JPS61238809A - 感光性ポリイミドの樹脂液組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔本発明の技術分野〕 この発明は、光照射、によって架橋する性能を有する感
光基をポリイミドの高分子鎖内に有している有機溶媒可
溶性である特定の感光性ポリイミドと特定の有機シラン
化合物と有機極性溶媒とを含有する感光性ポリイミドの
樹脂液組成物に係るものであり、この樹脂液組成物は、
半導体工業における固体素子への絶縁膜やパッシベーシ
ョン膜あるいは液晶配向膜の形成材料として使用するこ
とができるものであり、５ｔ０２、Ａ１２　０３　、シ
リコンウェハー、透明電極ＣＩＴＯ’）などへの優れた
耐湿密着性を示す光硬化膜（保護膜）を形成することが
できるものである。

〔公知技術の説明〕

従来、半導体工業などにおいて使用される絶縁膜用の素
材としては、主としてＳｉ３Ｎ４が用いられていたが、
化学的な蒸着法で膜を形成するために、被膜の表面が基
板の表面と相位の凹凸を呈するために、後続の工程でそ
の凹凸の修正のための高度の技術を要し操作が煩雑とな
るのである。

また、最近、５ｉｉＮｚの代わりに、感光性ポリマーを
使用して耐熱性の光硬化被膜を形成する方法が提案され
ており（特開昭５４−１１６２１６号公報、特開昭５４
−１１６２１７号公報、特開昭５５−４５７４７号公報
、特開昭５６−４５９１５号公報、特開昭５７−１７０
９２９号公報、および特開昭５８−１４３３４１号公報
など参照）、一部では使用されているが、それらの公知
の方法では、ポリイミドの前駆体であるポリアミック酸
の溶液から薄膜を形成し、その薄膜の光硬化後にかなり
高温で薄膜を構成しているポリマーをイミド化する必要
があり、そのために品質の安定した高い耐熱性を示す被
膜を形成することが困難であり、また基板上の導電性材
料層（配線パターン）などを熱的に劣化させてしまうと
いう欠点があった。また前記ポリアミック酸の溶液は、
長期間の保存安定にも問題があった。

さらに、公知の感光性ポリマーを使用する方法で形成さ
れた被膜は、５ｉ０２　、Ａｌ１　０３　、シリコンウ
ェハー、透明電極（ＩＴＯ”）などの表面への耐湿密着
性などが充分ではなかった。

一方、前述のような半導体工業において基板などの表面
に対する被膜の密着性を改良するために、有機シラン化
合物を使用する方法が種々提案されており、一般に使用
されているが、感光性ポリマー、特にポリイミド被膜用
の感光性ポリイミド樹脂液組成物において有機シラン化
合物を配合した場合には、必ずしも被膜の密着性の向上
に充分に寄与しないか、あるいは、感光性ポリイミドの
樹脂液組成物が変性したり、保存安定性を著しく悪化さ
せてしまうという問題があった。

〔本発明の要件およびその作用効果〕

この発明者らは、感光性ポリマーの樹脂液組成物を使用
して耐熱性被膜層を形成する場合において、樹脂液の安
定性、被膜の密着性などの種々の問題点を解決すること
ができる樹脂液組成物について鋭意検討した結果、感光
基をポリイミドの高分子鎮内に有している有機溶媒可溶
性である特定の感光性ポリイミドと特定の有機シラン化
合物と有機極性溶媒とを含有する感光性ポリイミドの樹
脂液組成物が、極めて好適な性能を有していることを見
い出し、この発明を完成した。

すなわち、この発明は、ビフェニルテトラカルボン酸類
を主として含有するテトラカルボン酸成分と、 （ただし、Ａ　ｒ　Ｈは、芳香族ジアミン化合物の二価
の芳香族残基を示し、Ｒ１は、感光基を存する置換基を
示す。）で示される芳香族ジアミン化合物を主として含
有する芳香族ジアミン成分とを重合して得られる有機溶
媒可溶性の感光性ポリイミド１００重量部、 一般式 （ただし、Ｒ２は、水素原子またはメチル基であり、Ｒ
３は、メチル基またはエチル基であり、さらにｎは、０
〜３の整数である。）で示される有機シラン化合物１〜
２５重量部、および、有機極性溶媒２００〜３０００重
量部からなる感光性ポリイミドの樹脂液組成物に関する
ものである。

この発明の樹脂液組成物は、被覆対象物の表面に塗布し
均一な厚さの樹脂液組成物の塗布膜を形−成し、その塗
布膜を乾燥して、感光性ポリイミド膜を形成することが
できる好適な製膜性能を有する液状組成物であ−リ、前
記の感光性ポリイミド膜は、光を照射することによる光
硬化において高い感度および解像度を有する感光性膜で
あり、さらにその光硬化によって、比較的低温で、耐熱
性の光硬化ポリイミド膜（保護膜）を形成することがで
きるのである。

この発明の樹脂液組成物は、長期間の保存安定性が優れ
ている液状組成物であると共に、この樹脂液組成物から
形成された光硬化膜は、５ｉ０２、Ａｌ２Ｏ３、シリコ
ンウェハー、透明電極（ＩＴＯ）など被覆対象物に対す
る密着性、特に耐湿密着性が優れており、電気的耐腐食
性、機械的強度などについても優れているのである。

〔本発明の各要件の詳しい説明〕

この発明において使用する感光性ポリイミドは、ビフェ
ニルテトラカルボン酸類を約７０モル％以上、特に８０
〜１００モル％程度含有するテトラカルボン酸成分と、 （ただし、Ａｒ１は、芳香族ジアミン化合物の二価の芳
香族残基を示し、Ｒ，は、感光基を有する置換基を示す
。）で示される芳香族ジアミン化合物を、約５０モル％
以上、好ましくは５０〜９０モル％、特に好ましくは６
０〜８５モル％程度含有する芳香族ジアミン成分とを重
合して得られる有機溶媒可溶性の感光性ポリイミドであ
る。

前記の感光性ポリイミドの製造に使用される芳香族ジア
ミン成分は、一般式（ｒ）で示される感光基を有する芳
香族ジアミン化合物を主として含有するものであるが、
感光性ポリイミドの樹脂液組成物の種々の性能（例えば
、貯蔵安定性、溶解性、機械的性能など）の改良のため
に、その一般式（１）で示される芳香族ジアミンの他に
、感光基を有していない他の芳香族ジアミンを約５０モ
ル％未満、特に好ましくは１０〜５０モル％程度含有し
ていてもよく、その場合に感光基を有する芳香族ジアミ
ンの配合割合があまりに少なすぎると、そのような芳香
族ジアミン成分から得られた感光性ポリイミドは光硬化
の際に光感度が低下してしまうので好ましくない。

この発明では、一般式（１）で示される芳香族ジアミン
としては、３．５−ジアミノ安息香酸メタクリロイルオ
キシエチルエステル、３．５−ジアミノ安息香酸アクリ
ロイルオキシエチルエステル、２，４−ジアミノ安息香
酸メタクリロイルオキシエチルエステル、３．５−ジア
ミノ安息香酸メタクリロイルオキシプロピルエステル、
２．４−ジアミノ安息香酸メタクリロイルオキシプロピ
ルエステル、３．５−ジアミノ安息香酸メタクリロイル
オキシグリシジルエステル、２．４−ジアミノ安息香酸
メタクリロイルオキシグリシジルエステル等の安息香酸
エステル類、あるいは、３．５−ジアミノベンジルアク
リレート、３．５−ジアミノベンジルメタクリレート、
２，４−ジアミノベンジルアクリレート、２，４−ジア
ミノベンジルメタクリレート等を挙げることができる。

また、前述の感光基を有していない他の芳香族ジアミン
としては、トキシリレンジアミン、ｐ−キシリレンジア
ミン、４．４°−ジアミノジフェニルエーテル、３．４
″−ジアミノジフェニルエーテル、ｐ−フユニレンジア
ミン、３，５−ジアミノ安息香酸、２．４−ジアミノト
ルエン、０−トリジン、トジアミノジフェニルスルホン
等を挙げることができる。

前記の感光性ポリイミドの製造に使用されるテトラカル
ボン酸成分において主として含有されているビフェニル
テトラカルボン酸類は、例えば、３．３’、４．４’−
ビフェニルテトラカルボン酸またはその酸二無水物、２
．３．３°、４′−ビフェニルテトラカルボン酸または
その酸二無水物など、あるいは、それらの酸のエステル
化物または塩などであればよく、特に２．３，３°、４
”−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物が最適である
。

前記のテトラカルボン酸成分は、ビフェニルテトラカル
ボン酸類の他に、他の芳香族テトラカルボン酸類または
脂肪族テトラカルボン酸類が、約３０モル％以下、特に
０〜２０モル％程度含有されていてもよい。

この発明で使用される感光性ポリイミドの製法は、公知
の製法が採用できるが、例えば、前記のテトラカルボン
酸成分と芳香族ジアミン成分とを、大略等モル、有機−
極性溶媒中で、約８０℃以下、特に６０℃以下の重合温
度および約０．５〜５０時間、特に１〜３０時間の重合
時間で、重合してポリアミック酸を生成し、次いで、無
水酢酸、ピリジン、第３級アミンなどのイミド化剤を使
用するかあるいは高温に加熱することによって前記ポリ
アミック酸をイミド化して、ポリイミドとする製法を好
適に挙げることができる。

前記の感光性ポリイミドの製法に使用する有機極性溶媒
としては、例えば、Ｎ、Ｎ−ジメチルスホキシド、Ｎ、
Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ、Ｎ−ジエチルホルムア
ミド、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ、Ｎ−ジエチ
ルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ヘキサ
メチレンホスホルアミドなどを挙げることができる。

この発明で使用する感光性ポリイミドは、対数粘度（濃
度：　０．５　ｇ／１００ｖ＋Ｊ溶媒、溶媒；Ｎ−メチ
ル−２−ピロリドン、測定温度；３０℃）が、０．１〜
４、特に０．２〜２程度であることが好ましい。

この発明の感光性ポリイミド樹脂液組成物は、前記の感
光性ポリイミド１００重量部、一般式（■）で示される
有機シラン化合物１〜２５重量部、好ましくは５〜２０
重量部、および有機極性溶媒２００〜３０００重量部、
好ましくは２５０〜２５００重量部からなる樹脂液組成
物である。

前記の有機シラン化合物の使用量が、少な過ぎると、そ
のような樹脂液組成物から形成される光硬化膜が被覆対
象物に対する密着性、特に耐湿密着性が充分でなくなる
ので適当ではなく、また、有機シラン化合物の使用量が
多くなり過ぎると、樹脂液組成物の保存安定性が低下す
るので適当ではない。

この発明では、前記の有機シラン化合物は、有機シラン
化合物の分子鎖の少なくとも片端部にアクリロイル−ア
ミノ基またはメタクリロイル−アミノ基を有し、しかも
その他端部にトリアルコキシシリル基を有している前記
の一般式（ＩＩ）で示される特定の有機シラン化合物で
あることに特徴があり、その他の有機シラン化合物を使
用した場合には、そのような樹脂液組成物から製膜し光
硬化されて形成された被膜が被覆対象物に対して充分な
密着性能を示さなかったりあるいは樹脂液組成物の保存
安定性が損なわれるので適当ではない。

前記有機シラン化合物としては、例えば、Ｎ−（３−ト
リメトキシシリル−プロピルツーアクリルアミド、Ｎ−
（３−）リエトキシシリループロビル〕−アクリルアミ
ド、Ｎ−〔３−トリメトキシシリル−プロピルツーメタ
クリルアミド、Ｎ−（３−トリエトキシシリル−プロピ
ルツーメタクリルアミド、Ｎ−（２−（３−トリメトキ
シシリル−プロピル−アミノ）−エチル〕−アクリルア
ミド、Ｎ−（２−（３−１−リエトキシシリループロビ
ルーアミノ）−エチル）−アクリルアミド、Ｎ−（２−
（３−１−リメトキシシリループロピルーアミノ）−エ
チル〕−メタクリルアミド、Ｎ−（２−（３−トリエト
キシシリル−プロピル−アミノ）−エチル〕−メタクリ
ルアミドなどを挙げることができる。

この発明で使用する有機極性溶媒としては、前述の感光
性ポリイミドの製造の際に、重合溶媒として使用された
有機極性溶媒がほとんどそのまま使用でき、特に、Ｎ、
Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ。

Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリド
ン、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチレンホスホアミ
ドなどを好適に挙げることができ、さらに。

前述の溶媒に加えてキシレン、エチルセルソルブ、ジグ
ライム、ジオキサンなどを共用した混合溶媒を使用する
こともできる。なお、この発明の樹脂液組成物における
感光性ポリイミドの濃度は、約４〜３０重量％、特に５
〜２５重量％であることが好ましい。

また、この発明の樹脂液組成物は、公知の光増感剤ある
いは光重合開始剤を配合することができ、例えば、ミヒ
ラーズケ、トン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテ
ル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエ
ーテル、ベンジル、α、α−ジメトキシベンジルフェニ
ルケトン、２−ｔ−ブチルアントラキノン、ｌ、２−ベ
ンゾ−９，１０−アントラキノン、４，４゛−ビス（ジ
エチルアミノ）ベンゾフェノン、アセトフェノン、ベン
ゾフェノン、ベンゾフェノンチオキサントン、２．４−
ジエチルチオキサントン、１．５・−アセナフテン、Ｎ
−アセチル−４−ニトロ−１−ナフチルアミン、４．４
−ジアジドカルコン、４，４“−ジアジドジベンザルア
セトン、２，６−ジ（４’−アジドベンザル）シクロヘ
キサノン、２，６−ジ（４°−アジドベンザル）−４−
メチルシクロヘキサノン、４．４′−ジアジドスチルベ
ンなどを挙げることができ、場合によっては、Ｎ、Ｎ−
ジメチルアントラニル酸メチル、Ｎ、Ｎ−ジメチルアミ
ノ安息香酸エチルなどを増感助剤をさらに加えることも
できる。

さらに、この発明の樹脂液組成物は、公知の光重合性モ
ノマー、特にエチレン性不飽和基を有するモノマー化合
物を添加することができ、また、加熱時の重合安定性を
増すために重合防止剤を添加することができる。

前記の光重合性モノマーとしては、例えば、エチレング
リコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパント
リ　（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテ
トラ（メタ）アクリレート、Ｎ、Ｎ−メチレンビス（メ
タ）アクリレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アク
リレート、１゜３．５−トリアクリロイルへキサヒドロ
−５−）リアジン、トリス（ヒドロキシエチルアクリロ
イル）イソシアヌレート、１．３．５−１−リメタアク
リロイルーへキサ仁ドロー３−トリアジンなどを挙げる
ことができる。また、前記の重合防止剤としては、ハイ
ドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、２．
６−ジーｔ−ブチル−ｐ−クレゾールなどを挙げること
ができる。

この発明の樹脂液組成物を使用して、光硬化膜からなる
パターンを形成する方法としては、例えば、まず、前述
の感光性ポリイミドの樹脂液組成物を、回転塗布機、ロ
ールコータ−などでプリント配線パターンの基板の表面
に塗布し、樹脂液組成物の塗布膜を形成し、その塗布膜
を約１５０℃以下、好ましくは１００℃以下、および常
圧または必要であれば減圧下で乾燥し、感光性ポリイミ
ドの未硬化の被膜を形成し、その被膜上にネガ型のフォ
トマスクチャートを重ね合わせ、その上から紫外線、可
視光線、電子線、Ｘ線などの活性光線を被膜に照射して
、光硬化し、被膜の未露光部（未光硬化部）を現像液で
洗い流すことにより、ポリイミドのレリーフパターンを
形成する方法を挙げることができる。

前記の現像液としては、前述の感光性ポリイミドを製造
する際の重合溶媒、あるいは樹脂液組成物に使用する有
機極性溶媒を使用することができ、現像液として、例え
ば、Ｎ、Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ、Ｎ−ジメチル
アセトアミド、トメチル−２−ピロリドン、ジメチルス
ルホキシド、ヘキサメチレンホスホアミドなどを好適に
挙げることができ、さらに、それらの溶媒とメタノール
、エタノールなどとの混合溶媒を使用することもできる
。

〔実施例および参考例〕

参考例１ 〔感光性ポリイミドの製造〕 Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）３１．３ｍｊ！
に、２，３．３”、４゛−ビフェニルテトラカルボン酸
二無水物６．０６７ｇと、３，５−ジアミノ安息香酸メ
タクリロイルオキシエチルエステル３．８４２　ｇと、
トキシリレンジアミン０．８４３　ｇとを加え、２０℃
で２４時間、攪拌して重合反応を行って、ポリアミック
酸を生成した。次ぎに、このポリアミック酸の反応液に
ＮＭＰ１５３．７ｍｌを加えて希釈した後、その希釈液
に無水酢酸４１．１２ｇ、ピリジン１５．９３ｇ、およ
びベンゼン３０．１　ｍ　ｌを加え、４０℃で４時間、
イミド化反応させて、感光性ポリイミドを生成し、最後
に、この反応液にメタノールを滴下して加え感光性ポリ
イミドを粉末状に析出させ、その粉末を濾過して分離し
、白色のポリイミド粉末を得た。

参考例２ 〔有機シラン化合物（Ａ）の製造〕 ３−アミノプロとルートリエトキシシラン６．６４ｇ（
３０ミリモル）、トリエチルアミン３．０４ｇ（３０ミ
リモル）およびベンゼン１５０ｍｌの混合液を調製し、
その混合液に、氷水冷却下、アクリル酸クロリド２．７
２ｇ（３０ミリモル）とベンゼン５０　ｍ　Ｉｌの混合
液を滴下して加えて反応用混合液を調製した。−さらに
、上記の反応用混合液を、室温下で、４．５時間、攪拌
した後、水１００ｍｌを加えて、水相を分液した後、ベ
ンゼン相を無水硫酸ナトリウムで乾燥し、その溶液から
溶媒を減圧下に留去−して、反応生成物を約５．７０ｇ
の収量（収率６９％）で得た。

前記の反応生成物は、元素分析、赤外線吸収スペクトル
分析、ＮＭＲなどの種々の試験の結果、Ｎ−〔３−トリ
エトキシシリル−プロビルツーアクリルアミドであった
。

参考例３ 〔有機シラン化合物（Ｂ）の製造〕 アクリル酸クロリド２．７２ｇ（３０ミリモル）を、メ
タクリル酸クロリド３．１４ｇ（３０ミリモル）に変え
て使用したほかは、参考例３と同様に反応させて、反応
生成物を約６．６２　ｇの収量（収率７６％）で得た。

前記の反応生成物は、元素分析、赤外線吸収スペクトル
分析、ＮＭＲなどの種々の試験の結果、Ｎ−（３−）リ
エトキシシリループロビル〕−メタアクリルアミドであ
った。

実施例１ 参考例１で製造された感光性ポリイミド９．００ｇ　、
　１，３．５−　）リメタアクリロイルーへサヒドロ−
３−）リジン（光重合性モノマー）１．ＯＯｇ、参考例
２で製造したＮ−（３−（）リエトキシシリル）−ブロ
ビル〕−アクリルアミド（有機シラン化合物Ａ）　０．
０９　ｇ、　２．６−ジ（４’−アジドベンザル）−４
−メチルシクロヘキサン（光重合開始剤）１．００ｇ１
ハイドロキノン七ツメチルエーテル（１１℃合防止剤）
０．０２５ｇ、及び有機極性溶媒（ＮＭＰ４ｏ、　ｏ　
ｏ　ｇとジグライム４．５０　ｇとの混合溶媒）を混合
し溶解して、感光性ポリイミドの樹脂液組成物を調製し
た。この樹脂液組成物は、回転粘度（２５℃）が２２０
センチボイズであり、１０日間にわたって常温で放置し
ても実質的に回転粘度などの変化がなかった。

比較例１ 有機シラン化合物Ａをまったく使用しなかったほかは、
実施例１と同様にして、感光性ポリイミドの樹脂液組成
物を調製した。この樹脂液組成物は、回転粘度（２，５
℃）が２２０センチボイズであり、１０日間にわたって
常温で放置しても実質的に回転粘度などの変化がなかっ
た。

比較例２ 有機シラン化合物Ａを、γ−メタクリロイルオキシープ
ロピル−トリメトキシシラン０．２７　ｇに変えたほか
は、実施例１と同様にして、感光性ポリイミドの樹脂液
組成物を調製した。この樹脂液組成物は、回転粘度（２
５℃）が２２０センチボイズであり、１０日間にわたっ
て常温で放置しても実質的に回転粘度などの変化がなか
った。

比較例３ 有機シラン化合物Ａを、γ−（２−アミノエチル）アミ
ノ−プロピル−トリメトキシシラン０．０９ｇに変えた
（よかは、実施例１と同様にして、感光性ポリイミドの
樹脂液組成物を調製した。この樹脂液組成物は、室温で
放置すると調製直後から２時間後に寒天状に固化しゲル
化してしまった。

実施例２ 合成例１と同様な方法で得た感光性ポリイミド１０．０
０　ｇ、　１．３．５−）リメタアクリロイルーへサヒ
ドロー８−トリジン（光重合性モノマー）１．１０ｇ１
参考例３で得られたＮ−（３−ｔ−リエトキシシリルー
ブロビル〕メタクリルアミド（有機°シラン化合物Ｂ）
　０．２７　ｇ、　２．４−ジエチルチオキサントン（
光重合開始剤）０．４０ｇ、４−　（Ｎ、Ｎ−ジメチル
アミノ）安息香酸エチル（光増感剤）０．６０ｇ、ハイ
ドロキノンモノメチルエーテル（重合防止剤）０．０２
５ｇ、及び有機極性溶媒（ＮＭＰ４５．００ｇとジグラ
イム５．００ｇとの混合溶媒）を混合し溶解して、感光
性ポリイミドの樹脂液組成物を調製した。この樹脂液組
成物は、回転粘度（２５℃）が２２０センチボイズであ
り、１０日間にわたって常温に放置しても実質的に回転
粘度などの変化がなかった。

実施例３ 有機シラン化合物８０．２７ｇに変えて、Ｎ−（２−（
３−トリエトキシシリル−プロピル−アミノ）−エチル
ツーアクリルアミド（有機シラン化合物Ｃ）０．１０ｇ
を使用したほかは、実施例２と同様にして、感光性ポリ
イミドの樹脂液組成物を調製した。この樹脂液組成物は
、回転粘度（２５℃）が２００センチボイズであり、１
０日間にわたって常温で放置しても実質的に回転粘度な
どの変化がなかった。

比較例４ 有機シラン化合物Ｃを、Ｔ−アニリノ−プロピル−トリ
メトキシシラン０．１８　ｇに変えたほかは、実施例３
と同様にして、感光性ポリイミドの樹脂液組成物を調製
した。この樹脂液組成物は、回転粘度（２５℃）が２３
０センチポイズであり、１０日間にわたって常温で放置
しても実質的に回転粘度などの変化がなかった。

実施例４ 有機シラン化合物Ａ０．０９ｇに変えて、Ｎ−（３−ト
リメトキシシリル−プロピル〕メタクリルアミド（有機
シラン化合物Ｄ）０．１８ｇを使用したほかは、実施例
１と同様にして、感光性ポリイミドの樹脂液組成物を調
製した。この樹脂液組成物は、回転粘度（２５℃）が２
３０センチポイズであり、１０日間、常温で放置しても
実質的に回転粘度などの変化がなかった。

比較例５ 有機シラン化合物りを、γ−メルカプトプロピルートリ
メトキシシラン０．２７　ｇに変えたほかは、実施例４
と同様にして、感光性ポリイミドの樹脂液組成物を調製
した。この樹脂液組成物は、回転粘度（２５℃）が２２
０センチポイズであり、ｌＯ日日間わたって常温で放置
しても実質的に回転粘度などの変化がなかった。

各実施例および各比較例（比較例３を除く）で得られた
樹脂液組成物を使用して、各基板上に塗布膜を形成し、
ついで、その塗布膜を乾燥して、厚さ約２．５μｍの感
光性ポリイミドの被膜を形成し、それらの被膜について
、次に示す試験方法で、光感度、解像度、および光硬化
された後の鉛筆硬度、さらに５ｉ０２、シリコンウェハ
ー、Ａｌ１２０３の基板の表面への接着性を、それぞれ
測定し、その結果を第１表に示す。

（ａ）　　光感度　　　〜 回転塗布機を使用して、基板上の銅箔の表面上に樹脂液
組成物を塗布し、約６０℃の熱風乾燥機で１０分間乾燥
し、感光性ポリイミドの被膜（厚さ約２．５μｍ）を形
成し、その被膜上に、コダック２１段ステップタブレッ
ト（コダック社製、グレースケールＮ０２）を重ね合わ
せて密着し、超高圧水銀灯（岩崎電気■製　ジェットラ
イト　２ｋｗ）を使用して、５Ｊ／−の光量で光照射し
た後、現像液（ＮＭＰ）を使用して光照射がなされなか
った未硬化部分の樹脂を除去する現像を行い、光硬化す
るまでの光照射量を測定し、計算によって光感度の値（
単位ＨＪ／ａＪ）を算出した。

φ）　解像度 光感度の測定方法と同様にして形成された感光製ポリイ
ミドの被膜（２，５μｍ）について、ネガ型テストチャ
ート（凸版印刷■製、トラパンテストチャー）Ｎ、最小
線幅；０．９８±０．２５．ｕｍ）を重ね合わせて、光
感度の測定方法と同様の光照射および現像を行い、光硬
化されたレリーフパターンを形成し、そのパターンの状
態の良否を観察して、判定した。

（Ｃ１鉛筆硬度 感度測定で測定された光感度を示す光照射量の２倍の光
を照射したほかは、光感度の測定方法と同様にして、光
硬化を行い、その光硬化膜を２００℃の熱オープン中で
２時間、加熱処理し、その試料について、ＪＩＳ　　０
０２０２の８．１０の方法に従って鉛筆硬度を測定した
。

（ｄ）　　接着性 Ｓｔ　Ｏ２、シリコンウェハー、Ａｎ！２０３の基板の
表面に、光感度の測定方法と同様にして、感光性ポリイ
ミドの被膜を形成し、その被膜の光感度を満たす光照射
量の２倍の光を照射した後、２００℃の熟熱オープン中
で２時間、加熱処理し、その試料について、沸騰水中に
２時間浸漬して、その直後の接着性を、ＪＩＳ　　ＤＯ
２０２の８．１２（基盤目テスト）の方法に従って測定
した。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ビフェニルテトラカルボン酸類を主として含有するテト
   ラカルボン酸成分と、 一般式▲数式、化学式、表等があります▼（ I ） （ただし、Ａｒ＿１は、芳香族ジアミン化合物の二価の
   芳香族残基を示し、Ｒ＿１は、感光基を有する置換基を
   示す。）で示される芳香族ジアミン化合物を主として含
   有する芳香族ジアミン成分とを重合して得られる有機溶
   媒可溶性の感光性ポリイミド１００重量部、 一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼ （ただし、Ｒ＿２は、水素原子またはメチル基であり、
   Ｒ＿３は、メチル基またはエチル基であり、さらにｎは
   、０〜３の整数である。）で示される有機シラン化合物
   １〜２５重量部、および、 有機極性溶媒２００〜３０００重量部からなる感光性ポ
   リイミドの樹脂液組成物。