 ％式％ から、センサと対象物体との距離を求めることができる
。この測距用超音波センサとして、ポラロイド社の自動
焦点カメラに使用されているコンデンサ型超音波センサ
がよく知られている０このポラロイド社製の超音波セン
サは第３図に示すように同心円状に溝が掘られたアルミ
円板の表面に、薄゛い金属電極が表面に設けられた高分
子フィルムが押しつけられた構造を持つ。高分子フィル
ムの表面とアルミの裏面はそれぞれ電極として動き、容
易に外部と電気的に接続される。このように、コンデン
サ型超音波センサは構造が簡単であるという特徴を持っ
ている。
距用に使用され、このセンサの表面から ゛送シ
出される超音波が正面の物体にはねかえってセンサに戻
るまでの遅延時間を測ることによシロ計算式 ％式％ から、センサと対象物体との距離を求めることができる
。この測距用超音波センサとして、ポラロイド社の自動
焦点カメラに使用されているコンデンサ型超音波センサ
がよく知られている０このポラロイド社製の超音波セン
サは第３図に示すように同心円状に溝が掘られたアルミ
円板の表面に、薄゛い金属電極が表面に設けられた高分
子フィルムが押しつけられた構造を持つ。高分子フィル
ムの表面とアルミの裏面はそれぞれ電極として動き、容
易に外部と電気的に接続される。このように、コンデン
サ型超音波センサは構造が簡単であるという特徴を持っ
ている。
しかしながら、コンデンサ型超音波セ／すを複数個アレ
イ状に配置し、それぞれのセンサから送り出される超音
波の相対的な位相を変化させ超音波を走査する超音波イ
メージングを行う場合従来のコンデンサ型超音波センナ
を使用するのは困難であった。すなわち、超音波走査用
センサアレイにおいてはアレイを構成するそれぞれの超
音波センサの幅は使用する超音波の波長程度に小さくす
る必要がある。たとえば周波数Ｉ Ｑ ＯｋＨｚの超音
波の空気中での波長は約３．４ ｍｍであシ、従来のコ
ンデンサ型超音波センサを波長程度の大きさにしてプレ
イ状に並べるのは組立て工程が大幅に増加するという欠
点が生じていた。
イ状に配置し、それぞれのセンサから送り出される超音
波の相対的な位相を変化させ超音波を走査する超音波イ
メージングを行う場合従来のコンデンサ型超音波センナ
を使用するのは困難であった。すなわち、超音波走査用
センサアレイにおいてはアレイを構成するそれぞれの超
音波センサの幅は使用する超音波の波長程度に小さくす
る必要がある。たとえば周波数Ｉ Ｑ ＯｋＨｚの超音
波の空気中での波長は約３．４ ｍｍであシ、従来のコ
ンデンサ型超音波センサを波長程度の大きさにしてプレ
イ状に並べるのは組立て工程が大幅に増加するという欠
点が生じていた。
（発明の目的）
本発明の目的は、このような従来の欠点を除去し、セン
サのアレイ化に適したコンデンサ型超音波センサを提供
することにある。
サのアレイ化に適したコンデンサ型超音波センサを提供
することにある。
（発明の構成）
本発明によれば、少くとも表面に絶縁層が形成された基
板上の所定の位置に導電体層からなる信号入力電極が設
けられ、かつこの信号入力電極の左右もしくは周辺に形
成された高分子絶縁体のスペーサを介して上記信号入力
電極上に一定の空間を隔てて、薄い金属が表面に設けら
れた高分子フィルムが形成されることを特徴とする超音
波センサが得られる。
板上の所定の位置に導電体層からなる信号入力電極が設
けられ、かつこの信号入力電極の左右もしくは周辺に形
成された高分子絶縁体のスペーサを介して上記信号入力
電極上に一定の空間を隔てて、薄い金属が表面に設けら
れた高分子フィルムが形成されることを特徴とする超音
波センサが得られる。
（実施例）
以下本発明について実施例を示す図面を参照して説明す
る。第１図は本発明の一実施例を示す断面図で同図にお
いて、ｌはサファイア基板、２は信号入力電極、３は高
分子絶縁体、４は高分子フィルム、５は金属電極である
。第２図は第１図の平面図でサファイア基板ｌ上に信号
入力電極２が設けられた様子を示し、電気的な接続を取
るため金属電極に覆われていない領域が設けられている
０高分子絶縁体３は高分子フィルム４を信号入力電極２
と一定の空隙をあけて支持するだめのものであり、１０
μｍ〜５００μｍの厚さを持つ。高分子フィルム４は１
μｒｒｒ−１００μｍの厚さを持ち表面に非常に薄い金
属電極が設けられている。
る。第１図は本発明の一実施例を示す断面図で同図にお
いて、ｌはサファイア基板、２は信号入力電極、３は高
分子絶縁体、４は高分子フィルム、５は金属電極である
。第２図は第１図の平面図でサファイア基板ｌ上に信号
入力電極２が設けられた様子を示し、電気的な接続を取
るため金属電極に覆われていない領域が設けられている
０高分子絶縁体３は高分子フィルム４を信号入力電極２
と一定の空隙をあけて支持するだめのものであり、１０
μｍ〜５００μｍの厚さを持つ。高分子フィルム４は１
μｒｒｒ−１００μｍの厚さを持ち表面に非常に薄い金
属電極が設けられている。
（発明の効果）
絶縁基板上に形成される信号入力電極２は、絶縁基板上
にアルミ、金などの金属を真空蒸着法やスパッタ法によ
シ設けた後、フォトリソグラフィーによりバターニング
されたフォトレジストをマスクにしてエツチングするこ
とにょシ、所定の形状に精度良く加工することができる
。また、同一絶縁基板上に複数の信号入力電極をアレイ
状に並べることも上記に述べた工程によシ容易に実現で
きる。第４図は本発明による実施例である第１図に示し
た超音波センサをアレイ化した場合の断面図である。
にアルミ、金などの金属を真空蒸着法やスパッタ法によ
シ設けた後、フォトリソグラフィーによりバターニング
されたフォトレジストをマスクにしてエツチングするこ
とにょシ、所定の形状に精度良く加工することができる
。また、同一絶縁基板上に複数の信号入力電極をアレイ
状に並べることも上記に述べた工程によシ容易に実現で
きる。第４図は本発明による実施例である第１図に示し
た超音波センサをアレイ化した場合の断面図である。
本発明によれば絶縁基板上のセンサ以外の領域に島状シ
リコン層を設け、この島状シリコン層を用いて絶縁ゲー
ト型電界効果トランジスタを形成することができ、さら
に高耐圧トランジスタ（Ｈ。
リコン層を設け、この島状シリコン層を用いて絶縁ゲー
ト型電界効果トランジスタを形成することができ、さら
に高耐圧トランジスタ（Ｈ。
Ｓａｋｕｍａ 、 Ｔ、 Ｋｕｒｉｙａｍａ ａｎｄ
Ｔ、 ５ｕｚｕｋｉ。
Ｔ、 ５ｕｚｕｋｉ。
ＩＥＤＭ’７９ Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ Ｄｉｇｅｓ
ｔ＋ ｐｐ、５９４−５９７）を形成することも可能
である。したがって、コンデンサ型超音波センサの駆動
回路や検出回路も同一絶縁基板上に設けられる。
ｔ＋ ｐｐ、５９４−５９７）を形成することも可能
である。したがって、コンデンサ型超音波センサの駆動
回路や検出回路も同一絶縁基板上に設けられる。
本発明は、一実施例に示したサファイア基板に限らずセ
ラミック基板やシリコンウェーハに絶縁膜を設けた基板
を絶縁基板として用いることも可能である。
ラミック基板やシリコンウェーハに絶縁膜を設けた基板
を絶縁基板として用いることも可能である。
第１図は本発明による超音波センサカー実施例の断面図
、第２図はこの実施例の平面図、第３図は従来のコンデ
ンサ型超音波センサの断面図、第４図は本発明によるコ
ンデンサ型超音波センサをアレイ状に並べた一実施例の
断面図である。 図において、ｌはサファイア基板、２は信号入力電極、
３は高分子絶縁体、４は高分子フィルム、５は金属電極
を示す。 １、□い、１ユ□ 、 ０ ．１て ゛噌 １
図 蔓 ２ 図 １５、会篇篩 苧 ３ 図 アルミ濫 亭 ４ 図
、第２図はこの実施例の平面図、第３図は従来のコンデ
ンサ型超音波センサの断面図、第４図は本発明によるコ
ンデンサ型超音波センサをアレイ状に並べた一実施例の
断面図である。 図において、ｌはサファイア基板、２は信号入力電極、
３は高分子絶縁体、４は高分子フィルム、５は金属電極
を示す。 １、□い、１ユ□ 、 ０ ．１て ゛噌 １
図 蔓 ２ 図 １５、会篇篩 苧 ３ 図 アルミ濫 亭 ４ 図
Claims (1)
- 少なくとも表面に絶縁層が形成された基板上の所定の位
置に導電体層からなる信号入力電極が設けられ、かつこ
の信号入力電極の左右、もしくは周辺に形成された高分
子絶縁体のスペーサを介して上記信号入力電極上に一定
の空間を隔てて、薄い金属電極が表面に設けられた高分
子フィルムが形成されることを特徴とする超音波センサ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6133685A JPS61220599A (ja) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | 超音波センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6133685A JPS61220599A (ja) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | 超音波センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61220599A true JPS61220599A (ja) | 1986-09-30 |
| JPH0520040B2 JPH0520040B2 (ja) | 1993-03-18 |
Family
ID=13168189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6133685A Granted JPS61220599A (ja) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | 超音波センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61220599A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62149299A (ja) * | 1985-12-24 | 1987-07-03 | Agency Of Ind Science & Technol | アレイ型超音波トランスデユ−サ |
| JPS62284600A (ja) * | 1986-06-03 | 1987-12-10 | Agency Of Ind Science & Technol | 超音波トランスジューサの製造方法 |
-
1985
- 1985-03-26 JP JP6133685A patent/JPS61220599A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62149299A (ja) * | 1985-12-24 | 1987-07-03 | Agency Of Ind Science & Technol | アレイ型超音波トランスデユ−サ |
| JPS62284600A (ja) * | 1986-06-03 | 1987-12-10 | Agency Of Ind Science & Technol | 超音波トランスジューサの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0520040B2 (ja) | 1993-03-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |