JPS61284028A - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
- Publication number
- JPS61284028A JPS61284028A JP12421185A JP12421185A JPS61284028A JP S61284028 A JPS61284028 A JP S61284028A JP 12421185 A JP12421185 A JP 12421185A JP 12421185 A JP12421185 A JP 12421185A JP S61284028 A JPS61284028 A JP S61284028A
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- JP
- Japan
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- panel
- light source
- shadow mask
- long
- light
- Prior art date
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、カラーブラウン管の蛍光面形成に用いられ
る露光装置に関する。
る露光装置に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
カラーブラウン管は、外囲器前面部内側に配設されたシ
ャドウマスクに対向して、パネル内面に３色蛍光体から
なる蛍光面を有する。この蛍光面は、パネル内面に感光
性樹脂溶液に蛍光体を混合して調製されたスラリーなど
を塗布したのち、その塗布膜にシャドウマスクを介して
光を照射して作られ、その光照射に露光装置が用いられ
る。
ャドウマスクに対向して、パネル内面に３色蛍光体から
なる蛍光面を有する。この蛍光面は、パネル内面に感光
性樹脂溶液に蛍光体を混合して調製されたスラリーなど
を塗布したのち、その塗布膜にシャドウマスクを介して
光を照射して作られ、その光照射に露光装置が用いられ
る。
この露光装置は、支持台に位置ぎめされたパネルに対し
て、所定位置に配置された光源のほか、シャドウマスク
の透孔を通ってパネルに入射する光の光路を補正する補
正レンズ、パネル内面に入射する光を制御するシャッタ
などを備える各種構造のものが利用されている。
て、所定位置に配置された光源のほか、シャドウマスク
の透孔を通ってパネルに入射する光の光路を補正する補
正レンズ、パネル内面に入射する光を制御するシャッタ
などを備える各種構造のものが利用されている。
この露光装置を用い、シャドウマスクとして、複数個の
スリット状透孔が狭幅のブリッジを介してシャドウマス
クの短軸方向に配列されたシャドウマスクにより、パネ
ル内面に、その短軸方向に上記透孔配列に対応してスト
ライプ状の３色蛍光体が配列された蛍光面を形成すると
きは、通常、光源は、点光源を上記ストライプ状蛍光体
の長手方向に移動させるか、または上記ストライプ状蛍
光体の長手方向に長い管状の長光源が用いられる。
スリット状透孔が狭幅のブリッジを介してシャドウマス
クの短軸方向に配列されたシャドウマスクにより、パネ
ル内面に、その短軸方向に上記透孔配列に対応してスト
ライプ状の３色蛍光体が配列された蛍光面を形成すると
きは、通常、光源は、点光源を上記ストライプ状蛍光体
の長手方向に移動させるか、または上記ストライプ状蛍
光体の長手方向に長い管状の長光源が用いられる。
しかしこのような光源を用いても、シャドウマスクのブ
リッジのために、パネルの短軸方向に均一な照度分布を
得ることがむつかしく、形成されるストライプには、上
記ブリッジに対応するくびれができやすい。
リッジのために、パネルの短軸方向に均一な照度分布を
得ることがむつかしく、形成されるストライプには、上
記ブリッジに対応するくびれができやすい。
これを解決するために、特公昭５８−５６９３９号公報
には、管状の長光源に沿って、その長手方向にスリット
遮光板を一定距離移動させる技術が開示されている。こ
の露光方法によれば、パネル全面にわたりくびれ量を少
なくすることができるが、スリット遮光板の移動距離が
一定であるため、光源からパネル内面までの距離がパネ
ル中心部と周辺部とで異なるために生ずるくびれの差を
補正することができず、蛍光面全面にわたりくびれのな
いストライプ状蛍光体を作ることが困難であり、大幅な
画面品位の向上は望めない。
には、管状の長光源に沿って、その長手方向にスリット
遮光板を一定距離移動させる技術が開示されている。こ
の露光方法によれば、パネル全面にわたりくびれ量を少
なくすることができるが、スリット遮光板の移動距離が
一定であるため、光源からパネル内面までの距離がパネ
ル中心部と周辺部とで異なるために生ずるくびれの差を
補正することができず、蛍光面全面にわたりくびれのな
いストライプ状蛍光体を作ることが困難であり、大幅な
画面品位の向上は望めない。
この発明は、スリット状透孔間にブリッジが設けられた
シャドウマスクを用いて、上記ブリッジに対応するくび
れのないストライプ状蛍光体をパネル内面全面に容易に
形成することができる露光装置を構成することにある。
シャドウマスクを用いて、上記ブリッジに対応するくび
れのないストライプ状蛍光体をパネル内面全面に容易に
形成することができる露光装置を構成することにある。
パネル内面に形成された感光性樹脂含有膜にシャドウマ
スクを介して光を照射する長光源と、この長光源の長手
方向と直交するスリット軸を有するスリットが形成され
、上記長光源を取り囲む如くかつ近接して上記シャドウ
マスク側に配設された遮光体とを備え、この遮光体のス
リットの長光源長手方向の幅を、上記長光源から上記パ
ネル内面までの距離をＰ、上記パネル内面と上記シャド
ウマスクとの間隔をＱ、上記シャドウマスクを介してじ
パネル内面上に得られる上記長光源の光のスポット縦ピ
ッチをＤｐとして、上記長光源の長手方向の長さＬが上
記パネル内面上で で表わされる大きさになるように形成することにより、
スリット状透孔間にブリッジのあるシャドウマスクを用
いても、パネル内面全面にわたり、くびれのないストラ
イプ状蛍光体を容易に形成できるようにしたものである
。
スクを介して光を照射する長光源と、この長光源の長手
方向と直交するスリット軸を有するスリットが形成され
、上記長光源を取り囲む如くかつ近接して上記シャドウ
マスク側に配設された遮光体とを備え、この遮光体のス
リットの長光源長手方向の幅を、上記長光源から上記パ
ネル内面までの距離をＰ、上記パネル内面と上記シャド
ウマスクとの間隔をＱ、上記シャドウマスクを介してじ
パネル内面上に得られる上記長光源の光のスポット縦ピ
ッチをＤｐとして、上記長光源の長手方向の長さＬが上
記パネル内面上で で表わされる大きさになるように形成することにより、
スリット状透孔間にブリッジのあるシャドウマスクを用
いても、パネル内面全面にわたり、くびれのないストラ
イプ状蛍光体を容易に形成できるようにしたものである
。
以下１図面を参照してこの発明を実施例に基づいて説明
する。
する。
第２図にスリット状透孔がシャドウマスクの短軸方向に
ブリッジを介して複数個配列されたシャドウマスクを用
いて、パネル内面にストライプ状蛍光体からなる蛍光面
を形成する露光装置の構成を示す。この露光装置は、支
持台のに支持されたパネル■内面に形成された感光性樹
脂含有膜にシャドウマスク■を介して光を照射する超高
圧水銀ランプからなる管状長光源■を有する。この管状
長光源（イ）は、その長手方向がシャドウマスク■また
はパネル■の短軸と同方向になるように配設されている
。この管状長光源（イ）と上記シャドウマスク■との中
間には、パネル■内面に入射する管状長光源■から放出
される光の径路を補正する補正レンズ■などからなる光
学系が、また支持台■の近くには、パネル■内面が部分
的に照射されるように光透過部０が形成され、図示しな
い駆動装置により矢印（Ａ）方向、すなわちパネル■の
短軸方向に往復動されるシャッタ■が設けられている。
ブリッジを介して複数個配列されたシャドウマスクを用
いて、パネル内面にストライプ状蛍光体からなる蛍光面
を形成する露光装置の構成を示す。この露光装置は、支
持台のに支持されたパネル■内面に形成された感光性樹
脂含有膜にシャドウマスク■を介して光を照射する超高
圧水銀ランプからなる管状長光源■を有する。この管状
長光源（イ）は、その長手方向がシャドウマスク■また
はパネル■の短軸と同方向になるように配設されている
。この管状長光源（イ）と上記シャドウマスク■との中
間には、パネル■内面に入射する管状長光源■から放出
される光の径路を補正する補正レンズ■などからなる光
学系が、また支持台■の近くには、パネル■内面が部分
的に照射されるように光透過部０が形成され、図示しな
い駆動装置により矢印（Ａ）方向、すなわちパネル■の
短軸方向に往復動されるシャッタ■が設けられている。
このシャッタ■の移動に同期してパネル■内面照射部と
平行になるように、管状長光源（イ）は、回転駆動装置
に取り付けられて、矢印ＣＢ）で示すように往復回動す
るようになっている。しかしてこの管状長光源（４）は
、同軸の透明冷却管■で覆われ、この冷却管■のシャド
ウマスク■側の面上に、その内側の管状長光源（イ）を
覆うように後述するスリットを有する遮光体０が設けら
れている。
平行になるように、管状長光源（イ）は、回転駆動装置
に取り付けられて、矢印ＣＢ）で示すように往復回動す
るようになっている。しかしてこの管状長光源（４）は
、同軸の透明冷却管■で覆われ、この冷却管■のシャド
ウマスク■側の面上に、その内側の管状長光源（イ）を
覆うように後述するスリットを有する遮光体０が設けら
れている。
なお第２図（Ａ）図において、（１０）はブリッジ（１
１）を介して複数個配列されたシャドウマスク■のスリ
ット状透孔（１２）に対応して、パネル■内面に形成さ
れたストライプ状蛍光体を示したものである。
１）を介して複数個配列されたシャドウマスク■のスリ
ット状透孔（１２）に対応して、パネル■内面に形成さ
れたストライプ状蛍光体を示したものである。
つぎに上記スリットが形成された遮光体■について述べ
る。
る。
シャドウマスク■の短軸方向に複数個のスリット状透孔
（１２）がブリッジ（１１）を介して配列されたシャド
ウマスク■を用いて、パネル■内面にくびれのないスト
ライプ状蛍光体（１０）を形成するためには、第３図に
示すように、管状長光源（イ）からパネル■内面までの
距離をＰ、パネル■内面とシャドウマスク■との間隔を
Ｑ、シャドウマスク■を介してパネル■内面上に得られ
る上記管状長光源（イ）のスポットのパネル■短軸方向
のピッチすなわち縦ピッチをＤｐとするとき、 で表わされる長さＬの光源が必要であり、実際上は。
（１２）がブリッジ（１１）を介して配列されたシャド
ウマスク■を用いて、パネル■内面にくびれのないスト
ライプ状蛍光体（１０）を形成するためには、第３図に
示すように、管状長光源（イ）からパネル■内面までの
距離をＰ、パネル■内面とシャドウマスク■との間隔を
Ｑ、シャドウマスク■を介してパネル■内面上に得られ
る上記管状長光源（イ）のスポットのパネル■短軸方向
のピッチすなわち縦ピッチをＤｐとするとき、 で表わされる長さＬの光源が必要であり、実際上は。
で表わされる長さＬにするとよい結果が得られることが
判明している。
判明している。
しかしながら、管状長光源（イ）からパネル■内面まで
の距離Ｐ、およびパネル■内面とシャドウマスク■との
間隔Ｑは、たとえば下記表に１７吋管の一例を示すよう
に、パネル■中央部と周辺部とで異なる。
の距離Ｐ、およびパネル■内面とシャドウマスク■との
間隔Ｑは、たとえば下記表に１７吋管の一例を示すよう
に、パネル■中央部と周辺部とで異なる。
表
そのため、０式を満足する光源を得るためには、パネル
■内面上の光照射位置に対応して光源の長さＬを変化さ
せることが必要である。
■内面上の光照射位置に対応して光源の長さＬを変化さ
せることが必要である。
かかる光源を得るため、上記露光装置においては、光透
過部■をもつシャッタ■をパネル■の短軸方向（管状長
光源（４）の長手方向）に移動させながら露光するので
、このシャッタ■の移動に同期して、管状長光源（４）
の長手方向と直交する方向（パネル■の長軸方向）をス
リット軸とするスリットを形成し、このスリットの管状
長光源（４）長手方向の幅を変化させるようにした。か
かるスリットが形成された遮光体０を第１図に示す。
過部■をもつシャッタ■をパネル■の短軸方向（管状長
光源（４）の長手方向）に移動させながら露光するので
、このシャッタ■の移動に同期して、管状長光源（４）
の長手方向と直交する方向（パネル■の長軸方向）をス
リット軸とするスリットを形成し、このスリットの管状
長光源（４）長手方向の幅を変化させるようにした。か
かるスリットが形成された遮光体０を第１図に示す。
この遮光体■は、一部が互に重り合う如く冷却管■に沿
って配設され、図示しない駆動装置により、矢印（Ｃ１
Ｌ（Ｃ２）で示すように管状長光源（４）の長手力向に
接離自在に駆動される一対の遮光部材（，１４ａ）。
って配設され、図示しない駆動装置により、矢印（Ｃ１
Ｌ（Ｃ２）で示すように管状長光源（４）の長手力向に
接離自在に駆動される一対の遮光部材（，１４ａ）。
（Ｌ４ｂ）からなり、その重り部分にスリット（１５）
が形成されている。このスリット（１５）の幅Ｓは、パ
ネル■の長軸上の各点にそれぞれその点におけるＰおよ
びＱの値に基づいて０式から決定される光源長さＬが得
られるように形成され、概して通常のカラーブラウン管
においては、スリット（１５）中央の幅は、管状長光源
（４）の長手方向と直交するスリット軸上の周辺部の幅
より広く、かつパネル■長軸上の各点におけるＰおよび
Ｑの値がパネル■中心に対して左右対称であるため、上
記スリット軸と直交する軸に対して左右対称になってい
る。
が形成されている。このスリット（１５）の幅Ｓは、パ
ネル■の長軸上の各点にそれぞれその点におけるＰおよ
びＱの値に基づいて０式から決定される光源長さＬが得
られるように形成され、概して通常のカラーブラウン管
においては、スリット（１５）中央の幅は、管状長光源
（４）の長手方向と直交するスリット軸上の周辺部の幅
より広く、かつパネル■長軸上の各点におけるＰおよび
Ｑの値がパネル■中心に対して左右対称であるため、上
記スリット軸と直交する軸に対して左右対称になってい
る。
このように形成されたスリット（１５）の幅は、パネル
■の短軸方向周辺部を露光するときは、その周辺部の露
光に適合した光源長さになるように、シャッタ■の移動
に同期して動く一対の遮光部材（１４ａ） 、 （１４
ｂ）の移動によって調整される。この場合、一対の遮光
部材（１４ａ） 、 （１４ｂ）は、等量接離移動して
スリット（１５）の中心位置を変化させない。
■の短軸方向周辺部を露光するときは、その周辺部の露
光に適合した光源長さになるように、シャッタ■の移動
に同期して動く一対の遮光部材（１４ａ） 、 （１４
ｂ）の移動によって調整される。この場合、一対の遮光
部材（１４ａ） 、 （１４ｂ）は、等量接離移動して
スリット（１５）の中心位置を変化させない。
上記のように管状長光源（４）を取り囲む如くがっ近接
して遮光体（９）を設け、この遮光体■を管状長光源（
イ）の長手方向に接離自在に移動する一対の遮光部材で
構成して、その重り部分にパネル■内面上の各点に適合
する光源長さしにすることができる幅可変のスリット（
１５）を設けると、複数個のスリット状透孔（１２）が
ブリッジ（１１）を介して配列されたシャドウマスク■
を用いても、パネル■内面全面にわたりくびれのないス
トライプ状蛍光体を形成することができる。このような
露光装置は、通常のテレビ用カラーブラウン管に適用し
て所要の蛍光面を形成することができるが、特に通常の
カラーブラウン管にくらべて、シャドウマスクの透孔ピ
ッチが小さいディスプレイ用カラーブラウン管に適用し
てその画面品位を大幅に向上させることができる。
して遮光体（９）を設け、この遮光体■を管状長光源（
イ）の長手方向に接離自在に移動する一対の遮光部材で
構成して、その重り部分にパネル■内面上の各点に適合
する光源長さしにすることができる幅可変のスリット（
１５）を設けると、複数個のスリット状透孔（１２）が
ブリッジ（１１）を介して配列されたシャドウマスク■
を用いても、パネル■内面全面にわたりくびれのないス
トライプ状蛍光体を形成することができる。このような
露光装置は、通常のテレビ用カラーブラウン管に適用し
て所要の蛍光面を形成することができるが、特に通常の
カラーブラウン管にくらべて、シャドウマスクの透孔ピ
ッチが小さいディスプレイ用カラーブラウン管に適用し
てその画面品位を大幅に向上させることができる。
つぎに他の実施例について述べる。
上記実施例は、遮光体を管状発光源の長手方向に接離自
在な一対の遮光部材で構成し、その重り部分に幅可変の
スリットを設けたが、第４図に示すように、スリット（
１５）が形成された一個の遮光部材からなる遮光体■を
冷却管０上に固定的に配置してもよい。この場合、その
スリット幅は、上記実施例に記したようにパネル長軸上
の各点におけるＰおよびＱの値に基づいて前記０式がら
決定される光源長さＬになるようにしたものでもよいが
、さらにこのパネル長軸上の各点、およびこれら各点に
対応するパネル短軸方向周辺部の各点との中間値にする
とさらによい、このような遮光体■を備える露光装置で
も、あまり精度を必要としない通常のカラーブラウン管
の蛍光面形成に十分用いることができる。
在な一対の遮光部材で構成し、その重り部分に幅可変の
スリットを設けたが、第４図に示すように、スリット（
１５）が形成された一個の遮光部材からなる遮光体■を
冷却管０上に固定的に配置してもよい。この場合、その
スリット幅は、上記実施例に記したようにパネル長軸上
の各点におけるＰおよびＱの値に基づいて前記０式がら
決定される光源長さＬになるようにしたものでもよいが
、さらにこのパネル長軸上の各点、およびこれら各点に
対応するパネル短軸方向周辺部の各点との中間値にする
とさらによい、このような遮光体■を備える露光装置で
も、あまり精度を必要としない通常のカラーブラウン管
の蛍光面形成に十分用いることができる。
なお、上記実施例では、光透過部が形成されたシャッタ
を移動させて部分露光する露光装置について述べたが、
この発明は、パネル内面全面を同時に露光する露光装置
にも適用することができる。
を移動させて部分露光する露光装置について述べたが、
この発明は、パネル内面全面を同時に露光する露光装置
にも適用することができる。
なお、蛍光面に対する電子ビームのランディング補正を
おこなうために、露光装置にメニスカスレンズを用いる
ときは、そのレンズ作用により、実験的にメニスカスレ
ンズを用いないときの光源長さ乙の１．１倍の長さの光
源が必要となり、遮光体のスリット幅は、パネル内面長
軸上または全面で前記０式のかわりに下記０式の光源長
さＬが得られるように決定するとよい。
おこなうために、露光装置にメニスカスレンズを用いる
ときは、そのレンズ作用により、実験的にメニスカスレ
ンズを用いないときの光源長さ乙の１．１倍の長さの光
源が必要となり、遮光体のスリット幅は、パネル内面長
軸上または全面で前記０式のかわりに下記０式の光源長
さＬが得られるように決定するとよい。
管状長光源を取り囲む如くかつ近接して、上記管状長光
源の長手方向と直交する方向をスリット軸とするスリッ
トを有する遮光体を設け、そのスリット幅をパネル内面
上の各点において、管状長光源からパネル内面までの距
離をＰ、パネル内面とシャドウマスクとの間隔をＱ、シ
ャドウマスクを介してパネル内面上に得られる管状長光
源の光のスポット縦ピッチをＤｐとして で表わされる光源長さＬになるようにまた特にメニスカ
スレンズを用いたときは で表わされる光源長さＬになるようにしたので、複数個
のスリット状透孔がブリッジを介して配列されたシャド
ウマスクを用いても、くびれのない所要のストライプ状
蛍光体を容易に形成することができる。
源の長手方向と直交する方向をスリット軸とするスリッ
トを有する遮光体を設け、そのスリット幅をパネル内面
上の各点において、管状長光源からパネル内面までの距
離をＰ、パネル内面とシャドウマスクとの間隔をＱ、シ
ャドウマスクを介してパネル内面上に得られる管状長光
源の光のスポット縦ピッチをＤｐとして で表わされる光源長さＬになるようにまた特にメニスカ
スレンズを用いたときは で表わされる光源長さＬになるようにしたので、複数個
のスリット状透孔がブリッジを介して配列されたシャド
ウマスクを用いても、くびれのない所要のストライプ状
蛍光体を容易に形成することができる。
第１図（Ａ）ないしくＣ）図は、それぞれこの発明の一
実施露光装置の遮光体を一部切欠して示した正面図、平
面図、および（Ａ）図におけるＩ−Ｉ線断面図、第２図
（Ａ）ない（、（Ｃ）図は、それぞれこの発明の一実施
例露光装置の構成を示す平面図、および（Ａ）図におけ
るＨ−Ｈ線断面図、およびＶ−Ｖ線断面図、第３図は管
状長光源からパネル内面までの距離、パネル内面とシャ
ドウマスクとの間隔、パネル内面上における光のスポッ
ト縦ピッチと、光源長さとの関係を説明するための図、
第４図（Ａ）および（Ｂ）図は、それぞれ他の実施例の
遮光体を一部切欠して示した正面図および平面図である
。
実施露光装置の遮光体を一部切欠して示した正面図、平
面図、および（Ａ）図におけるＩ−Ｉ線断面図、第２図
（Ａ）ない（、（Ｃ）図は、それぞれこの発明の一実施
例露光装置の構成を示す平面図、および（Ａ）図におけ
るＨ−Ｈ線断面図、およびＶ−Ｖ線断面図、第３図は管
状長光源からパネル内面までの距離、パネル内面とシャ
ドウマスクとの間隔、パネル内面上における光のスポッ
ト縦ピッチと、光源長さとの関係を説明するための図、
第４図（Ａ）および（Ｂ）図は、それぞれ他の実施例の
遮光体を一部切欠して示した正面図および平面図である
。
Claims (4)
- （１）パネル内面に形成された感光性樹脂含有膜にシャ
ドウマスクを介して光を照射する長光源と、この長光源
と上記シャドウマスクとの間に配設された光学系と、上
記長光源の長手方向と直交するスリット軸を有するスリ
ットが形成され、上記長光源を取り囲む如くかつ近接し
て上記シャドウマスク側に配設された遮光体とを具備し
、 上記スリットは上記長光源から上記パネル内面までの距
離をＰ、上記パネル内面と上記シャドウマスクとの間隔
をＱ、上記シャドウマスクを介して上記パネル内面上に
得られる上記長光源の光のスポットの縦ピッチをＤｐと
して、上記長光源の長手方向の長さＬが上記パネル内面
上で Ｌ＝Ｄｐ・ｐ／Ｑ で表わされる大きさになるように形成されていることを
特徴とする露光装置。 - （２）光学系はメニスカスレンズを有し、スリットは長
光源の長手方向の長さＬがパネル内面上でＬ＝１．１Ｄ
ｐ・Ｐ／Ｑ で表わされる大きさになるように形成されていることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の露光装置。 - （３）パネル内面に形成された感光性樹脂含有膜にシャ
ドウマスクを介して光を照射する長光源と、この長光源
の長手方向と直交するスリット軸を有するスリットが形
成され、上記長光源を取り囲む如くかつ近接して上記シ
ャドウマスク側に配設された遮光体と、この遮光体と上
記シャドウマスクとの間に配設され、上記長光源からの
光を透過して上記パネル内面に形成された感光性樹脂含
有膜に部分的に照射させる光透過部を有し、この光透過
部を上記長光源からの光が上記感光性樹脂含有膜にゆき
わたるように駆動されるシャッタとを具備し、 上記スリットは上記長光源から上記パネル内面までの距
離をＰ、上記パネル内面と上記シャドウマスクとの間隔
をＱ、上記シャドウマスクを介して上記パネル内面上に
得られる上記長光源の光のスポット縦ピッチをＤｐとし
て、上記長光源の長手方向の長さＬが上記パネル内面上
の各位置でＬ＝Ｄｐ・Ｐ／Ｑ で表わされる大きさになるように形成されていることを
特徴とする露光装置。 - （４）遮光体はスリット幅可変に一部が重り合った一対
の遮光部材と、スリット幅可変に上記遮光部材を駆動す
る駆動装置とを有し、シャッタの光透過部の移動に対応
して上記スリット幅を変化するように構成されているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第３項記載の露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60124211A JPH0731979B2 (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60124211A JPH0731979B2 (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 | 露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61284028A true JPS61284028A (ja) | 1986-12-15 |
| JPH0731979B2 JPH0731979B2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=14879742
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60124211A Expired - Fee Related JPH0731979B2 (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0731979B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG90223A1 (en) * | 2000-01-05 | 2002-07-23 | Sony Corp | Bulb for color cathode ray tube and color cathode ray tube and methods for production thereof |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54152959A (en) * | 1978-05-24 | 1979-12-01 | Hitachi Ltd | Forming method for fluorescent screen of color picture tube |
| JPS58176352U (ja) * | 1982-05-20 | 1983-11-25 | 株式会社東芝 | カラ−受像管螢光面露光装置 |
-
1985
- 1985-06-10 JP JP60124211A patent/JPH0731979B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54152959A (en) * | 1978-05-24 | 1979-12-01 | Hitachi Ltd | Forming method for fluorescent screen of color picture tube |
| JPS58176352U (ja) * | 1982-05-20 | 1983-11-25 | 株式会社東芝 | カラ−受像管螢光面露光装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG90223A1 (en) * | 2000-01-05 | 2002-07-23 | Sony Corp | Bulb for color cathode ray tube and color cathode ray tube and methods for production thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0731979B2 (ja) | 1995-04-10 |
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