JPS61284043A - アンテナ装置 - Google Patents
アンテナ装置Info
- Publication number
- JPS61284043A JPS61284043A JP60123954A JP12395485A JPS61284043A JP S61284043 A JPS61284043 A JP S61284043A JP 60123954 A JP60123954 A JP 60123954A JP 12395485 A JP12395485 A JP 12395485A JP S61284043 A JPS61284043 A JP S61284043A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- antenna
- antenna device
- vacuum
- vacuum seal
- microwaves
- Prior art date
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- Granted
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- Plasma Technology (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、大気圧側から真空側に高電力マイクロ波を伝
送するアンテナ装置に関する。
送するアンテナ装置に関する。
（従来の技術）
大気圧側から真空側に高電力マイクロ波を伝送するアン
テナ装置を使用する第３図に示される様なプラズマ発生
装置が知られている（工業材料、ユニ〔２〕、（１’９
８１）、ｐ、５９〜６４）。
テナ装置を使用する第３図に示される様なプラズマ発生
装置が知られている（工業材料、ユニ〔２〕、（１’９
８１）、ｐ、５９〜６４）。
この装置において、マイクロ波発振装置１から発生され
たマイクロ波は導波管２内を伝達したのちアンテナ装置
によって真空槽６内に放出されるが、このアンテナ装置
は、図示されるように大気側と真空側を隔てる導波管２
の管壁に設けられた開口３を突き抜ける管状アンテナ４
と、このアンテナ４を空間を有して包囲する誘電体の真
空シール部５とから構成されている。アンテナ４内には
冷却ガスが流入されてアンテナ装置が冷却されるように
なっている。
たマイクロ波は導波管２内を伝達したのちアンテナ装置
によって真空槽６内に放出されるが、このアンテナ装置
は、図示されるように大気側と真空側を隔てる導波管２
の管壁に設けられた開口３を突き抜ける管状アンテナ４
と、このアンテナ４を空間を有して包囲する誘電体の真
空シール部５とから構成されている。アンテナ４内には
冷却ガスが流入されてアンテナ装置が冷却されるように
なっている。
（発明が解決しようとする問題点）
第３図に示されたプラズマ装置において用いられている
管状アンテナ４はマイクロ波が真空槽６内に行きわたる
ように真空槽内を横切って延ばされている。また、真空
シール部５もこれにともなって長大なものとされている
。真空シール部はセラミック等の絶縁体によって形成さ
れるが、セラミックによって大きな形状の真空シール部
を形成するのは技術上なかなか厄介であるとともにコス
ト高となる問題点があった。また、真空シール部の形状
が大きいと、必要な強度を確保するために肉厚となり、
このため真空槽内に放射されるマイクロ波の強度が低下
するという問題もあった。
管状アンテナ４はマイクロ波が真空槽６内に行きわたる
ように真空槽内を横切って延ばされている。また、真空
シール部５もこれにともなって長大なものとされている
。真空シール部はセラミック等の絶縁体によって形成さ
れるが、セラミックによって大きな形状の真空シール部
を形成するのは技術上なかなか厄介であるとともにコス
ト高となる問題点があった。また、真空シール部の形状
が大きいと、必要な強度を確保するために肉厚となり、
このため真空槽内に放射されるマイクロ波の強度が低下
するという問題もあった。
本発明の目的は、上記した問題点を解消することにある
。
。
（問題点を解決するための手段）
上記問題点は、管状アンテナをらせん状とすることによ
り解決される。
り解決される。
（作 用）
アンテナがらせん状とされていると、アンテナの中心軸
方向に特に強くマイクロ波が放射される。
方向に特に強くマイクロ波が放射される。
また、らせん状部分を伝播するマイクロ波の位相速度が
中心軸方向で光速の１７１０〜１７１５程度に抑えられ
る。
中心軸方向で光速の１７１０〜１７１５程度に抑えられ
る。
（発明の効果）
アンテナの中心軸方向への指向性が強いので、アンテナ
を装置内を横切るように延ばさなくても装置内にマイク
ロ波が十分にゆきわたる。従って、これにともなって真
空シール部の形状も小さくすることができ、真空シール
部の形状が大きいことにより生じる技術的問題、コスト
高の問題を解消することができる。また、真空シール部
の肉厚を薄くすることができるので高電力マイクロ波を
真空中に強度を低下することなくそのまま放射すること
ができる。さらに、アンテナが遅延回路として作用する
ので、周波数変化によって位相速度やプラズマとの結合
インピーダンスが余り変化しないのでプラズマと強く結
合し、低損失でマイクロ波電力がプラズマに供給される
。
を装置内を横切るように延ばさなくても装置内にマイク
ロ波が十分にゆきわたる。従って、これにともなって真
空シール部の形状も小さくすることができ、真空シール
部の形状が大きいことにより生じる技術的問題、コスト
高の問題を解消することができる。また、真空シール部
の肉厚を薄くすることができるので高電力マイクロ波を
真空中に強度を低下することなくそのまま放射すること
ができる。さらに、アンテナが遅延回路として作用する
ので、周波数変化によって位相速度やプラズマとの結合
インピーダンスが余り変化しないのでプラズマと強く結
合し、低損失でマイクロ波電力がプラズマに供給される
。
（実施例）
以下、本発明を図面を参照しつつ詳細に説明する。第１
図は本発明のアンテナ装置を使用するプラズマ発生装置
の概略側断面図であり、第２図は第１図の一部拡大図で
ある。マイクロ波発生装置（図示せず）から発生された
マイクロ波は導波管２によって伝達され、本発明による
アンテナ装置により真空＋ｇ６内に放出される。本実施
例においては、導波管２の開口３を突き抜ける管状アン
テナ４の先端部分がらせん状とされている。アンテナ４
を空間を有して包囲するセラミック製の真空シール部５
は導波管２にアーク溶接された円筒状のコバール材１０
にロー付されて取り付けられている。この円筒状のコバ
ール材１０は、使用するマイクロ波の波長の１７４の長
さの導電性外筒１１によって覆われている。導電性外筒
１１の大気圧側端部はコバール材ｌＯと電気的に接続さ
れており、真空側から大気圧側への円筒状のコバール材
１０のインピーダンスが無限大となっている。即ち、本
実施例においては、真空側から大気圧側への反射マイク
ロ波が減衰されるようになっている。
図は本発明のアンテナ装置を使用するプラズマ発生装置
の概略側断面図であり、第２図は第１図の一部拡大図で
ある。マイクロ波発生装置（図示せず）から発生された
マイクロ波は導波管２によって伝達され、本発明による
アンテナ装置により真空＋ｇ６内に放出される。本実施
例においては、導波管２の開口３を突き抜ける管状アン
テナ４の先端部分がらせん状とされている。アンテナ４
を空間を有して包囲するセラミック製の真空シール部５
は導波管２にアーク溶接された円筒状のコバール材１０
にロー付されて取り付けられている。この円筒状のコバ
ール材１０は、使用するマイクロ波の波長の１７４の長
さの導電性外筒１１によって覆われている。導電性外筒
１１の大気圧側端部はコバール材ｌＯと電気的に接続さ
れており、真空側から大気圧側への円筒状のコバール材
１０のインピーダンスが無限大となっている。即ち、本
実施例においては、真空側から大気圧側への反射マイク
ロ波が減衰されるようになっている。
管状アンテナ４の先端開口から流出された冷却媒体は真
空シール部５内を流れた後外部へ排出される。
空シール部５内を流れた後外部へ排出される。
第１図は本発明のアンテナ装置を使用するプラズマ発生
装置の側断面図、 第２図は第１図の一部拡大図、 第３図は従来のアンテナ装置を使用する従来のプラズマ
発生装置の側断面図である。 １・・・・・・マイクロ波発振装置、 ２・・・・・・
導波管、３・・・・・・開口、 ４・・・・・・管状
アンテナ、５・・・・・・真゛空シール部、 ６・・・
・・・真空槽、１０・・・・・・円筒状のコバール材、
１１・・・・・・導電性外筒。 ↑ 々宥隼俸
装置の側断面図、 第２図は第１図の一部拡大図、 第３図は従来のアンテナ装置を使用する従来のプラズマ
発生装置の側断面図である。 １・・・・・・マイクロ波発振装置、 ２・・・・・・
導波管、３・・・・・・開口、 ４・・・・・・管状
アンテナ、５・・・・・・真゛空シール部、 ６・・・
・・・真空槽、１０・・・・・・円筒状のコバール材、
１１・・・・・・導電性外筒。 ↑ 々宥隼俸
Claims (6)
- （１）大気圧側と真空側を隔てる壁に設けられた開口を
突き抜けて設置され、少なくとも一部分がらせん状とさ
れ、内部を冷却媒体が流通する管状アンテナ、およびこ
のアンテナを空間を有して包囲する誘電体の真空シール
部を備え、この真空シール部を通して大気圧側から真空
側に高電力マイクロ波を伝送するアンテナ装置。 - （２）前記壁が前記アンテナまでマイクロ波を伝送する
導波管の管壁であることを特徴とする特許請求の範囲第
（１）項記載のアンテナ装置。 - （３）前記真空シール部が、前記開口から延ばされた金
属性筒体を介して取り付けられていることを特徴とする
特許請求の範囲第（１）項記載のアンテナ装置。 - （４）前記金属性筒体が、コバールからなっていること
を特徴とする特許請求の範囲第（３）項記載のアンテナ
装置。 - （５）前記金属性筒体が、間隙を有して導電性外筒によ
って覆われており、この導電性外筒の大気側端部が前記
金属性筒体と電気的に接続されていることを特徴とする
特許請求の範囲第（３）項または第（４）項記載のアン
テナ装置。 - （６）前記導電性外筒の長さが、使用されるマイクロ波
の波長の１／４であることを特徴とする特許請求の範囲
第（５）項記載のアンテナ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60123954A JPS61284043A (ja) | 1985-06-07 | 1985-06-07 | アンテナ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60123954A JPS61284043A (ja) | 1985-06-07 | 1985-06-07 | アンテナ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61284043A true JPS61284043A (ja) | 1986-12-15 |
| JPH0568822B2 JPH0568822B2 (ja) | 1993-09-29 |
Family
ID=14873456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60123954A Granted JPS61284043A (ja) | 1985-06-07 | 1985-06-07 | アンテナ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61284043A (ja) |
-
1985
- 1985-06-07 JP JP60123954A patent/JPS61284043A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0568822B2 (ja) | 1993-09-29 |
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