JPS61244280A - 振動とじ込め型超音波モ−タ - Google Patents

振動とじ込め型超音波モ−タ

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JPS61244280A
JPS61244280A JP60082668A JP8266885A JPS61244280A JP S61244280 A JPS61244280 A JP S61244280A JP 60082668 A JP60082668 A JP 60082668A JP 8266885 A JP8266885 A JP 8266885A JP S61244280 A JPS61244280 A JP S61244280A
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JP
Japan
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vibration
ultrasonic
ultrasonic motor
rotor
stator
Prior art date
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Pending
Application number
JP60082668A
Other languages
English (en)
Inventor
Akio Kumada
熊田 明生
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Maxell Ltd
Original Assignee
Hitachi Maxell Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Maxell Ltd filed Critical Hitachi Maxell Ltd
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Priority to US06/831,578 priority patent/US4642509A/en
Publication of JPS61244280A publication Critical patent/JPS61244280A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/103Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/001Driving devices, e.g. vibrators
    • H02N2/0045Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with torsion or shear modes

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野および発明の目的〕本発明は超音波
モータの改良に係り、出力の安定性に優れた超音波モー
タを擾供することを目的とする。
〔従来の技−術〕
一般に超音波モータは、端面の振動の軌跡が楕円運動を
描く超音波振動子の端面にロータを圧着することにより
、ロータに回転トルクが生じることを利用したものであ
る。機械的出力を大きくするため、或いは入出力効率を
高めるため、超音波振動系は共振状態で利用するのが普
通である。また、大きな出力トルクを得るためロータは
ステータに強く圧着されているので、ステータとロータ
は一体化した超音波振動系を構成している。このため圧
着力を変えれば共振周波数が変わり、回転数、トルクな
ど出力特性が微妙に変化する。それだけでなく、ロータ
は出力シャフトを通して負荷とつながっているので、負
荷も振動系に含まれ、従来の超音波モータでは出力特性
が負荷変動はもちろん、負荷シャフトとの結合状態にも
影響されるなどの欠点があった。
〔間HAを解決するための手段〕
この発明は上述した従来技術の欠点を解消するもので、
ステータの端面にロータを圧着した圧着面に超音波振動
を作用することにより、ロータが回転トルクを受けて回
転する超音波モータにおいて、超音波振動が出力側に伝
達されないように振動系を出力側から隔離し、回転力だ
けが出力されるようにしたことを特徴とする振動とじ込
め型超音波モータによって目的を達成したものである。
すなわち、超音波振動ごとにロータに回転トルクを与え
るねじりモードの振動をモータ内だけに閉じ込め出力側
に伝達されないようにしてモータの特性を安定化したも
のである。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面に従って評明する。
本発明に係る振動とじ込め型鯵音波モータの一実施例を
第1図に示す。超音波モータのステータは超音波振動子
としての機能を有するので構造、形状もさまざまである
が、ここでは本発明者の先願になる片持梁状超音波モー
タへの適用例を示すことにより発明の詳細な説明する。
まず従来の片持梁状超音波モータの構造を第2図に示す
。fJ1図と第2図との差異を見れば本発明の特徴が明
らかkなる。
つまり、ステータ1部分は全く同じであり、この例では
外径25m、内径10m、厚さ2wmのPb(ZrTi
 ) Oj系圧電厚み振動子1.および13をリード線
のついた燐青銅の端子板1.、  j、で、正分極面同
志が対向するように挾む。これらを直径25■。
厚さ13■のアルミニウム円板状産金1.の中心にセッ
トした径8■、長さ45簡のキャップボルト17に通し
、さらにこのキャップポル)K外径25箇、内径IQw
、長さ30m+のアルミニウムの円筒1.を通して、ボ
ルトの先を片持梁1.の円板状台部の底側中心のボルト
大に100Kp−esのトルクで締め付けた。ここでキ
ャップボルト1.には外径10mのPfPeパイプ1.
が被せであるので、前記圧電振動子1.、 1.および
端子板l、および1.は外周がずれることなく同心円の
状態でしつくり保持され、しかも2個の振動子1!、 
 1.は互に絶縁されている。
このように構成されたステータは、端子板14および1
.に40 K Hz附近の共振周波数の正弦波電圧を5
0〜100ボルト程度印加すると、ねじり、たてモード
で共振した。このとき片持梁の端面1゜は、高さ9fi
°、厚さ6 m 、幅25Mの梁が幅の中心とボルトの
中心を結ぶ高さ方向の線を軸としてねじり振動と同じに
軸方向のたて振動をする紡速として、軌跡が楕円を描く
振動をする。振幅は軸では09幅方向すなわち両外周に
対して互いに逆位相で、外周に向うほど大きくなる。こ
のねじり楕円モードの超音波振動をしているステータの
端面に、ロータ11の回転軸がねじり軸と一致するよう
に圧着すると四−夕11に回転トルクが生じる。
従来のモータでは第2図に示したように、外径25籠、
高さ5mの円板の底側の直径20m+の内部が深さ0.
5 w分だけ凹んでおり、さらに中心部に外径1011
1.内径4wm、高さ4■のボールベアリング12を嵌
合したロータ11をコイルスプリング14を通した太さ
4■長さ20mmのキャップボルト13で貫き、ボルト
13を片持梁の端面1゜の中心のボルト大に締めつける
ことkより、ロータ11の底の2.5■幅のリンク状摺
動面を片持梁の端面に圧着した。圧着力はコイルスプリ
ング14の反撥力がベアリング12に作用し、ロータ1
1の摺動面を圧着するので、力が強くなると振動子のね
じりモードが縮退し、ロータ11が逆回転を始め大きな
回転トルクが得られる。強力なモータが構成できたので
ロータ11の出力側の外径10雪、内径8−のパイプ1
7に負荷のシャフト15を挿入し、結合用のボルト16
でセットして負荷を駆動した。セットボルト16の締め
方が強過ぎなければ十分大きな出力が得られたが、セッ
トボルト16がゆるまないよう十分強く締め伺けると、
振動が負荷側に伝達され同時に出力が激減する。
この現象はセットボルトを締め付ける場合だけでなく、
ロータ11の出力側パイプを包むように軽く押すと回転
トルクが減少する。指先でさほど強くなく挾んだだけで
回転が止まるなど回転が不安定になる。
このよりに従来の超音波モータは回転トルク源であるね
じりモードの超音波振動がや荷側に伝達される結果、負
荷との結合状態、負荷変動などの影響を受けやすいなど
の欠卓があった。本発明はねじりモードの超音波振動が
出力側に伝達されるのをカットし、振動をモータ内にと
じ込めることにより特性を安定化したものである。すな
わち、ステータの振動は摺動面を逆してロータ11に伝
わり、さらに負荷シャフト2を通って負荷に伝達される
ので、負荷へ伝達させないためにはロータ11と負荷シ
ャフト20部分で伝達をカットすればよい。
実施例では図に示すように2つの方式を試み、いずれも
良好な結果を得た。第1の方式は第1図に示すようにロ
ータ11を摺動リング5と回転軸部3とに分け、その間
にシリコンゴム製の外径25箇、内径20■、厚さ2■
のリング4を挿入し、回転軸部3の中心に嵌合されたベ
アリング7を支持するボルト6の締め付方を摺動リング
5に伝え、しかも摺動リング5からの超音波振動はゴム
リング4で吸収した。このためゴムリング4は圧着力を
摺動爾に伝えると同時に、摺動リング5からの回転トル
クを負荷側に伝えるので、出力バイブ3に負荷シャフト
2を舒合し、ボルトで強く締めても、モータの出力特性
に変化は無かった。
第2の振動の伝達カット方式としては、ロータの出力側
をパイプ状にし、これに挿入する負荷シャフト2とボル
トで締めて一体化するのではなく、第3図に示すように
パイプ3の先端部に形成された縦溝31にシャフト2先
端の爪2.を嵌める方法を用いた。爪21は回転力を確
実に負荷に伝えるが、軸方向には滑動するので超音波振
動は伝達されずにカットされる。
以上述べた2つの方式はいずれもモータの出力特性を安
定化する優れた効果を示すが、両方式を同時に用いると
より安定となり出カッ(イブ、負荷シャフトを指で挟み
込んでも出力特性は変わらなくなった。以上述べたよう
にモータの回転トルク源である超音波ねじり振動をモー
タ内にとじ込めることによりモータの出力特性を安定化
することができた。
実施例2 上述の説明で、通常の方法で構成された圧電モータの場
合、ロータのシャフトを負荷と連結すると、超音波振動
がシャフトを通して負荷側に流れステータの共振状態が
負荷変動などの影響を受けやすくなることがわかった。
一方、回転機の回転シャフトは、機器本体を貫いて支持
されていることが安定を確保する立場からは望ましいこ
とである。ここでは、シャフトを貫通させて、より安定
性を図った実施例を第4図ないし第8図とともに説明す
る。第4図、算5図ならびに第6図は超音波モータの半
蓼断面図、右側面図ならびに右側面図、第7図ならびに
第8図は蒙4図のh−A′線上ならびにB −B’紐線
上断面図である。
シャフト30は本体を貫通し、中空ボルト26で支持さ
れている。シャフト30には円板29が°串刺に圧入さ
れており、シャツ)30にベアリングで支持されたロー
タ28の回転トルクを厚さ2■* iF径25 wsの
ドーナツ状シリコンゴム31によって伝達している。シ
リコンゴム31は回転トルクだけを負荷領に伝達し、超
音波振動は伝達しないので、シャフト30は超音波振動
系から隔離されている。
すなわち、この圧電モータの場合も超音波振動をステー
タを主とする共振系の中((とじ込め、回転トルクだけ
を出力できる構造にすることができたので、負荷との結
合も容易となり、出力特性を安定化させることができた
。なお、この実施例に示した振動とじ込め型圧電モータ
の構成は基本的には第1図および錆2図と同じであり、
シャフトを貫通させ中空ボルトに通し、ベアリングで支
持することによりシャフトの回転振れを抑えたことが新
らしい点であり、仲の点は共通のため詳細な説明は省略
する。なお、図中の22.23は振動子、24.25は
電極である。
以上述べたように本発明の目的は出力特性を安定化する
ことにふるが、このためにはステータの楕円振動そのも
のが安定なものでなければならない。この膚を直径25
mのモータ(実施例1に用いたものと同じ直径のモータ
)K関し、ステータの長さと楕円振動の発生効率および
振動の安定性について検討した。
その結果、キャップボルトの長さが30m以下、したが
ってステータの長さが48m以下、又はキャップボルト
の長さが55w以上、すなわち、ステータの全長が73
m以上の場合は楕円振動の発生効率が低かった。これに
反し、ステータ長が49■乃至72fiの範囲が発生効
率が高く、しかも実施例1に用いたボルト長45m、全
長63w1の場合が効率、安定性がともに優れていた。
その理由はステータの楕円振動が片持梁のねじり振動と
ステータのたて振動の合成振動であるため、直径255
m厚さ7mの円板上に厚さ60.高さ90の矩形板が直
立した構造の片持梁のねじり振動の基本周波数とステー
タの全長によって決まる。たて振動の基本周波数とがほ
ぼ一致し、両振動が結合し融合した結果によるものと言
える。
より一般的に言えばステータの長さを、ステータの径す
なわち片持梁の円板の径および円板の厚さ、片持梁の梁
の長さと厚さに対して、たて振動とねじシ振動が結合し
やすい長さに限定したとき、楕円振動の発生効率が最大
になシ、発生した振動も安定になる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明はステータの端面にロータ
を圧着した圧着面に超音波振動を作用することによりロ
ータが回転トルクを受けて回転する超音波モータにおい
て、超音波振動が出力側に伝達されないように振動系を
出力側から隔離し、回転力だけが出力されるように構成
したから本発明の振動とじ込め型超音波モータでは、出
力特性が出力シャフトと負荷との結合状態の影響を受け
なくなったので、負荷と容易に接続でき安定した出力が
得られるなど実用上はかり知れない程優れた効果がある
なお実施例に用いたシリコンゴムリング4は、摺動リン
グ5が摩耗して薄くなっても初期と変わらず一定の圧着
力を作用させる機能も併用しているので、材質的には、
機械振動に対する損失係数の大きい、振動を吸収しやす
い特性と伸び縮みしやすい特性を有するものなら利用す
ることができ、生ゴム、合成ゴム、含泡閤分子材料など
はいづれも有効である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例に係る超音波モータの半裁断面
図、第2図は従来の超音波モータの半裁断面図、第3図
は本発明の他の方式を説明するだめの要部分解斜視図、
第4図ないし第8図はさらに他の方式を説明するだめの
図で、第4図、第5図ならびに第6図は超音波モータの
半裁断面図、左側面図ならびに右側面図、第7図および
第8図は第4図のA −A’線上ならびにB −B”線
上の断面図である。 l・・自・・ステータ、2・・・・・・負荷シャフト、
3・・・・・・ロータ、4・・・・・・ゴムリング、5
・・・・・・摺動リング。 第1図 第3図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.ステータの端面にロータを圧着した圧着面に超音波
    振動を作用することによりロータが回転トルクを受けて
    回転する超音波モータにおいて、超音波振動が出力側に
    伝達されないように振動系を出力側から隔離し、回転力
    だけが出力されるようにしたことを特徴とする振動とじ
    込め型超音波モータ。
  2. 2.特許請求の範囲第1項記載の振動とじ込め型超音波
    モータにおいて、超音波振動源であるステータの長さを
    、これによつて決まるたて振動がねじり振動と結合する
    長さに限定したことを特徴とする超音波モータ。
  3. 3.特許請求の範囲第1項記載の振動とじ込め型超音波
    モータにおいて、前記振動系を出力側から隔離する手段
    として圧着力伝達機構に、機械的損失係数が大きい弾性
    材料のバネ効果を利用したことを特徴とする振動とじ込
    め型超音波モータ。 4 特許請求の範囲第1項記載の振動とじ込め型超音波
    モータにおいて、前記振動系を出力側から隔離する手段
    として、回転力出力伝達機構に、軸方向には自由に分離
    でき、回転方向だけに噛み合うシャフトを用いたことを
    特徴とする振動とじ込め型超音波モータ。
JP60082668A 1985-04-19 1985-04-19 振動とじ込め型超音波モ−タ Pending JPS61244280A (ja)

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EP86102249A EP0198183B1 (en) 1985-04-19 1986-02-20 Ultrasonic motor
DE8686102249T DE3686345T2 (de) 1985-04-19 1986-02-20 Ultraschallmotor.
US06/831,578 US4642509A (en) 1985-04-19 1986-02-21 Ultrasonic motor using bending, longitudinal and torsional vibrations

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63270033A (ja) * 1987-04-30 1988-11-08 Olympus Optical Co Ltd 超音波内視鏡
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CN113523913A (zh) * 2021-07-12 2021-10-22 长春理工大学 一种超声能束辅助高效低损伤超精密研抛装置及方法

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