JPS61238325A - 電子照射による排気ガスの脱硫及び脱硝装置 - Google Patents
電子照射による排気ガスの脱硫及び脱硝装置Info
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- JPS61238325A JPS61238325A JP61085233A JP8523386A JPS61238325A JP S61238325 A JPS61238325 A JP S61238325A JP 61085233 A JP61085233 A JP 61085233A JP 8523386 A JP8523386 A JP 8523386A JP S61238325 A JPS61238325 A JP S61238325A
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- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/32—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by electrical effects other than those provided for in group B01D61/00
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、本質的には排気ガス路と250keV近辺の
電子ビームポテンシャルを有する少なくとも一つの低エ
ネルギー電子ビーム源とから成る装置であって、照射に
先立ってアンモニアの添加された排気ガスに電子照射を
行なうことによって排気ガスの脱硫及び脱硝を行なう装
置に関する。
電子ビームポテンシャルを有する少なくとも一つの低エ
ネルギー電子ビーム源とから成る装置であって、照射に
先立ってアンモニアの添加された排気ガスに電子照射を
行なうことによって排気ガスの脱硫及び脱硝を行なう装
置に関する。
大規模な炉から出る排気ガスの脱硫及び脱硝は、今日我
々の環境の廃棄物管理の点で重要な役割を果している。
々の環境の廃棄物管理の点で重要な役割を果している。
同時にあるいは選択的に用いられる触媒的乾式法及び多
くの湿式法に加えて、近年日本においては、アンモニア
の存在下で加速電子の照射によりSO□及びNOxの転
換を行なう物理的方法が開発されて来た。この方法では
硫酸アンモニウムと硝酸アンモニウムが生じ、それらは
空気−過装置で除去される。この方法は例えばラディア
ット、フィス。
くの湿式法に加えて、近年日本においては、アンモニア
の存在下で加速電子の照射によりSO□及びNOxの転
換を行なう物理的方法が開発されて来た。この方法では
硫酸アンモニウムと硝酸アンモニウムが生じ、それらは
空気−過装置で除去される。この方法は例えばラディア
ット、フィス。
ケム、 (Rcidiat、Phys、Chem、)第
18巻、No、1−2、第389−398頁(1981
)に記載されており、この方法においては、排気ガスは
球状連続フロー反応器中の2個の向い合った比較的高電
圧の電子ビーム源(750keV)によって照射が行な
われ、同時に混合される。
18巻、No、1−2、第389−398頁(1981
)に記載されており、この方法においては、排気ガスは
球状連続フロー反応器中の2個の向い合った比較的高電
圧の電子ビーム源(750keV)によって照射が行な
われ、同時に混合される。
しかし様々な理由でこれらの高電圧電子ビームの使用は
不利であることが明らかになった。
不利であることが明らかになった。
こうしたことから、本出願人は低エネルギー電子の照射
によって排気ガスの脱硫及び脱硝を行なうことを提案し
た(特開昭60−179123号)、シかし。
によって排気ガスの脱硫及び脱硝を行なうことを提案し
た(特開昭60−179123号)、シかし。
この方法及びこの方法に用いる装置では比較的少量の排
気ガスしか処理することができない、その理由は、用い
られる電子線はワンポイント陰極と電子ビームそらせ板
(走査の原理となるもの)を備えているだけだからであ
り、スワンポイント陰極からの電子の放出は限られてい
るので必要とされている高い性能を得ることができない
。
気ガスしか処理することができない、その理由は、用い
られる電子線はワンポイント陰極と電子ビームそらせ板
(走査の原理となるもの)を備えているだけだからであ
り、スワンポイント陰極からの電子の放出は限られてい
るので必要とされている高い性能を得ることができない
。
この問題を克服するためには、必要とされる高性能を達
成する低エネルギー電子ビーム装置の使用が可能である
。この装置では、少なくとも2個の広面積陰極システム
が真空容器の中に平行に配置されており、各広面積陰極
システムは各々縦と横幅がその広面積陰極システムと同
じ長さの電子放出開口部を有しているという事実のため
高性能が達成される。この装置においては、電子ビーム
ポテンシャル、電子流、電子放出開口部負荷、電子の透
過度、更に排気ガス路の横断面は、二つの電子ビーム装
置が互いに向い合った状態で最適な照射条件が達成でき
るように調整されている。しかし照射を行なうためには
2個の完全に独立した電子ビーム装置が必要であり、電
子ビームは外部から排気ガス路に照射される。このこと
は幾分不利なことであると考えられる。更に、排気ガス
路と電子ビームは鉛板によって遮蔽する必要がある。
成する低エネルギー電子ビーム装置の使用が可能である
。この装置では、少なくとも2個の広面積陰極システム
が真空容器の中に平行に配置されており、各広面積陰極
システムは各々縦と横幅がその広面積陰極システムと同
じ長さの電子放出開口部を有しているという事実のため
高性能が達成される。この装置においては、電子ビーム
ポテンシャル、電子流、電子放出開口部負荷、電子の透
過度、更に排気ガス路の横断面は、二つの電子ビーム装
置が互いに向い合った状態で最適な照射条件が達成でき
るように調整されている。しかし照射を行なうためには
2個の完全に独立した電子ビーム装置が必要であり、電
子ビームは外部から排気ガス路に照射される。このこと
は幾分不利なことであると考えられる。更に、排気ガス
路と電子ビームは鉛板によって遮蔽する必要がある。
照射される電子ビーム及び排気ガス路の遮蔽には相当の
費用がかかる。それは、排気ガス路の保全作業を行なう
際電子ビーム装置を取り除かなければならないからであ
る。(特願昭60−237776号参照) 従って本発明の目的は、ただ一つの低エネルギー電子ビ
ーム源を用いるだけでよい、電子線照射による排気ガス
の脱硫及び脱硝装置を提供することである。
費用がかかる。それは、排気ガス路の保全作業を行なう
際電子ビーム装置を取り除かなければならないからであ
る。(特願昭60−237776号参照) 従って本発明の目的は、ただ一つの低エネルギー電子ビ
ーム源を用いるだけでよい、電子線照射による排気ガス
の脱硫及び脱硝装置を提供することである。
従って本発明によれば、電子照射に先立ってアンモニア
の添加された排気ガスに電子照射を行なうことにより排
気ガスの脱硫及び脱硝を行なう装置において、該装置が
排気ガス路と電子ビームポテンシャルが150〜300
keVである最低限度一つの低エネルギー電子ビーム源
を包含し、該電子ビーム源が排気ガス路中に同心的かつ
同軸的に配設されており且つ少なくとも二つの電子放出
開口部を有していることを特徴とする電子照射による排
気ガスの脱硫及び脱硝装置が提供される。
の添加された排気ガスに電子照射を行なうことにより排
気ガスの脱硫及び脱硝を行なう装置において、該装置が
排気ガス路と電子ビームポテンシャルが150〜300
keVである最低限度一つの低エネルギー電子ビーム源
を包含し、該電子ビーム源が排気ガス路中に同心的かつ
同軸的に配設されており且つ少なくとも二つの電子放出
開口部を有していることを特徴とする電子照射による排
気ガスの脱硫及び脱硝装置が提供される。
次に、図面を参照しながら本発明の実施態様を説明する
。
。
本発明により電子ビーム装置及び遮蔽装置に要する費用
が大幅に節約される。その理由は、面電子ビーム装置の
代わりに、いわゆる放射面ビーム装置である単一方向に
向けられた電子ビーム源のみを使用し、それをチューブ
形の排気ガス路の中心軸に配置し電子ビームが排気ガス
路の外壁に向けて少なくとも2方向に放射状に向かうよ
うにしたからである。放射状面ビーム装置E(第1図及
び第2図)は円筒型の装置内の排気ガス路中に同軸的に
配置されており、最低限2つ、好ましくは4つ以上の電
子放出開口部6を有している。電子ビーム源Eのこのよ
うな配置によって排気ガス路中で線量分布が不均一にな
るけれども、このことは重要ではない。なぜならば二つ
の互いに向き合った電子ビームによる外部から内部への
照射の際にも排気ガスの乱流が用いられているからであ
る。
が大幅に節約される。その理由は、面電子ビーム装置の
代わりに、いわゆる放射面ビーム装置である単一方向に
向けられた電子ビーム源のみを使用し、それをチューブ
形の排気ガス路の中心軸に配置し電子ビームが排気ガス
路の外壁に向けて少なくとも2方向に放射状に向かうよ
うにしたからである。放射状面ビーム装置E(第1図及
び第2図)は円筒型の装置内の排気ガス路中に同軸的に
配置されており、最低限2つ、好ましくは4つ以上の電
子放出開口部6を有している。電子ビーム源Eのこのよ
うな配置によって排気ガス路中で線量分布が不均一にな
るけれども、このことは重要ではない。なぜならば二つ
の互いに向き合った電子ビームによる外部から内部への
照射の際にも排気ガスの乱流が用いられているからであ
る。
電子放出開口部6と排気ガス路の外壁10の間の距離は
電子ビームの最大ポテンシャルに依存している。どんな
場合にも電子ビームの最大範囲が開口部と外壁の距離を
越えないようにしなければならない。そうしなければ管
壁が過熱して照射装置の効率が低下してしまう。
電子ビームの最大ポテンシャルに依存している。どんな
場合にも電子ビームの最大範囲が開口部と外壁の距離を
越えないようにしなければならない。そうしなければ管
壁が過熱して照射装置の効率が低下してしまう。
放射状面ビームのX線の遮断は本発明においては非常に
簡単な形式のものである。次のような方法が可能である
。
簡単な形式のものである。次のような方法が可能である
。
(a)放射状面ビーム装置を水平型排気ガス路中に配置
した状態で(第3図)、排気ガス路を鉛板で直接被覆す
る。排気ガス路中に拡散するX線を弱めるため、排気ガ
ス路は照射領域の前後で2度屈曲させである。これらの
屈曲部分もまた鉛で被覆されており、この鉛による被覆
は平坦な表面が含まれているので簡単である。
した状態で(第3図)、排気ガス路を鉛板で直接被覆す
る。排気ガス路中に拡散するX線を弱めるため、排気ガ
ス路は照射領域の前後で2度屈曲させである。これらの
屈曲部分もまた鉛で被覆されており、この鉛による被覆
は平坦な表面が含まれているので簡単である。
電子ビーム装置への電力や動力の供給は、屈曲排気ガス
路の一方の対向している端を介して行なわれる。この対
向端はまた放射状面ビーム装置の保全泪取出口の役目も
している。放射状面ビーム装置は排気ガス路から、保全
のためこの部分を介。
路の一方の対向している端を介して行なわれる。この対
向端はまた放射状面ビーム装置の保全泪取出口の役目も
している。放射状面ビーム装置は排気ガス路から、保全
のためこの部分を介。
して取り出すことができる。
(b)垂直型排気ガス路中に放射状面ビーム装置を配置
した場合(第4図)、地中への排気ガス路の設置の可能
性があり、大地はX線遮断物として作用することができ
る。保全目的のために放射状面ビーム装置は排気ガス路
からその上面端を介して取り出される。
した場合(第4図)、地中への排気ガス路の設置の可能
性があり、大地はX線遮断物として作用することができ
る。保全目的のために放射状面ビーム装置は排気ガス路
からその上面端を介して取り出される。
放射状面ビーム装置は、電子線工学における公知の構成
部材から成っていて、その構成に特に制限はなく、長い
有効寿命を有する面ビーム装置及び陰極システムに対向
している電子放出開口部は、例えば、前述した本出願人
の先願である特開昭60−179123号及び特願昭6
0−237776号に記載したのと同様に設計すること
も出来る。
部材から成っていて、その構成に特に制限はなく、長い
有効寿命を有する面ビーム装置及び陰極システムに対向
している電子放出開口部は、例えば、前述した本出願人
の先願である特開昭60−179123号及び特願昭6
0−237776号に記載したのと同様に設計すること
も出来る。
放射状面ビーム装置と排気ガス路を最善の状態にするた
めの物理的基盤について次に記載する。
めの物理的基盤について次に記載する。
一段階電子加速器は、奇計ビームポテンシャル150k
Vから300kVのものが製造されている。ビームポテ
ンシャルは、下限が電子線放出開口部におけるエネルギ
ー損失によって制限され、上限が加速の一段階距離の、
高いポテンシャル強度によって制限される。
Vから300kVのものが製造されている。ビームポテ
ンシャルは、下限が電子線放出開口部におけるエネルギ
ー損失によって制限され、上限が加速の一段階距離の、
高いポテンシャル強度によって制限される。
次に示した計算は理論ビームポテンシャル600kVに
関するものである。今日の工業においては300kVの
ビームポテンシャルまでに達している。
関するものである。今日の工業においては300kVの
ビームポテンシャルまでに達している。
もしビームポテンシャルが300kVという値未満のま
まであるなら照射装置の操作上の安全性は増大する。
まであるなら照射装置の操作上の安全性は増大する。
排気ガスに照射する場合、排気ガス路内の流れは15m
/sから20m/sの間、特別な場合は30m/sであ
ることが必要である。
/sから20m/sの間、特別な場合は30m/sであ
ることが必要である。
計算は500 M W、、の発電所に基づいており、こ
のような発電所の排気ガス発生量は1,500,0OO
N♂/h(標準圧力、標準温度における1時間当たりの
立方メートル)に相当する。排気ガス温度約80〜10
0℃においては、その場合排気ガス2,000,000
m3/hつまり555+n’/sとなる。排気ガス1m
’は重量1kgである。
のような発電所の排気ガス発生量は1,500,0OO
N♂/h(標準圧力、標準温度における1時間当たりの
立方メートル)に相当する。排気ガス温度約80〜10
0℃においては、その場合排気ガス2,000,000
m3/hつまり555+n’/sとなる。排気ガス1m
’は重量1kgである。
線量の式: IMrd=10kGy=10kJ/kg
:l0kll・s/kg従ってIMrcjの線量で50
0MIN、1の発電所の汚染除去を行なう場合、5 、
500KWeffの有効照射が必要である。
:l0kll・s/kg従ってIMrcjの線量で50
0MIN、1の発電所の汚染除去を行なう場合、5 、
500KWeffの有効照射が必要である。
工業的に製造される電子ビーム装置は次の主要な機械構
成成分を含んでいる: 陰極、予備加速距A部分、後加速距離部分、電子放出開
口部。
成成分を含んでいる: 陰極、予備加速距A部分、後加速距離部分、電子放出開
口部。
電子放出開口部は長さが200cm、操作幅が22cr
IIであることができる。
IIであることができる。
開口部負荷は0.15mA/c+n2である。
裏付された電子放出開口部の透過率ηは50%である。
開口部の電子電流は従って660mAであり、これは3
30mAづfに相当する。
30mAづfに相当する。
次に、各々が2つの電子放出開口部を備えており、直角
型の排気ガス路(第5図)で互いに向い合って照射する
二つの電子面ビーム装置を、チューブ型排気ガス路中に
配置した四つの電子放出開口部を備えた一つの放射状面
ビーム装置と比較する。
型の排気ガス路(第5図)で互いに向い合って照射する
二つの電子面ビーム装置を、チューブ型排気ガス路中に
配置した四つの電子放出開口部を備えた一つの放射状面
ビーム装置と比較する。
この比較は、電子ビーム装置の数、ビームポテンシャル
そして排気ガス路の数に関して両方の場合の最適条件に
つなげることを目的としている。
そして排気ガス路の数に関して両方の場合の最適条件に
つなげることを目的としている。
更に別のパラメーターは、線量0.5Mrdの場合の電
子ビーム装置の′数に加えて線量IMrdの場合の電子
ビーム装置の数である。
子ビーム装置の′数に加えて線量IMrdの場合の電子
ビーム装置の数である。
実験的な作業から得られた新しい情報により、汚染除去
を行なうためには従来の脱硫段階に対して0,3Mrd
という低い電子ビームの線量でも可能でありそうなこと
が示された。このように低い照射線量は当・然この方法
の効率という面で極めて重要である。
を行なうためには従来の脱硫段階に対して0,3Mrd
という低い電子ビームの線量でも可能でありそうなこと
が示された。このように低い照射線量は当・然この方法
の効率という面で極めて重要である。
第6図[ベイリー(Bailey)によるものコ[ディ
ー。
ー。
アール、ベイリー(D、R,Ba1lay)、エイ、ラ
イト(A、−Wright)、”プリントテクノロジー
(Print Tech−nology) ” (19
71)第9巻〜第12巻コは電子ビームの最大範囲をビ
ームポテンシャルの関数として計算するのに役立つ。
イト(A、−Wright)、”プリントテクノロジー
(Print Tech−nology) ” (19
71)第9巻〜第12巻コは電子ビームの最大範囲をビ
ームポテンシャルの関数として計算するのに役立つ。
下側の曲線は、面重量6.75mg/cm”に相当する
15μmのチタン板を電子が通過することを考慮に入れ
である。
15μmのチタン板を電子が通過することを考慮に入れ
である。
(1)理想排気ガス路と理想電子ビーム装置についての
第1回目の比較。
第1回目の比較。
直角型の排気ガス路において二つの電子面ビーム装置を
互いに対向するように配置した。
互いに対向するように配置した。
後に載せられている第1表において:
kv: 電子のビームポテンシャル [単位: k
V]、kWえf5:4つの電子放出開口部の有効電子ビ
ーム総出力、 nl: 線量IMrdの場合に必要な理想電子ビー
ム装置の数、 n、、、: O,,5Mrdの場合に必要な理想電子
ビーム装置の数、 ro[単位: mg/cm2]:密度1kg/m3の排
気ガス中における電子ビームの最大範囲、 d、0.C単位: ml: 2方向から照射される
排気ガス路の深さ及び鐘形イオン化 曲線(第7図)の重なり部分; do、、はr、・0.7の2倍(:F04.4)であり
重なりの度合を考慮に 入れである。
V]、kWえf5:4つの電子放出開口部の有効電子ビ
ーム総出力、 nl: 線量IMrdの場合に必要な理想電子ビー
ム装置の数、 n、、、: O,,5Mrdの場合に必要な理想電子
ビーム装置の数、 ro[単位: mg/cm2]:密度1kg/m3の排
気ガス中における電子ビームの最大範囲、 d、0.C単位: ml: 2方向から照射される
排気ガス路の深さ及び鐘形イオン化 曲線(第7図)の重なり部分; do、、はr、・0.7の2倍(:F04.4)であり
重なりの度合を考慮に 入れである。
do、s[単位: ml: dojと同様であるが
重なり因子がro・1.6と小さい場合、 Fz、J単位: m2E: dg、7の場合の排気
ガス路)横断面の面積、 FX、−[単位: In”l++ d61gである
という以外はF2.4と同様、 l113・S;[4: 排気ガス路の深さが1.4(
r、sl、4)の場合の排気ガス路の横断面積当たりの
処理 量[単位:m3・s゛1]、 N1.1.4: 排気ガス速度15m/s、排気ガス
路の深さ1.4(ra・1−4)の場合の、500Mリ
ペ発電所の汚染除去についての排気ガス路の数。
重なり因子がro・1.6と小さい場合、 Fz、J単位: m2E: dg、7の場合の排気
ガス路)横断面の面積、 FX、−[単位: In”l++ d61gである
という以外はF2.4と同様、 l113・S;[4: 排気ガス路の深さが1.4(
r、sl、4)の場合の排気ガス路の横断面積当たりの
処理 量[単位:m3・s゛1]、 N1.1.4: 排気ガス速度15m/s、排気ガス
路の深さ1.4(ra・1−4)の場合の、500Mリ
ペ発電所の汚染除去についての排気ガス路の数。
である。
これらの計算は、排気ガス速度15m/s、20m/s
及び30m/s、そして排気ガス路の深さの因子0.7
と0.8(r、・1.4とro・1゜6)について行な
われた。計算の結果は第8図に示されている。
及び30m/s、そして排気ガス路の深さの因子0.7
と0.8(r、・1.4とro・1゜6)について行な
われた。計算の結果は第8図に示されている。
電子ビーム装置と排気ガス路の理想的な数は、線量]、
M r dの理想電子ビームについての曲線n1又は線
量0.5Mrdの理想電子ビームについての曲線no、
sと排気ガス路の理想数に関する曲線n1./1.4−
n3゜71.6とが交叉する点に見い出される。
M r dの理想電子ビームについての曲線n1又は線
量0.5Mrdの理想電子ビームについての曲線no、
sと排気ガス路の理想数に関する曲線n1./1.4−
n3゜71.6とが交叉する点に見い出される。
理想電子ビームの数は常に互いに向い合った二つの電子
面ビームから成っていることに注意すべきである。
面ビームから成っていることに注意すべきである。
(2)理想電子ビーム装置の数と理想排気ガス路の第2
回目の比較。
回目の比較。
放射状面ビーム装置は、円形の排気ガス路中に同心円的
に配置されている。
に配置されている。
後に記載の第2表の各欄において:
kv: 電子のビームポテンシャル[単位: kV
]、kυetr : 合計4つの電子放出開口部を有
する放射状面ビーム装置の有効電子ビーム総出力、n□
: 線量IMrdでの汚染除去に必要な理想電子ビー
ム装置の数、 no、H: 線量0 、5?4rdでの汚染除去に
必要な理想電子ビーム装置の数、 ra[単位: mg/am”コニ 密度1kg/m3の
排気ガス中の電子ビームの最大範囲。
]、kυetr : 合計4つの電子放出開口部を有
する放射状面ビーム装置の有効電子ビーム総出力、n□
: 線量IMrdでの汚染除去に必要な理想電子ビー
ム装置の数、 no、H: 線量0 、5?4rdでの汚染除去に
必要な理想電子ビーム装置の数、 ra[単位: mg/am”コニ 密度1kg/m3の
排気ガス中の電子ビームの最大範囲。
d□[単位二m]: はぼ円形の放射状面ビーム
の直径、 dZ[単位:m]: 電子ビームの最大範囲r0
を考慮に入れた排気ガス路の 直径、 Fir単位二m2コニ 放射状面ビーム装置の横
断面の面積、 F2[単位:m2]: 放射状面ビーム装置を含
んだ排気ガス路の横断面の面 積、 ΔF[単位: m”]: F、からF工を引いた差
であり、従ってその結果として生じ る排気ガス路の横断面の面 積、 I゛・S−′:いろいろな排気ガス速度の場合の、排気
ガス路光たりの処理量[単位二13・S−′]、n15
: 排気ガス速度15m/sの時の5008 li
’、1の発電所の汚染除去についての排気ガス路 の数、 である。
の直径、 dZ[単位:m]: 電子ビームの最大範囲r0
を考慮に入れた排気ガス路の 直径、 Fir単位二m2コニ 放射状面ビーム装置の横
断面の面積、 F2[単位:m2]: 放射状面ビーム装置を含
んだ排気ガス路の横断面の面 積、 ΔF[単位: m”]: F、からF工を引いた差
であり、従ってその結果として生じ る排気ガス路の横断面の面 積、 I゛・S−′:いろいろな排気ガス速度の場合の、排気
ガス路光たりの処理量[単位二13・S−′]、n15
: 排気ガス速度15m/sの時の5008 li
’、1の発電所の汚染除去についての排気ガス路 の数、 である。
これらの計算は、排気ガス速度15m/s、 20m/
s及び30m/sについて行なった。計算の結果は第9
図に示しである。
s及び30m/sについて行なった。計算の結果は第9
図に示しである。
電子ビーム装置と排気ガス路の理想数は、線量IMrd
の理想電子ビームに関する曲線ni又は蕪射線量0.5
Mrdの理想電子ビームに関する曲線n0.5と理想排
気ガス路の数についての曲線n工、−n3゜との交叉す
る点に見い出される。
の理想電子ビームに関する曲線ni又は蕪射線量0.5
Mrdの理想電子ビームに関する曲線n0.5と理想排
気ガス路の数についての曲線n工、−n3゜との交叉す
る点に見い出される。
比較実験(1)と(2)についての解説:(、)放射状
面ビームに必要なものは高電圧装置、真空機械要素及び
制御装置だけであるので設計が簡単である。
面ビームに必要なものは高電圧装置、真空機械要素及び
制御装置だけであるので設計が簡単である。
(b)放射状面ビームは排気ガス速度及び線量要求条件
によっては、最大で300kVのビームポテンシャルを
必要とするが、排気ガス速度がより大きかったり照射線
量がより小さい場合にはビームポテンシャルはもっと小
さくて済み、それによって操作の安全性が増大する。
によっては、最大で300kVのビームポテンシャルを
必要とするが、排気ガス速度がより大きかったり照射線
量がより小さい場合にはビームポテンシャルはもっと小
さくて済み、それによって操作の安全性が増大する。
(c) 電子面ビームが互いに向い合っている場合であ
っても排気ガス流はかく乱されるので、放射状面ビーム
の場合の排気ガスの1方向からの照射は不利なものとは
ならないはずである。
っても排気ガス流はかく乱されるので、放射状面ビーム
の場合の排気ガスの1方向からの照射は不利なものとは
ならないはずである。
(d)放射状面ビームについてのX線の遮蔽は最もうま
く解決される。
く解決される。
(e)2基の互いに向い合った電子面ビーム装置を用い
る場合、つまり2方向からの照射を行なう場合、理想ビ
ームポテンシャルは排気ガス速度及び必要な線量に依存
するが300kVから600kVの間である。
る場合、つまり2方向からの照射を行なう場合、理想ビ
ームポテンシャルは排気ガス速度及び必要な線量に依存
するが300kVから600kVの間である。
このようなビームポテンシャルは簡単には達成できない
。
。
(f)2方向からの照射の場合、1つの排気ガス路につ
き常に2つの電子面ビーム装置を使用しなければならな
い。
き常に2つの電子面ビーム装置を使用しなければならな
い。
(g)2方向からの照射の場合、X線遮蔽の可能性の問
題を複雑なものにしている。
題を複雑なものにしている。
第1図は電子放射状面ビーム装置を有する排気ガス路の
横断面図である。 第2図は放射状面ビーム装置と排気ガス路の縦断面図で
ある。 第3図は放射状面ビーム装置と鉛遮蔽板を備えた″水平
型″排気ガス路を示す。 第4図は放射状面ビーム装置を備え、大地が遮蔽物とな
っている″′垂直型″排気ガス路を示す。 第5図は互いに向けて照射する場合の電子面ビームと遮
蔽体の配置を例示している。 第6図はビームポテンシャルの関数として電子ビームの
最大度r。を示すグラフである(ベイリーによるもの)
。 第7図はいろいろなビームポテンシャルについてのイオ
ン化曲線を示している。 第8図は互いに向き合うように配置された電子面ビーム
装置の数と排気ガス路の数の比較を図で行なったもので
ある。 第9図は放射状面ビーム装置の数と排気ガス路の数の比
較を図で行なったものである。 各図において参照番号は次のものを表わしている。 E・・・電子ビーム源としての放射状面ビーム装置、1
・・・電界陰極(Field cathode)、2・
・・陰極保持体、3・・・抽出グリッド、4・・・加速
グリッド、5・・・加速距離、6・・・電子放出開口部
、7・・・真空部、8・・・容器壁、9・・・排気ガス
路中の照射領域、10・・・排気ガス路の外壁、11・
・・遮蔽体、12・・・ビーム装置の支持体、13・・
・電力供給ライン、14・・・真空伝達管、15・・・
排気ガス路、16・・・排気ガス流の向き、17・・・
真空ポンプ、18・・・工場、19・・・コンクリート
、2o・・・大地、21・・・電子面ビーム装置。 特許出願人 ボリマー−フィジークゲーエムベーハー
ウントツェーオー。 カーゲー FIG、1 FIG、3 FIG。4 FIo、8 57.1 FIG。9
横断面図である。 第2図は放射状面ビーム装置と排気ガス路の縦断面図で
ある。 第3図は放射状面ビーム装置と鉛遮蔽板を備えた″水平
型″排気ガス路を示す。 第4図は放射状面ビーム装置を備え、大地が遮蔽物とな
っている″′垂直型″排気ガス路を示す。 第5図は互いに向けて照射する場合の電子面ビームと遮
蔽体の配置を例示している。 第6図はビームポテンシャルの関数として電子ビームの
最大度r。を示すグラフである(ベイリーによるもの)
。 第7図はいろいろなビームポテンシャルについてのイオ
ン化曲線を示している。 第8図は互いに向き合うように配置された電子面ビーム
装置の数と排気ガス路の数の比較を図で行なったもので
ある。 第9図は放射状面ビーム装置の数と排気ガス路の数の比
較を図で行なったものである。 各図において参照番号は次のものを表わしている。 E・・・電子ビーム源としての放射状面ビーム装置、1
・・・電界陰極(Field cathode)、2・
・・陰極保持体、3・・・抽出グリッド、4・・・加速
グリッド、5・・・加速距離、6・・・電子放出開口部
、7・・・真空部、8・・・容器壁、9・・・排気ガス
路中の照射領域、10・・・排気ガス路の外壁、11・
・・遮蔽体、12・・・ビーム装置の支持体、13・・
・電力供給ライン、14・・・真空伝達管、15・・・
排気ガス路、16・・・排気ガス流の向き、17・・・
真空ポンプ、18・・・工場、19・・・コンクリート
、2o・・・大地、21・・・電子面ビーム装置。 特許出願人 ボリマー−フィジークゲーエムベーハー
ウントツェーオー。 カーゲー FIG、1 FIG、3 FIG。4 FIo、8 57.1 FIG。9
Claims (2)
- (1)電子照射に先立ってアンモニアの添加された排気
ガスに電子照射を行なうことにより排気ガスの脱硫及び
脱硝を行なう装置において、該装置が排気ガス路と電子
ビームポテンシャルが150〜300keVである最低
限度一つの低エネルギー電子ビーム源を包含し、該電子
ビーム源が排気ガス路中に同心的かつ同軸的に配設され
ており且つ少なくとも二つの電子放出開口部を有してい
ることを特徴とする電子照射による排気ガスの脱硫及び
脱硝装置。 - (2)該電子ビーム源が4つ以上の電子放出開口部を有
している特許請求の範囲第1項記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3513633.2 | 1985-04-16 | ||
| DE19853513633 DE3513633C2 (de) | 1985-04-16 | 1985-04-16 | Vorrichtung zur Entschwefelung und Denitrierung von Rauchgasen durch Elektronenbestrahlung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61238325A true JPS61238325A (ja) | 1986-10-23 |
Family
ID=6268200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61085233A Pending JPS61238325A (ja) | 1985-04-16 | 1986-04-15 | 電子照射による排気ガスの脱硫及び脱硝装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61238325A (ja) |
| DE (1) | DE3513633C2 (ja) |
| GB (1) | GB2173779A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07251026A (ja) * | 1994-02-09 | 1995-10-03 | Hughes Aircraft Co | 低エネルギ電子ビームを使用した汚染物質破壊方法 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3524729A1 (de) * | 1985-07-11 | 1987-01-15 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Vorrichtung zum reinigen von schwefel- und stickstoffhaltigen rauchgasen |
| PL288355A1 (en) * | 1989-12-22 | 1991-09-23 | Ebara Corp | Method of desulfurizing and denitrogenizing outlet gases by multi-step exposure to an electron beam and apparatus therefor |
| US5319211A (en) * | 1992-09-08 | 1994-06-07 | Schonberg Radiation Corp. | Toxic remediation |
| WO1996024805A1 (en) * | 1995-02-08 | 1996-08-15 | James Winchester | Process and device for destroying hazardous compounds in incinerator flue gas |
| US6623705B2 (en) | 2000-06-20 | 2003-09-23 | Advanced Electron Beams, Inc. | Gas conversion system |
| US7189978B2 (en) | 2000-06-20 | 2007-03-13 | Advanced Electron Beams, Inc. | Air sterilizing system |
| US6623706B2 (en) | 2000-06-20 | 2003-09-23 | Advanced Electron Beams, Inc. | Air sterilizing system |
| US8617668B2 (en) * | 2009-09-23 | 2013-12-31 | Fei Company | Method of using nitrogen based compounds to reduce contamination in beam-induced thin film deposition |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5940051B2 (ja) * | 1979-07-11 | 1984-09-27 | 株式会社荏原製作所 | 電子線照射排ガス処理装置 |
| DE3403726A1 (de) * | 1984-02-03 | 1985-08-08 | Polymer-Physik GmbH & Co KG, 2844 Lemförde | Verfahren und vorrichtung zur entschwefelung und denitrierung von rauchgasen durch elektronenbestrahlung |
| DE3439190A1 (de) * | 1984-10-26 | 1986-04-30 | Polymer-Physik GmbH & Co KG, 7400 Tübingen | Niederenergetischer elektronenstrahler mit hoher leistung zur entschwefelung und/oder denitrierung von rauchgasen |
-
1985
- 1985-04-16 DE DE19853513633 patent/DE3513633C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1986
- 1986-03-11 GB GB8605983A patent/GB2173779A/en not_active Withdrawn
- 1986-04-15 JP JP61085233A patent/JPS61238325A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07251026A (ja) * | 1994-02-09 | 1995-10-03 | Hughes Aircraft Co | 低エネルギ電子ビームを使用した汚染物質破壊方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3513633A1 (de) | 1986-10-16 |
| DE3513633C2 (de) | 1994-06-16 |
| GB8605983D0 (en) | 1986-04-16 |
| GB2173779A (en) | 1986-10-22 |
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