JPS61284675A - Ｉｃ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、メモリＩＣなどのＩＣを試験するＩＣ検査
装置に関し、さらに詳しくは、装置の一面に配列された
多数のコネクタに多数のＩＣボードがセットされ、その
各ＩＣボード上のＩＣソケットに挿着されたＩＣのテス
トを行うＩＣ検査装置において、検査結果に応じてボー
ド単位でＩＣの良否を判定し、不良なＩＣを効率的に選
別することができるようなＩＣＭ査装置に関する。

［従来技術］ 従来の、例えば、第４図に示すメモＩＪ　Ｉ　Ｃをテス
トするためのＩＣ検査装置１においては、装置のヘッド
部２の前面のマザーボード３に多数のソケットが配列さ
れており、このソケットを介して多数（図では４つ）の
ＩＣソケットボード４が装置にセットされ、各ＩＣソケ
ットボード４．］二の各ＩＣソケット５に挿着されたＩ
Ｃθのテストが多数個（図では４個）同時に行われ、テ
スト結果に応じて不良なｌＣ６が選別される。そしてテ
ストを終丁すると、ＩＣＣソケットボールがＩＣ検査装
置から取り外され、新しいＩＣＥ３が挿−着されたＩＣ
ソケットボード４が改めてＩＣ検査装置１にセットされ
、同様のテストが逐次１ｆわれる。

［発明が解決しようとする問題点コ しかしながら、このような従来のＩＣ検査装置において
は、検査済みのＩＣと検査前のＩＣとの交換は、ソケッ
トボード！１位で１枚ずつ、ヘッド部２の前面に固定さ
れたマザーボード３のソケットにＩＣソケットボードを
着脱し、更に、各ＩＣソケットボードのＩＣソケットに
ＩＣを着脱実装しなければならないことから、交換時間
が長くなり、ＩＣ検査を連続して行う場合には、検査に
空時間が生じてＩＣ検査システム全体のロスタイムとな
る問題がある。

また、ＩＣソケットボードを９体として扱うことからＩ
Ｃソケットボードの着脱時にボード自体が破損され易い
という問題点がある。

［発明の目的コ この発明の［１的は、このような従来の問題などを解決
し、ＩＣ検査を連続して行う場合にＩＣ検査システム全
体の検査時間の短縮化が図れ、効率的にＩＣ検査を行う
ことができるＩＣ検査装置を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ このような［１的を達成するためのこの発明の手段は、
複数のＩＣが直接又はソケットボードを介して搭載され
る第１のボードと第２のボードとを有し、前記第１のボ
ードと第２のボードはＩＣ検査位置とＩＣ着脱位置間で
ガイドに沿って相互に入れ替えできるというものである
。

［作用コ ＩＣ検査装置をこのように構成することにより、例えば
、ＩＣ検査位置のＩＣ検査部で第１のボードに搭載され
たＩＣを検査している間に、ＩＣ着脱位置で第２のボー
ドに検査前のＩＣをセットすることが出来る。そして、
第１のボードに搭載されたＩＣの検査が終了した後に、
この第１のボードと検査前のＩＣがセットされた第２の
ボードとをガイドに沿って入れ替えて、検査前のＩＣを
ＩＣ検査位置のＩＣ検査部で検査し、この間に、■Ｃ粁
脱位置で第１のボードに搭載された検査済みのＩＣを検
査前のＩＣと交換することができる。

その結果、検査時間の空時間が減少し、効率のよい検査
が１１丁能となる。

［実施例］ 以ド、図面を参照して、この発明の一実施例について詳
細に説明する。

第１図は、この発明によるＩＣ検査装置の外観斜視図で
ある。

第１図に見る１０は、検査装置本体であって、各ＩＣの
特性を測定して検査する検査処理のステップを実施する
ものである。

この検査装置本体１０は、その一方の側面に補助装置１
１を備えていて、検査装置本体１０の前面板１２と補助
装置１１の前面板１３は並列に配置されている。そして
、前面板１２と前面板１３とで１つの・］ｉ、面を形成
する。

なお、補助装置１１の前面板１３の広さは、検査装置本
体１０の前面板１２とほぼ等しい広さである。

次に、２つの前面板１２．１３で形成される平面の４一
端部とド端部には、この・Ｖ而の横方向に・Ｖ行に延び
る−・対のガイドレール１４．１４が取り付けられてい
る。

この−・対のガイドレール１４．１４の対向面には、ボ
ード１５．１６の厚さとほぼ等しい幅の溝が、ガイドレ
ール１４．１４の長手方向に沿ってそれぞれに２つずつ
形成されていて、溝はそれぞれの両側でボードの長さく
＋α）に亙って一体となっていてボードが前後移動可能
な状態になっている。

このガイドレール１４．１４の内側の溝は外側の溝より
も若干低い位置に形成される。

一方、２つのｍＩ面板１２．１３で形成される平面の左
右両側には、それぞれ、側板１７，１８が設けられてい
る。この２つの側板１７，１８の」二端と）端は、一対
のガイドレール１４．１４の左右両端に取り付けられ、
側板１７．１８とガイドレール１４．１４とで矩形の枠
体が形成される。

而して、この枠体の中に、第１のボード１５と第２のボ
ード１６が収納され、ガイドレールに形成した２つの溝
に家人される。

なお、検査装置本体１０のＩＣ検査部としての前面板１
２には、多数のソケットが固定されている。

また、第１のボード１５と第２のボード１６の裏面には
複数の端子板が設けられており、その前面には、複数の
コネクタが配列されている。そして、このコネクタには
多数（図では４つ）のＩＣソケットボード１９が挿着さ
れる。而して、この多数のＩＣソケットボード１９上の
ＩＣソケット２０に多数個（図では４個）のメモリＩＣ
などのＩＣ２１がセットされる。

さて、２枚のボード１５．１８の左右両側面には、固定
具（図示せず）と回動レバー２２（第２図参照）が取り
付けられている。そして、左右の側板１７，１８には、
この固定具と回動レバー２２に対応した位置に、固定フ
ックと回動アーム（図示せず）が設けられていて、それ
ぞれが側板１７．１８に固定された操作レバー１７ａ、
１８ｂに接続されている。

前面板１２側の固定フックは、操作レバー１７ａをＦ前
に倒して水平状態にした時に、ガイドレール１４．１４
の外側の溝に嵌入された第１のボード１５又は第２のボ
ード１６の固定具を係ＩＦする位置にあり、操作レバー
１７ａを約９０°起こして垂直にすることにより、第１
のボード１５又は第２のボード１６が前方に移動して内
側の溝の位置（第３図Ａ参照）となって、固定具を係合
してボード１５．１８を前面板１２に固定された複数の
ソケットに挿着するものであり、次に、手前に引き元の
位置まで戻すことにより、ボード１５゜１６を前面板１
２から取り外し、これをガイドレール１４．１４の内側
の溝の位置まで移動するものである。

また、前面板１３側の回動アームは、一対のガイドレー
ル１４．１４の内側の溝に嵌入されたボード１５．１８
の回動アームを係合する位置に設けられており、操作レ
バー１８ａを上方に回動（第３図Ｂ位置において）して
側板１８と平行にすることにより、回動レバー２２を係
合してボード１５．１６にＩＣンケッポード１９を固定
するものであり、操作レバー１８ａを前記位置から上方
に１８０゛回動（第３図Ｂ位置において）することによ
り、ＩＣソケソボード１９を第１のボード１５叉は第２
のボード１６から取り外すものである。

すなわち、テスト終了後に内側溝を経て第３図Ｂの位置
に位置付けられた第１のボード１５又は第２のボード１
６は、操作レバー１８ａによりソケットボードに脱着さ
れ、手動又は他のレバーにより内側溝から外側溝へと移
動することになる。

第２図は、ＩＣソケットボード１９の着脱構造を示した
ものである。

複数のＩＣソケットボード１９は１回の操作で一括して
ボード１５．１８の前面に配列されたコネクタ３１に着
脱されるものである。

ＩＣソケットボード１９が第２図に示すようにセットさ
れているとする。ＩＣソケットボード１９を取り外すに
は、回動レバー２２を第２図の位置から反時計回り方向
へ１８０度回動させる。そうすると、はすばｆｆｌ屯２
３，２４を介して伝動軸２５．２６が一方の向きに約９
０度回転駆動され、一体に連結された連結杆２７が矢線
２８ａの方向へ一定Ｍ移動し、したがってレバー２９を
介して操作軸３０が矢線２８ｂの向きに約９０度回転せ
シメラれ、コネクタ３１のコンタクトが接続状態から非
接続状態に開かれる。

これで、コンタクトと、コネクタ３１に挿入されている
端子板３２の接続端子３３との間に隙間が生じ、または
コンタクトの接続端子３３に対する挟圧力が極めて弱く
なる。したがって、ＩＣソケットボード１９を、手前に
引けば、ＩＣソケットボード１９は容易に取り外すこと
ができる。この際、接続端子３３とコネクタ３１のコン
タクトとの間の摩擦力は殆どゼロまたは極めて小さいか
ら、コンタクトと接続端子３３の摩耗は極めて少ない。

次に、新しいＩＣソケットボード１９の端子板３２をコ
ネクタ３１に挿入する。この時、コンタクトは解放状態
であるから、接続端子３゛３とコンタクトとの間の摩擦
力は小さく、それらの摩耗は殆ど生じない。また、僅か
な押し込み力で足りる。

その後、回動レバー２２を第２図に示す位置まで時計回
り方向に回動させれば、伝動軸２５，２６は逆向きに約
９０度同転し、連結杆２７が矢線２８ａと逆方向に一定
量移動し、操作軸３０が矢線２８ｂと逆向きに約９０度
同転し、コネクタ３１のコンタクトは接続状態に復帰し
、端子板３２の対応する接続端子３３を挟圧し電気的に
接続する。か（して、ＩＣソケットボード１９がセット
される。

なお、ＩＣソケットボード１９の着脱をガイドレール１
４．１４のＩＣ１？脱位置Ｂで１テう場合には、同動レ
バー２２が回動アームに係合されるので、操作レバー１
８ａを回動すれば回動レバー２２が所定の方向に回動す
ることとなる。

なお、ボード１５．１６の着脱構造については、図小し
ないが、ＩＣソケットボード１９の着脱構造と同様に構
成されている。すなわち、ボード１５．１６の裏面に接
続端子を有する端子板が複数設けられていて、検査装置
本体１０の前面板１２に固定された複数のコネクタが、
回動レバーの１回の操作で一括してコンタクトの接続端
子を狭圧し、又は狭圧力を弱くする。

このように構成したＩＣ検査装置は、まず、ガイドレー
ル１４．１４の外側の溝のＩＣ着脱位位置に未検査のＩ
Ｃを搭載した第１のボード１５を配置する。そして、こ
の第１のボード１５を第３図に示すＩＣＪｅ！査位置Ａ
（検査部にボードが着脱される位置）までガイドレール
１４．１４に沿って移動する。

次に、操作レバー１７ａを手前に倒して水平状態にし、
固定フックが第１のボード１５の固定具を係止するよう
にする。そして、操作レバー１７ａを約９０”起こして
垂直状態にすることにより、固定フックが固定具を係合
して第１のボード１５を前面板１２方向に移動する。そ
して、第１のボード１５の裏面に設けられた端子板を、
前面板１２に固定された複数のコネクタに挿着する。こ
の挿着の際に、前面板１２に設けられている回動レバー
を回動して、コネクタ３１のフンタクトが接続端ｒを狭
圧するようにしてこれを接続する。

而して、第１のボード１５に搭載されたＩＣ２１が検査
される。

また、第１のボード１５に搭載されたＩＣ２１の検査が
終ｒした後は、同動レバー２２を回動して、コネクタ３
１のコンタクトが接続端子３３を狭圧する力を弱くする
。次に、操作レバー１７ａを手前に水平に近い位置まで
倒して、第１のボード１５を前面板１２から取り外し、
これをガイドレール１４．１４の内側の溝まで移動して
、この溝に嵌合する。

一方、第１のボード１５に搭載されたＩＣ２１を検査し
ている間に、ガイドレール゛１４，１４の外側の溝のＩ
Ｃ着脱位位置に配置した第２のボード１６には、未検査
のＩＣ２１が挿着されたＩＣソケットボード１９が搭載
される。

そして、ガイドレール１４．１４に沿って、第１のボー
ド１５をＩＣ首脱位置Ｂまで移動し、未検査のＩＣを搭
載した第２のボード１６をＩＣ検査位位置まで移動して
１のボード１５と第２のボード１６を入れ替える。

第２のボード１６は、第１のボード１６と同様にして前
面板１２に取り付ける。

そして、この第２のボード１６に搭載されたＩＣを検査
している間に、第１のボード１５ヒの検査済みのＩＣ２
１が挿着されたソケットボード１９は、ＩＣ着脱位位置
で一括して取り外され、未検査のＩＣ２１が挿着された
新しいソケットボード１９がこの第１のボード１５に搭
載される。

而して、上記の作業を繰り返し行うことにより、多量の
ＩＣ２１が検査されることとなる。

メモリＩＣなどのＩＣのテストは相当に時間がかかるが
、同一の作業員が、テストと並行して、ＩＣの交換を行
うことができる。

以上、この発明の一実施例について詳細に説明したが、
補助装置は検査装置本体の両側に設けるようにしてもよ
い。このようにすれば、Ｉ（ＪＪ査装置は、ＩＣ検査位
置の両側にそれぞれＩＣ着脱位置を有することとなり、
検査効率が更に向上する。

また、ガイドレールに嵌入されるボードの枚数は問うも
のではなく、ガイドレールに形成される溝も２つに限る
ものではない。

［発明の効果］ 以り説明したように、この出願の発明にあっては、複数
のＩＣが直接又はソケットボードを介して搭載される第
１のボードと第２のボードとを有し、前記第１のボード
と第２のボードはＩＣ検査位置とＩＣ着脱位置間でガイ
ドに沿って相互に入れ替えできるので、ＩＣ検査を連続
して行う場合に、ＩＣ検査システムの空時間が減少し、
検査時間が短縮化されて、効率的にＩＣ検査を行うこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明によるｌ実施例のＩＣ検査装置の外
観斜視図、第２図は、第１図におけるＩＣソケットボー
ドの着脱構造を示した概略斜視図、第３図は第１図の概
略甲面図、第４図は、従来のＩＣ検査装置の外観斜視図
である。 １０・・・ＩＣ検査装置本体、１１・・・補助装置、１
　　　　′２．１３・・・前面板、１４・・・ガイドレ
ール、１５・・・第１のボード、ｔｅ−・・第２のボー
ド、１７ａ、１８ａ・・・操作レバー、１９・・・ＩＣ
ソケットボード。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数のＩＣが直接又はソケットボードを介して搭
   載される第１のボードと第２のボードとを有し、前記第
   １のボードと第２のボードはＩＣ検査位置とＩＣ着脱位
   置間でガイドに沿って相互に入れ替えできることを特徴
   とするＩＣ検査装置。
2. （２）ＩＣ検査位置とＩＣ着脱位置とは平行に配置され
   、ＩＣ検査位置はＩＣ検査部に第１又は第２のボードが
   着脱される位置であって、ＩＣ着脱位置は検査のための
   ＩＣを挿着し、又は検査済みのＩＣを取り外す位置であ
   り、ガイドは二段に設けられて第１又は第２のボードが
   前記ＩＣ検査位置と前記ＩＣ着脱位置で前後に移動して
   ＩＣ検査部において着脱できることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載のＩＣ検査装置。