JPS61278183A - エンハンスト・レ−ザ出力発生方法及びその発生用電源 - Google Patents

エンハンスト・レ−ザ出力発生方法及びその発生用電源

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Publication number
JPS61278183A
JPS61278183A JP11980085A JP11980085A JPS61278183A JP S61278183 A JPS61278183 A JP S61278183A JP 11980085 A JP11980085 A JP 11980085A JP 11980085 A JP11980085 A JP 11980085A JP S61278183 A JPS61278183 A JP S61278183A
Authority
JP
Japan
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power supply
enhanced
laser output
level
voltage
Prior art date
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Pending
Application number
JP11980085A
Other languages
English (en)
Inventor
Hideomi Takahashi
秀臣 高橋
Eiji Kaneko
英治 金子
Koichi Yasuoka
康一 安岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP11980085A priority Critical patent/JPS61278183A/ja
Publication of JPS61278183A publication Critical patent/JPS61278183A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/097Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の技術分野) 本発明はレーザ発娠におけるエンハンスト・レーザ出力
の発生方法及びその発生用電源に関する。
(発明の技術的背景とその問題点〕 第4図に従来のレーザ用パルス電源を用いたレーザ発振
器の概略構成図を示す。
図において、1は、レーザ発振器本体であり、2はカソ
ード、3はアノードでこれにパルス電源4より、急峻な
パルスを重畳したいわゆるエンハンスト・パルスがカソ
ード2とアノード3間に印加される。パルス電源4の駆
動は信号発生器5によって行なわれる。。
第6図に示した様に従来のパルス電源でエンハンストを
行なう場合、そのレーザ出力波形はシマーレベルVsよ
り、いきなりエンハンストのピークVeに立ち上げてい
たためレーザ出力はいわゆる形成遅れjaと放電遅れt
aとの為にエンハンスト効果を1qることは困難であっ
た。
たとえば増幅管4aの耐電圧上の問題が生じる。すなわ
ち耐電圧特性及び周波数特性の良い増幅管4aが必要と
なり、しかもその最高要求特性は時間幅t2の僅かな時
間だけで、大部分の時間(tl−tz=−tl)は尖頭
値が低く(Vl)、立ち上りの遅いパルスの特性で十分
なため、増幅管4aの要求能力が使用効率的に経済的な
ものとは言えなかった。
〔発明の目的〕
本発明はエンハンスト・レーザ出力の発生方法及び経済
的構成を有するエンハンスト・レーザ出力発生用電源を
提供することを目的とする。
〔発明の概要〕
かかる第1の目的を達成するため陰・陽極間にエンハン
スト・パルス電圧を印加してレーザ出力を得てなるエン
ハンスト・レーザ出力発生方法において、前記陰・陽極
間に印加する電圧をシマーレベルより所定の電圧に励起
した後、エンハンスト・レベルへ立ち上げることを特徴
とする。
第2の目的を達成するためレーザ発振器本体に直列接続
されるエンハンスト・レーザ出力発生用電源において、
前記電源は急峻波形パルス発生用の第1のパルス電源部
と、相対的に立ち上りの遅いパルス発生用の第2のパル
ス電源部とを直列接続して成るとともに、第1のパルス
電源部は第2のパルス電源部の発生パルスが電源本体を
バイパスするダイオードを備え、第2のパルス電源部は
第1のパルス電源部の発生パルスが電源本体をバイパス
するコンデンサを備えて成ることを特徴とする。
〔発明の実施例〕
本発明の第1の実施例を第1図を参照して説明する。
本発明者等はエンハンスト・レーザ放電を行なうに特に
問題となる形成遅れjaが、陰極の温度に関係した現象
であり第1図に示した様に、シマーレベルVsより高い
電圧レベルVtを陰極に印加して グローを陰極に十分
に形成出来ることを見出した。
従って本発明では、シマーレベル (simmerl 
eve l )より一度、適当な電圧Vtまで励起して
レーザ出力を若干用した状態にしておき、形成遅れta
や放電遅れ1.を無くした時点で、エンハンスト・レベ
ルVeに立ち上げるのでレー■ア出力は第1図に示した
様に所望のエンハンスト特性を確実に1qることか出来
る。
しかも電圧Vtでのレーザ出力Lmは十分に低いレベル
に選定出来るので、加工物を加熱したりしてエンハンス
トの効果を減少させる様なことも無い。
本発明の第2の実施例を第2図及び第3図を参照して説
明する。
第4図と同一部分には同符号を符している。
さて、図において、レーザ発振器本体1に直列接続され
るレーザ発振器用電源4は急峻波パルス発生用のパルス
電源部6と相対的に遅い立ち上りのパルス発生用のパル
ス電源部7の直列回路で構成されている。パルス電源部
6は急峻波パルス発生用電源本体61と、この電源本体
61は結合トランス62の1次側に接続され、2次側に
は並列にダイオード63が接続され構成されている。パ
ルス電源部7は相対的に遅い立ち上りのパルス発生用の
電源本体71と、これに並列接続されるコンデンサ72
とから構成されている。
このように、パルス電源部6,7は直列接続されており
、ざらに、それぞれの電源部6,7のダイオード63及
びコンデンサ72の作用により第2図(C)に示すエン
ハンスト・パルスがシー11発振器本体1に印加され、
第2図1の様に所望のエンハンスト・レーザ出力が得ら
れることとなる。
即ち、パルス電源部6は急峻波形のパルスのみ生成すれ
ばよいから耐電圧上の問題はない。
一方、第2図0に示すパルス電源部7で生成される相対
的に立ち上りの遅いパルスはダイオード63にてバイパ
スされるため、急峻波形パルス発生用の電源本体61は
その耐電圧要求特性の軽減を図ることができる。又、急
峻波形のパルスはコンデンサ72のため電源本体62に
は印加されないため、この電源本体62がどの様な周波
数特性を有していようと、エンハンスト・パルス波形(
第2図(C))が生成される。
この様に本発明によれば急峻波パルス発生用電源の要求
特性を厳しくすることなく所要のエンハンスト・パルス
を得ることが可能となる。
この様に本発明の構成に係る電源を用いると従来、非常
に困難と考えられていた多ピンの横流タイプのレーザに
対してもエンハンスト効果を可能とすることかできる。
(発明の効果) 以上説明したように本発明によれば、エンハンスト・レ
ーザ出力の発生を可能とし、経済的構成を有するその発
生用電源を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第2図は本発明の第2の実施例のレーザ発振器用電源の
構成図、第3図(2)、 (11,(C)、 Dは第2
図の実施例に係る電圧波形図、第1図は本発明の第1の
実施例に係るエンハンスト・パルスとレーザ出力波形の
関係図、第4図は従来のレーザ発振器用電源の構成図、
第5図はレーザ発振器本体に印加される電圧波形説明図
、第6図は従来のエンハンスlへ・パルスとレーザ出力
波形の関係図である。 1・・・レーザ発振器本体 4・・・レーザ発振器用電源 6.7・・・パルス電源部 61、71・・・電源本体 62・・・結合トランス 63・・・ダイオード 72・・・コンデンサ Ve・・・エンハンスト・レベル(電圧)Vt・・・シ
マーレベル(電圧) 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 (ばか1名) 第1図 第2図 フlム (幻          (す (b]                      
      (d)第3図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、陰・陽極間にエンハンスト・パルス電圧を印加して
    レーザ出力を得てなるエンハンスト・レーザ出力発生方
    法において、前記陰・陽極間に印加する電圧をシマーレ
    ベルより所定の電圧に励起した後、エンハンストレベル
    へ立ち上げることを特徴とするエンハンスト・レーザ出
    力発生方法。 2、レーザ発振器本体に直列接続されるエンハンスト・
    レーザ出力発生用電源において、前記電源は急峻波形パ
    ルス発生用の第1のパルス電源部と、相対的に立ち上り
    の遅いパルス発生用の第2のパルス電源部とを直列接続
    して成るとともに、第1のパルス電源部は第2のパルス
    電源部の発生パルスが電源本体をバイパスするダイオー
    ドを備え、第2のパルス電源部は第1のパルス電源部の
    発生パルスが電源本体をバイパスするコンデンサを備え
    て成ることを特徴とするエンハンスト・レーザ出力発生
    用電源。
JP11980085A 1985-06-04 1985-06-04 エンハンスト・レ−ザ出力発生方法及びその発生用電源 Pending JPS61278183A (ja)

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JPS61278183A true JPS61278183A (ja) 1986-12-09

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ID=14770536

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