JPS612337A - 受け渡し装置 - Google Patents
受け渡し装置Info
- Publication number
- JPS612337A JPS612337A JP12176384A JP12176384A JPS612337A JP S612337 A JPS612337 A JP S612337A JP 12176384 A JP12176384 A JP 12176384A JP 12176384 A JP12176384 A JP 12176384A JP S612337 A JPS612337 A JP S612337A
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- JP
- Japan
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- section
- tray
- articles
- containers
- buffer
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、受け渡し技術、特に、容器に収容された物品
を出し入れする技術に関し、例えば、半導体装置の製造
において、フラントパノクバソケージ（Ｐ Ｐ Ｐ）を
備えた半導体装置（以下、ＩＣという。）の良品、不良
品を選別検査する場合に用いるＩＣハンドラに利用して
有効なものに関する。
を出し入れする技術に関し、例えば、半導体装置の製造
において、フラントパノクバソケージ（Ｐ Ｐ Ｐ）を
備えた半導体装置（以下、ＩＣという。）の良品、不良
品を選別検査する場合に用いるＩＣハンドラに利用して
有効なものに関する。
半導体装置の製造において、良品、不良品を選別するの
に用いられるＩＣハンドラとして、検査すべき複数のＩ
Ｃを収容したトレーからＩＣを順次搬出してテスタのソ
ケットに移送し、検査済みの良品ＩＣを別に待機させら
れている空のトレーに搬入するように構成されているも
のが、考えられる。
に用いられるＩＣハンドラとして、検査すべき複数のＩ
Ｃを収容したトレーからＩＣを順次搬出してテスタのソ
ケットに移送し、検査済みの良品ＩＣを別に待機させら
れている空のトレーに搬入するように構成されているも
のが、考えられる。
しかし、このようなＩＣハンドラにおいては、未検査Ｉ
Ｃを収容した実トレーのストック部と、ｒｃ＠出後の空
トレーのストック部と、良品ＩＣ搬入のための空トレー
のストック部と、良品ＩＣ収容後の実トレーのストック
部とが平面的に配されるため、ハンドラの占拠床面積が
大きくなるという問題点があることが、本発明者により
明らかにされた。
Ｃを収容した実トレーのストック部と、ｒｃ＠出後の空
トレーのストック部と、良品ＩＣ搬入のための空トレー
のストック部と、良品ＩＣ収容後の実トレーのストック
部とが平面的に配されるため、ハンドラの占拠床面積が
大きくなるという問題点があることが、本発明者により
明らかにされた。
本発明の目的は、占拠空間を抑制することができる受け
渡し技術を提供することにある。
渡し技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面がら明らかになるであろう
。
明細書の記述および添付図面がら明らかになるであろう
。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、物品を収容した容器を順次払い出すローダ部
と、物品を搬出された空の容器を貯留するとともに、こ
れを適時払い出すバッファ部と、物品を搬入された容器
を貯留するアンローダ部とを三角位置に配することによ
り、物品搬出後の空容器のストック部と物品搬入のため
の空容器のストック部とをバッファ部において兼用する
ことができるように構成して占拠空間を低減するように
したものである。
と、物品を搬出された空の容器を貯留するとともに、こ
れを適時払い出すバッファ部と、物品を搬入された容器
を貯留するアンローダ部とを三角位置に配することによ
り、物品搬出後の空容器のストック部と物品搬入のため
の空容器のストック部とをバッファ部において兼用する
ことができるように構成して占拠空間を低減するように
したものである。
第１図は本発明の一実施例である受け渡し装置を適用し
たＩＣハンドラを示す平面図、第２図はその正面図であ
る。
たＩＣハンドラを示す平面図、第２図はその正面図であ
る。
本実施例において、このＩＣハンドラは、物品としての
ＦＰＰ型のＩＣＩを容器としてのトレー２から出し入れ
してテスクのソケット３に移送して選別検査を行うよう
に構成されている。トレー２は長方形の皿を縦横に仕切
られてなる多数の収容室を備えており、各室にＩＣＩを
１個宛収容するようになっている。
ＦＰＰ型のＩＣＩを容器としてのトレー２から出し入れ
してテスクのソケット３に移送して選別検査を行うよう
に構成されている。トレー２は長方形の皿を縦横に仕切
られてなる多数の収容室を備えており、各室にＩＣＩを
１個宛収容するようになっている。
このＩＣハンドラは、複数のＴＣＩを収容したトレー２
を順次払い出すローダ部４と、トレー２からＩＣ１を搬
出する搬出部５と、ＩＣＩを搬出されたトレー２を停留
するとともに適時払い出すバッファ部６と、バッファ部
６がら払い出されたトレー２に検査済みのＩＣＩを搬入
する搬入部７と、不良ＩＣを排出するための排出部８と
、ｒｃｌを搬入されたトレー２を貯留するアンローダ部
９とを備えており、ローダ部４とバッファ部６とアンロ
ーダ部９とが三角位置にそれぞれ配設されて構成されて
いる。
を順次払い出すローダ部４と、トレー２からＩＣ１を搬
出する搬出部５と、ＩＣＩを搬出されたトレー２を停留
するとともに適時払い出すバッファ部６と、バッファ部
６がら払い出されたトレー２に検査済みのＩＣＩを搬入
する搬入部７と、不良ＩＣを排出するための排出部８と
、ｒｃｌを搬入されたトレー２を貯留するアンローダ部
９とを備えており、ローダ部４とバッファ部６とアンロ
ーダ部９とが三角位置にそれぞれ配設されて構成されて
いる。
ローダ部４は実トレーストック部１ｏを備えており、こ
のストック部１０は、これから検査すべきＩＣＩを収容
している実トレー２ａを複数枚水平に積み重ね状態に貯
留するようになっている。
のストック部１０は、これから検査すべきＩＣＩを収容
している実トレー２ａを複数枚水平に積み重ね状態に貯
留するようになっている。
ストック部１０の底における開口部の前後両端辺には一
対のガイドレール１１がバッファ部６の方向に敷設され
ており、両ガイドレール１１間には、送りねし機構と送
り爪等を備えた適当な手段からなる間欠送り機構１２が
最下段の実トレー２３をバッファ部６の方向へピンチ送
りし得るように設けられている。
対のガイドレール１１がバッファ部６の方向に敷設され
ており、両ガイドレール１１間には、送りねし機構と送
り爪等を備えた適当な手段からなる間欠送り機構１２が
最下段の実トレー２３をバッファ部６の方向へピンチ送
りし得るように設けられている。
搬出部５はＩＣＩを吸着して保持する吸着ヘッド１３と
、この吸着ヘッド１３を移送するための移送路１４と、
吸着ヘッド１３を移送路１４に沿って移動させるための
移動装置（図示せず）とを備えており、吸着ヘッド１３
はＩＣＩを吸着保持してローダ部４近傍からソケット３
へ移送し得るように構成されている。
、この吸着ヘッド１３を移送するための移送路１４と、
吸着ヘッド１３を移送路１４に沿って移動させるための
移動装置（図示せず）とを備えており、吸着ヘッド１３
はＩＣＩを吸着保持してローダ部４近傍からソケット３
へ移送し得るように構成されている。
バッファ部６はローダ部４のガイドレール１１の延長線
上に配されており、空トレースドック部１５を備えてい
る。このストック部１５は空にされたトレー２を複数枚
水平に積み重ね状態に貯留するようになっている。スト
ック部１５の頂きにおける開口部の前後両端辺には一対
の可動ガイドレール１６がローダ部ガイドレール１１の
延長線と略一致するように敷設されており、この可動ガ
イドレール１６は前後対称に開閉するように構成されて
いる。ストック部１５の底における開口部の前後両端辺
には一対のガイドレール１７がアンローダ部９の方向に
敷設されており、両ガイドレール１７間には、送りねし
機構と送り爪等を備えた適当な手段からなる送り機構１
８が最下段のトレー２をアンローダ部９の方向へピンチ
送りし得るように設けられている。
上に配されており、空トレースドック部１５を備えてい
る。このストック部１５は空にされたトレー２を複数枚
水平に積み重ね状態に貯留するようになっている。スト
ック部１５の頂きにおける開口部の前後両端辺には一対
の可動ガイドレール１６がローダ部ガイドレール１１の
延長線と略一致するように敷設されており、この可動ガ
イドレール１６は前後対称に開閉するように構成されて
いる。ストック部１５の底における開口部の前後両端辺
には一対のガイドレール１７がアンローダ部９の方向に
敷設されており、両ガイドレール１７間には、送りねし
機構と送り爪等を備えた適当な手段からなる送り機構１
８が最下段のトレー２をアンローダ部９の方向へピンチ
送りし得るように設けられている。
搬入部７はＩＣＩを吸着して保持する吸着ヘッド１９と
、この吸着へラド１９を移送するための移送路２０と、
吸着ヘッド１９を移送路２ｏに沿って移動させるための
移動装置（図示せず）とを備えており、吸着ヘッド１９
はＩＣＩを吸着保持してソケット３からバッファ部６近
傍へ移送し得るように構成されている。移送路２ｏの途
中には不良ＩＣの排出部８が開設されており、吸着ヘッ
ド１９はこの排出部８に不良ＩＣを投下し得るようにな
っている。
、この吸着へラド１９を移送するための移送路２０と、
吸着ヘッド１９を移送路２ｏに沿って移動させるための
移動装置（図示せず）とを備えており、吸着ヘッド１９
はＩＣＩを吸着保持してソケット３からバッファ部６近
傍へ移送し得るように構成されている。移送路２ｏの途
中には不良ＩＣの排出部８が開設されており、吸着ヘッ
ド１９はこの排出部８に不良ＩＣを投下し得るようにな
っている。
アンローダ部９は実トレーストック部２１を備えており
、このストック部２１は、選別検査を終了した良品ＩＣ
Ｉを搬入された実トレー２ｂを複数枚水平に積み重ね状
態に貯留し得るようになっている。ストック部２１内に
は、シリンダ装置等からなるエレベータ２２が良品実ト
レー２ｂを積み重ねて保持しピンチ送りに下降し得るよ
うになっており、アンローダ部４のストック部２１はロ
ーダ部９のストック部１０の真下に配設されている。
、このストック部２１は、選別検査を終了した良品ＩＣ
Ｉを搬入された実トレー２ｂを複数枚水平に積み重ね状
態に貯留し得るようになっている。ストック部２１内に
は、シリンダ装置等からなるエレベータ２２が良品実ト
レー２ｂを積み重ねて保持しピンチ送りに下降し得るよ
うになっており、アンローダ部４のストック部２１はロ
ーダ部９のストック部１０の真下に配設されている。
次に作用を説明する。
ローダ部４の間欠送り機構１２は最下段の実゛トレー２
ａをガイドレール１１に沿ってバッファ部６の方向へピ
ンチ送りする。このピンチ送りは、トレーにおいて縦横
に仕切られた横列に合わせて１列宛行われる。
ａをガイドレール１１に沿ってバッファ部６の方向へピ
ンチ送りする。このピンチ送りは、トレーにおいて縦横
に仕切られた横列に合わせて１列宛行われる。
搬出部５の吸着ヘッド１３は間欠停止している実トレー
２ａのＩＣＩを１個宛後着保持して移送路１４に沿って
搬出し、ソケット３に移送して挿着せしめて行く。この
とき、実トレー２ａにおける１列分のＩＣ群についての
搬出が終了すると、間欠送り機構１２により実トレー２
ａは１ピッチ間欠送りされることになる。
２ａのＩＣＩを１個宛後着保持して移送路１４に沿って
搬出し、ソケット３に移送して挿着せしめて行く。この
とき、実トレー２ａにおける１列分のＩＣ群についての
搬出が終了すると、間欠送り機構１２により実トレー２
ａは１ピッチ間欠送りされることになる。
一方、搬出部５における吸着ヘッド１３によりソケット
３に挿着されたＩＣＩはテスタにより所定の特性測定を
１個宛順次受けて行く。
３に挿着されたＩＣＩはテスタにより所定の特性測定を
１個宛順次受けて行く。
全てのＩＣＩを順次搬出されて空になった後、トレー２
がバッファ部６における可動ガイドレール１６に移送さ
れると、可動ガイドレール１６が前後に開き、トレー２
はバッファ部６のストック部１５に投下される。投下さ
れたトレー２はストック部１５の最下段まで下降すると
、間欠送り機構１８によりガイドレール１７に沿ってア
ンローダ部９の方向にピンチ送りされる。
がバッファ部６における可動ガイドレール１６に移送さ
れると、可動ガイドレール１６が前後に開き、トレー２
はバッファ部６のストック部１５に投下される。投下さ
れたトレー２はストック部１５の最下段まで下降すると
、間欠送り機構１８によりガイドレール１７に沿ってア
ンローダ部９の方向にピンチ送りされる。
他方、ソケット３においてテスタによる測定を受けたＩ
ＣＩは搬入部７における吸着ヘッド１９により１個宛順
次吸着保持されて行く。ＩＣＩを吸着保持した吸着ヘッ
ド１９は吸着保持したＩＣ１が良品であると、ＩＣＩを
バッファ部６からピンチ送りされて来る空トレー２にこ
れが間欠停止している間に１個宛搬入して行く。このと
き、吸着へソド１９は良品ＩＣＩの搬入をトレー２の収
容室を全て埋めるような状態で行う。このトレー２にお
ける１列についてのＩＣＩの搬入が終了すると、間欠送
り機構１８によりトレー２は１ピッチ宛間欠送りされる
ことになる。
ＣＩは搬入部７における吸着ヘッド１９により１個宛順
次吸着保持されて行く。ＩＣＩを吸着保持した吸着ヘッ
ド１９は吸着保持したＩＣ１が良品であると、ＩＣＩを
バッファ部６からピンチ送りされて来る空トレー２にこ
れが間欠停止している間に１個宛搬入して行く。このと
き、吸着へソド１９は良品ＩＣＩの搬入をトレー２の収
容室を全て埋めるような状態で行う。このトレー２にお
ける１列についてのＩＣＩの搬入が終了すると、間欠送
り機構１８によりトレー２は１ピッチ宛間欠送りされる
ことになる。
また、搬入部７における吸着ヘッド１９は吸着保持した
ＩＣＩが￥良品であると、この不良ＩＣ１を排出部８に
投下する。したがって、搬入部７において空トレー２に
戻されるＩＣＩの数は、搬出部４において実トレー２ａ
から取り出されるＩＣ１の数よりも少数になる。このた
め、選別検査を繰り返して行くうちに、バッファ部６に
は空トレー２が自然に停留され次第にその停留数が増加
して行くことになる。
ＩＣＩが￥良品であると、この不良ＩＣ１を排出部８に
投下する。したがって、搬入部７において空トレー２に
戻されるＩＣＩの数は、搬出部４において実トレー２ａ
から取り出されるＩＣ１の数よりも少数になる。このた
め、選別検査を繰り返して行くうちに、バッファ部６に
は空トレー２が自然に停留され次第にその停留数が増加
して行くことになる。
ＩＣＩを順次搬入されて一杯になった後、その実トレー
２ｂはアンローダ部９におけるエレベータ２１上に押し
出されることになる。エレベータ２１は１枚の実トレー
２ｂを保持すると、１ピンチ下降して次の実トレー２ｂ
について待機することになる。
２ｂはアンローダ部９におけるエレベータ２１上に押し
出されることになる。エレベータ２１は１枚の実トレー
２ｂを保持すると、１ピンチ下降して次の実トレー２ｂ
について待機することになる。
ｆｌ＋ 物品を収容した容器を順次払い出すローダ部
と、物品を搬出された空の容器を貯留するとともに、こ
れを適時払い出すバッファ部と、物品を搬入された容器
を貯留するアンローダ部とを三角位置に配することによ
り、物品搬出後の空容器のストック部と物品搬入のため
の空容器のストック部とをバッファ部において兼用させ
ることができるため、全体としての占拠空間を低減する
ことができる。
と、物品を搬出された空の容器を貯留するとともに、こ
れを適時払い出すバッファ部と、物品を搬入された容器
を貯留するアンローダ部とを三角位置に配することによ
り、物品搬出後の空容器のストック部と物品搬入のため
の空容器のストック部とをバッファ部において兼用させ
ることができるため、全体としての占拠空間を低減する
ことができる。
（２）物品搬出後の空容器のストック部と物品搬入のた
めの空容器のストック部とをバッファ部において兼用さ
せることができるため、空容器のセント作業を省略する
ことができ、作業能率を高めるとともに、空容器の遊び
数を減少することができる。
めの空容器のストック部とをバッファ部において兼用さ
せることができるため、空容器のセント作業を省略する
ことができ、作業能率を高めるとともに、空容器の遊び
数を減少することができる。
（３）アンローダ部をローダ部の真下に配することによ
り、占拠床面積を低減することができる。
り、占拠床面積を低減することができる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
例えば、アンローダ部はローダ部の真下に配するに限ら
ず、真横に配してもよい。
ず、真横に配してもよい。
ローダ部、バッファ部における間欠送り機構、アンロー
ダ部におけるエレベータ、搬出部、搬入部における保持
機構や移送機構等々は前記実施例に限らず、場合に応じ
て適当なものを使用することが望ましい。
ダ部におけるエレベータ、搬出部、搬入部における保持
機構や移送機構等々は前記実施例に限らず、場合に応じ
て適当なものを使用することが望ましい。
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるＰＰＰＩＣの選別検
査に用いるハンドラに適用した場合について説明したが
、それに限定されるものではなく、その他の電子部品や
電子機器のハンドラ等についても適用することができる
。
をその背景となった利用分野であるＰＰＰＩＣの選別検
査に用いるハンドラに適用した場合について説明したが
、それに限定されるものではなく、その他の電子部品や
電子機器のハンドラ等についても適用することができる
。
第１図は本発明の一実施例である受け渡し装置を適用し
たＩＣハンドラを示す平面図、第２図はその正面図であ
る。
たＩＣハンドラを示す平面図、第２図はその正面図であ
る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、複数の物品を収容した容器を順次払い出すローダ部
と、容器から物品を搬出する搬出部と、物品を搬出され
た容器を停留するとともに適時払い出すバッファ部と、
バッファ部から払い出された容器に物品を搬入する搬入
部と、物品を搬入された容器を貯留するアンローダ部と
を備えており、ローダ部と、バッファ部と、アンローダ
部とが三角位置に配されている受け渡し装置。 ２、アンローダ部がローダ部の略真下に配されているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の受け渡し装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12176384A JPS612337A (ja) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | 受け渡し装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12176384A JPS612337A (ja) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | 受け渡し装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS612337A true JPS612337A (ja) | 1986-01-08 |
Family
ID=14819279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12176384A Pending JPS612337A (ja) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | 受け渡し装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS612337A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100392468B1 (ko) * | 2000-09-18 | 2003-07-22 | 주식회사 엘지생명과학 | 사이클린 의존 키나아제의 저해제로서 유용한3-히드록시크로멘-4-온 유도체 |
| TWI680089B (zh) * | 2019-05-03 | 2019-12-21 | 國立虎尾科技大學 | 馬賽克磚之供應裝置 |
-
1984
- 1984-06-15 JP JP12176384A patent/JPS612337A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100392468B1 (ko) * | 2000-09-18 | 2003-07-22 | 주식회사 엘지생명과학 | 사이클린 의존 키나아제의 저해제로서 유용한3-히드록시크로멘-4-온 유도체 |
| TWI680089B (zh) * | 2019-05-03 | 2019-12-21 | 國立虎尾科技大學 | 馬賽克磚之供應裝置 |
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