JPS61233191A - クリ−ンル−ム用ドア密閉装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、管型パツキンによるクリーンルームのドア
密閉装置に関する。

〔従来の技術〕

高清浄度レベルのクリーンルームに適用されている従来
のドア密閉装置としては、例えば第５図ないし第８図に
示すようなりリーンルーム用ドアユニットに構成された
ものがある。

このドアユニットＡは、ドアケース１．ドア２゜ドア吊
下開閉手段３．ドア密閉作動手段４及びパツキン５とか
ら主要構成されている。

ドアケース１は、第５図及び第６図に示すように上下左
右の四周を密閉し、かつ、中央から左寄シに高レベルク
リーンルームＲに通ずる縦型長方形の出入口１Ｓ及び１
５′をそれぞれ切υ開いた方形の背面板１ｂ及び正面板
１ｆで蔽った所要奥行の平たい立方体を立ち上らせた箱
状のものである。そして、内部は、上部区画ＩＵ、中間
区画１Ｍ及び下部区画１Ｄに区分され、更に中間区画１
Ｍは、左から配線部ｉ　Ｍｈ、出入口部１Ｍｓ及び戸袋
部１Ｍｔとなっている。

ドア２は、上半部に窓２ａを有する中空の平たい箱状に
形成された引戸型のもので、出入口部１Ｍｓと戸袋部１
Ｍｔとを往復動する。

ドア吊下開閉手段３は、第７図に示すように、開閉機構
３Ｋ及び開閉駆動装置３Ｄとからなる。

開閉機構３には、上部区画１Ｕ内に架設されたレール３
ｒに沿って転動する両耳付車輪３Ｗを軸支する一対のＬ
型金具３１が上部ブラケツ）４ｂ。

連結板４ｋ及び下部ブラケツ）２ｂを介してドア２をそ
の両端部で吊下しておシ、一方、第８図に示すように、
下部区画１Ｄ内に架設されたＵ型鋼３ｕＫ挾まれて転動
する一対の横回転のガイドローラ２ｐｒを、ドア２の下
面に垂設した平板２ｐの両端部のＬ型金具２１に軸支し
たものである。

開閉駆動装置３Ｄは、公知のもので大半を図示省略する
が、配線部１Ｍｈの正面板１ｆ外面に取シ付けた押しボ
タンスイッチ３Ｓによりモータを駆動し、前記り型金具
３１に結合して環状に展張架設されたベルトを介してド
ア２を往復動させ、−組のリミットスイッチの動作によ
って出入口部１Ｍｓ、又は戸袋部１Ｍｔの所定位置に自
動停止させる。

なお、ドア２の開閉操作には、足踏式、あるいは、光電
管式など公知の自動ドア装置を適用したものもある。

ドア密閉作動手段４は、ドア移動許容機構４１と押圧機
構４Ａとからなる。（第７，８図参照）ドア移動許容機
構４１は、前記ドア２をＬ型金具３１に吊下するに際し
て、該金具３１に固着した上部プラケッ）４ｂと下部ブ
ラケット２ｂとを連結板４にで連結するのに、それぞれ
回動可能にしてドア２０前後移動をできるようにしであ
る。

Ｕ型鋼３ｕは、出入口部ＩＭｓと戸袋部ｉＭｔとの境界
下でＵ溝を形成する背面側壁を取シ除かれていてドア２
下部の平板２ｐが背面側へ移動するのを可能としている
。

また、押圧機構４Ａは、上部区画１Ｕ内の前面板１ｆに
おいて、出入口１５′の上方所要箇所左右に一対の横回
転の押圧用ローラ４ｒを段違いに配設し、該ローラ４ｒ
にそれぞれ当接する一対のカム２Ｃをドア２の上部前面
左右に配設し、一方、下部区画１Ｄ内部においては、ド
ア２の前記平板２ｐの左右端部に、一対の横回転の押圧
用ローラ２ｒをそれぞれ段違いに配設し、該ローラ２ｒ
にそれぞれ当接する一対のカム４Ｃを出入口部１Ｍｓの
下方所要箇所に設けた補助板１ｏｈに配設し、ドア２が
出入口１ｓを閉鎖する場合、カム２ｃ。

４Ｃと押圧用ローラ４ｒｔ２ｒとのそれぞれの当接によ
シ、ドア２′ｔ−上下において後方へ押圧移動させて、
後述の管型パツキン５ｋ及びＬ型パツキン５１に圧接し
てドア２の密閉を行うものである。

パツキン５は、出入口部１Ｍｓの上方と側方にドア２の
背面に面して付設された管型パツキン５にと、出入口部
１Ｍｓの前記平板２ｐと通路となる床溝１Ｄｍ内に、ド
ア２の該平板２ｐに接して前後に付設されるＬ型小パツ
キン５１′及びＬ型パツキン５１とである。

叙上の構成となっているので、押しボタンスイッチを操
作し、モータを起動してドア２を戸袋部１Ｍｔから出入
口部ＩＭｓへ導き出すと、出入口１Ｓを閉鎖する所定位
置に達したところでリミットスイッチの動作によシドア
２は停止するが、停止に先立つカム２ｃと押圧用ローラ
４「並びにカム４Ｃと押圧用ローラ２ｒのそれぞれの当
接にょシドア２が管型パツキン５ｋ及びＬ型パツキン５
１に圧接し、高レベルクリーンルームＲ側の出入口１Ｓ
を密閉状態とする。

また、ドア２を開くには、°押しボタンスイッチ３Ｓに
よシモータを逆転させると、ドア２は、戸袋部１Ｍｔ内
へ引き込まれ、所定位置に達するとリミットスイッチに
よシ自動停止して収納される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような従来のドア密閉作動手段にお
っては、ドアの開閉だけでなく密閉動作によルドアが前
後に移動するので、各摩擦部からいっそう摩耗粉層が発
生し、しかも騒音も伴なって静粛清浄な雰囲気に悪影響
を与えるという問題点がある。また、ドア密閉作動手段
も構造が複雑で初度設備費が高いばかりか管理、調節、
整備にも手間を要し、寿命も短いという難点がある。

Ｃ問題点を解決するための手段〕 この発明は、叙上の問題点に鑑みてなされたもので、ド
ア密閉作動手段におけるドア前後移動の機械的機構を排
除し、出入口の四周縁に管型パッキンを付設するととも
に１空気圧縮機から三方コツクラ介して該パツキンに連
通し、該コックの排気側ハ、高レベルクリーンルームの
吸気側に導く構成とすることによシ、とれらの問題点を
解決したものである〇 〔作用〕 したがって、ドアが出入口を閉鎖すると同時に空気圧縮
機からの圧搾空気により管型パツキンを膨張させてドア
の背面周辺に圧接させ出入口の密閉を行う。また、ドア
を開く場合には、三方コックの切替えを行ない、クリー
ンルームの給気ファン吸込口へ連通させ管型パツキン内
の空気を吸引排除すれば、該パツキンは収縮してドアと
の密着を解くので、ドアを戸袋部へ引き込み収納する。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を第１図ないし第４図に基づ
いて説明する。なお、従来例に相当する部材は同一の符
号を用い、その説明は省略する。

まず、構成を述べる◇ この発明のドア密閉装置を適用設置したドアユニットＢ
は、ドアケース１１．ドア１２．ドア吊下開閉手段１３
．ドア密閉手段１４及びパツキン１５とから主要構成さ
れている。

ドアケース１１は、第１図に正面図を示すように、上部
区画１１ＬＪが若干低い高さに形成されているので全体
の高さがその分だけ低くなっている以外、従来例のドア
ケース１とほぼ同様な構成であシ、また、ドア１２もド
ア２とほぼ同様であるため、これらの説明は省略する。

ドア吊下開閉手段１３は、第３図及び第４図に示すよう
に、開閉機構１３Ｋ及び開閉駆動装置１３０とからなる
。

開閉機構１３には、上部区画１１Ｕ内に架設されたレー
ル３「に沿って転勤する両耳付車輪３Ｗを軸支する一対
のＬ型金具３１がドア１２をその両端部で吊下しており
、一方、第４図に示すように、下部区画１Ｄ内に架設さ
れたＵ型鋼１３Ｕに挾まれて転勤する一対の横回転のガ
イドローラ２ｐ「をドア１２の下面に垂設した平板２ｐ
の両端部のＬ型金具２１に軸支したものである。

開閉駆動装置１３Ｄは、従来例の開閉駆動装置３Ｄとほ
ぼ同様であるので、説明は省く。

ドア密閉手段１４は、所要場所に設置した空気圧縮機Ｃ
から第１図に示すように、配管して三方コック１４Ｃへ
給気管１４ａが導かれ１更に、出入口１Ｓの内方四周の
縁に、閉鎖したときのドア１２の背面に当接可能な位置
に取シ付けられた管型パツキン１５にへ給排気管１４ｋ
が連結されている。また、三方コック１４Ｃの排気側に
は、排気管１４ｈが取）付けられクリーンルームＲの吸
気側へ導かれて構成されている。

なお、前記三方コック１４Ｃは、押しボタンスイッチ３
Ｓの近くに取シ付けられているが、給気管１４ａの途中
に気蓄器を設けておき、ドア１２が閉鎖の定位置に達し
リミットスイッチが動作してモータを停止するとき連動
して三方コック１４Ｃを動作して管型パツキン１５ｋに
給気し、また、押しボタンスイッチ３Ｓによシドア１２
が開き始めると共に、あるいはタイマーを利用して直前
に排気の動作を行なわせるようにしてもよい。

パツキン１５には、前記管型パツキン１５にと該パツキ
ン１５ｋに対応した出入口１ｓｌの周縁に取シ付けられ
、ドア１２の前面に当接するＬ型パツキン１５１とがあ
る。

なお、ドア密閉手段１４は、ドアケース１１外に設置し
てもよい。

次に、作用を述べる。

叙上の構成となっているため、押しボタンスイッチ３Ｓ
を押してドア１２を戸袋部１Ｍｔから出入口部１Ｍｓに
引き出し、所定位置に達してリミットスイッチによシモ
ータが停止したところで三方コック１４Ｃを操作して空
気圧縮機Ｃからの圧搾空気を管型パツキン１５ｋに送る
と、該パツキン１５には膨張してドア１２の背面四周に
圧接して出入口１Ｓを密閉する。

ドア１２を開く場合は、三方コック１４Ｃを切シ替えて
パツキン１５ｋに取シ付けた給排気管１４ｋを排気管１
４ｈに連通ずると、クリーンルームＲの給気ファンによ
シ前記パツキン１５にの空気は吸い出され、該パツキン
１５には収縮してドア１２への密着が解除されるので、
押しボタンスイッチ３ｓの操作によりドア１２を開放す
る。

もし、三方コック１４Ｃ１−、リミットスイッチや押し
ボタンスイッチ３Ｓと関連動作する構成とした場合には
、以上の動作が自動的に行なわれる。

〔発明の効果〕

以上説明してきたように、この発明は、高レベルクリー
ンルームに設置するドアユニットにおいて、ドアをドア
ケースの上部区画と下部区画とにそれぞれ架設したレー
ルとＵ型鋼とに案内させて、単に往復動のみ行なわせる
構成とし、背面側出入口の四周縁に、前記ドア背面に膨
張して圧接密着する管型パツキンを付設して、該パツキ
ンへの給排気を空気圧縮機又はクリーンルームの吸気側
へ連通可能な三方コックを設けて行うドア密閉手段を組
み合わしてなるクリーンルーム用のドア密閉装置を提供
したため、ドアケースの高さも低くなシドアの開閉機構
が簡単となったので、摩擦部の減少に伴い摩耗粉塵や騒
音の発生が激減するとともに初度設備費が低減し、しか
も管理や調節整備も簡素となシ寿命が延長し、また、管
型パツキンの膨張によシ密閉するため１密閉精度も著し
く向上するという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例を適用したドアユニット
の正面図、第２図は、第１図のＩＩ−ＩＩ線断面図、第
３図は、同じ＜ｍ−ｍ線拡大断面図、第４図は、同じ＜
　ＩＶ−ＩＶ線拡大断面図、第５図は１従来のドアユニ
ットの正面図、第６図は、第５図のＶＩ−Ｖｌ線断面図
、第７図は、同じく■−■線拡線断大断面図８図は、同
じく■−■線拡線断大断面図る。 Ｒクリーンルーム Ｂ　　ドアユニット Ｃ空気圧縮機 １Ｓ　　出入口 １Ｄ　　下部区画 ３ｒ　　レール １１　　ドアケース １１Ｕ　　上部区画 １２　　　ドア １３ｕ　　　ｔｙ型鋼 １４　　ドア密閉手段 １４Ｃ三方コック １５ｋ　　　管型パツキン 第２図 フク 第４図 第５図　　。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. クリーンルームに設置するドアユニットにおいて、ドア
   ケースの上部区画と下部区画とにそれぞれ架設したレー
   ルとＵ型鋼とに案内されて往復動のみ行うドアと、背面
   側の出入口の四周縁に付設され、該ドアの背面に膨張し
   て圧接密着する管型パッキンと、該パッキンへの給排気
   を、空気圧縮機、又は前記クリーンルームの吸気側へ切
   替え連通する三方コックにより行うドア密閉手段とによ
   り構成したことを特徴とするクリーンルーム用ドア密閉
   装置。