JPS6129552A - 噴射ヘツド - Google Patents
噴射ヘツドInfo
- Publication number
- JPS6129552A JPS6129552A JP15058484A JP15058484A JPS6129552A JP S6129552 A JPS6129552 A JP S6129552A JP 15058484 A JP15058484 A JP 15058484A JP 15058484 A JP15058484 A JP 15058484A JP S6129552 A JPS6129552 A JP S6129552A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- nozzle plate
- nozzle
- substrate
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000002347 injection Methods 0.000 title claims abstract description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 title claims abstract description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 6
- 238000005553 drilling Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
゛（産業上の利用分野）
本発明はインクを微細ノズルから噴射し、記録紙に記録
印字するインクジェットプリンタヘッドに関するもので
ある。
印字するインクジェットプリンタヘッドに関するもので
ある。
（従来技術とその問題点）
噴射ヘッドはインク供給溝に外付けされた圧電素子の変
位エネルギーによってインクを加圧し、微細ノズルから
インクを噴射する構造になっている。微細ノズルは一般
的には引き抜き微細管を用いる方法や、電鋳による方法
等が考えられるが、何れの場合においても精度的な面か
ら実現が極めて離しい。現実的な方法としては基板にエ
ツチング微細溝を形成し、この上に上部プレートを重ね
合わせ、拡散接合することによって実現できる。
位エネルギーによってインクを加圧し、微細ノズルから
インクを噴射する構造になっている。微細ノズルは一般
的には引き抜き微細管を用いる方法や、電鋳による方法
等が考えられるが、何れの場合においても精度的な面か
ら実現が極めて離しい。現実的な方法としては基板にエ
ツチング微細溝を形成し、この上に上部プレートを重ね
合わせ、拡散接合することによって実現できる。
この方法によれば高精度で且つ複雑な形状の微細溝を確
実に供給することができる。しかし、接合ヘッドはイン
ク噴射特性を良好にするため、微細溝端面を鏡面加工す
る必要がある。これは接合部分の僅かの段差によってイ
ンク噴射の「曲がシ」や「Ｋじみ」を生じることを防止
するために行なうものである。しかし、鏡面加工におい
ては微細溝に充填剤を詰めて研摩したシ、微細溝からエ
ヤー又は水を吐出させて研摩する方法等が行われるが完
全ではない。即ち前者、は研摩後に充填剤を完全に除去
するのが難しく、又後者は目詰りを完全に無くすまでに
は至らない。
実に供給することができる。しかし、接合ヘッドはイン
ク噴射特性を良好にするため、微細溝端面を鏡面加工す
る必要がある。これは接合部分の僅かの段差によってイ
ンク噴射の「曲がシ」や「Ｋじみ」を生じることを防止
するために行なうものである。しかし、鏡面加工におい
ては微細溝に充填剤を詰めて研摩したシ、微細溝からエ
ヤー又は水を吐出させて研摩する方法等が行われるが完
全ではない。即ち前者、は研摩後に充填剤を完全に除去
するのが難しく、又後者は目詰りを完全に無くすまでに
は至らない。
（発明の目的）
本発明はかかる欠点を除去するため、ノズルプレートに
案内溝、管路溝、流入口およびタンク穴等をエツチング
又は放電加工等によって形成し、このノズルプレートの
案内溝側端面を鏡面仕上し、この端面から案内溝に向っ
て微細ノズルを形成し、このノズルプレート上面に上部
プレートを、下面に基板をそれぞれ重ね合わせ、王者を
拡散接合することにより、目詰りのない確実なヘッドを
提供することにある。
案内溝、管路溝、流入口およびタンク穴等をエツチング
又は放電加工等によって形成し、このノズルプレートの
案内溝側端面を鏡面仕上し、この端面から案内溝に向っ
て微細ノズルを形成し、このノズルプレート上面に上部
プレートを、下面に基板をそれぞれ重ね合わせ、王者を
拡散接合することにより、目詰りのない確実なヘッドを
提供することにある。
（発明の構成）
本発明によれば基板、ノズルプレートおよび上部プレー
トなどの構成部品から成る噴射ヘッドにおいて前記基板
にタンク溝を形成し、前記ノズルプレートに案内溝、管
路溝、流入口およびタンク穴を形成し、且つこのノズル
プレートの案内溝側端面に鏡面加工を施した後、前記端
面から案内溝に向って微少放電加工により貫通の微細ノ
ズルを形成し、前記上部プレートｔは位置決め溝を形成
し、前記構成部品を基板、ノズルプレート、上部プレー
トの順序で重ね合わせ後、所望の位置決めを行ない拡散
接合し、前記位置決め溝に圧電素子を貼り付けたことを
特徴とする噴射ヘッドが得られる。
トなどの構成部品から成る噴射ヘッドにおいて前記基板
にタンク溝を形成し、前記ノズルプレートに案内溝、管
路溝、流入口およびタンク穴を形成し、且つこのノズル
プレートの案内溝側端面に鏡面加工を施した後、前記端
面から案内溝に向って微少放電加工により貫通の微細ノ
ズルを形成し、前記上部プレートｔは位置決め溝を形成
し、前記構成部品を基板、ノズルプレート、上部プレー
トの順序で重ね合わせ後、所望の位置決めを行ない拡散
接合し、前記位置決め溝に圧電素子を貼り付けたことを
特徴とする噴射ヘッドが得られる。
（実施例）
第１図は本発明の一実施例を示す噴射ヘッドの分解図、
第２図はその積層断面図である。
第２図はその積層断面図である。
図において１は基板であシ、タンク溝２がエツチングに
よって形成されている。３はノズルプレートであシ案内
＃４、管路溝５、流入口６およびタンク穴７をエツチン
グもしくは放電加工等で形成する。ノズルプレート３０
案内溝４側の端面８には鏡面加工を施し、この端面８が
ら案内溝４に向って微少放電加工もしくは微少ドリル加
工等により貫通の微細ノズル９を形成し、洗浄する。１
０は上部プレートであシエッチングによる位置決め溝１
１を有している。次にこれら基板７、ノズルプレート３
および上部プレート等のヘッド構成部品の接合について
説明する。まず、基板１の上面にノズプレート３をタン
ク溝２とタンク穴が一致するよう重ね合わせる。次に、
このノズルグレート３の上に上部プレー）１０を管路溝
５と位置決め溝とが一致するよう重ね合わせる。以上の
順序で構成部品を重ね合わせ後、三者を拡散接合する。
よって形成されている。３はノズルプレートであシ案内
＃４、管路溝５、流入口６およびタンク穴７をエツチン
グもしくは放電加工等で形成する。ノズルプレート３０
案内溝４側の端面８には鏡面加工を施し、この端面８が
ら案内溝４に向って微少放電加工もしくは微少ドリル加
工等により貫通の微細ノズル９を形成し、洗浄する。１
０は上部プレートであシエッチングによる位置決め溝１
１を有している。次にこれら基板７、ノズルプレート３
および上部プレート等のヘッド構成部品の接合について
説明する。まず、基板１の上面にノズプレート３をタン
ク溝２とタンク穴が一致するよう重ね合わせる。次に、
このノズルグレート３の上に上部プレー）１０を管路溝
５と位置決め溝とが一致するよう重ね合わせる。以上の
順序で構成部品を重ね合わせ後、三者を拡散接合する。
最後に１上部プレー）１０の位置決め溝１１に圧電素子
１２を貼り付けることにより、確実な噴射ヘッドを提供
することができる。
１２を貼り付けることにより、確実な噴射ヘッドを提供
することができる。
なお、拡散接合後に端面研摩し、ノズル加工すると、加
工層がノズル内に入シ込むため、この方法をとれないこ
とは当然である。
工層がノズル内に入シ込むため、この方法をとれないこ
とは当然である。
（発明の効果）
以上のよ、うに本発明によればヘッドが出来た最終段階
でノズル端面の鏡面加工するのではなく、構成部品の段
階、即ちノズルグレート３の単体の状態で鏡面加工し、
しかるのちに微細ノズル９の加工をするため、目詰シの
無い状態を得ることができる。また、従来は最終の段階
まで到達しないとヘッドとしての良否が判定できないし
、且つ不良品となった場合酸再生ができない。しかし、
本発明の場合、単体の状態で確認することができるため
「ゴミ」等によって目詰シを起した不良品を次工程へ送
シ込むことはないし、又「ゴミ」が確認されれば除去し
、再生することが可能である。
でノズル端面の鏡面加工するのではなく、構成部品の段
階、即ちノズルグレート３の単体の状態で鏡面加工し、
しかるのちに微細ノズル９の加工をするため、目詰シの
無い状態を得ることができる。また、従来は最終の段階
まで到達しないとヘッドとしての良否が判定できないし
、且つ不良品となった場合酸再生ができない。しかし、
本発明の場合、単体の状態で確認することができるため
「ゴミ」等によって目詰シを起した不良品を次工程へ送
シ込むことはないし、又「ゴミ」が確認されれば除去し
、再生することが可能である。
したがって従来のノズル端面研摩を、途中の段階へ変え
ると同時に、研摩の後にノズル加工を施したことにより
、目詰シのない確実な噴射ヘッドを提供することができ
る。
ると同時に、研摩の後にノズル加工を施したことにより
、目詰シのない確実な噴射ヘッドを提供することができ
る。
第１図は本発明の一実施例を示す噴射ヘッドの分解図、
第２図はその積層断面図である。 図において１は基板、２はタンク溝、３はノズルプレー
ト、４は案内溝、５は管路溝、６は流入口、７はタンク
穴、８は端面、９は微細ノズル、１０は上部プレート、
１１は位置決め溝、１２は圧電素子である。 亭 １ 起 亭 ２ 起
第２図はその積層断面図である。 図において１は基板、２はタンク溝、３はノズルプレー
ト、４は案内溝、５は管路溝、６は流入口、７はタンク
穴、８は端面、９は微細ノズル、１０は上部プレート、
１１は位置決め溝、１２は圧電素子である。 亭 １ 起 亭 ２ 起
Claims (1)
- 基板、ノズルプレートおよび上部プレートなどのヘッド
構成部品から成る噴射ヘッドにおいて、前記基板にタン
ク溝を形成し、前記ノズルプレートに案内溝、管路溝、
流入口およびタンク穴を形成し、且つこのノズルプレー
トの案内溝側端面に鏡面加工を施した後、前記端面から
案内溝に向って微少放電加工もしくは微少ドリル加工等
により貫通の微細ノズルを形成し、前記上部プレートに
は位置決め溝を形成し、前記構成部品を基板、ノズルプ
レート、上部プレートの順序で重ね合わせ後、所望の位
置決めを行ない拡散接合し、前記位置決め溝に圧電素子
を貼り付けたことを特徴とする噴射ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15058484A JPS6129552A (ja) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | 噴射ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15058484A JPS6129552A (ja) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | 噴射ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6129552A true JPS6129552A (ja) | 1986-02-10 |
Family
ID=15500076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15058484A Pending JPS6129552A (ja) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | 噴射ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6129552A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01166964A (ja) * | 1987-12-24 | 1989-06-30 | Fujitsu Ltd | プリンタ用のインクジェットヘッド |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5549275A (en) * | 1978-10-06 | 1980-04-09 | Fuji Xerox Co Ltd | Multi-nozzle orifice plate |
-
1984
- 1984-07-20 JP JP15058484A patent/JPS6129552A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5549275A (en) * | 1978-10-06 | 1980-04-09 | Fuji Xerox Co Ltd | Multi-nozzle orifice plate |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01166964A (ja) * | 1987-12-24 | 1989-06-30 | Fujitsu Ltd | プリンタ用のインクジェットヘッド |
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