JPS61275805A - 光整形装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光露光装置に用いる整形した光源の４１１造
に関する。

〔従来の技術〕

従来、光露光製置における光源の整形には、点光源に対
しては、レンズあるいは反引光学系により整形して用い
るのが通例であった。

〔発明が解決しようとする問題点及び目的〕しかし、上
記従来技術によると、整形、及び光学系ガラス等の通過
による発光エネルギーを効率良く整形することが困難で
あると共に、自由な形への整形も困難であるという問題
点があった。

本発明はかかる従来技術の問題点を屏決し、効率良く、
自由な形に整形できる光整形装置ｔを提供することを目
的とする。

〔問題を解決する之めの手段〕

本発明は、かかる従来技術の問題点を解決するために、
光整形装置に於て、点光源からの光を周囲に多数個配列
した光ファイバーにて収束し、方形あるいは線形等に整
形する事をｔ￥ｆ徴とする。

〔作用〕

点光源からの光を多数個の光ファイバーにて収束する事
により、発光光線の効率的な捕そくができると共に、光
ファイバーのり撓性により、光ファイバーを自由な形に
収束することができ、自由な形の整形が可能となる作用
がある。

〔実施例〕

第１図は、本発明による点光源の光ファイバーによる光
整形法を示す模式図である。すなわち。

電極１，２１反射コートした石英バルブＳ、窓部４、タ
ングステン電極５，６から成るＸθ−Ｈｇ　ランプの発
光点７からの光は窓４から放出され、該窓４の周辺に配
置された光ファイバー８により捕そくされ、該光ファイ
バー８が収束された元ファイバー束９全通って、該光フ
アイバー束の断面が自由な形、この場合は方形に整形さ
れた趨部１０より、方形光源として光放射されることと
なる。

〔発明の効果〕

本発明の如く、光整形装置に於て、点光源からの光を周
囲に多数個配列した光ファイバーにて収束し、方形ある
いは線形等に整形することにより発光光を効率よく捕そ
くできると共に、自由な形に光源を整形できる効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例を示す。点光源の光ファイ
バーによる光整形法を示す模式図である。 １．２・・・電極 ５・・・石英パルプ ４・・・窓 ５．６・・・タングステン電極 ７・・・点光激 ８・・・光間そ〈光ファイバー ９・・・収束光ファイバー １０・・・整形光源 以　　　上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 点光源からの光を、周囲に多数個配列した光フアイバー
   にて収束し、方形あるいは線形等に整形する事を特徴と
   する光整形装置。