JPS61296323A - 波面位相変調器とその構成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 発明の分野 この発明は、波面位相変調器の分野に属するもので、特
に、鏡面を複数の別々に動作可能な電歪アクチュエータ
で変形する波面位相変調器に関する。

従来技術の説明 光の波面の位相歪を補正するために波面位相変調器を使
用することは従来技術で公知である。例えば、１９７５
年９月９日発行の米国特許子３．９０−４．２７４号、
１９８１年３月２４日発行の米国特許第４．２５７．６
８６号及び１９８１年７月２８日発行の米国特許第４．
２８０，７５６号参照。これらの特許の各々は、本発明
の譲受人に譲渡されており、その教示内容は言及により
本明細書に組み込む。

現状技術では、歪んだ光波面の補正には、変形可能な鏡
の非常に小さな増分表面積の変形を正確に制御する能力
が要求されることが知られている。この制御は、鏡面の
小面積の正確な変形を可能にするために隣接アクチュエ
ータとは独立に選択的にアドレスされ作動されることが
できる個々のアクチュエータを使用することによって最
もよ（達成することができる。前述の米国特許子３，９
０４，２７４号は、単一のモノリシック・ブロックをア
クチュエータの個々の応答要素に切断することによりモ
ノリシックの圧電媒体から多数のアクチュエータを構成
する方法を開示している。

しかしながら、前述の米国特許第４，２５７，６８６号
テ述べたように、モノリシックの圧電波面変調器は、圧
電材料の層（複数）の間に電極層が挿入されている多層
圧電型のアクチュエータにより必要とされる駆動電圧よ
り高い駆動電圧を印加する必要がある。更に、大きな鏡
面を有する波面位相変調器の位相歪の補正には、圧電材
料の単一ブロックから経済的に正確に製造することがで
きる以上の大きな数のアクチュエータを使用することが
必要となる可能性があるということが知られている。

多層圧電型アクチュエータを作動するに必要な駆動電圧
は比較的低いため鏡面の選択的な変形の制御にこのアク
チュエータを使用することは好都合なこととなるが、鏡
面の小さな増分面積の変形が可能なように、それらのア
クチュエータが互いに密に接近している必要があるとい
う要件は個々のアクチュエータのサイズが小さくなけれ
ばならないので欠点である。小さい多層型のアクチュエ
ータは比較的もろいので変形可能な鏡の組立て工程中は
注意して取扱わなければならない。

多層圧電型アクチュエータの使用に関連するもう一つの
問題は、圧電材料の層の間に挿入された１つ置きの電極
層がアクチュエータを作動させるために逆極性の電圧源
に接続できるようにそれらの電極層が利用可能でなげれ
ばならないということである。

多くの密に接近した多層圧電型アクチュエータの使用か
ら生じる更に他の問題は、その各アクチュエータの選択
的な動作が可能なように各アクチュエータが個々に電気
的にアドレス可能でなければならないということである
。密なアクチュエータ間隙を有する大きくて変形可能な
鏡に必要なアクチュエータの数は多いので、この鏡のア
クチュエータに接続を要する電気リード線の数はかなり
なものとなり、電気接続の誤る可能性が増大する。

更に他の問題は、多くの密に接近された多層アクチュエ
ータを有する波面位相変調器を組立てるに要する価格と
時間は、各々、各個々のアクチュエータを物理的に鏡面
に固定し、それから、−組の駆動電子装置に電気接続し
なければならない場合にかなり増大するということであ
る。

発明の概要 従って、この発明の目的は、鏡面を変形するに使用され
るアクチュエータが、電圧を加えられたとき寸法変化を
示す電歪材料から構成された密に接近した多層アクチュ
エータである波面位相変調器を提供することである。

この発明の他の目的は、鏡の組立てが完了した後に鏡ア
クチュエータのための電子装置とこの鏡アクチュエータ
間の電気接続が容易になし得る波面位相変調器を提供す
ることである。

更に他の目的は、鏡の面を変形させるために使用される
アクチュエータが個々のアクチュエータを手で扱わずに
鏡の基部に正確に位置決め可能な波面位相変調器を提供
することである。

この発明の他の関連目的は、鏡面制御のために多数の極
めて接近したアクチュエータを有する波面位相変調器を
構成する方法を提供することである。

上記及び他の目的並びに利点は、導電材料の層間に挿入
された電歪材料の層からなる電歪材料の大きなブロック
からアクチュエータを製造することにより達成される。

これらの電歪材料の大きなブロックは、電歪材料の層を
通って導電材料の１つ置きの層に選択的に接触する導体
を有している。これら導体のうちの１つ置きのものは、
ブロックの頂部及び底部から導電材料の１つ置きの層に
電気接続がなし得るように、電歪材料のブロックの頂部
と底部で利用することができる。アクチュエータを配置
すべき電歪材料のブロックの各場所において、この電歪
材料のブロックの頂部と底部を介して１対の導体が利用
できるように、それらの導体は配置されている。電歪材
料のブロックの１つ以、上は電気絶縁材料の基部に機械
的に固定されている。その基部はアクチュエータを駆動
するために使用される電子装置にブロック内の導体を相
互接続するための手段を含んでいる。ブロックが基部に
固定された後に、ブロックは切刻鋸（ｄｉｃｉｎｇｓａ
ｗ）　　で切ら・れて複数の個々のアクチュエータとな
る。アクチュエータ・ブロックが切られて形成された後
、一側に反射用の鏡面を、他側にアクチュエータに係合
するための複数のプッシュ・パッドを有する面板がその
アクチュエータに固定される。好適な実施例では、面板
は各アクチュエータの頂部を介して利用可能な組の導体
に接触する導電性の平面を有していて、面板を介して各
アクチュエータへの電気接続が可能にされる。

多数のアクチュエータを有する波面位相変調器を構成す
るための関連方法では、電歪材料よりなる１個以上の多
層ブロックが基部に固定され、そして、別々のアクチュ
エータに切刻される。この方法により個々のアクチュエ
ータを取扱う必要がな（なり、組立工程中に各アクチュ
エータが損傷、汚染、不整例にされる可能性は減少され
る。個々のアクチュエータへの電気リード線の接続は、
電歪材料のブロックを切刻して個々のアクチュエータに
する前にそのブロックへの電気接続を行なうことができ
ることにより容易となる。

好適な実施例の詳細な説明 図面で、第１図は、この発明の教示に従って構成された
波面位相変調器を図式的に示す。

この波面位相変調器は基部１０を有し、この基部は電歪
材料の２つのブロック１２と１４を支持するように示し
である。これらのブロック１２と１４は、電気信号を加
えられた時、伸長を示す任意の材料、例えば、鉛　マグ
ネシウム　ニオブ酸塩（ＰＭＮ）、ジルコン酸チタン酸
鉛、ジルコン酸チタン酸鉛ランタン（ＰＬＺＴ）又はチ
タン酸バリウムから作ることができる。ブロック１２と
１４は導電性の接着層１６、例えば、接着性のある導電
エポキシにより基部１０に固定されて℃・る。

第２図は、ブロック１２と１４が電歪材料の層１８と、
この隣接の層どうしの間に挿入された導電層２０を有す
ることを示す。導電層２０は、導電層２０ａの穴２２と
導電層２０ｂの穴２４のような、互いに離れた穴からな
るパターンを有している。ブロック（例えばブロック１
２）の構成中、１つ置きの導電層２０ａの穴２２が互い
の上に存在するが、隣接の導電層２０ｂの穴２４の上に
は存在しないように各導電層２ｏは位置決めされる。

同様に、１つ置きの導電層２０ｂの穴２４は互いの上に
存在するが、隣接の導電層２０ａの穴２２の上には存在
しない。第２図は、導電層２０の穴２２と２４の上述の
配置の結果として、導電層２０の平面に垂直なブロック
１２を通る穴をあけて、この穴が穴２２を通って導電層
２０ａに接触せずに導電層２０ｂの各々に接触するよう
にすることにより導電層２０ｂのような１つ置きの導電
層を電気接続することができるということを示す。同様
に、穴をあけて、この穴が各導電層２０ａを通るが導電
層２０ｂの穴２４を通るようにすることにより導電層２
０ａを電気接続するもできる。

第２図は、１つ置きの導電層２０を互いに接続するため
の１つの構成を示す。例えば、ブロック１２を基部１０
に固定する前に、導電層２０ａと２０ｂの穴２２と２４
とそれぞれ整列する複数の穴２６と２８がブロック１２
の相対向側にあげられる。そして、例えば、コバル（ｋ
ｏｖａｒ）、プラチナ、銀又は他の電気導体から作られ
た導電ピン３０と３２がそれぞれ穴２６と２８の中に配
置されてそれぞれ導電層２０ｂと２０ａに接触する。導
電ピン３０と３２は、ブロック１２内に保持されて適当
な導電層２０と確実に電気接触するように、導電性のエ
ポキシ・ペーストを塗布してもよい。ブロック１２の頂
部の穴２８に置かれた導電ピン３２と他のピンはブロッ
ク１２の頂部から電気接続のために利用することが宅き
る。そして、ブロック１２の底部の穴２６に置かれた導
電ピン３０と他のピンはブロック１２の底部から電気接
続のため利用することができる。今、１つ置きの導電層
を互いに接続するために導電ピンを使用することが開示
されたが、他の方法も使用できるということは知られる
べきである。例えば、導電性のペースト又はスラリを穴
２６と２８内へ注ぎ、残りのペースト又はスラリを各穴
の頂部と底部のまわりに残す。硬化持に、このペースト
又はスラリは１つ置きの導電層２゜を相互接続し、ブロ
ックの頂部又は底部から利用できる各穴の部分のまわり
に残っているペースト又はスラリを介してアクチュエー
タは外部電子装置に接続することができる。

牙３図は、ブロック１２と１４を支持して導電ピン３０
と電気接触するために使用することができる基部１０の
一部の好適な実施例を示す。基部１０は、例えばガラス
又はセラミックのような絶縁材料から製造され、そして
導電層１６を介して導電ピン３０に導電連絡がされるよ
うに基部１０の絶縁材料を複数の導電部材３４が貫通す
るようにする。牙３図は、例えばコバル（ｋｏｖａｒ　
）ピンにすることができる導体３４によって導電連絡を
することができるということを示す。すなわち、導体３
４は、基部１０を貫′通して導電層１６と接触し、そし
て、電子装置（図示せず）に電気接続してアクチュエー
タを作動させることができるようにブロック１０の下側
で利用することができる。

第４図は、アクチュエータ１２と基部１０の下側との間
を電気接続するための好適な実施例の第２０例を示す。

導電性のガラス、例えば二酸化ウラン・ガラスから作ら
れたロッド３５は、絶縁材料、例えばケイ酸鉛ガラスの
基部１０内に選択的に配置されている。ロッド３５は基
部１０の頂部の導電層１６と基部１０の下側との間に導
電路を形成してアクチュエータ１２への電子装置の接続
を可能にする。

導電ピン３０と３２の挿入後、電歪材料よりなるブロッ
クの１個以上が基部１０に固定される。この発明の教示
に従う波面位相変調器の製造に使用されるブロック数は
、アクチュエータにより支持される鏡面の大きさ及び組
立てが最も容易で最も信頼性ある電歪ブロックの大きさ
により決定される。ブロック１２と１４は、組立の準備
がされたとき、各ブロックの高さが同一になりブロック
どうしが、第１図に示すように、互いに接触して基部１
０の上のブロックどうしの高さに変化がないように成型
及び（又は）加工される。ブロック１２と１４は、これ
らブロックの底で導電ピン３０が、係合する導電部材３
４とほぼ整列するよ５に基部１０の上に位置決めされる
。しかしながら、導電ピン３０と導電部材３４との絶対
の整列は、導電層１６を使用してブロック１２を基部１
０に固定するために、必要ではないということが理解さ
れるべきである。

ブロック１２と１４を堅固に基部１０Ｖｃ接着した後、
ブロック１２と１４は切刻鋸を使用して個々のアクチュ
エータ３６に切断することができる。切刻鋸はブロック
１２と１４を通して平行な切断部３８を作るよう使用す
ることができる。（図示のために、ブロック１２のみが
、このブロック１２を通る切断部をもつものとして示し
た。）アクチュエータ３６の下に存在する導電層１６の
各セグメントが導電層１６の隣接セグメントから電気絶
縁されるように切断部３８はブロック１２と導電層１６
を完全に通る。同様に、ブロック１２が個々のアクチュ
エータ３６に切断され、この各々が導電層１６により基
部１０に固定され、そして、アクチュエータ３６のどれ
もが隣接のアクチュエータと電気接触しないように切断
が切断部３８に直角な面でなされる。

なるべ（なら、切断３Ｂの幅は各々一般的忙１■がよい
。

残存材料が任意公知の技術、例えば溶媒による清掃又は
空気吹付けにより切断面３Ｂから除去された後に、面板
４０をアクチ・ユエータ３６の上面に取付けてもよい。

なるべくなら、面板４０は、この面板の底に固定される
か面板４０と一体形成される複数のプ、ツシュ・パッド
４２を有するほうがよい。面板４０は、鏡面を形成でき
る平坦面４４を有している。

面板４０は、例えば、導電性のエポキシ又は半田にする
ことができる導電性の固定層４６の使用によりアクチュ
エータ３６に固定される。面板４０は、例えば、シリコ
ン又はモリブデンのような導電材料から作られている。

面板４０は、また、絶縁材料、例えば、ガラスから作っ
てその下側とブツシュ書パッド４２に導電層を付着する
こともできる。各ブツシュ会パッド４２は、アクチュエ
ータが伸長されるとき、このアクチュエータ内に生じる
電歪力が面板４０にプッシュ・パッド４２を介して伝達
されるように、アクチュエータ３６の頂部と一線上に並
んでいる。もし、面板４０が導電性の材料から作られる
か、又は、その下面に導電性のコーティングを含む場合
、面板４０を介して単一の電気接続線４８により各導体
３２と電気接触をしてもよい。この場合、各プッシュ・
パッド４２と導体３２との電気接続は導電性の固定層４
６を介してなされるということが知られよう。面板４０
が導電性の材料から作られていないか、又は、導電性の
コーティングを含まないかのいずれかであると、アクチ
ュエータ３６の頂部での導体３２への接続は従来の任意
の方法により、例えば、導線又は薄℃・可撓性の導電面
をアクチュエータ３６の頂部に接着することによりなす
ことができる。

面板４０の鏡面４４°の１個以上の区域の選択的な変形
は電気接続線４８と１個以上の導体３０との間に電圧を
加えて１個以上のアクチュエータ３６を伸長させること
により達成される。この伸長されたアクチュエータ３６
はプッシュ・パッド４２を介して基部１０と面板４０と
の間に圧力を及ぼす。

基部１０の厚さは、アクチュエータ３８が伸長されたと
き、このアクチュエータにより発生された力が基部１０
を歪ませないように、選ばれる。アクチュエータ３６相
互間の間隙は狭く、面板４０の下に位置決めできるアク
チュエータ３日の数は犬であるので、面板４０に加えら
れる歪の正確な制御は可能である。

この明細書で開示したものは、新規な波面位相変調器と
、個々の取扱い量が最小で容易に組立てることができる
多数の密に接近したアクチュエータを有する波面位相変
調器を構成する方法である。この明細書では本発明の好
適な実施例が詳述されたが、本発明の教示範囲内で当業
者には多くの他の変形例が示唆されよう。例えば、電歪
材料よりなる２つの長方形のブロックが示されたが、使
用されるブロックの数、大きさ及び形状は電歪材料のブ
ロックを製造する容易さ及び適轟さにより規定される。

同様に、正方形又は長方形のアクチュエータをもたらす
互いに直角な切断方法が示されたが、各アクチュエータ
の断面形状はそのように限定される必要はなく、ここに
開示の方法を用いて３角形、５角形又は他の断面をもつ
アクチュエータを製造することができる。本発明の実施
のために、他の構成要素、寸法、材料及び形状が、上記
好適な実施例で開示したものの代りに使用することがで
きるが、本発明は上記請求の範囲の許容範囲によっての
み制限を受けると考える。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の教示により構成された波形位相変調
器の一部の斜視図であり、第２図はこの発明の教示によ
り構成され、た変形可能な鏡で使用可能なアクチュエー
タの側断面図であり、 １・３図はこの発明の教示により構成できる基部部材を
示す変形可能な鏡の一部の側断面図であり、そして、 第４図はこの発明の教示事項を実施するために使用でき
る基部の他の実施例の断片の側面図である。 （主要部分の符号の説明） 基部・・・・・・１０、ブロック・・・・・・１２．１
４、導電性の接着層・・・・・・１６、 電歪材料の層・・・・・・１８、 導電層・・・・・・・・・２０．２０ａ、２０ｂ、穴・
・・・・・２２．２４．２６．２８、導電ピン・・・・
・・３０．３２、導電部材・・・・・・３４、導電性の
ロッド・・・・・・３５、 アクチュエータ・・・・・・３６、切断部・・・・・・
３８、面板・・・・・・４０、プッシュ・パッド・・・
・・・４２、鏡面・・・・・・４４、導電性の固定層・
・・・・・・・・４６、電気接続線・・・・・・４８

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　互いに導電層により分離された電歪材 料の層からなる複数の電気作動アクチュエータを有する
   波面位相変調器の構成方法であつて、 ａ　電気絶縁材料から製造された基部を提 供し、この基部はこの基部の第１の面である上面から前
   記基部の第２の面である下面へ前記基部を横断する複数
   の個々の電気接続手段を有しており、 ｂ　複数個のアクチュエータを切りだすこ とができる複数のアクチュエータ・ブロックを製造し、
   前記アクチュエータ・ブロックの各々は、導電性材料の
   層により分離された２層またはそれ以上の層の電歪材料
   を有し、前記アクチュエータ・ブロックの各々は、更に
   、第１の組の前記導電性材料の層に電気接続をするため
   に前記アクチュエータ・ブロックの頂部から利用できる
   第１のコネクタ手段と、第２の組の前記導電性材料の層
   に電気接続をするために前記アクチュエータ・ブロック
   の底部から利用できる第２のコネクタ手段とを有し、前
   記アクチュエータ・ブロックは、このアクチュエータ・
   ブロックから構成されるアクチュエータの数に等しい数
   の第１と第２のコネクタ手段を有し、前記第１のコネク
   タ手段の１つと前記第２のコネクタ手段の１つはアクチ
   ュエータを切りだす前記コネクタ・ブロックの各場所内
   で前記コネクタ・ブロックに位置決めされており、 ｃ　前記アクチュエータ・ブロックを前記 基部に保持すると共に前記基部の前記電気接続手段の各
   々と前記アクチュエータ・ブロックの前記第２のコネク
   タ手段の各々との間の電気路を完結する導電性の固定手
   段を用いて前記アクチュエータ・ブロックの１個または
   より多くを前記基部に固定し、 ｄ　前記基部に直角な方向に前記アクチュ エータ・ブロックを通る切断手段を使用して前記アクチ
   ュエータ・ブロックを個々のアクチュエータに切断し、
   前記切断手段は前記アクチュエータ・ブロックと、この
   アクチュエータ・ブロックを前記基部に接続する前記固
   定手段を通る、 ｅ　面板を導電性の材料から製造し、前記 面板はその一方の一側に鏡面を、そして、前記鏡に対抗
   する前記面板の側に複数の導電性のプッシュ・パッドを
   有し、前記プッシュ・パッドは、前記面板が前記アクチ
   ュエータ上に置かれた時、前記面板上の前記アクチュエ
   ータと整列する場所に配置される、 ｆ　前記プッシュ・パッドの各々が対応す るアクチュエータに電気接触して前記アクチュエータの
   各々の前記第２の組の導電性の層の各々が前記アクチュ
   エータの第２のコネクタ手段によつて前記プッシュ・パ
   ッドを介して前記面板に電気接続されるように前記面板
   を前記アクチュエータに固定する段階を含む波面位相変
   調器を構成する方法。 ２　特許請求の範囲第２項の方法であつて、前記アクチ
   ュエータ・ブロックを前記基部に固定するために使用さ
   れた前記導電性の固定手段は導電性のエポキシである波
   面位相変調器の構成方法。 ３　特許請求の範囲第１項の方法であつて、前記アクチ
   ュエータは、互いに直角で前記基部に直角な方向に切断
   されている波面位相変調器の構成方法。 ４　ａ　電気絶縁材料から製造された基部を有し、この
   基部はこの基部の第１の面である上面から前記基部の第
   ２の面である下面へ前記基部を横断する複数の電気接続
   部を有し、前記基部の前記第１の面である上面の各電気
   接続部がアクチュエータを配置する前記基部の同じ位置
   に配置されるように各前記電気接続部は前記基部の中に
   配置されており、 ｂ　加えられた電気信号に応答して寸法変 化を受ける少なくとも２層の電歪材料から製造された複
   数個のアクチュエータを有し、前記アクチュエータは頂
   面と底面を有すると共に更に前記少なくとも２層の電歪
   材料の各々の間に導電層を有し、 ｃ　１つ置の第１の組の前記導電層を共に 電気接続をするために前記アクチュエータの頂面から利
   用できる各前記アクチュエータ内に第１のコネクタ手段
   と、１つ置の第２の前記導電層を共に電気接続するため
   に前記アクチュエータの底面から利用できる各前記アク
   チュエータ内に第２のコネクタ手段を有し、ｄ　前記ア
   クチュエータを前記基部に電気 的機械的に固定するために前記アクチュエータと前記基
   部の間の導電性の固定手段を有し、前記基部のアクチュ
   エータは前記導電性の固定手段を介してどの他のアクチ
   ュエータとは電気接触されず、前記導電性の固定手段は
   前記アクチュエータ内の各前記第２のコネクタ手段を前
   記基部の前記電気接続部のうちの対応するものに電気接
   続しており、 ｅ　一側に鏡面を備えた面板を有し、前記 アクチュエータに電気信号が加えられた時、前記アクチ
   ュエータのうちの選択されたものの選択された寸法変化
   により前記面板の鏡面が変形できるように前記面板は前
   記アクチュエータの上にあつてこのアクチュエータと接
   触しており、前記面板は又各前記アクチュエータ内の前
   記第１のコネクタ手段を共通の電圧源に接続するための
   手段を有しており、 これにより、前記面板の前記電気接続手段 と前記基部の前記電気接続部のうちの１つ以上との間へ
   の電気信号の印加によつて前記アクチュエータに電気信
   号を選択的に印加して前記面板の鏡面を選択的に変形す
   ることができる波位相変調器。 ５　特許請求の範囲第４項に記載の波面位 相変調器であつて、前記面板は更に自体と一体で各前記
   アクチュエータの上に存在するプッシュ・パッドを有す
   る波面位相変調器。 ６　特許請求の範囲第４項に記載の波面位 相変調器であつて、前記面板は導電性のエポキシ・セメ
   ントを介して前記アクチュエータに接触している波面位
   相変調器。 ７　ａ　電気絶縁材料から製造された基部を有し、この
   基部はこの基部の第１の面である上面から前記基部の第
   ２の面である下面へ前記基部を横断する複数の電気接続
   部を有し、前記基部の前記第１の面である上面の各電気
   接続部がアクチュエータを配置する前記基部の同じ位置
   に配置されるように各前記電気接続部は前記基部の中に
   配置されており、 ｂ　導電性の接着剤で前記基部に固定され た電歪材料の１個以上のブロックを有し、これらのブロ
   ックは、電圧を加えられた時に伸長を受ける電歪材料の
   層と前記電歪材料の層どうしの間に挿入された導電層を
   有し、 ｃ　１つ置きの第１組の前記導電層を共に 電気接続をするために前記電歪材料のブロック内に第１
   の電気コネクタ手段を有し、この電気コネクタ手段は前
   記電歪材料のブロックに電気接続するために前記ブロッ
   クの頂部から利用可能であり、 ｄ　１つ置きの第２組の前記導電層を共に 接続するために前記電歪材料のブロック内に第２の電気
   コネクタ手段を有し、この電気コネクタ手段は前記電歪
   材料のブロックに電気接続するために前記ブロックの底
   部から利用可能であり、 ｅ　前記電歪材料のブロックから複数の個 々のアクチュエータを製造するために前記ブロックを通
   る切断部を有し、この切断部は前記基部からは電気的機
   械的に絶縁されてはいないが隣接のアクチュエータを電
   気的機械的に互いに絶縁しており、 ｆ　一側に鏡面を備えた面板を有し、前記 アクチュエータに電気信号が加えられた時、前記アクチ
   ュエータのうちの選択されたものの選択された寸法変化
   により前記面板の鏡面が変形できるように前記面板は前
   記アクチュエータの上にあつてこのアクチュエータによ
   り支持されており、前記面板は又各前記アクチュエータ
   の頂面から利用できる前記第１のコネクタ手段を電圧源
   に電気接続するための手段を有しており、 これにより前記面板の前記電気接続手段と 前記基部の前記電気接続部のうちの１つ以上との間への
   電気信号の印加によつて前記アクチュエータに電気信号
   を選択的に印加して前記面板の前記鏡面を選択的に変形
   することができるようにした波位相変調器。 ８　互いに導電層により分離された電歪材 料の層からなる複数の電気作動アクチュエータを有する
   波面位相変調器の構成方法であつて、 ａ　電気絶縁材料から製造された基部を提 供し、この基部は自体に複数の個々の電気接続手段を有
   し、これらの電気接続手段は前記基部の第１の面である
   上面から前記基部の第２の面である下面へ前記基部を横
   断しており、ｂ　複数の個のアクチュエータを切り出す ことができる複数のアクチュエータ・ブロックを製造し
   、前記アクチュエータ・ブロックの各々は、導電性材料
   の層により分離された２層またはより多くの層の電歪材
   料を有し、前記アクチュエータ・ブロックの各々は、更
   に第１の組の前記導電性材料の層に電気接続をするため
   に前記アクチュエータ・ブロックの頂部から利用できる
   第１のコネクタ手段と、第２の組の前記導電性材料の層
   に電気接続をするために前記アクチュエータ・ブロック
   の底部から利用できる第２のコネクタ手段を有し、前記
   アクチュエータ・ブロックは、このアクチュエータ・ブ
   ロックから構成されるアクチュエータの数に等しい数の
   第１と第２のコネクタ手段を有し、前記第１のコネクタ
   手段の１つと前記第２のコネクタ手段の１つは前記コネ
   クタ・ブロック上でコネクタを切りだす前記コネクタ・
   ブロックの各場所内に位置決めされており、 ｃ　前記基部の前記電気接続手段の各々と 前記アクチュエータ・ブロックの前記第２のコネクタ手
   段の各々との間の電気路を完結するように前記アクチュ
   エータ・ブロックの１個またはより多くを前記基部に電
   気接触させて固定し、 ｄ　前記基部に直角な方向に前記アクチュ エータ・ブロックを通る切断手段を使用して前記アクチ
   ュエータ・ブロックを個々のアクチュエータに切断し、
   前記切断手段は前記アクチュエータ・ブロックと、この
   アクチュエータ・ブロックを前記基部に接続する前記固
   定手段を通り、 ｅ　前側と後側を有する面板を導電性の材 料から製造し、前記面板はその前側に鏡面を、そして、
   少なくともその後側に導電性の面を有し、そして、 ｆ　各前記アクチュエータの前記第２の組 の導電層の各々が前記アクチュエータの第２のコネクタ
   手段によつて前記面板の導電性の面に接触するように前
   記面板を前記アクチュエータに固定する段階を含む波面
   位相変調器を構成する方法。