JPS6129145A - ピツク・アツプ方法および治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、ピック・アップ技術、特に半導体装置の製造
過程において、ウェハな所定の形状に分割して形成され
る多数のペレットをピック・アップする工程に用いて効
果のある技術に関する。

〔背景技術〕

半導体装置の製造過□程において、ウェハを所定の形状
忙分割して形成されるペレットを個別にピック・アップ
し、次の、たとえばボンディング工程における取扱いを
容易にするため、トレイ等の収納治具に所定の姿勢で移
し替えることが行なわれる。

ウェハな所定の形状に分割する方法としては、粘着テー
プにウニへの裏面を張りつげて固定し、ウェハ表面に基
盤の目状の溝を形成し、同一形状の多数のペレットに分
割することが考えられる。

゛上□記のようにして形成される多数のペレットは粘着
テープに張りついた状態にあるため、分割直後の規則的
な位置関係が維持されている。

粘着テープ上に張りついた状態にある多数のべレットを
個々にビック・アップする方法とじ又は次のよ５な方法
が考えられる。

すなわち、多数のペレットの上方に位置される矩形状の
コレットを目的の１個のペレット上に降下させ、粘着テ
ープの下方からニードルによって目的のペレットを突き
上げることＫよってコレットとの間にペレットを挾持す
る。

次にコレットをニードルとともに所定の高さだけ上昇さ
せ、コレットとニードルに挾持されるペレットを粘着テ
ープから離脱させたのち真空吸着の方法でペレットをコ
レットに保持することによりビック・アップを行なうも
のである。

しかしながら上記のビック・アップ方法ではコレットが
目的の１個のベレット上に降下される際に、コレット周
辺部が隣接する他のペレットを損傷する欠点がある。

さらに、目的の１個のペレットがコレットの直下の位置
かられずかでもずれた位置にある場合には矩形のコレッ
トの角部がベレット表面に押圧され、圧痕を残す等の不
都合があることを本発明者は見い出した。

なお、ペレットボンディング技術を詳しく述べである例
としては、工業調査会発行電子材料１９８１年１１月号
別冊、昭和５６年１１月１０日発行、Ｐ１４９〜Ｐ１５
５がある。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、物品を損傷することなくビック・アッ
プすることが可能なビック・アップ技術を提供すること
にある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

〔発明の概要〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、平面内に配列される複数の物品の中の目的の
１個の物品の直上に治具を待機させ、物品の直下に位置
される突き上げ機構によって物品を上昇させることによ
り物品を治具にビック・アンプさせ、治具が、目的の１
個の物品に隣接する他の物品を損傷することを防止する
。

さらに、角部に切欠きを有する治具を用いることによっ
て、目的の物品の損傷をも防止するビック・アップ技術
を提供することにより前記目的を達成するものである。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例であるペレットのビック・ア
ップ方法を説明する略断面図である。

粘着テープ１にウェハな張りつけた状態でダイシングし
て形成される複数のペレット２（物品）は粘着テープ３
を介してキャリア治具４に固定される。

複数のペレット２の上方にはビック・アップ・アーム（
図示せず）の先端部に設けられたコレット５（治具）が
設けられ、複数のペレット２の中′の目的の１個のペレ
ット２Ａの上方に適宜位置決めされる構造とされている
。コレット５は矩形状であり、その先端のピンク・アッ
プ面側はペレットビック・アンプ用の凹部５Ｆを有して
いる。

さらに、粘着テープ３の下方には一対のニードル６（突
き上げ機構）が設けられ、常にコレット５０下方に位置
される構造とされて（・る。

次に本実施例の作用について説明する。

コレット５は目的の１個のベンツ）２Ａの上方に位ｔＩ
ｔされ、待機される。

次に目的の１個のベンツ）２Ａの下方に位置されるニー
ドル６が上昇され、ベンツ）２Ａはビック・アップされ
る。

ベンツ）２Ａは粘着テープ１０表面から離脱されコレク
ト５の下部に接触され、コレット５に設けられる真空吸
引路５Ａによって吸着され、凹部５Ｆ内に保持される。

上記の一連のピンク・アップ動作においては、ニードル
６によって目的のベンツ）２Ａのみがビック・アップさ
れるため、コレット５０周辺部が、目的のベンツ）２Ａ
に隣接する他のペレット２に接触されず、コレット５に
よる他のペレット２の損傷が防止される。

目的のベレット２人を保持するコレット５はビック・ア
ップ・アームによって収納治具７の上万の所定の位置に
搬送され、真空吸着が解除され、収納治具７の上に位置
される。

上記の一連の動作を繰り返すことによって複数のベレッ
ト２が収納治具７の上に移し替えられる。

さらに、第２図に示されるように角部に切欠き５Ｂ、５
Ｃおよび５Ｄ、５Ｅを有するコレット５を用いることに
よって、コレット５が目的のベンツ）２Ａの直上よりわ
ずかにずれた位置に待機された状態で前記のビック・ア
ップ動作が行なわれても、コレット５０角部によって、
ビック・アンプされるベンツ）２Ａの表面が損傷される
ことが防止される。

〔効果〕

（１）、ビック・アップされる物品の入を持ち上げてビ
ック・アップ動作が行なわれるため、ピンク・アップさ
れる物品に隣接する物品が治具によって損傷されること
が防止される。

（２）、治具の角部に切欠きが設けられているため、ビ
ック・アップされる物品の表面が治具の角部によって損
傷されることが防止される。

（３）、前記（１１，（２１の結果、ビック・アップ作
業における物品の歩留りが向上する。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

たとえば、物品が治具によってビック・アップされる位
置を定位置とし、物品を逐次移動させることによってビ
ック・アップ動作時の位置決めを行なうことも可能であ
る。

また、コレットは物品の形状に応じて矩形以外の多角形
状であってもよい。

〔利用分野〕

以上の説明では主として本発明者によってたされた発明
をその背景となった利用分野であるベレットのビック・
アップに適用した場合について説明したが、それに限定
されるものではなく、ピッ　　　　　　　１り・アップ
動作を必要とする工程に広く応用することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるベレットのビック・ア
ップ方法を説明する略断面図、第２図は前記ベレットの
ビック・アップ方法に用いられるコレットの斜視図であ
る。 １・・・粘着テープ、２・・・ベレット（物品）、３・
・・粘着テープ、４・・・キャリア治具、５・・・コレ
ット（治具）、５人・・・真空吸引路、５Ｂ、５Ｃ，５
Ｄ。 ５Ｅ・・・切欠キ、６・・・ニードル（突き上げ機構）
、７・・・収納治具。 第　　１　　図 Ａ 第　　２　　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、同一平面内に配列される複数の物品の中から個別に
   物品を取り出すピック・アップ方法であつて、物品の上
   方に治具を待機させ、物品の下方に位置される突き上げ
   機構によって物品を上昇させることによって物品を治具
   にピック・アップさせるピック・アップ方法。 ２、物品がペレットであることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載のピック・アップ方法。 ３、同一平面内に配列される複数の物品の中から個別に
   物品を取り出すための治具であって、多角形のピック・
   アップ部のピック・アップ面に物品ピック・アップ用の
   凹部を有し、ピック・アップ部の角部に切欠きを備えて
   なる治具。 ４、治具がペレットのピック・アップに用いられるコレ
   ットであることを特徴とする特許請求の範囲第３項記載
   の治具。