JPS61291970A - スパツタ装置 - Google Patents
スパツタ装置Info
- Publication number
- JPS61291970A JPS61291970A JP13319985A JP13319985A JPS61291970A JP S61291970 A JPS61291970 A JP S61291970A JP 13319985 A JP13319985 A JP 13319985A JP 13319985 A JP13319985 A JP 13319985A JP S61291970 A JPS61291970 A JP S61291970A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- backing plate
- plate
- sputtering
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は冷却用バッキングプレートにターゲットを接
着しスパッタを行なうスパッタ装置に関する。
着しスパッタを行なうスパッタ装置に関する。
一般に薄模を形成する手段としてスパッタ装置が幅広く
用いられている。
用いられている。
ところで、このようなスパッタ装置ではスパッタリング
の際ターゲット表面がスパッタされることによりかなり
の温度上昇を招くことが知られており、このためターゲ
ットを冷却する手段が種々考えられている。
の際ターゲット表面がスパッタされることによりかなり
の温度上昇を招くことが知られており、このためターゲ
ットを冷却する手段が種々考えられている。
しかして、従来ターゲットの冷却手段を有するスパッタ
装置として第３図に示すようにターゲット１を、冷却媒
体を通す空間２を有するスパッタ電極のベースプレート
３上に押え部材４およびボルト５を介して固定するよう
にしたものがある。
装置として第３図に示すようにターゲット１を、冷却媒
体を通す空間２を有するスパッタ電極のベースプレート
３上に押え部材４およびボルト５を介して固定するよう
にしたものがある。
ところが、このものによるとターゲット１とベースプレ
ート３の間の熱伝導が余り大きくないたメ仮にマグネト
ロンスパッタのように大電力の投入が要求されるものの
場合ターゲット１を効率よく冷却することができずター
ゲット表面が冷却手段を有するにもかかわらず極めて高
温になってしまう欠点があった。
ート３の間の熱伝導が余り大きくないたメ仮にマグネト
ロンスパッタのように大電力の投入が要求されるものの
場合ターゲット１を効率よく冷却することができずター
ゲット表面が冷却手段を有するにもかかわらず極めて高
温になってしまう欠点があった。
そこで、従来第４図に示すようにターゲット６を熱伝導
性にすぐれた鋼などの材料からなるバッキングプレート
７上に半田や接着剤などにて固着し、このバッキングプ
レート７をスパッタ電極をなすベースプレート８側の冷
却媒体を通す空間９に接するように該ベースプレート８
上に配設するとともにＯリング１０を介してボルト１１
などにて固定するようにしたものが考えられている。
性にすぐれた鋼などの材料からなるバッキングプレート
７上に半田や接着剤などにて固着し、このバッキングプ
レート７をスパッタ電極をなすベースプレート８側の冷
却媒体を通す空間９に接するように該ベースプレート８
上に配設するとともにＯリング１０を介してボルト１１
などにて固定するようにしたものが考えられている。
ここで、バッキングプレート７およびベースプレート８
は種々の形状をとることができ、−例として第５図に示
すようなものもある。
は種々の形状をとることができ、−例として第５図に示
すようなものもある。
このようにすればターゲット６はバッキングプレート７
を介して効率よく冷却されるようになるので仮に大′（
力投入が要求されるものの場合もターゲット６表面での
温度上昇を抑制することができる。
を介して効率よく冷却されるようになるので仮に大′（
力投入が要求されるものの場合もターゲット６表面での
温度上昇を抑制することができる。
ところで、このようにターゲットをバッキングプレート
に接着する場合、ターゲットの材質や大きさによって接
着状態を均一に、且つ強力に再現性よ〈実施するのが難
しく信頼性に欠けるきらいがあった。特にターゲットの
熱膨張係数がバッキングプレートに用いた鋼の熱膨張係
数と異なると、こｎら間の接着の際バッキングプレート
を高温に加熱し半田などにてターゲットを接着したのち
冷却すると所謂バイメタル効果により接着したターゲッ
トとバッキングプレートにたわみを生じることがあり、
このたわみを矯正するため機械的圧力をかけると接着層
の残留応力によりターゲットとプレートの間ｌこ局部的
な剥離を生じる。そして、このような状態のままでスパ
ッタリングに用いると、スパッタ時の温度上昇にともな
うターゲットとバッキングプレートの変形により局部的
な剥離がさら−こ広がり、ついにはターゲットがバッキ
ングプレートより脱落してしまうおそれがあった。
に接着する場合、ターゲットの材質や大きさによって接
着状態を均一に、且つ強力に再現性よ〈実施するのが難
しく信頼性に欠けるきらいがあった。特にターゲットの
熱膨張係数がバッキングプレートに用いた鋼の熱膨張係
数と異なると、こｎら間の接着の際バッキングプレート
を高温に加熱し半田などにてターゲットを接着したのち
冷却すると所謂バイメタル効果により接着したターゲッ
トとバッキングプレートにたわみを生じることがあり、
このたわみを矯正するため機械的圧力をかけると接着層
の残留応力によりターゲットとプレートの間ｌこ局部的
な剥離を生じる。そして、このような状態のままでスパ
ッタリングに用いると、スパッタ時の温度上昇にともな
うターゲットとバッキングプレートの変形により局部的
な剥離がさら−こ広がり、ついにはターゲットがバッキ
ングプレートより脱落してしまうおそれがあった。
このことは、このような構成のものを仮にサイドスパッ
タのようｌこターゲットに重力が加わる姿勢で使用する
と、スパッタ途中でターゲットだけが脱落してしまうお
それがあり、この結果ターゲットの大形化をはじめスパ
ッタ時の温度上昇を左右する大電力投入や長時間スパッ
タなどが実施できない欠点があった。
タのようｌこターゲットに重力が加わる姿勢で使用する
と、スパッタ途中でターゲットだけが脱落してしまうお
それがあり、この結果ターゲットの大形化をはじめスパ
ッタ時の温度上昇を左右する大電力投入や長時間スパッ
タなどが実施できない欠点があった。
このようなターゲットの脱落を防止する手段として第６
図に示すようにターゲット１２の周縁部をボルト１３に
てバッキングプレート１４上に固定するようにしたもの
もある。
図に示すようにターゲット１２の周縁部をボルト１３に
てバッキングプレート１４上に固定するようにしたもの
もある。
ところが、このようにするとバッキングプレート１４は
銅のような比較的歌い材質よりなっているのでバッキン
グプレート１４上でのねじ強度が十分に得られず固定が
不安定なものになり、しかもターゲット１２にボルト１
３の孔が明けられるのでターゲット１２の使用に制限が
生じるなど好ましい方法でなかった。
銅のような比較的歌い材質よりなっているのでバッキン
グプレート１４上でのねじ強度が十分に得られず固定が
不安定なものになり、しかもターゲット１２にボルト１
３の孔が明けられるのでターゲット１２の使用に制限が
生じるなど好ましい方法でなかった。
この発明は上記事情に鑑みてなされたものでターゲット
とバッキングプレートの間の接着状態の信頼性を高める
ことができ、ターゲットの大形化、大電力投入および長
時間スパッタをも可能にしたスパッタ装置を提供するこ
とを目的とする。
とバッキングプレートの間の接着状態の信頼性を高める
ことができ、ターゲットの大形化、大電力投入および長
時間スパッタをも可能にしたスパッタ装置を提供するこ
とを目的とする。
この発明Ｉζかかるスパッタ装置はターゲットが接着さ
れ、この状態でベースプレートζこ載ｔｇれるバッキン
グプレート周縁の少なくとも一部に突出部を係止すると
ともに上記ベースプレートに固定される固定手段を設け
、上記突出部にて上記ターゲットをバッキングプレート
側に押付は固定するようにしたものである。
れ、この状態でベースプレートζこ載ｔｇれるバッキン
グプレート周縁の少なくとも一部に突出部を係止すると
ともに上記ベースプレートに固定される固定手段を設け
、上記突出部にて上記ターゲットをバッキングプレート
側に押付は固定するようにしたものである。
この発明によればターゲットとバッキングプレートとの
接着状態を安定して保つことができターゲットの脱落を
防止できる。これによりターゲットとバッキングプレー
トとの接着状態の信頼性を高めることができるのでター
ゲットの大形化をはじめスパッタ時の温度上昇を左右す
る大電力投入や長時間スパッタなども可能にできる。ま
た、ターゲット周縁の少なくとも一部を固定部材の突出
部に係止された状態でベースプレー）Ｊこ固定している
ので十分の機械的強度を確保でき安定した固定が得られ
、しかもターゲットは孔を明けることなく固定できるの
でターゲットの使用が制限されるような不都合も除去で
きる。
接着状態を安定して保つことができターゲットの脱落を
防止できる。これによりターゲットとバッキングプレー
トとの接着状態の信頼性を高めることができるのでター
ゲットの大形化をはじめスパッタ時の温度上昇を左右す
る大電力投入や長時間スパッタなども可能にできる。ま
た、ターゲット周縁の少なくとも一部を固定部材の突出
部に係止された状態でベースプレー）Ｊこ固定している
ので十分の機械的強度を確保でき安定した固定が得られ
、しかもターゲットは孔を明けることなく固定できるの
でターゲットの使用が制限されるような不都合も除去で
きる。
以下、この発明の一実施例を図面に従い説明する。
第１図において、２１はターゲットで、このターゲット
２１は半田又は接着剤により熱伝導性の良好な銅などの
材料よりなるバクキングプレート２２上に接着している
。
２１は半田又は接着剤により熱伝導性の良好な銅などの
材料よりなるバクキングプレート２２上に接着している
。
２３はスパッタ電極をなすベースプレートで、このベー
スプレート２３は上面に溝部２３１を形成している。
スプレート２３は上面に溝部２３１を形成している。
そして、このようなベースプレート２３の上面に上記タ
ーゲット２１を接着したバッキングプレート２２を０リ
ング２４を介して載置する。この場合バクキングプレー
ト２２の裏面と上記溝部２３１により冷却媒体を通す空
間２５が形成される。
ーゲット２１を接着したバッキングプレート２２を０リ
ング２４を介して載置する。この場合バクキングプレー
ト２２の裏面と上記溝部２３１により冷却媒体を通す空
間２５が形成される。
ターゲット２１の全周縁に沿ってターゲットｍ走部材と
して押え金具２６を設けている。ここで、押え金具２６
は筒状をなす基部２６１の先端開口部内周縁ｌこ沿つて
突出部２６２を形成したもので、基部２６１をバクキン
グプレート２２周縁部上に載置するとともに突出部２６
２にてターゲット２１周縁を係止するようにしている。
して押え金具２６を設けている。ここで、押え金具２６
は筒状をなす基部２６１の先端開口部内周縁ｌこ沿つて
突出部２６２を形成したもので、基部２６１をバクキン
グプレート２２周縁部上に載置するとともに突出部２６
２にてターゲット２１周縁を係止するようにしている。
そして、このような押え金具２６の基部２６１の所定個
所にボルト２７を設け、このボルト２７をバッキングプ
レート２２を貫通してベースプレート２３にねじ込むこ
とにより突出部２６２１ごてターゲット２１をバッキン
グプレート２２側に押付は固定している。この場合バッ
キングプレート２２は周縁部にボルト２７を貫通する透
孔２２１を有している。
所にボルト２７を設け、このボルト２７をバッキングプ
レート２２を貫通してベースプレート２３にねじ込むこ
とにより突出部２６２１ごてターゲット２１をバッキン
グプレート２２側に押付は固定している。この場合バッ
キングプレート２２は周縁部にボルト２７を貫通する透
孔２２１を有している。
しかして、このようにするとターゲット２１はバクキン
グプレート２２に接着された状態で押え金具２６の突出
部２６２によりバッキングプレート２２側に押付けられ
固定されるので仮ｆこターゲット２１とバクキングプレ
ート２２の間の接着が不均一で局部的に剥離部分があっ
ても、その後のスパッタ時の温度上昇にともなうターゲ
ット２１とバッキングプレート２２の変形を最小限ｌこ
抑えることができ、剥離部分の広がりを防止することが
できる。これによりターゲット２１とバッキングプレー
ト２２との間の接着状態の信頼性の高めることができる
のでターゲット２１の大形化をはじめスパッタ時の温度
上昇を左右する大電力投入や長時間スパッタなどを可能
にできる。
グプレート２２に接着された状態で押え金具２６の突出
部２６２によりバッキングプレート２２側に押付けられ
固定されるので仮ｆこターゲット２１とバクキングプレ
ート２２の間の接着が不均一で局部的に剥離部分があっ
ても、その後のスパッタ時の温度上昇にともなうターゲ
ット２１とバッキングプレート２２の変形を最小限ｌこ
抑えることができ、剥離部分の広がりを防止することが
できる。これによりターゲット２１とバッキングプレー
ト２２との間の接着状態の信頼性の高めることができる
のでターゲット２１の大形化をはじめスパッタ時の温度
上昇を左右する大電力投入や長時間スパッタなどを可能
にできる。
また、押え金具２６をボルト２７を介してベースプレー
ト２３側に固定しているので、従来の銅のように比較的
歌い材質からなるバッキングプレート側にねじ止めする
ものに比ベ−スプレート２３でのねじ強度を十分に得ら
れ、安定した固定が得られる。しかも、押え金具２６を
用いることによりターゲット２１に孔を明けることなく
固定できるのでターゲット２１の使用が制限されるよう
な不都合も除去できる。
ト２３側に固定しているので、従来の銅のように比較的
歌い材質からなるバッキングプレート側にねじ止めする
ものに比ベ−スプレート２３でのねじ強度を十分に得ら
れ、安定した固定が得られる。しかも、押え金具２６を
用いることによりターゲット２１に孔を明けることなく
固定できるのでターゲット２１の使用が制限されるよう
な不都合も除去できる。
さらに、押え金具２６のボルト２７をバッキングプレー
ト２２の透孔２２１を貫通してベースプレート２３にね
じ込むようにしでいるのでスパッタ電極をなすベースプ
レート２３の直径寸法を小さくすることもでき、かかる
スパッタ装置に用いられる真空槽の大きさも小さくでき
装置の小形化も図ることができる。
ト２２の透孔２２１を貫通してベースプレート２３にね
じ込むようにしでいるのでスパッタ電極をなすベースプ
レート２３の直径寸法を小さくすることもでき、かかる
スパッタ装置に用いられる真空槽の大きさも小さくでき
装置の小形化も図ることができる。
次に第２図はこの発明の他の実施例を示すものである。
この場合、ターゲラ）２１を接着したバッキング プレ
ート２２をボルト３１（こてベースプレート２３に固定
し、一方ターゲット固定部材として基部３２１をベース
プレート２３周縁部にボルト３３にて固定され、且つ突
出部３２２にてターゲット２１周縁を係止するようにし
た押え金具３２を設けるようにしている。
ート２２をボルト３１（こてベースプレート２３に固定
し、一方ターゲット固定部材として基部３２１をベース
プレート２３周縁部にボルト３３にて固定され、且つ突
出部３２２にてターゲット２１周縁を係止するようにし
た押え金具３２を設けるようにしている。
その他は第１図と同様であり同一部分ｌこは同符号を付
して説明を省略する。
して説明を省略する。
しかして、このようにしても上述と同様の効果が期待で
きる。
きる。
なお、この発明は上記実施例にのみ限定されず要旨を変
更しない範囲で適宜変形して実施できる。
更しない範囲で適宜変形して実施できる。
例えば上述の実施例ではターゲットの全周縁に沿って押
え金具を設けるようにしたが、例えばターゲットが矩形
状をなす場合四隅部分にのみ押え金具を設けるようｌこ
部分的に設けるようにしてもよい。また上述では押え金
具をボルトにて固定したがボルト以外の手段を用いても
よい。さらに押え金具は一例であって他の固定部材を用
いることもできる。
え金具を設けるようにしたが、例えばターゲットが矩形
状をなす場合四隅部分にのみ押え金具を設けるようｌこ
部分的に設けるようにしてもよい。また上述では押え金
具をボルトにて固定したがボルト以外の手段を用いても
よい。さらに押え金具は一例であって他の固定部材を用
いることもできる。
第１図はこの発明の一実施例を示す概略的構成図、第２
図はこの発明の他の実施例を示す概略的構成図、第３図
乃至第６図は夫々従来のスパッタ装置を例を示す概略的
構成図である。 ２１・・・ターゲット ２２・・・バクキングプレー
ト ２３−・・ベースプレート２４・・
・０リング ２５・・・空間２６．３２・・・押え
金具 ２６１ 、３２１・・・基部２６２ 、３２２
・・・突出部 ２７，３１．３３ ・−ボルト第１
図 第２図
図はこの発明の他の実施例を示す概略的構成図、第３図
乃至第６図は夫々従来のスパッタ装置を例を示す概略的
構成図である。 ２１・・・ターゲット ２２・・・バクキングプレー
ト ２３−・・ベースプレート２４・・
・０リング ２５・・・空間２６．３２・・・押え
金具 ２６１ 、３２１・・・基部２６２ 、３２２
・・・突出部 ２７，３１．３３ ・−ボルト第１
図 第２図
Claims (3)
- （１）ターゲットと、このターゲットが接着されるバッ
キングプレートと、このバッキングプレートが載置され
るスパッタ電極のベースプレートと、上記ターゲット周
縁の少なくとも一部を係止する突出部を有し且つ上記ベ
ースプレートに固定され上記突出部にてターゲットをバ
ッキングプレート側に押付け固定する固定手段とを具備
したことを特徴とするスパッタ装置。 - （２）上記バッキングプレートは透孔を有し、上記固定
手段は上記透孔を介して上記ベースプレートに固定され
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のスパッ
タ装置。 - （３）上記固定手段はベースプレートにボルトを介して
固定されるものであることを特徴とする特許請求の範囲
第１項又は第２項記載のスパッタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13319985A JPS61291970A (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 | スパツタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13319985A JPS61291970A (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 | スパツタ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61291970A true JPS61291970A (ja) | 1986-12-22 |
Family
ID=15099038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13319985A Pending JPS61291970A (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 | スパツタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61291970A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101003074B1 (ko) | 2008-08-25 | 2010-12-21 | 이성우 | 스퍼터링 장치의 캐소드 |
-
1985
- 1985-06-19 JP JP13319985A patent/JPS61291970A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101003074B1 (ko) | 2008-08-25 | 2010-12-21 | 이성우 | 스퍼터링 장치의 캐소드 |
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