JPS6128926B2 - - Google Patents
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- JPS6128926B2 JPS6128926B2 JP55121555A JP12155580A JPS6128926B2 JP S6128926 B2 JPS6128926 B2 JP S6128926B2 JP 55121555 A JP55121555 A JP 55121555A JP 12155580 A JP12155580 A JP 12155580A JP S6128926 B2 JPS6128926 B2 JP S6128926B2
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- Japan
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- pellet
- infrared
- infrared rays
- window material
- filter
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/0225—Shape of the cavity itself or of elements contained in or suspended over the cavity
- G01J5/024—Special manufacturing steps or sacrificial layers or layer structures
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
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- G01J5/08—Optical arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0801—Means for wavelength selection or discrimination
- G01J5/0802—Optical filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0875—Windows; Arrangements for fastening thereof
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/0022—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry for sensing the radiation of moving bodies
- G01J5/0025—Living bodies
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は波長７〜16μｍの赤外線、例えば人体
から放射れる波長７〜15μｍの赤外線を検出する
赤外線検出器に関する。
から放射れる波長７〜15μｍの赤外線を検出する
赤外線検出器に関する。
第１図は従来のこの種検出器を示し、その構造
は表、裏面電極１，２を有し、入射赤外線変化量
に応じた電荷を発生する焦電体ペレツト３を金属
性支持台４上面に導電性接着剤５にて接着してい
る。そして、上記ペレツト３は支持台４と共に収
納体６内に収納され、且つ斯る収納体６において
上記ペレツト３の表面電極１上方には赤外線透過
用窓材７が設けられている。更に、斯る検出器で
は、その検出赤外線の波長領域が人体から放射さ
れる赤外線の波長領域７〜１５μｍを含む７〜16
μｍの範囲となる様に、上記窓材７下面には波長
７〜16μｍの赤外線を透過せしめる赤外線フイル
タ８が形成されている。従つて、例えば人体から
の赤外線を検出する場合において、自然光及び室
内照明光等に含まれる波長７μｍ以下の赤外線に
よる雑音を除去でき、信頼性の高い赤外線検出器
を提供できる。
は表、裏面電極１，２を有し、入射赤外線変化量
に応じた電荷を発生する焦電体ペレツト３を金属
性支持台４上面に導電性接着剤５にて接着してい
る。そして、上記ペレツト３は支持台４と共に収
納体６内に収納され、且つ斯る収納体６において
上記ペレツト３の表面電極１上方には赤外線透過
用窓材７が設けられている。更に、斯る検出器で
は、その検出赤外線の波長領域が人体から放射さ
れる赤外線の波長領域７〜１５μｍを含む７〜16
μｍの範囲となる様に、上記窓材７下面には波長
７〜16μｍの赤外線を透過せしめる赤外線フイル
タ８が形成されている。従つて、例えば人体から
の赤外線を検出する場合において、自然光及び室
内照明光等に含まれる波長７μｍ以下の赤外線に
よる雑音を除去でき、信頼性の高い赤外線検出器
を提供できる。
処で、従来では、上記フイルタ８を形成する
に、硫化亜鉛及びテルル等の屈折率の異なる材料
を多層に蒸着しなければならず、高度な膜厚制御
技術と多くの工数を要するためコスト高などを招
いていた。
に、硫化亜鉛及びテルル等の屈折率の異なる材料
を多層に蒸着しなければならず、高度な膜厚制御
技術と多くの工数を要するためコスト高などを招
いていた。
本発明は斯る点に鑑みてなされたもので、以下
本発明実施例赤外線検出器を第２図に基づいて詳
述する。
本発明実施例赤外線検出器を第２図に基づいて詳
述する。
９はタンタル酸リチウム（LiTaO3）結晶等の焦
電材料から成り入射赤外線変化量に応じた信号を
出力する焦電体ペレツトで、該ペレツトの表裏面
にはニクロム（Ni―Cr）から成る表、裏面電極
１０，１１が形成されている。１２は銅、アルミ
ニウム又は燐青銅等の金属から成り上記ペレツト
９を支持する支持台で、該支持台と上記ペレツト
９の裏面電極１１との間には銀ペーストから成る
導電性接着剤１３が介在されている。１４は上記
支持台１２を固定する金属性基台、１５及び１６
は夫々該基台に絶縁された状態及び直接に植設さ
れた第１、第２外部端子で、第１外部端子１５は
金線１７を介して表面電極１０に電気的に連なる
と共に、第２外部端子１６は支持台１２及び導電
性接着剤１３を介して裏面電極１１に電気的に連
なり、従つて第１、第２外部端子１５，１６から
上記ペレツト９で発生した電荷による信号が外部
へ導出される。１８は上記基台１４と共に上記ペ
レツト９を収納するための収納体１９を構成する
金属性キヤツプ、２０は上記ペレツト９の表面電
極１０側に赤外線を入射せるめるべく上記ペレツ
ト９上方のキヤツプ１８に穿設された開口、２１
は該開口を閉塞する赤外線透過用窓材で、該窓材
は不純物をドープしないシリコン単結晶板で形成
されている。
電材料から成り入射赤外線変化量に応じた信号を
出力する焦電体ペレツトで、該ペレツトの表裏面
にはニクロム（Ni―Cr）から成る表、裏面電極
１０，１１が形成されている。１２は銅、アルミ
ニウム又は燐青銅等の金属から成り上記ペレツト
９を支持する支持台で、該支持台と上記ペレツト
９の裏面電極１１との間には銀ペーストから成る
導電性接着剤１３が介在されている。１４は上記
支持台１２を固定する金属性基台、１５及び１６
は夫々該基台に絶縁された状態及び直接に植設さ
れた第１、第２外部端子で、第１外部端子１５は
金線１７を介して表面電極１０に電気的に連なる
と共に、第２外部端子１６は支持台１２及び導電
性接着剤１３を介して裏面電極１１に電気的に連
なり、従つて第１、第２外部端子１５，１６から
上記ペレツト９で発生した電荷による信号が外部
へ導出される。１８は上記基台１４と共に上記ペ
レツト９を収納するための収納体１９を構成する
金属性キヤツプ、２０は上記ペレツト９の表面電
極１０側に赤外線を入射せるめるべく上記ペレツ
ト９上方のキヤツプ１８に穿設された開口、２１
は該開口を閉塞する赤外線透過用窓材で、該窓材
は不純物をドープしないシリコン単結晶板で形成
されている。
２２は上記窓材２１下面に形成された赤外線フ
イルタで、本発明の特徴は斯るフイルタ２２を厚
さ0.1μｍ以上、実用上0.5〜３μｍのインジウ
ム・アンチモン（InSb）から成る単層蒸着膜と
したことにある。斯るフイルタ２２は、電子ビー
ム蒸着法にて、約250℃に加熱された上記窓材２
１のシリコン板上にインジウム・アンチモンを速
度200Å／分で蒸着することにより形成される。
上記フイルタ２２は人体から放射される波長７〜
15μｍの赤外線を含む波長７〜16μｍの赤外線を
透過せしめる半面、波長７μｍ以下の赤外線の透
過率を５％以下とし、従つて例えば人体からの赤
外線を検出する場合において、自然光及び室内照
明光等に含まれる波長７μｍ以下の赤外線による
雑音が除去できる。
イルタで、本発明の特徴は斯るフイルタ２２を厚
さ0.1μｍ以上、実用上0.5〜３μｍのインジウ
ム・アンチモン（InSb）から成る単層蒸着膜と
したことにある。斯るフイルタ２２は、電子ビー
ム蒸着法にて、約250℃に加熱された上記窓材２
１のシリコン板上にインジウム・アンチモンを速
度200Å／分で蒸着することにより形成される。
上記フイルタ２２は人体から放射される波長７〜
15μｍの赤外線を含む波長７〜16μｍの赤外線を
透過せしめる半面、波長７μｍ以下の赤外線の透
過率を５％以下とし、従つて例えば人体からの赤
外線を検出する場合において、自然光及び室内照
明光等に含まれる波長７μｍ以下の赤外線による
雑音が除去できる。
以上の説明から明らかな如く、本発明によれば
例えば人体からの赤外線を精度よく検出すべく、
即ち自然光などに含まれる雑音となる赤外線を除
去すべく、赤外線透過用窓材の少なくとも片面に
おいて、インジウム・アンチモンから成る厚さ
0.1μｍ以上の単層構造の赤外線フイルタを用い
たから、従来の如き高度な膜厚制御技術を不要に
でき且つ上記フイルタの形成工数を著しく減少で
き、よつて安価な赤外線検出器を提供できる。
例えば人体からの赤外線を精度よく検出すべく、
即ち自然光などに含まれる雑音となる赤外線を除
去すべく、赤外線透過用窓材の少なくとも片面に
おいて、インジウム・アンチモンから成る厚さ
0.1μｍ以上の単層構造の赤外線フイルタを用い
たから、従来の如き高度な膜厚制御技術を不要に
でき且つ上記フイルタの形成工数を著しく減少で
き、よつて安価な赤外線検出器を提供できる。
第１図は従来の赤外線検出器の断面図、第２図
は本発明実施例赤外線検出器の断面図である。 ９……焦電体ペレツト、１９……収納体、２０
……開口、２１……赤外線透過用窓材、２２…赤
外線フイルタ。
は本発明実施例赤外線検出器の断面図である。 ９……焦電体ペレツト、１９……収納体、２０
……開口、２１……赤外線透過用窓材、２２…赤
外線フイルタ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 入射赤外線変化量に応じた電荷を発生する焦
電体ペレツト、該ペレツトを収納する収納体、赤
外線を上記ペレツトへ入射せしめるべく上記収納
体に穿設された開口、該開口を閉塞する赤外線透
過用窓材、該窓材の少なくとも片面に積層された
フイルタを備え、 上記フイルタは上記窓材に蒸着形成された厚さ
0.1μｍ以上のインジウム・アンチモンからなる
単層であることを特徴とする赤外線検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55121555A JPS5745421A (en) | 1980-09-01 | 1980-09-01 | Infrared ray detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55121555A JPS5745421A (en) | 1980-09-01 | 1980-09-01 | Infrared ray detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5745421A JPS5745421A (en) | 1982-03-15 |
| JPS6128926B2 true JPS6128926B2 (ja) | 1986-07-03 |
Family
ID=14814134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55121555A Granted JPS5745421A (en) | 1980-09-01 | 1980-09-01 | Infrared ray detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5745421A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0422277Y2 (ja) * | 1985-07-22 | 1992-05-21 | ||
| JPS62119633U (ja) * | 1986-01-22 | 1987-07-29 | ||
| JPH0617820B2 (ja) * | 1986-02-25 | 1994-03-09 | 松下電工株式会社 | 熱線検知器 |
-
1980
- 1980-09-01 JP JP55121555A patent/JPS5745421A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5745421A (en) | 1982-03-15 |
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