JPS61286675A - 流量制御装置 - Google Patents
流量制御装置Info
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- JPS61286675A JPS61286675A JP61094395A JP9439586A JPS61286675A JP S61286675 A JPS61286675 A JP S61286675A JP 61094395 A JP61094395 A JP 61094395A JP 9439586 A JP9439586 A JP 9439586A JP S61286675 A JPS61286675 A JP S61286675A
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- flow rate
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/01—Control of flow without auxiliary power
- G05D7/0106—Control of flow without auxiliary power the sensing element being a flexible member, e.g. bellows, diaphragm, capsule
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/7722—Line condition change responsive valves
- Y10T137/7781—With separate connected fluid reactor surface
- Y10T137/7784—Responsive to change in rate of fluid flow
- Y10T137/7792—Movable deflector or choke
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Flow Control (AREA)
- Safety Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イ)産業上の利用分野
本発明は、流量制御装置に関する。
(ロ)従来技術
流れ規制部における#lt率と圧力損失との関係を流量
率の制御に利用する考え方灯、従来より行われていた。
率の制御に利用する考え方灯、従来より行われていた。
たとえば、米国特許番号第3.402,735号におい
ては、流れ規制部材の上流側および下流側は、上流側表
面の方向に付勢されたピストンの両面に・接触してかり
−R,れの増大に起因する1流側表面と下流側表面との
間の差圧の一時的な上昇によって1反対方向に移動した
時、出口?閉鎖する方向に移動する。
ては、流れ規制部材の上流側および下流側は、上流側表
面の方向に付勢されたピストンの両面に・接触してかり
−R,れの増大に起因する1流側表面と下流側表面との
間の差圧の一時的な上昇によって1反対方向に移動した
時、出口?閉鎖する方向に移動する。
(ハ)発明のW1要
可動ピストンの両側にかかる差圧?利用した流量制御装
置は、外側に向かって湾曲する表面を有し且ピストンの
両側における差圧の大きさの変化に応答してピストンが
移動した時、出口オリフィスに隣接する位置とその正面
位置との間を停動可能な閉鎖部材を使用することにより
、流量率を極めて正確に1tiII#Jすることができ
ること全発見した。
置は、外側に向かって湾曲する表面を有し且ピストンの
両側における差圧の大きさの変化に応答してピストンが
移動した時、出口オリフィスに隣接する位置とその正面
位置との間を停動可能な閉鎖部材を使用することにより
、流量率を極めて正確に1tiII#Jすることができ
ること全発見した。
閉鎖部材は、外方に同かって湾曲する表面?有するため
、出口オリフィスが完全に開いた時、閉鎖部材の一部分
が出口オリフィスの正面であるがそれより間P4を開け
た位置にあり、且出ロオリフイス?完全に閉鎖するのに
極めて小さな閉鎖部材の移動しか必要としない。
、出口オリフィスが完全に開いた時、閉鎖部材の一部分
が出口オリフィスの正面であるがそれより間P4を開け
た位置にあり、且出ロオリフイス?完全に閉鎖するのに
極めて小さな閉鎖部材の移動しか必要としない。
本発明の好ましい実施例においては、閉鎖部材は球状の
ボールである;球状のボールはピボット状支持部材によ
りピストンに連結されたドエルに回転可能に取付けられ
ている:出口オリフイスの反対側の一対の案内リプは1
球状のボールを出口オリフィスの近接位置に維持する;
ピストンは。
ボールである;球状のボールはピボット状支持部材によ
りピストンに連結されたドエルに回転可能に取付けられ
ている:出口オリフイスの反対側の一対の案内リプは1
球状のボールを出口オリフィスの近接位置に維持する;
ピストンは。
その内部を貫通する規制された通路をMする板である;
伸長スプリングはピストンを流れの方向と反対方向に付
勢するのに使用される;そしてスプリングは、ネジ付シ
ャフトを回転することにより。
伸長スプリングはピストンを流れの方向と反対方向に付
勢するのに使用される;そしてスプリングは、ネジ付シ
ャフトを回転することにより。
本発明装置の流量率を簡単にA!IfJすることが出来
るように、ネジ付シャフト上に取付けられた支持体に連
結されている。
るように、ネジ付シャフト上に取付けられた支持体に連
結されている。
に)以下1図l1fiを用いて本発明の詳細な説明する
。
。
第1図を参照すると本発明に刀)かる流量制御装置10
は、制御すべき流体を受入れる人口12とその流体を排
出する出口14とを有している。流量制御装置10を通
る流量率を調節する溝付の制御ロットづ6が、流量制御
装置10の入口端から延びている。入口12及び出口1
4は、プラスチック#(ABS)のハウジング18内に
形成されている。
は、制御すべき流体を受入れる人口12とその流体を排
出する出口14とを有している。流量制御装置10を通
る流量率を調節する溝付の制御ロットづ6が、流量制御
装置10の入口端から延びている。入口12及び出口1
4は、プラスチック#(ABS)のハウジング18内に
形成されている。
第2図及び第6図を参照すると、ノ・クランプ18は、
2ピースのクランプ26(第6図)とりテーナ−28と
によって一体的に連結されfc2つの部分20.22か
ら構成されている。溝付の制御ロッド16の隋らかな部
分19H,ノ・クランプの部分20(第2図)の端部に
回転可能に取付けられており、tg付の制御ロッド16
のネジ部分60は。
2ピースのクランプ26(第6図)とりテーナ−28と
によって一体的に連結されfc2つの部分20.22か
ら構成されている。溝付の制御ロッド16の隋らかな部
分19H,ノ・クランプの部分20(第2図)の端部に
回転可能に取付けられており、tg付の制御ロッド16
のネジ部分60は。
流路32内に延びている。溝付の制御ロッド16は、ハ
ウジング20の外側上の保持クリップ66によってハウ
ジングの部分20内に入らないように阻止されていると
共にO−リング64及びワッシャー66によってハウジ
ングの部分20の内側にシールされている。
ウジング20の外側上の保持クリップ66によってハウ
ジングの部分20内に入らないように阻止されていると
共にO−リング64及びワッシャー66によってハウジ
ングの部分20の内側にシールされている。
縦トラック40と係合するスロット69(第4図)を有
するスプリング支持体68は、ネジ部分3U上にネジ係
合されており、支持体68の回転全阻止している。スプ
リング42(線直径1.04市、ステンレス鋼、29±
1巻1巻直径9.531ffl)は、リング46によっ
て支持体68の孔44内に保持されている。ネジ部分6
0の下端は、スプリング42の中央を通って延びている
(第2図)。
するスプリング支持体68は、ネジ部分3U上にネジ係
合されており、支持体68の回転全阻止している。スプ
リング42(線直径1.04市、ステンレス鋼、29±
1巻1巻直径9.531ffl)は、リング46によっ
て支持体68の孔44内に保持されている。ネジ部分6
0の下端は、スプリング42の中央を通って延びている
(第2図)。
スプリング42の下端は、ピストン板50の延長部48
の周囲に引掛けられている。
の周囲に引掛けられている。
ピストン板50は、3.18C!rLの直径を有してお
り、且その内部を貫通する規制された流路52(直径t
67ars、長さ6.65tm)を有している。
り、且その内部を貫通する規制された流路52(直径t
67ars、長さ6.65tm)を有している。
ピストン板50の延長部48とは反対の側面上は規制さ
れた流路52の出口の周囲に形成されたシリンダー状の
支持体54となっている。支持体54H,H字形のボー
ルキャリア58の上側ドエル56が通る一対のスロット
55を有している。
れた流路52の出口の周囲に形成されたシリンダー状の
支持体54となっている。支持体54H,H字形のボー
ルキャリア58の上側ドエル56が通る一対のスロット
55を有している。
このボールキャリアssh、n6oとクロス部材62と
を有している。脚60の下端には、プラスチック製の球
形閉鎖部材66(直径4−.テフロン TFE )が、
支持されている下側ドエル64となっている。
を有している。脚60の下端には、プラスチック製の球
形閉鎖部材66(直径4−.テフロン TFE )が、
支持されている下側ドエル64となっている。
ピストン板5Uの上流側表面上は、保持リング70によ
って保持されたダイアフラム68(巻直径14clrL
、厚さ0.50±0.025no++のシリコンゴム。
って保持されたダイアフラム68(巻直径14clrL
、厚さ0.50±0.025no++のシリコンゴム。
40〜60デユロメイター)となっている。ダイアフラ
ム68の周縁部は、ゴム製のO−リング72と一緒にな
ってハウジングの部分20.22の間にシールされてい
る。部分2L1.22が連結されている場所における流
路の百匝は−3,UIJcmとなっている。第6図及び
第7図に図示されているように、出口オリフィス74(
直径1.57±0、025輔)が、ハウジングの部分2
2の底部に設けられている。出口オリフィス74の反対
側には、一対の案内リブ76が6.811の間隔を開け
て且球状の閉鎖部材66を溝付の制蜀出ロオリフィス7
4の近くに保持する位置に位置されている。
ム68の周縁部は、ゴム製のO−リング72と一緒にな
ってハウジングの部分20.22の間にシールされてい
る。部分2L1.22が連結されている場所における流
路の百匝は−3,UIJcmとなっている。第6図及び
第7図に図示されているように、出口オリフィス74(
直径1.57±0、025輔)が、ハウジングの部分2
2の底部に設けられている。出口オリフィス74の反対
側には、一対の案内リブ76が6.811の間隔を開け
て且球状の閉鎖部材66を溝付の制蜀出ロオリフィス7
4の近くに保持する位置に位置されている。
作 用
透析装置内の透析液の流れを制御する場合について説明
する。流木は入口12から入り1通路62を通って出口
14より排出する。通路62の通過中流体は、ピストン
板50の規制された通路52を通る。この時流木は、装
置10を通る流れの流量率の関数である圧力損失を受け
る。これは。
する。流木は入口12から入り1通路62を通って出口
14より排出する。通路62の通過中流体は、ピストン
板50の規制された通路52を通る。この時流木は、装
置10を通る流れの流量率の関数である圧力損失を受け
る。これは。
ビストノ板50のL流側表面(ダイアフラム68の1方
)における圧力とピストン板50の下流側表面における
圧力の間に圧力差を生じさせ、ピストン板50上に下流
側に向く正味の力を7JDえる。
)における圧力とピストン板50の下流側表面における
圧力の間に圧力差を生じさせ、ピストン板50上に下流
側に向く正味の力を7JDえる。
ピストン板5U上の圧力差による正味の力がスプリング
420力よりも小さい場合、ピストン板501−1第7
図に図示されているように/%ウジングの部分2Llh
に接触している。流れが増大すると。
420力よりも小さい場合、ピストン板501−1第7
図に図示されているように/%ウジングの部分2Llh
に接触している。流れが増大すると。
ピストン板50上の差圧による力はスプリング42の力
と等しくなり流量制御が始まる。ピストン板50は装置
10の出口の方向に移動し球状の閉鎖部材66はオリフ
ィス74の方へ近ずくように回転してその正面に部分的
に覆うように、しかし、出口オリフィス74への流れを
妨げることがない程度に部分的に覆い被さっている。閉
鎖部材66は、水が閉鎖部材を通って出口オリフィス7
4内に流れこむため、自動的に出口オリフィス74に整
合する。規制された通路52を通る流れが増大した場合
、大きな圧力損失が起り、ピストン板50は下流側へ移
動する。これにより、閉鎖部材66は出口オリフィス7
4の正面に回転してゆき、第6図に図示されているよう
に、出口オリフィス74に吸引される。これは、一時的
に流れを規制する。これにより、圧力損失は減少し、ピ
ストンを上f!rt、Ij111に移動させる。出口オ
リフィス74は、従ってそのカバーが外され、結局、流
れを一定に保持する。閉鎖部材66は、外側に向かって
湾曲する表面を有しているため、出口オリフィス74が
完全に開いた時、閉鎖部材66の一部は出口オリフィス
74の正面に、しかし、それより間隔を開けて位置する
ことができる。閉鎖部材66は、全開位置から全閉位置
まで移動するのに出口オリフィス74の百匝の半分だけ
移動すればよいため、極めて敏感なスロット作用を提供
することができる。流れが大量になると、ピストン板5
0がハウジングの部分22に向かって全行程にわたって
付勢されたとしても、閉鎖部材66は。
と等しくなり流量制御が始まる。ピストン板50は装置
10の出口の方向に移動し球状の閉鎖部材66はオリフ
ィス74の方へ近ずくように回転してその正面に部分的
に覆うように、しかし、出口オリフィス74への流れを
妨げることがない程度に部分的に覆い被さっている。閉
鎖部材66は、水が閉鎖部材を通って出口オリフィス7
4内に流れこむため、自動的に出口オリフィス74に整
合する。規制された通路52を通る流れが増大した場合
、大きな圧力損失が起り、ピストン板50は下流側へ移
動する。これにより、閉鎖部材66は出口オリフィス7
4の正面に回転してゆき、第6図に図示されているよう
に、出口オリフィス74に吸引される。これは、一時的
に流れを規制する。これにより、圧力損失は減少し、ピ
ストンを上f!rt、Ij111に移動させる。出口オ
リフィス74は、従ってそのカバーが外され、結局、流
れを一定に保持する。閉鎖部材66は、外側に向かって
湾曲する表面を有しているため、出口オリフィス74が
完全に開いた時、閉鎖部材66の一部は出口オリフィス
74の正面に、しかし、それより間隔を開けて位置する
ことができる。閉鎖部材66は、全開位置から全閉位置
まで移動するのに出口オリフィス74の百匝の半分だけ
移動すればよいため、極めて敏感なスロット作用を提供
することができる。流れが大量になると、ピストン板5
0がハウジングの部分22に向かって全行程にわたって
付勢されたとしても、閉鎖部材66は。
それが出口オリフィス74に吸引されるため2出ロオリ
フイス74を越えて移動してしまうことはない。この時
、ドエルs6r/i、 ピストン板5oが移動し続け
ている間、スロット55内で静止したままとなっている
。ピストン板50と一緒のダイアフラム68の4m’J
−1いかなる力をも生じさせない。
フイス74を越えて移動してしまうことはない。この時
、ドエルs6r/i、 ピストン板5oが移動し続け
ている間、スロット55内で静止したままとなっている
。ピストン板50と一緒のダイアフラム68の4m’J
−1いかなる力をも生じさせない。
回転する溝付の側倒ロッド16により、スプリング支持
体68はネジ部分60に添って移動し。
体68はネジ部分60に添って移動し。
それによりスプリング42Vc加わる力を調節する。
このカバ、ピストン板5tJhの差圧による力に反作用
として作用し、従って流量率は調節されることとなる。
として作用し、従って流量率は調節されることとなる。
伸長スプリング42を使用することにより圧縮スプリン
グの座屈、従って、それに起因する不正確さの問題は回
避される。
グの座屈、従って、それに起因する不正確さの問題は回
避される。
本発明装置は、装置10Vcかかる全圧力損失の増大(
列えば、入口圧力が増加し且出口圧力が一定の場合)が
、出口オリフィス74の位置における圧力損失により(
規制された流路52の位置における圧力損失はない)、
吸収されるため、極めて広A圧力範囲にね九って定常流
全提供する。流敬制御中、ピストン板50玉の差圧によ
る力に加えて圧縮スプリングとの力は、出口オリフィス
74の方向に閉鎖部材66を引張る力によって抵抗され
ている(脚60を介して伝達される)。装置1U内の全
圧力損失の増加により、圧縮スプリング42は伸び、且
閉鎖部材66は出口オリフィス74の方向に移動する。
列えば、入口圧力が増加し且出口圧力が一定の場合)が
、出口オリフィス74の位置における圧力損失により(
規制された流路52の位置における圧力損失はない)、
吸収されるため、極めて広A圧力範囲にね九って定常流
全提供する。流敬制御中、ピストン板50玉の差圧によ
る力に加えて圧縮スプリングとの力は、出口オリフィス
74の方向に閉鎖部材66を引張る力によって抵抗され
ている(脚60を介して伝達される)。装置1U内の全
圧力損失の増加により、圧縮スプリング42は伸び、且
閉鎖部材66は出口オリフィス74の方向に移動する。
これは、出口オリフィス74を部分的にS析することに
より、その位置の圧力損失を増大させる。同時に、閉鎖
部材66は、その中心が出口オリフィス74の端縁の上
方に移動し、それによって脚60を介して圧縮スプリン
グ42上に加わる力が犬きく増大しt時、出口オリフィ
ス74内に部分的に吸引される。従って1本発明装置に
かかる圧力損失が増大した時。
より、その位置の圧力損失を増大させる。同時に、閉鎖
部材66は、その中心が出口オリフィス74の端縁の上
方に移動し、それによって脚60を介して圧縮スプリン
グ42上に加わる力が犬きく増大しt時、出口オリフィ
ス74内に部分的に吸引される。従って1本発明装置に
かかる圧力損失が増大した時。
出口オリフィス74の位置における圧力損失を増大させ
る閉鎖部材66の能力により、本発明装置全体における
圧力損失は、規制された流路の位置で吸収され、流量率
を増大させる順向を有する。
る閉鎖部材66の能力により、本発明装置全体における
圧力損失は、規制された流路の位置で吸収され、流量率
を増大させる順向を有する。
本発明装置は、また出口オリフィス74の位置における
粒状の汚染に対し敏感な反応を示さない(出口オリフィ
ス74が詰まった時自動的に流量率及び差圧を小さくシ
、それにより閉鎖部材66が出口オリフィス74より外
れる)。規制された流路52の例外及び出口オリフィス
74の位置に卦ける圧力損失により本装置10を通る流
体の流れにおける圧力損失は小さくなる。
粒状の汚染に対し敏感な反応を示さない(出口オリフィ
ス74が詰まった時自動的に流量率及び差圧を小さくシ
、それにより閉鎖部材66が出口オリフィス74より外
れる)。規制された流路52の例外及び出口オリフィス
74の位置に卦ける圧力損失により本装置10を通る流
体の流れにおける圧力損失は小さくなる。
第1図は2本発明にかかる流量制剤装置の平面図である
。 第2図は、第1図の装置の第1図の2−2線断面図であ
る。 第6図は、第1図の装置の椙々の構成要素を示すための
分解斜視図である。 第4図は、第1図の装置の第2図の4−4線に沿った水
平断面図である。 第5図は、第1図の装置の第2図の5−5線に治って取
った水平@面図である。そして。 第6図及び第7図は、第1図の装置のピストン及び閉鎖
部材が異なる位置にある状態を示すための断面図である
。 10・・・流量制a装置、 12・・・入口。 14・・・出口、 16・・・溝付の側倒ロ
ッド。 18・・・ハウジング、 20.22 ・・・部分
。 (外5名)
。 第2図は、第1図の装置の第1図の2−2線断面図であ
る。 第6図は、第1図の装置の椙々の構成要素を示すための
分解斜視図である。 第4図は、第1図の装置の第2図の4−4線に沿った水
平断面図である。 第5図は、第1図の装置の第2図の5−5線に治って取
った水平@面図である。そして。 第6図及び第7図は、第1図の装置のピストン及び閉鎖
部材が異なる位置にある状態を示すための断面図である
。 10・・・流量制a装置、 12・・・入口。 14・・・出口、 16・・・溝付の側倒ロ
ッド。 18・・・ハウジング、 20.22 ・・・部分
。 (外5名)
Claims (14)
- (1)流量制御装置であって、 入口と、出口オリフィスと、そして、上記入口と上記出
口オリフィスとの間の流体通路とを有するハウジング; 上記流体通路を流れる流体に接触する上流側表面及び下
流側表面を有する上記ハウジング内の運動可能なピスト
ン; 上記装置内の流量率の関数として、上記上流側表面と上
記下流側表面との間の圧力損失を提供するための手段;
そして、 上記可動ピストンに連結され且つ外側に向かって湾曲し
た表面を有する閉鎖部材であって、上記圧力損失の大き
さの変化に応答して上記ピストンが移動したとき、上記
出口オリフィスに隣接する位置とその正面との間で移動
可能な閉鎖部材;を含んでなる流量制御装置。 - (2)特許請求の範囲第1項に記載の流量制御装置にお
いて、 上記外側に湾曲した表面が、上記出口オリフィス内に延
びる平面内において円形の断面を有することを特徴とす
る流量制御装置。 - (3)特許請求の範囲第2項に記載の流量制御装置にお
いて、 上記外側に湾曲した表面が、球の一部分からなり、そし
て、上記出口オリフィスが、上記球の一部分の直径より
も小さな直径を有する円形形状を有する流量制御装置。 - (4)特許請求の範囲第3頃に記載の流量制御装置にお
いて、 上記閉鎖部材が、その中央を通る第1のドエル上に回転
可能に取付けられた球状のボールからなり、そして、上
記第1のドエルの縦軸が上記ピストン及び上記湾曲表面
の運動方向を横断する方向である流量制御装置。 - (5)特許請求の範囲第4項に記載の流量制御装置にお
いて、 上記ハウジングが、上記出口オリフィスと反対方向の上
記流体通路に延びる一対の案内ガイドを有しており、上
記案内リブは、上記第1のドエルに沿う上記球の運動を
制限するように間隔を開けて位置ぎめされており、それ
により、上記球を上記出口オリフィスの近接位置に維持
するようにしてなる流量制御装置。 - (6)特許請求の範囲第4項に記載の流量制御装置にお
いて、 上記ドエルが、上記可動ピストンにピボット運動可能に
取付けられた2つの横断支持体の両端の間に取付けられ
ている流量制御装置。 - (7)特許請求の範囲第6項に記載の流量制御装置にお
いて、 上記一対の支持体の他端の間に延びる第2のドエルを介
して上記ピストンに取付けられており、上記ピストンの
スロット内を貫通する第2のドエルは、上記ピストンの
運動方向に延びている流量制御装置。 - (8)特許請求の範囲第1項に記載の流量制御装置にお
いて、 上記ピストンは、その内部を通る規制された流路を有し
、それにより、圧力損失を提供する流量制御装置。 - (9)特許請求の範囲第1頃に記載の流量制御装置にお
いて、 上記ピストンは、流体の流れ方向を横断する方向に位置
ぎめされた平板形状をなしていると共に、上記平板の上
流側に支持され且つ上記ハウジングにその周辺部におい
てシールされたダイアフラムから構成されている流量制
御装置。 - (10)特許請求の範囲第9項に記載の流量制御装置に
おいて、 上記ハウジングが、それらの間に上記ダイアフラムの周
辺部をシールしてなる流量制御装置。 - (11)特許請求の範囲第1項に記載の流量制御装置に
おいて、 上記ピストンが、伸長スプリングを介して上流側に付勢
されている流量制御装置。 - (12)特許請求の範囲第11項に記載の流量制御装置
において、 上記伸長スプリングは、上記ハウジング内に調節可能に
位置ぎめされた調節可能の支持体に連結されている流量
制御装置。 - (13)特許請求の範囲第12項に記載の流量制御装置
において、 上記調節可能な支持体は、上記ハウジング内のネジ付シ
ャフト上に取付けられていると共に上記ネジ付シャフト
を回転し、それにより、上記スプリングを伸縮する手段
を有している流量制御装置。 - (14)特許請求の範囲第4項に記載の流量制御装置に
おいて、 上記ネジ付シャフトの端部は、上記伸長スプリングの中
央部を貫通する流量制御装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/744,373 US4625757A (en) | 1985-06-13 | 1985-06-13 | Differential pressure fluid flow regulating device |
| US744373 | 2003-12-22 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61286675A true JPS61286675A (ja) | 1986-12-17 |
| JPH0472113B2 JPH0472113B2 (ja) | 1992-11-17 |
Family
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Family Applications (1)
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| JP61094395A Granted JPS61286675A (ja) | 1985-06-13 | 1986-04-23 | 流量制御装置 |
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|---|---|
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