JPS61236178A - レ−ザ発振器 - Google Patents
レ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS61236178A JPS61236178A JP7646985A JP7646985A JPS61236178A JP S61236178 A JPS61236178 A JP S61236178A JP 7646985 A JP7646985 A JP 7646985A JP 7646985 A JP7646985 A JP 7646985A JP S61236178 A JPS61236178 A JP S61236178A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- output mirror
- heater
- cylinder
- self
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/0401—Arrangements for thermal management of optical elements being part of laser resonator, e.g. windows, mirrors, lenses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/0407—Liquid cooling, e.g. by water
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、出力鏡の冷却構造に係わり、冷却水により発
生するミラー支持部の結露を防止する支持構造に関する
。
生するミラー支持部の結露を防止する支持構造に関する
。
従来の装置に於いては、結ｖｌｒＶＣよる出力鏡破損を
防止するために、発生した結露が出力鏡部に到達しない
よう、支持部材に溝形状を設け、結露が出力鏡に至り損
傷を及ぼすのを防止（実開昭５５−２７９３５号公報）
する方法、あるいは、出力鏡部にランプ光を照射し出力
傍表面部の雰囲気温度を高めて、結露を防止する構造が
提案されているが、前者においては、結露水の表面張力
による出力鏡部への到達、後者に於いては、当該ランプ
の点灯、消灯制御が必要になる等の欠点を有していた。
防止するために、発生した結露が出力鏡部に到達しない
よう、支持部材に溝形状を設け、結露が出力鏡に至り損
傷を及ぼすのを防止（実開昭５５−２７９３５号公報）
する方法、あるいは、出力鏡部にランプ光を照射し出力
傍表面部の雰囲気温度を高めて、結露を防止する構造が
提案されているが、前者においては、結露水の表面張力
による出力鏡部への到達、後者に於いては、当該ランプ
の点灯、消灯制御が必要になる等の欠点を有していた。
本発明の目的は、冷却水によって出力鏡表面に結露を生
じない出力鏡の支持構造分改良したレーザ発振器を提供
する。
じない出力鏡の支持構造分改良したレーザ発振器を提供
する。
本発明のレーザ発振器の出力鏡を支持部の大気側に於い
て、温度が上昇すると抵抗値が上昇する制御性ヒータを
装着し、電流を通電し出力鏡表面近傍の雰囲気温度を高
くし結露を防止する。
て、温度が上昇すると抵抗値が上昇する制御性ヒータを
装着し、電流を通電し出力鏡表面近傍の雰囲気温度を高
くし結露を防止する。
ガスレーザ発振器に於いては、放電等により励起された
ガス空間内に対向した一対の鏡を配置し。
ガス空間内に対向した一対の鏡を配置し。
その一方の鏡（出力Ｒ）ＶＣよりレーザ光を出力する。
ｇＸ１図、第２図は本発明による出力鏡支持部を示した
ものである。
ものである。
出力鏡２５は、低真空に維持されたレーザ発振器内のレ
ーザ光の一部を大気に向けてレーザ出力４０を発生させ
る。この時、出力鏡表面及び内部で発生する熱を排出す
る目的で、出力鏡を冷却する必要がある。すなわち、発
振器に取付けられた支持７ランジ１０には冷水路１２が
設けられておシ、２５で発生した熱は、伝熱りング２６
を通電ホルダー２０から支持７ランジを介して伝達され
−・、 冷却されている。伝熱リング２６Ｖｃは、例えば、”−
’（ｙジウムワイヤの如き充分軟かい金属材を使用する
ことにより２５からの伝熱と真空シール性が確保される
ことは公知である。２５は熱伝導の小さい絶縁物で形成
された押え金具２８１’（より、ボルト３０の力でホル
ダ２０Ｖｃ取付けられている。
ーザ光の一部を大気に向けてレーザ出力４０を発生させ
る。この時、出力鏡表面及び内部で発生する熱を排出す
る目的で、出力鏡を冷却する必要がある。すなわち、発
振器に取付けられた支持７ランジ１０には冷水路１２が
設けられておシ、２５で発生した熱は、伝熱りング２６
を通電ホルダー２０から支持７ランジを介して伝達され
−・、 冷却されている。伝熱リング２６Ｖｃは、例えば、”−
’（ｙジウムワイヤの如き充分軟かい金属材を使用する
ことにより２５からの伝熱と真空シール性が確保される
ことは公知である。２５は熱伝導の小さい絶縁物で形成
された押え金具２８１’（より、ボルト３０の力でホル
ダ２０Ｖｃ取付けられている。
また、金属材で形成された筒２９も同様Ｖｃ３０により
固定されており、２９の外周にヒータ５０が巻回され、
５０の電源供給回路として、電源４４と操作スイッチ４
５が接続されている。筒２９は出力ビーム４０に対する
安全保護筒として本発明とは関係なく通常設置されるも
のである。
固定されており、２９の外周にヒータ５０が巻回され、
５０の電源供給回路として、電源４４と操作スイッチ４
５が接続されている。筒２９は出力ビーム４０に対する
安全保護筒として本発明とは関係なく通常設置されるも
のである。
ヒータ５０は、最近の高分子機能性材料として脚光を浴
びている高分子材料で構成された自己制御作用を有する
ヒータである。その構造図を第４図に、特性を第３図に
示す。５０は、２本の導体５１と、５１０間に配置され
た抵抗体５２に対しその外側に絶縁層５３（材質；ウレ
タン等）、シース層５４（ポリエチレン）、銅編組で構
成されたシールド層５５．最外層にポリエチレンシース
５６が設けられており抵抗体のシールド、機械的保護を
行っている。抵抗体５２Ｉｆｉプラスチツクの半導体材
料で構成され、導体５１間に印加された電圧に対して電
流を流すが、その抵抗値は５２の温度に依存し温度が上
昇すると電流顕著に低下する特性を有している。従って
、温度に対して一定電圧を印加した場合の発熱出力は第
３図に示す特注どなり、ヒータ温度が上昇すると発熱量
が低下し温度上昇を抑即１し、ヒータ温度を一定値に維
持する自己制御性を発揮することになる。
びている高分子材料で構成された自己制御作用を有する
ヒータである。その構造図を第４図に、特性を第３図に
示す。５０は、２本の導体５１と、５１０間に配置され
た抵抗体５２に対しその外側に絶縁層５３（材質；ウレ
タン等）、シース層５４（ポリエチレン）、銅編組で構
成されたシールド層５５．最外層にポリエチレンシース
５６が設けられており抵抗体のシールド、機械的保護を
行っている。抵抗体５２Ｉｆｉプラスチツクの半導体材
料で構成され、導体５１間に印加された電圧に対して電
流を流すが、その抵抗値は５２の温度に依存し温度が上
昇すると電流顕著に低下する特性を有している。従って
、温度に対して一定電圧を印加した場合の発熱出力は第
３図に示す特注どなり、ヒータ温度が上昇すると発熱量
が低下し温度上昇を抑即１し、ヒータ温度を一定値に維
持する自己制御性を発揮することになる。
従って、５０の発熱が２９に伝導され２９の内部の雰囲
気温度が上昇するが、この温度を２５の表面に結露を生
じさせない値となるように抵抗値及び電源４４の電圧を
設定しておく。また２５と２９の間ＶＣは熱的絶縁体（
プラスチック）で構成された押え具２８が設けられてい
るので、断熱効果が得られ、５０の発熱を直接５２ｖｃ
与えることが無いよう配慮されておシ、５００発熱によ
る２５・＼の熱影響は２５の表面近傍温度を上昇させる
効果に限定してあシ２５の水冷効果を損なうものではな
い。レーザ発振器の運転の際レーザ光を出力しない状態
では前述のように２５の表面に結露を生じることはなく
、レーザ光が出力されると、２９内での微少ではあるが
レーザの散乱光により２９内の温度が上昇しその熱が２
９を介して５０に伝導される。このため５０の温良が上
昇し、前述の５０の自己制御性により、５０の発熱量が
低下し２９内の温度を一定値に維持されることになる。
気温度が上昇するが、この温度を２５の表面に結露を生
じさせない値となるように抵抗値及び電源４４の電圧を
設定しておく。また２５と２９の間ＶＣは熱的絶縁体（
プラスチック）で構成された押え具２８が設けられてい
るので、断熱効果が得られ、５０の発熱を直接５２ｖｃ
与えることが無いよう配慮されておシ、５００発熱によ
る２５・＼の熱影響は２５の表面近傍温度を上昇させる
効果に限定してあシ２５の水冷効果を損なうものではな
い。レーザ発振器の運転の際レーザ光を出力しない状態
では前述のように２５の表面に結露を生じることはなく
、レーザ光が出力されると、２９内での微少ではあるが
レーザの散乱光により２９内の温度が上昇しその熱が２
９を介して５０に伝導される。このため５０の温良が上
昇し、前述の５０の自己制御性により、５０の発熱量が
低下し２９内の温度を一定値に維持されることになる。
従って、２９内の温度を検出してスイッチ４５を開閉制
御することなく、出力鏡２５の表面近傍温度を結露しな
い条件に維持することができる。
御することなく、出力鏡２５の表面近傍温度を結露しな
い条件に維持することができる。
１、出力鏡部での結露発生を防止でき、出力鏡の破損を
防止できる。
防止できる。
２ ヒータの自己制御機能により、温度検出による通電
の制御が不要であり、構成が簡単になり信頼性が向上す
る。
の制御が不要であり、構成が簡単になり信頼性が向上す
る。
第１図は発明の実施例であるガスレーザ発生器の部分側
断面図、嬉２図は第１図を右方向から視た時の平面図、
第３図は第１図のヒータの温度出力％性図、第４図は第
１図のビータの側断面図である。 ｌＯ・・・支持７ランジ、ｌｌａ、ｌｌｂ・・・冷却水
出入口、１２・・・冷却水路、１３・・・シール用０り
ング、２０・・・ホルダー、２５・・・出力鏡、２６・
・・伝熱リング、２７・・・０りング、２８・・・押え
具、２９・・・筒、３０・・・ボルト、３５・・・ボル
ト、４０・・・レーザ出力。 ４４・・・電源、４５・・・スイッチ、５０・・・ビー
タ、５１・・・導体、５２・・・抵抗体（プラスチック
半導体）、５３・・・絶縁体、５４・・・シース、５５
・°・銅編組線、５６・・・シース
断面図、嬉２図は第１図を右方向から視た時の平面図、
第３図は第１図のヒータの温度出力％性図、第４図は第
１図のビータの側断面図である。 ｌＯ・・・支持７ランジ、ｌｌａ、ｌｌｂ・・・冷却水
出入口、１２・・・冷却水路、１３・・・シール用０り
ング、２０・・・ホルダー、２５・・・出力鏡、２６・
・・伝熱リング、２７・・・０りング、２８・・・押え
具、２９・・・筒、３０・・・ボルト、３５・・・ボル
ト、４０・・・レーザ出力。 ４４・・・電源、４５・・・スイッチ、５０・・・ビー
タ、５１・・・導体、５２・・・抵抗体（プラスチック
半導体）、５３・・・絶縁体、５４・・・シース、５５
・°・銅編組線、５６・・・シース
Claims (1)
- １、出力鏡を常時水冷しながら運転するレーザ発振器の
出力鏡支持構造に於いて、出力鏡を大気側より固定支持
材部に、温度が高くなると抵抗値が増加する導電性プラ
スチックを使用した自己制御性ヒータを巻回したことを
特徴とするレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7646985A JPS61236178A (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7646985A JPS61236178A (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | レ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61236178A true JPS61236178A (ja) | 1986-10-21 |
Family
ID=13606025
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7646985A Pending JPS61236178A (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61236178A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01130572U (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-05 | ||
| JPH03142978A (ja) * | 1989-10-30 | 1991-06-18 | Okuma Mach Works Ltd | レーザ発振装置 |
| JP2010093201A (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-22 | Toshiba Corp | 温調装置 |
-
1985
- 1985-04-12 JP JP7646985A patent/JPS61236178A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01130572U (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-05 | ||
| JPH03142978A (ja) * | 1989-10-30 | 1991-06-18 | Okuma Mach Works Ltd | レーザ発振装置 |
| JP2010093201A (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-22 | Toshiba Corp | 温調装置 |
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