JPS61228689A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS61228689A JPS61228689A JP6931685A JP6931685A JPS61228689A JP S61228689 A JPS61228689 A JP S61228689A JP 6931685 A JP6931685 A JP 6931685A JP 6931685 A JP6931685 A JP 6931685A JP S61228689 A JPS61228689 A JP S61228689A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- circuit
- output voltage
- laser tube
- rectifier circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 7
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract description 7
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 abstract description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/09705—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser with particular means for stabilising the discharge
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、ガスレーザ装置、特にガスレーザ装置の電源
の改良に関する。
の改良に関する。
（従来の技術およびその問題点）
従来、この種のガスレーザ装置は第２図に示すように、
レーザ管５と、スイッチング回路１、トランス２および
整ｆＩＬ回路３゛を備えたレーザ電源とを有し、レーザ
電源の高圧なレーザ管５のアノード７間に供給するよう
に構成されている。
レーザ管５と、スイッチング回路１、トランス２および
整ｆＩＬ回路３゛を備えたレーザ電源とを有し、レーザ
電源の高圧なレーザ管５のアノード７間に供給するよう
に構成されている。
すなわち、入力端子１６．１６’に入力電圧を印加する
と、スイッチング回路１と高圧トランス２により高圧交
流とされ、この交流は高圧整流回路３によって直流高電
圧に変換される。この直流高電圧はレーザ管５のアノー
ド６とカソード７間に印加され、レーザ管５のアノード
６とカソード７間で放電な生ぜしめる。そしてミラー８
．８′によって構成されるレーザ共振器によりレーザ出
力９が得られる。しかし、このような構成においてレー
ザ管５が寿奇となった場合や、レーザ管５が破損等によ
って正常にアノード６とカソード７間が放電維持できな
くなると、高圧整流回路３の負荷は無限大となるためス
タート電圧（約１０ＫＶ）が連続的に発生し、レーザ管
５のアノード６や安定抵抗４の周囲の絶縁劣化や焼損等
の事故につながるという問題がある。
と、スイッチング回路１と高圧トランス２により高圧交
流とされ、この交流は高圧整流回路３によって直流高電
圧に変換される。この直流高電圧はレーザ管５のアノー
ド６とカソード７間に印加され、レーザ管５のアノード
６とカソード７間で放電な生ぜしめる。そしてミラー８
．８′によって構成されるレーザ共振器によりレーザ出
力９が得られる。しかし、このような構成においてレー
ザ管５が寿奇となった場合や、レーザ管５が破損等によ
って正常にアノード６とカソード７間が放電維持できな
くなると、高圧整流回路３の負荷は無限大となるためス
タート電圧（約１０ＫＶ）が連続的に発生し、レーザ管
５のアノード６や安定抵抗４の周囲の絶縁劣化や焼損等
の事故につながるという問題がある。
本発明の目的は、上記欠点を除去し、レーザ管のアノー
ドや安定抵抗の周囲の絶縁劣化や焼損等の事故発生の無
い安全なガスレーザ装置を提供するにある。
ドや安定抵抗の周囲の絶縁劣化や焼損等の事故発生の無
い安全なガスレーザ装置を提供するにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、レーザ管と、レーザ管に高圧を供給する高圧
整流回路、高圧トランスおよびスイッチング回路とから
なるレーザ電源と、高圧整流回路の出力電圧を分圧する
抵抗と、この分圧抵抗の検出電圧と基準電源の出力電圧
とを比較する比較器と、この比較器の出力により動作す
るタイマー回路と、このタイマー回路の出力に動作する
入力し中断回路とを備え、レーザ管が寿命になったり、
また破損などを生じた場合に入力をしや断し、レーザ管
のアノードや安定抵抗の周囲の絶縁劣化および焼損を防
止するようにしたことをＩｌ！！歎とする。
整流回路、高圧トランスおよびスイッチング回路とから
なるレーザ電源と、高圧整流回路の出力電圧を分圧する
抵抗と、この分圧抵抗の検出電圧と基準電源の出力電圧
とを比較する比較器と、この比較器の出力により動作す
るタイマー回路と、このタイマー回路の出力に動作する
入力し中断回路とを備え、レーザ管が寿命になったり、
また破損などを生じた場合に入力をしや断し、レーザ管
のアノードや安定抵抗の周囲の絶縁劣化および焼損を防
止するようにしたことをＩｌ！！歎とする。
（実施例）
以下、図面によ〕本発明の詳細な説明する。第１図は本
発明の一実施例を示す回路図であり、第２図の従来例と
異なるのは、入力端子１６ 、１６’とスイッチング回
路１０間に入力し中断回路１０゜１０′か接続されてお
シ、この入力しゃ断回路１０゜１０′が高圧整流回路３
の出力端に接続した分圧抵抗１４．１５の中点の電圧と
基準電源１３の出力とを比較する比較増幅器１２の出力
によりタイマー回路１１を介してし中断されるように構
成されている点である。
発明の一実施例を示す回路図であり、第２図の従来例と
異なるのは、入力端子１６ 、１６’とスイッチング回
路１０間に入力し中断回路１０゜１０′か接続されてお
シ、この入力しゃ断回路１０゜１０′が高圧整流回路３
の出力端に接続した分圧抵抗１４．１５の中点の電圧と
基準電源１３の出力とを比較する比較増幅器１２の出力
によりタイマー回路１１を介してし中断されるように構
成されている点である。
次に本発明装置の動作について述べる。入力端子１６
、１６’に入力電圧が印加されると、入力し中断回路１
０の接点１０′は閉じておりスイッチング回路１は動作
し、高圧トランス２に交流電圧を供給し、高圧整流回路
３から直流高電圧であるスタート電圧（約１０ＫＶ）が
発生し、レーザ管５のアノード６、カソード７間は放電
を開始する。
、１６’に入力電圧が印加されると、入力し中断回路１
０の接点１０′は閉じておりスイッチング回路１は動作
し、高圧トランス２に交流電圧を供給し、高圧整流回路
３から直流高電圧であるスタート電圧（約１０ＫＶ）が
発生し、レーザ管５のアノード６、カソード７間は放電
を開始する。
そうすると高圧整流回路３の出力電圧は、アノード６、
カソード７間の放電維持電圧（約２ＫＶ）まで低下し、
ミラー８，８′によりレーザ発振を生じレーザ出力９が
得られる。
カソード７間の放電維持電圧（約２ＫＶ）まで低下し、
ミラー８，８′によりレーザ発振を生じレーザ出力９が
得られる。
ここで、レーザ管５が破損や寿命となった場合には、放
電が停止しアノード６、アノード７閣は無限大の抵抗と
なるため、高圧！１ｆｆ回路３の出力電圧はスタート電
圧（約１０ＫＶ）まで上昇する・一方、高圧整流回路３
の出力電圧は分圧抵抗１４゜１５により検出され中点の
電圧Ｖｒと基準電源１３の出力電圧Ｖｓは比較増幅器１
２により比較増幅されタイマー回路１１をスタートさせ
る。タイマー回路１１は約５〜１０秒後には入力し中断
回路１０を駆動し、接点１０′を開く。その結果入力電
圧はスイッチング回路ｌに印加されなくなり、高圧整流
回路３の出力電圧も低下し、レーザ管や安定抵抗などが
絶縁劣化を起こしたプ焼損することがなくなる。
電が停止しアノード６、アノード７閣は無限大の抵抗と
なるため、高圧！１ｆｆ回路３の出力電圧はスタート電
圧（約１０ＫＶ）まで上昇する・一方、高圧整流回路３
の出力電圧は分圧抵抗１４゜１５により検出され中点の
電圧Ｖｒと基準電源１３の出力電圧Ｖｓは比較増幅器１
２により比較増幅されタイマー回路１１をスタートさせ
る。タイマー回路１１は約５〜１０秒後には入力し中断
回路１０を駆動し、接点１０′を開く。その結果入力電
圧はスイッチング回路ｌに印加されなくなり、高圧整流
回路３の出力電圧も低下し、レーザ管や安定抵抗などが
絶縁劣化を起こしたプ焼損することがなくなる。
（発明の効果）
以上のように本発明は、レーザ管５が寿命となったり破
損によって高圧整流回路３の出力電圧ガスタート電圧（
約１０ＫＶ）となっても、約５〜１０秒後には入力し中
断回路が動作し、高圧整流回路３の出力電圧か低下（い
ずれ０になる）し、安定抵抗やレーザ管のアノードに高
圧が印加されなくなるので、これらの絶縁劣化や焼損も
なく、安全なガスレーザ装置を提供できるという効果を
奏する。
損によって高圧整流回路３の出力電圧ガスタート電圧（
約１０ＫＶ）となっても、約５〜１０秒後には入力し中
断回路が動作し、高圧整流回路３の出力電圧か低下（い
ずれ０になる）し、安定抵抗やレーザ管のアノードに高
圧が印加されなくなるので、これらの絶縁劣化や焼損も
なく、安全なガスレーザ装置を提供できるという効果を
奏する。
第１図は本発明のガスレーザ装置の一実施例の概略図、
第２図は従来のガスレーザ装置の概略図である。 １・・・・・・スイッチング回路、２・・・・・・高圧
トランス、３・・・・・・高圧整流回路、４・・・・・
・安定抵抗、５・・・・・・レーザ管、６・・・・・・
アノード、７・・・・・・カソード、８゜８′・・・・
・・ミラー、９・・・・・・レーザ出力、１０・・・・
・・入力し中断回路、１１・・・・・・タイマー回路、
１２・・・・・・比較増幅器、１３・・・・・・基準電
源、１４．１５・・・・・・抵抗、１６ 、１６’・・
・・・・入力端子。
第２図は従来のガスレーザ装置の概略図である。 １・・・・・・スイッチング回路、２・・・・・・高圧
トランス、３・・・・・・高圧整流回路、４・・・・・
・安定抵抗、５・・・・・・レーザ管、６・・・・・・
アノード、７・・・・・・カソード、８゜８′・・・・
・・ミラー、９・・・・・・レーザ出力、１０・・・・
・・入力し中断回路、１１・・・・・・タイマー回路、
１２・・・・・・比較増幅器、１３・・・・・・基準電
源、１４．１５・・・・・・抵抗、１６ 、１６’・・
・・・・入力端子。
Claims (1)
- レーザ管と、レーザ管へ高圧を供給するレーザ電源と、
該レーザ電源の出力電圧を分圧する抵抗と、該分圧抵抗
の検出電圧と基準電源の出力電圧とを比較する比較器と
、該比較器の出力電圧により動作するタイマー回路と、
該タイマー回路の出力により動作する前記レーザ電源へ
の入力をしゃ断する回路とを具備することを特徴とする
ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6931685A JPS61228689A (ja) | 1985-04-02 | 1985-04-02 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6931685A JPS61228689A (ja) | 1985-04-02 | 1985-04-02 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61228689A true JPS61228689A (ja) | 1986-10-11 |
Family
ID=13399027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6931685A Pending JPS61228689A (ja) | 1985-04-02 | 1985-04-02 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61228689A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0323686A (ja) * | 1989-06-21 | 1991-01-31 | Fanuc Ltd | Ｎｃレーザ装置 |
-
1985
- 1985-04-02 JP JP6931685A patent/JPS61228689A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0323686A (ja) * | 1989-06-21 | 1991-01-31 | Fanuc Ltd | Ｎｃレーザ装置 |
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