JPS61273502A - 光フアイバアレイの製造方法 - Google Patents
光フアイバアレイの製造方法Info
- Publication number
- JPS61273502A JPS61273502A JP60117005A JP11700585A JPS61273502A JP S61273502 A JPS61273502 A JP S61273502A JP 60117005 A JP60117005 A JP 60117005A JP 11700585 A JP11700585 A JP 11700585A JP S61273502 A JPS61273502 A JP S61273502A
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- Japan
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- metal
- optical fiber
- low melting
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- grooves
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- Pending
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- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
基板に設けた並列した複数の溝に光ファイバを固着して
光ファイバアレイを製造するにあたり、溝の底部に充填
した低融点金属をレーザ光で溶融固着することにより、
固着時間の短縮を行う。
光ファイバアレイを製造するにあたり、溝の底部に充填
した低融点金属をレーザ光で溶融固着することにより、
固着時間の短縮を行う。
本発明は光ファイバアレイの製造方法の改良に関する。
半導体技術の進歩とともに発光素子、或いは受光素子を
近接並列した発光素子アレイ、受光素子アレイが提供さ
れている。
近接並列した発光素子アレイ、受光素子アレイが提供さ
れている。
これに伴い、これらの発光素子アレイ、受光素子アレイ
と光結合する高精度で、且つ製造工数の削減された光フ
ァイバアレイが要求されている。
と光結合する高精度で、且つ製造工数の削減された光フ
ァイバアレイが要求されている。
従来の光ファイバアレイの製造方法は、下記のとおりで
ある。
ある。
基板、例えばシリコン等の半導体基板の上面に複数の平
行な溝を近接して形成する。
行な溝を近接して形成する。
この溝の形成にあたり、フォトリソグラフィ手段により
ケミカルエツチング等にて、高精度（製作誤差が１μｍ
以下）のＶ溝（溝の頂角は７０・６度）が得られること
は公知である。
ケミカルエツチング等にて、高精度（製作誤差が１μｍ
以下）のＶ溝（溝の頂角は７０・６度）が得られること
は公知である。
そして、それぞれの溝に光ファイバを挿入し、溝及び光
ファイバの周囲に、接着剤（例えばエポキシ樹脂接着剤
）を充填した後に、光ファイバの上部を押え板等で押圧
し、接着剤が硬化するまで放置して、光ファイバを溝に
固着する。
ファイバの周囲に、接着剤（例えばエポキシ樹脂接着剤
）を充填した後に、光ファイバの上部を押え板等で押圧
し、接着剤が硬化するまで放置して、光ファイバを溝に
固着する。
しかしながら上記従来の接着剤による固着手段は、接着
剤が完全に硬化するまでに数時間を要し、製作工数が長
いという問題点がある。
剤が完全に硬化するまでに数時間を要し、製作工数が長
いという問題点がある。
また、接着剤が硬化中に押え板等に不用意に外力が与え
られ、光ファイバの押さえが不良になると、光ファイバ
が軸ずれ状態で固着されるという問題点がある。
られ、光ファイバの押さえが不良になると、光ファイバ
が軸ずれ状態で固着されるという問題点がある。
上記従来の問題点を解決するため本発明は、第１図に示
す工程図のように、基板１上に平行に形成された複数の
溝２の壁面に金属層３を形成し、溝２の底に低融点金属
４（例えば半田）を充填した後に、溝２のそれぞれに、
溝面側にメタライズ膜６を施した光ファイバ５を整列し
、光ファイバ５の上部を透明板７で押えた状態で、透明
板７の上方よりレーザ光を照射する。
す工程図のように、基板１上に平行に形成された複数の
溝２の壁面に金属層３を形成し、溝２の底に低融点金属
４（例えば半田）を充填した後に、溝２のそれぞれに、
溝面側にメタライズ膜６を施した光ファイバ５を整列し
、光ファイバ５の上部を透明板７で押えた状態で、透明
板７の上方よりレーザ光を照射する。
このことにより、低融点金属４が光ファイバ５及び溝に
溶着して、ファイバ５を溝２に短時間で整列固着するこ
とができる。
溶着して、ファイバ５を溝２に短時間で整列固着するこ
とができる。
上記手段によれば、高精度に形成されそれぞれの溝２に
は、金属層３が形成されており、また光ファイバ５の溝
２例の面はメタライズされているので、低融点金属４の
付着性が良好である。
は、金属層３が形成されており、また光ファイバ５の溝
２例の面はメタライズされているので、低融点金属４の
付着性が良好である。
また、レーザ光は透明板７及び光ファイバ５を透過する
ので、容易に且つ瞬間的に、低融点金属４を溶融するこ
とができ、レーザ光の照射を停止すると低融点金属４は
短時間で凝固する。
ので、容易に且つ瞬間的に、低融点金属４を溶融するこ
とができ、レーザ光の照射を停止すると低融点金属４は
短時間で凝固する。
したがって、複数の光ファイバ５を基板ｌに整列固着す
る時間が短い。
る時間が短い。
また固着時間が短いので、透明板７が動く恐れが少ない
。よって、高精度の光ファイバアレイを得ることが容易
である。
。よって、高精度の光ファイバアレイを得ることが容易
である。
以下図示実施例により、本発明を具体的に説明する。
第１図は本発明の１実施例の工程を示す図で、（ａ）、
（ｂ）、 （Ｃ）、 （ｄ）はそれぞれ固着過程の断
面図である。
（ｂ）、 （Ｃ）、 （ｄ）はそれぞれ固着過程の断
面図である。
本発明の光ファイバアレイの製造方法は、まず第１図（
ａ）のように、従来の製造過程と同手段により基板１、
例えばシリコン等の半導体基板の上面に複数の平行な溝
２を近接して形成する。
ａ）のように、従来の製造過程と同手段により基板１、
例えばシリコン等の半導体基板の上面に複数の平行な溝
２を近接して形成する。
次に溝２の内壁（図の如くに基板１の上面の全面で差支
えない）に、厚さが数千人の金属層（例えば金層）３を
蒸着等して形成する。
えない）に、厚さが数千人の金属層（例えば金層）３を
蒸着等して形成する。
その後第１図（ｂ）のように、溝２の底部に低融点金属
４（例えば半田）を充填する。
４（例えば半田）を充填する。
一方、予め光ファイバ５の円周面に、はぼ半円状にメタ
ライズ膜６を形成しておく。このメタライズ膜６はクロ
ムを蒸着し、クロム膜の表面に金を蒸着等すことにより
、容易に形成することができる。
ライズ膜６を形成しておく。このメタライズ膜６はクロ
ムを蒸着し、クロム膜の表面に金を蒸着等すことにより
、容易に形成することができる。
このようにメタライズ膜６を形成した光ファイバ５を、
第１図（Ｃ）のように、メタライズ膜６を低融点金属４
に当接する如くにして、溝２に挿入整列する。
第１図（Ｃ）のように、メタライズ膜６を低融点金属４
に当接する如くにして、溝２に挿入整列する。
そして、第１図（ｄ）のように、並列した光ファイバ５
の上部に透明板７（例えばガラス板）を載せ、透明板７
の所望の個所に重りを載せる。
の上部に透明板７（例えばガラス板）を載せ、透明板７
の所望の個所に重りを載せる。
このように透明板７で光ファイバ５を押圧した状態で、
透明板７の上方より、低融点金属４にレーザ光（例えば
波長が１．０６μｍのＹＡＧレーザ）を照射して、低融
点金属４を溶融し、光ファイバ５を溝２に固着する。
透明板７の上方より、低融点金属４にレーザ光（例えば
波長が１．０６μｍのＹＡＧレーザ）を照射して、低融
点金属４を溶融し、光ファイバ５を溝２に固着する。
この際、レーザ光は透明板７及び光ファイバ５を透過す
る。したがって、効率良く低溶融金属４部分に到達し、
低溶融金属４を局部的に且つ、瞬間的に溶融する。レー
ザ光の照射を停止すると低溶融金属４は短時間で凝固す
るので、複数の光ファイバ５を基板１に整列固着する時
間が短い。
る。したがって、効率良く低溶融金属４部分に到達し、
低溶融金属４を局部的に且つ、瞬間的に溶融する。レー
ザ光の照射を停止すると低溶融金属４は短時間で凝固す
るので、複数の光ファイバ５を基板１に整列固着する時
間が短い。
また、それぞれの溝２には、金属層３が形成され、光フ
ァイバ５の低溶融金属４の面はメタライズされているの
で、低溶融金属４の付着性が良好である。
ァイバ５の低溶融金属４の面はメタライズされているの
で、低溶融金属４の付着性が良好である。
なお、光ファイバ５が加圧された状態で低溶融金属４が
溶融するので、溶融した低溶融金属４は溝２の内壁に沿
って一様の厚さで上昇する。したがって、光ファイバ５
の軸心は溝２の中心線上にあり、一方光ファイバ５の軸
心の高さは隣接した他の光ファイバと一致してそれぞれ
の溝２の所定の位置で固着する。即ち、整列の精度が高
く、光結合度の高い光ファイバアレイが得られる。
溶融するので、溶融した低溶融金属４は溝２の内壁に沿
って一様の厚さで上昇する。したがって、光ファイバ５
の軸心は溝２の中心線上にあり、一方光ファイバ５の軸
心の高さは隣接した他の光ファイバと一致してそれぞれ
の溝２の所定の位置で固着する。即ち、整列の精度が高
く、光結合度の高い光ファイバアレイが得られる。
以上説明したように本発明は、低溶融金属をレーザ光で
溶融するようにしたことにより、複数の光ファイバを基
板に確実に、且つ短時間で整列固着することができて低
コストであり、また整列のの精度が高くて光結合度の高
い光ファイバアレイが得られる等、実用上で優れた効果
がある。
溶融するようにしたことにより、複数の光ファイバを基
板に確実に、且つ短時間で整列固着することができて低
コストであり、また整列のの精度が高くて光結合度の高
い光ファイバアレイが得られる等、実用上で優れた効果
がある。
第１図は本発明の１実施例の工程を示す図で、（ａ）、
（ｂ）、 （Ｃ）、 （ｄ）はそれぞれ固着過程の断
面図である。 図において、 １は基板、 ２は溝、 ３は金属層、 ４は低溶融金属、５は光フ
ァイバ、 ６はメタライズ膜、７は透明板を示
す。
（ｂ）、 （Ｃ）、 （ｄ）はそれぞれ固着過程の断
面図である。 図において、 １は基板、 ２は溝、 ３は金属層、 ４は低溶融金属、５は光フ
ァイバ、 ６はメタライズ膜、７は透明板を示
す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 基板（１）上に平行に形成された複数の溝（２）の壁面
に金属層（３）を形成し、 該溝（２）の底に低融点金属（４）を充填した後に、該
溝（２）のそれぞれに、溝面側にメタライズ膜（６）を
施した光ファイバ（５）を整列し、該光ファイバ（５）
の上方よりレーザ光を照射して該低融点金属（４）を溶
融せしめ、該光ファイバ（５）を該溝（２）に整列固着
することを特徴とする光ファイバアレイの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60117005A JPS61273502A (ja) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | 光フアイバアレイの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60117005A JPS61273502A (ja) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | 光フアイバアレイの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61273502A true JPS61273502A (ja) | 1986-12-03 |
Family
ID=14701103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60117005A Pending JPS61273502A (ja) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | 光フアイバアレイの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61273502A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0854372A1 (en) * | 1997-01-17 | 1998-07-22 | Ngk Insulators, Ltd. | Optical transmitting member-holding structure |
| US5889914A (en) * | 1994-06-30 | 1999-03-30 | Kyocera Corporation | Optical fiber positioning member and method of positioning fixed optical fibers by using the member |
-
1985
- 1985-05-30 JP JP60117005A patent/JPS61273502A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5889914A (en) * | 1994-06-30 | 1999-03-30 | Kyocera Corporation | Optical fiber positioning member and method of positioning fixed optical fibers by using the member |
| EP0854372A1 (en) * | 1997-01-17 | 1998-07-22 | Ngk Insulators, Ltd. | Optical transmitting member-holding structure |
| US6195495B1 (en) | 1997-01-17 | 2001-02-27 | Ngk Insulators, Ltd. | Optical transmitting member-holding structure |
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