JPS6125962Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案の真空式の吸着テーブルにおいて、テ
ーブルとブロアを結ぶ配管の中間に配置する吸着
テーブル用管路切換弁の改良に関するものであ
る。

真空式の吸着テーブルでは加工材の交換時に吸
引力を解除するが、従来装置ではこのために第８
図に示すような吸着開放弁１を管路２の中間に設
けている。すなわち弁箱３の下面に管路２と通ず
る通気孔４をあけ、この通気孔４をエアシリンダ
５によつて昇降する弁体６により開閉すると共
に、弁箱３の側面には大気と通ずる外気孔７を複
数設けたものである。そして加工材の交換時に
は、ブロア（図示せず）を停止させると同時にエ
アシリンダ５により弁体６を作動して、通気孔４
を開く。通気孔４の開口により、吸着テーブルの
真空室（ともに図示せず）は外気と連通して吸着
力を失わせて、加工材を容易に交換できるように
している。しかし、この装置では、上記の説明か
ら明らかように、加工材を交換する毎にブロアを
停止・起動させねばならない欠点がある。

この考案は、上記の欠点を解消するために提案
した切換弁で、ブロアを停止することなしに加工
材を容易に交換できるようにすることを目的とす
るもので、つぎのように構成する。吸着テーブル
とブロアを結ぶ管路の中間に、回転軸を中心とす
る回転により管路を開閉する開閉弁を取付け、該
開閉弁の吸着テーブル側とブロア側とに外気吸入
口を設けると共に、この外気吸入口に回転により
開閉する開閉シヤツタを設け、該開閉シヤツタの
回転中心を前記開閉弁の回転軸の一端に固定し
て、開閉弁を管路を閉じたとき開閉シヤツタが両
外気吸入口を開くようにした吸着テーブル用の管
路切換弁である。

以下に、上記構成を具体化した実施例を図面に
基いて説明する。１１は内部に真空室１２を有す
る吸着テーブルで、テーブル１１の表面には真空
室１２を通ずる吸気孔１３を複数個穿設する。吸
着テーブル１１はベツド１４上にレール１５を介
して摺動自在に配設し、真空室１２からはブロワ
１６に通ずる管路１７を設ける。１８はブロワ１
６に入る空気から木屑片等の夾雑物を除去する集
塵器で、内部には空気のみを通して、夾雑物を貯
める布袋フイルター１９を備える。管路１７の中
間に、この考案に係る管路切換弁２０を装着す
る。２１は円筒状の本体で、その両端を吸着テー
ブル１１とブロ１６とを接続する管路１７１と１
７２の内端に連結する。本体２１内には、該本体
２１の流路２２を開閉する開閉弁２３を設ける。
開閉弁２３は直径方向に設けた回転軸２４を中心
として左右方向に回転する円盤で、回転軸２４の
上下端を本体２１の上壁と下壁に回転自在にとめ
る。本体２１の上面で、且つ開閉弁２３の吸着テ
ーブル１１側とブロア１６側とに外気吸入口２５
１，２５２をあけ、その上に両外気吸入口２５
１，２５２を開閉する開閉弁シヤツタ２６を設け
る。開閉シヤツタ２６は２枚の円板２６１，２６
１を連結した板状体で、その回転中心２７を開閉
弁２３の回転軸２４の上端に固定する。そしてそ
の向きを、前記開閉弁２３が流路２２を閉じたと
き、該開閉シヤツタ２６が両方の外気吸入口２５
１，２５２を開くようにして取付ける。２８は回
転用のシリンダで、そのロツド２９の先端を開閉
シヤツタ２６の一側に枢着３０して、ロツド２９
の進退により開閉弁２３を含む開閉シヤツタ２６
を矢印方向に回転させる。

つぎに上記装置の動作について説明する。作業
が終了した加工材を交換するには、シリンダ２８
を作動し、ロツド２９を伸長して開閉シヤツタ２
６と開閉弁２３を時計方向に回わす。両者の回動
により、開閉弁２３は流路２２を閉じ、開閉シヤ
ツタ２６は、外気吸入口２５１，２５２を開く。
流路２２が閉じると、ブロワ１６による真空室１
２への吸引作用は遮断され、更に外気吸入口２５
１の開口により、真空室１２は外気と連通して大
気が流入するため、吸着力は消滅して加工材は吸
着テーブル１１より容易に外れる。また外気吸入
口２５２の開口により、ブロワ１６は大気を吸引
する。このため管路１７は閉じても、ブロワ１６
は焼付くことなく回転をつづけることができる。
つぎの加工材を吸着テーブル１１に固定するに
は、解放時とは逆にシリンダ２８のロツド２８１
を短縮して、開閉シヤツタ２６と開閉弁２３を反
時計方向に回わす。両者の回動により、開閉弁２
３は流路２２を開き、同時に開閉シヤツタ２６に
より外気吸入口２５１，２５２を閉じる。流路２
２が開くと、ブロワ１６の吸引作用により、真空
室１２は再び真空となり、その吸着力により加工
材をテーブル側に吸引して、これを固定する。外
気吸入口２５１，２５２は、開閉シヤツタ２６に
より閉じられ、管路１７に大気は流入しなくなる
ため、真空室１２の真空度は急速に高まつてゆ
く。

この考案は以上説明したように、吸着テーブル
とブロワを結ぶ管路の中間に管路を開閉する開閉
弁と、該開閉弁と一体的に動作する開閉シヤツタ
とを設け、前記開閉弁が管路を閉じたとき、開閉
シヤツタが開閉弁の吸着テーブル側とブロア側と
に設けた外気吸入口を閉じるように構成して、管
路の閉塞と同時に且つ自動的にブロアを大気と連
通するようにしたため、加工材の交換時にブロア
を停止しなければならないという従来装置の欠点
を解消できた。また、これと同時に真空室も自動
的に大気と連通させたため、速やかに加工材への
吸着力を零となしうるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の管路切換弁を配置した吸着
テーブルとブロアを示す正面図、第２図は管路を
開いた管路切換弁を示す斜視図、第３図は同縦断
面図、第４図は同平面図、第５図は管路を閉じた
管路切換弁を示す斜視図、第６図は同縦断面図、
第７図は同平面図、第８図は従来の吸着開放弁を
示す縦断面図である。 １１……吸着テーブル、１６……ブロワ、１７
……管路、２０……管路切換弁、２１……文体、
２３……開閉弁、２５１，２５２……外気吸入
口、２６……開閉シヤツタ、２７……回転中心。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 吸着テーブルとブロアを結ぶ管路の中間に、回
   転により管路を開閉する開閉弁を取付け、該開閉
   弁の吸着テーブル側とブロア側とに外気吸入口を
   設けると共に、この外気吸入口に回転により開閉
   する開閉シヤツタを設け、該開閉シヤツタの回転
   中心を前記開閉弁の回転軸の一端に固定して、開
   閉弁が管路を閉じたとき開閉シヤツタが両外気吸
   入口を開くようにした吸着テーブル用管路切換
   弁。