JPS61285731A - プロ−ブカ−ド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の分野］ 本発明は、半導体素子などの電子部品の電気的特性をプ
ローバ検査または測定するために用いられるプローブカ
ードに関する。

［発明の概要］ 本発明は、半導体素子などの電気的特性を検査または測
定する際に用いられるプローブカードにおいて、該カー
ド上に該カードと測定器との電気的接続または該カード
の位置決めのために使用される複数個の穴を設け、該カ
ードを被検査物に対し垂直方向に着脱可能にすることに
よって、カードの自動着脱を可能にし、かつカード装着
時のプローブ針位置調整を不要にした。

［従来の技術］ 従来のプローブカードでは、カード基板（プリント配線
基板からなる）中央部のプローブ針取付部からの配線パ
ターンをカード基板の一辺に導くとともに該辺に接続端
子部を設け、測定器側から引出されたカードエツジコネ
クタに該接続端子部を挿入することによって測定器とプ
ローブカードとを電気的に接続していた。

このため、プローブカードを自動的に交換するように構
成することは困難であり、プローブカードの交換は人手
に頼らざるおえなかった。また、このプローブカードは
、自体は精度良く製作されていても、交換時、被検査物
に対して平行方向に移動するためプローブ針の位置がず
れ勝ちであり、プローブ針の位置調整を必要としていた
。

［発明の目的］ 本発明は、上述の従来形における欠点を除去するもので
、機械による自動着脱または交換が可能で、かつ装着ま
たは交換後の位置調整が不要なプローブカードを提供す
ることを目的とする。また、ＬＳＩやビン数の多い被検
査素子にも対応が容易なプローブカードを提供すること
をさらなる目的とする。

［実施例の説明］ 以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。

第１および２図は本発明の一実施例に係るプローブカー
ドの下面（裏面）図および横断面図である。

図において、１はプローブカード基板、２は外部接続用
コネクタ穴、３は導電パターン、４は導電スルーホール
、５はプローブ針、６は取付はリング、７はブローバ本
体、８は半導体素子等の被検査物である。

プローブカード基板１は両面プリント配ｌ！基板からな
り、基板１の中央部に取付けられるプローブ針５に１対
１で対応するコネクタ穴２、各コネクタ穴２からプロー
ブ針５の取付部に至る導電パターン３、および表裏の導
電パターン３を接続するための導電スルーホール４等が
設けられている。

コネクタ穴２は、基板１の周辺部に複数個ずつまとめて
それぞれ直線状に配設され、各コネクタ穴２からの導電
パターン３は、コネクタ穴２間ピッチを狭くするために
表裏交互に引出されており、表面の導電パターン３を裏
面（プローブ針５取付側）に引出すために導電スルーホ
ール４が設けられている。また、コネクタ穴２の内壁に
は導電パターン３と電気的に接続された導電性スルーホ
ールメッキが施されている。

ブローバ本体７には、不図示の測定器等と電気的に接続
されている接続ビン７１が−コネクタ穴２と１対１に対
応して取付けられており、プローブカードを本体７に取
付ける際には、各接続ビン７１が対応する各コネクタ穴
２と嵌合してプローブカードの位置決めおよび本体７と
の電気的接続が達成される。

上記構成からなるプローブカードは、被検査物８に対し
て垂直方向に脱着するようにしているため、このプロー
ブカードを用いれば機械による自動着脱または交換が容
易になる他、外部接続用のコネクタ穴２が位置決めにも
使用されるため、装着時の被検査物８に対するプローブ
針５の水平方向の位置ずれが抑えられて装着後の位置が
調整が不必要となる。また、コネクタ穴２は、このプロ
ーブカードの使い勝手や性能等等に悪影響を及ぼすこと
なく、カード基板１の比較的任意の位置例えば基板１の
１辺だけでなく他所に設けることが可能であり、Ｌ、Ｓ
Ｉやビン数の多い被検査素子にも容易に対応させること
ができる。

［実施例の変形］ なお、本発明は上述の実施例に限定されることなく、適
宜変形して実施することができる。例えばコネクタ穴２
からの導電パターン３は表裏から交互に引出さないで同
一面に引くことも可能である。全部の導電パターン３を
基板１の裏面に引く場合、基板１は片面プリント配線基
板でもよい。

また、コネクタ穴２はカード基板１の比較的任意の位置
例えば基板１の４辺に設けることが可能である。また、
プローブ針５についても取付リング６付近で多針のため
の処理を施すことが可能である。

さらに、上述においては、コネクタ穴２内壁にスルーホ
ールメッキを施して接続ビン１１との電気的接続を実現
するようにしているが、このスルーホールメッキを施す
代りにコネクタ穴２に接続ビン１１と嵌合可能な導電性
部材例えばハトメやビン・レセプタタル等を取付けるよ
うにしてもよい。

また、プローブカード側でコネクタ穴２に接続ビンを取
付け、本体７側にコネクタ（レセプタクル）を取付けて
上記実施例とは雌雄を逆にすることも可能である。また
、上述においては、電気的接続用の穴がプローブカード
位置決め用の穴を兼ねているが、位置決め専用に導電パ
ターンで取囲まない、または取囲んだ穴を設けるように
してもよい。

この場合はコネクタ穴２を設ける代りに、接続ビン７１
の尖端を基板１上の導電パターン３に押付けるという、
プローブ針５と被検査物８との間と同様の考えで電気的
接続を達成するようにしてもよい。

［発明の効果］ 以上のように本発明によると、プローブカード上に多数
の穴を設け、この穴を用いて位置決めまたは外部機器と
の電気的接続を行なうことにより、プローブカードの着
脱を被検査物に対して垂直方向に行なうようにしたため
、プローブカードの機械による自動着脱または交換が可
能となり、かつ装着または交換後の位置調整を不要とす
ることができる。また、外部との接続部をの比較的任意
の位置に設けることが可能であり、ＬＳＩやビン数の多
い被検査素子に対応させることも比較的容易である。特
に、外部接続用のコネクタ穴を数ケ所にまとめて作るこ
とにより、精度良いオートローディング用プローブカー
ドとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係るプローブカードの下面
図、第２図は第１図のプローブカードの断面図である。 １ニブローブカード基板、２：外部接続用コネクタ穴、
３：導電パターン、４：導電スルーホール、５ニブロー
ブ針、６：取付はリング。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、半導体素子など電子部品の電気的特性をプローバ検
   査または測定する際、該電子部品と測定器とを電気的に
   接続するために用いられるプローブカードであつて、該
   カードと上記測定器との電気的接続または該カードの位
   置決めのために使用される複数個の穴を有することを特
   徴とするプローブカード。 ２、少なくとも前記電気的接続のための穴が導電体で覆
   われている特許請求の範囲第１項記載のプローブカード
   。 ３、前記導電体で覆われた穴の集合が、少なくとも２ケ
   所以上に点在する特許請求の範囲第２項記載のプローブ
   カード。