JPS61295603A - ガス循環型レ−ザ発振装置 - Google Patents
ガス循環型レ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS61295603A JPS61295603A JP13690685A JP13690685A JPS61295603A JP S61295603 A JPS61295603 A JP S61295603A JP 13690685 A JP13690685 A JP 13690685A JP 13690685 A JP13690685 A JP 13690685A JP S61295603 A JPS61295603 A JP S61295603A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser oscillation
- type laser
- oscillation device
- gas
- blower
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、細流ファンによりレーザ媒質ガスを閉ルー
プで励起部分舊二循環するガス循環レーザ発振装置、特
にその軸流ファンの軸受部及び駆動部の構造Ｉ：関する
。
プで励起部分舊二循環するガス循環レーザ発振装置、特
にその軸流ファンの軸受部及び駆動部の構造Ｉ：関する
。
従来この種のガス循環レーザ発振装置には、例えば第２
図及び第３図に示すものがある。なｇ、第２図は従来装
置の正面説明図、第６図はその側面説明図である。
図及び第３図に示すものがある。なｇ、第２図は従来装
置の正面説明図、第６図はその側面説明図である。
レーザガスＩ：例えばＣＯ２を用いる炭酸ガスレーザの
場合は、Ｃｏ、 、 Ｎ、 ＊ Ｈｅ の（１′〕混
合ガスを５０〜１００ Ｔｏｒｒの圧力下の放電部（Ｆ
） Ｃ２００ｍ／ｓの滞速で浦通させる。放電部（１）
にて入力された電気エネルギーの内レーザ光とならなか
った分はほとんどガスの温度上昇となって現われ、それ
はガス冷却器（３）へ流入する。ガス冷却器（３）で冷
却されたガスは、ブロア（２）にて圧縮され、冷却器（
３）へ流入し再度冷却され放電部（１）へ再循環する。
場合は、Ｃｏ、 、 Ｎ、 ＊ Ｈｅ の（１′〕混
合ガスを５０〜１００ Ｔｏｒｒの圧力下の放電部（Ｆ
） Ｃ２００ｍ／ｓの滞速で浦通させる。放電部（１）
にて入力された電気エネルギーの内レーザ光とならなか
った分はほとんどガスの温度上昇となって現われ、それ
はガス冷却器（３）へ流入する。ガス冷却器（３）で冷
却されたガスは、ブロア（２）にて圧縮され、冷却器（
３）へ流入し再度冷却され放電部（１）へ再循環する。
ここで、ブロア（２）は２００ ｍ／ｓの流速を出すた
め０低圧下の元で高速回転するとともに、そのボールベ
アリング軸受（２ａ）は混合ガ・スの汚染な防ぐため潤
滑剤を使用できないという状況（：ある。
め０低圧下の元で高速回転するとともに、そのボールベ
アリング軸受（２ａ）は混合ガ・スの汚染な防ぐため潤
滑剤を使用できないという状況（：ある。
な８、第゛２図及び第６図において、（４）は放電管、
（５ａ）は反射鏡で、（５ｂ）は部分反射鏡である。
（５ａ）は反射鏡で、（５ｂ）は部分反射鏡である。
従来のガス循環型レーザ発振装置は、低圧下の元で高速
に混合ガスをブロア（２）ｃ二て循環させること１：よ
り高出力レーザを得るようｌ：構成されてｇす、また、
混合ガスの汚染を防ぐため、ブロアの軸受部に潤滑剤を
使用できないため、ブロアの寿命が短かいという問題点
があった。また、ブロアの回転にも限界があり高出力の
レーザ光が得られないという問題点があった。
に混合ガスをブロア（２）ｃ二て循環させること１：よ
り高出力レーザを得るようｌ：構成されてｇす、また、
混合ガスの汚染を防ぐため、ブロアの軸受部に潤滑剤を
使用できないため、ブロアの寿命が短かいという問題点
があった。また、ブロアの回転にも限界があり高出力の
レーザ光が得られないという問題点があった。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、ブロアを潤滑剤を必要としない構造（ニす
ることによりブロアの長寿命化を得ると共に、軸受部を
機械的な接触なしく：支持することができるようにする
ことで高速回転を可能にし、高出力のレーぜビームが得
られるよう響二したガス循環型レーザ発振装置を得るこ
とを目的とする。
れたもので、ブロアを潤滑剤を必要としない構造（ニす
ることによりブロアの長寿命化を得ると共に、軸受部を
機械的な接触なしく：支持することができるようにする
ことで高速回転を可能にし、高出力のレーぜビームが得
られるよう響二したガス循環型レーザ発振装置を得るこ
とを目的とする。
この発明に係るガス循環型レーザ発振装置は、軸流ファ
ン（ルーシブロア）の軸受部を磁気軸受とし、駆動部を
非接触駆動としたものである。
ン（ルーシブロア）の軸受部を磁気軸受とし、駆動部を
非接触駆動としたものである。
この発明（二８ける軸流ファンの軸受部は磁気力（：よ
り軸を支持し、かつ駆動部を非接触駆動としたことＣ：
より、回転部分の機械的接触をなくしている。
り軸を支持し、かつ駆動部を非接触駆動としたことＣ：
より、回転部分の機械的接触をなくしている。
以下、この発明の一実施例を図（二ついて説明する。第
１図Ｃ’１６いて、（２）はブロア、（６）はプロペラ
シャフト、（７）はプロペラシャフト（６） ｌ二押め
込まれた永久磁石、（８）はプロペラシャフト（６）を
回転駆動のため（；永久磁石（８ａ）を収りつけたリン
グ、（９）はプロペラシャフト（６）を安定に支持する
ために制御される電磁コイル、α０は磁束が流れる鉄の
歯、α刀はブロア（２）を駆動する電磁コイルである。
１図Ｃ’１６いて、（２）はブロア、（６）はプロペラ
シャフト、（７）はプロペラシャフト（６） ｌ二押め
込まれた永久磁石、（８）はプロペラシャフト（６）を
回転駆動のため（；永久磁石（８ａ）を収りつけたリン
グ、（９）はプロペラシャフト（６）を安定に支持する
ために制御される電磁コイル、α０は磁束が流れる鉄の
歯、α刀はブロア（２）を駆動する電磁コイルである。
（６）は軸受部支持部である。（１３ａ）〜（１３ｄ）
はシャフト（６）と軸受部とのギャップの磁束の変化を
測定するホール素子で、周方向に等間隔Ｃ二４個取付け
られている。α棒はホール素子（１３ａ）〜（１３ｄ）
からの信号（二よりシャフト（６）を安定に支持するた
めに電磁コイル（９）に電流を供給する制御回路である
。（ト）は電磁コイルα℃に駆動電流を供給する駆動回
路である。
はシャフト（６）と軸受部とのギャップの磁束の変化を
測定するホール素子で、周方向に等間隔Ｃ二４個取付け
られている。α棒はホール素子（１３ａ）〜（１３ｄ）
からの信号（二よりシャフト（６）を安定に支持するた
めに電磁コイル（９）に電流を供給する制御回路である
。（ト）は電磁コイルα℃に駆動電流を供給する駆動回
路である。
次に動作（二ついて説明する。磁気軸受部はホール素子
（ｉ３ａ）〜（１３ｂ）の出力に基づいてプロペラシャ
フト（６）との間際を検知し、制御回路α尋はその間際
に応じて、周方向に適当（：分布配置された各電磁コイ
ル（９）Ｌ二供給する電流を制御する。これにより、各
電磁コイル（９）は磁界を発生し、プロペラシャフト（
６）に植め込まれた永久磁石（８）との間Ｃ二反発力が
生じ、プロペラシャフト（６）は均一な間隙で磁気支持
されることになる。
（ｉ３ａ）〜（１３ｂ）の出力に基づいてプロペラシャ
フト（６）との間際を検知し、制御回路α尋はその間際
に応じて、周方向に適当（：分布配置された各電磁コイ
ル（９）Ｌ二供給する電流を制御する。これにより、各
電磁コイル（９）は磁界を発生し、プロペラシャフト（
６）に植め込まれた永久磁石（８）との間Ｃ二反発力が
生じ、プロペラシャフト（６）は均一な間隙で磁気支持
されることになる。
また、電磁コイルαＤも周方向３：適当に分布配置され
ており、駆動回路αりからのパルス電流が順次供給され
て回転磁界を発生し、永久磁石（８ａ〕がこの回転磁界
Ｃ二追随し、リング（８）すなわちプロペラシャフト（
６）が回転し、ブロア（２）が回転する。
ており、駆動回路αりからのパルス電流が順次供給され
て回転磁界を発生し、永久磁石（８ａ〕がこの回転磁界
Ｃ二追随し、リング（８）すなわちプロペラシャフト（
６）が回転し、ブロア（２）が回転する。
この発明は以上説明したようＩ：、軸流ファンの軸受部
を磁気軸受とし、駆動部を非接触駆動【ニジたので、回
転部分の機械的な接触がなくなり、これによりブロアの
長寿命化及び高速回転が可能となり、更（：高速回転の
実現Ｃ二゛より高出力のレーザビームが得られるよう（
二なった。
を磁気軸受とし、駆動部を非接触駆動【ニジたので、回
転部分の機械的な接触がなくなり、これによりブロアの
長寿命化及び高速回転が可能となり、更（：高速回転の
実現Ｃ二゛より高出力のレーザビームが得られるよう（
二なった。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例（：係る軸流ファンの断面説
明図、第２図は従来のガス循環型レーザ発振装置の正面
説明図、第６図はその側面説明図である。 （２）・・・ブロア、（６）・・・プロペラシャフト、
（７）・・・永久磁石、（８）・・・リング、（９）
・・・電磁コイル、αη・・・電磁コイル、（ハ）・・
・軸受支持部、（１３ａ）〜（１３ｄ）・・・ホール素
子。 な８５図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 江 藤 正 年 第２図 第３図
明図、第２図は従来のガス循環型レーザ発振装置の正面
説明図、第６図はその側面説明図である。 （２）・・・ブロア、（６）・・・プロペラシャフト、
（７）・・・永久磁石、（８）・・・リング、（９）
・・・電磁コイル、αη・・・電磁コイル、（ハ）・・
・軸受支持部、（１３ａ）〜（１３ｄ）・・・ホール素
子。 な８５図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 江 藤 正 年 第２図 第３図
Claims (3)
- （１）軸流ファンによりレーザ媒質ガスを閉ループで励
起部分へ循環するレーザ発振装置において、軸流ファン
の軸受部は磁気軸受装置とし、駆動部は非接触駆動装置
としたことを特徴とするガス循環型レーザ発振装置。 - （２）磁気軸受装置は、支持するシャフトの位置を検出
するホール素子を該シャフトの周方向に沿つて配置した
特許請求の範囲第１項記載のガス循環型レーザ発振装置
。 - （３）磁気軸受装置は、シャフトを磁気支持する電磁コ
イルの励磁電流をホール素子の出力に基づいて制御する
制御回路を有する特許請求の範囲第２項記載のガス循環
型レーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13690685A JPS61295603A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | ガス循環型レ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13690685A JPS61295603A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | ガス循環型レ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61295603A true JPS61295603A (ja) | 1986-12-26 |
Family
ID=15186333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13690685A Pending JPS61295603A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | ガス循環型レ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61295603A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1992020126A1 (fr) * | 1991-04-26 | 1992-11-12 | Fanuc Ltd | Dispositif detectant une anomalie dans le palier d'une soufflante pour un laser a gaz |
| KR101081515B1 (ko) | 2009-12-02 | 2011-11-08 | 세메스 주식회사 | 기판 제조 장치용 액체 저장탱크 |
| WO2015093076A1 (ja) * | 2013-12-17 | 2015-06-25 | 三菱電機株式会社 | 直交励起型ガスレーザ発振装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54163412A (en) * | 1978-06-09 | 1979-12-26 | Omya Gmbh | Flow machine |
| JPS5993994A (ja) * | 1982-11-20 | 1984-05-30 | Amada Co Ltd | 送風機 |
-
1985
- 1985-06-25 JP JP13690685A patent/JPS61295603A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54163412A (en) * | 1978-06-09 | 1979-12-26 | Omya Gmbh | Flow machine |
| JPS5993994A (ja) * | 1982-11-20 | 1984-05-30 | Amada Co Ltd | 送風機 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1992020126A1 (fr) * | 1991-04-26 | 1992-11-12 | Fanuc Ltd | Dispositif detectant une anomalie dans le palier d'une soufflante pour un laser a gaz |
| US5285457A (en) * | 1991-04-26 | 1994-02-08 | Fanuc Ltd. | Apparatus for detecting an abnormal bearing condition of a blower utilized for gas laser equipment |
| KR101081515B1 (ko) | 2009-12-02 | 2011-11-08 | 세메스 주식회사 | 기판 제조 장치용 액체 저장탱크 |
| WO2015093076A1 (ja) * | 2013-12-17 | 2015-06-25 | 三菱電機株式会社 | 直交励起型ガスレーザ発振装置 |
| CN105745796A (zh) * | 2013-12-17 | 2016-07-06 | 三菱电机株式会社 | 正交激励型气体激光振荡装置 |
| US9634456B2 (en) | 2013-12-17 | 2017-04-25 | Mitsubishi Electric Cororation | Gas laser oscillation apparatus of orthogonal excitation type |
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