JPS6130663A - 粉末状固体の表面被覆装置 - Google Patents
粉末状固体の表面被覆装置Info
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- JPS6130663A JPS6130663A JP15383284A JP15383284A JPS6130663A JP S6130663 A JPS6130663 A JP S6130663A JP 15383284 A JP15383284 A JP 15383284A JP 15383284 A JP15383284 A JP 15383284A JP S6130663 A JPS6130663 A JP S6130663A
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Classifications
-
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- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/223—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating specially adapted for coating particles
-
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、真空容器中で、粉末状固体の表面に被覆用物
質を被着させるための装置の改良に関するものである。
質を被着させるための装置の改良に関するものである。
さらに詳しくいえば、本発明は、無機光てん材粉末表面
を金属で被覆したり、ガラス微小球体表面に無機化合物
被覆を設ける場合のように、真空蒸着、イオンブレーテ
ィング、スバツタリングなどを用いて粉末状固体表面に
被覆用物質を被着する場合、上記粉末状固体全転動させ
ることによりその表面に均一な被覆を形成させることが
できる装置に関するものである。
を金属で被覆したり、ガラス微小球体表面に無機化合物
被覆を設ける場合のように、真空蒸着、イオンブレーテ
ィング、スバツタリングなどを用いて粉末状固体表面に
被覆用物質を被着する場合、上記粉末状固体全転動させ
ることによりその表面に均一な被覆を形成させることが
できる装置に関するものである。
従来の技術
これまで、粉末状固体の表面に被覆を施こす方法として
は、例えば特殊な組成のめつき液中に雲母を分散させて
無電解めっきすることによりニッケルなどの金属を被覆
する方法、粉末状固体を流動させながらその表面に熱分
解カーボンを被着させる方法などが知られているが、こ
れらの方法は被覆用物質が限定され、利用範囲が制限さ
れるのを免れない。
は、例えば特殊な組成のめつき液中に雲母を分散させて
無電解めっきすることによりニッケルなどの金属を被覆
する方法、粉末状固体を流動させながらその表面に熱分
解カーボンを被着させる方法などが知られているが、こ
れらの方法は被覆用物質が限定され、利用範囲が制限さ
れるのを免れない。
他方、基体表面に金属その他の物質を被覆する方法とし
て、真空蒸着法、イオンブレーティング法、スパッタリ
ング法などの真空条件下で、被覆用物質をガス化又はイ
オン化し、これを基体表面に衝突させて被覆する方法が
知られている。これらの方法は、比較的広範囲の被覆用
物質に適用することができ、品質の良好な製品が得られ
る点で近年時計用のケースやバンド、各種アクセサリ−
１電子部品などの被覆に広く用いられるようになってき
たが、これらの方法においては、被覆すべき表面を露出
して被覆用物質のガス又はイオンと接触しうるようにす
る必要があるため、何層にも重なり合い露出しない状態
で処理される粉末状固体の被覆には利用できないという
欠点があった。このような欠点を克服するＫは、かきま
ぜ、振シまぜ、流動化などにより固体粒子を常に転動さ
せ、各表面が一様に上記のガス又はイオンに接触しうる
ようにすればよいのであるが、前記の方法はいずれも真
空容器内で行う必要があシ、大気中で使用されている通
常の機械的手段によるかきまぜ、振りまぜ、流動化を適
用することができないため。
て、真空蒸着法、イオンブレーティング法、スパッタリ
ング法などの真空条件下で、被覆用物質をガス化又はイ
オン化し、これを基体表面に衝突させて被覆する方法が
知られている。これらの方法は、比較的広範囲の被覆用
物質に適用することができ、品質の良好な製品が得られ
る点で近年時計用のケースやバンド、各種アクセサリ−
１電子部品などの被覆に広く用いられるようになってき
たが、これらの方法においては、被覆すべき表面を露出
して被覆用物質のガス又はイオンと接触しうるようにす
る必要があるため、何層にも重なり合い露出しない状態
で処理される粉末状固体の被覆には利用できないという
欠点があった。このような欠点を克服するＫは、かきま
ぜ、振シまぜ、流動化などにより固体粒子を常に転動さ
せ、各表面が一様に上記のガス又はイオンに接触しうる
ようにすればよいのであるが、前記の方法はいずれも真
空容器内で行う必要があシ、大気中で使用されている通
常の機械的手段によるかきまぜ、振りまぜ、流動化を適
用することができないため。
これまで、これらの方法で粉末状固体に被覆を施こすこ
とは実現していなかった。
とは実現していなかった。
発明が解決しようとする問題点
本発明の目的は、真空蒸着法、イオンブレーティング法
、スパッタリング法などの真空容器中で行う表面被覆法
を用いて、粉末状固体の表面に均一な被覆を施こすため
の装置を提供することである。
、スパッタリング法などの真空容器中で行う表面被覆法
を用いて、粉末状固体の表面に均一な被覆を施こすため
の装置を提供することである。
、１・、１本発明のもう一つの目的は、真空容器中に載
置； した粉末状固体を転動させて、効果的に表面被覆゛１ を行わせるための転勤手段を提供することである。
置； した粉末状固体を転動させて、効果的に表面被覆゛１ を行わせるための転勤手段を提供することである。
問題点を解決するための手段
本発明に従えば、真空容器中で、粉末状固体の表面に被
覆用物質を被着させる装置において、上記粉末状固体め
載置台を機械的振動発生装置に形成するとともに、この
装置を真空容器外に別に設けた発振装置に、増幅装置を
介して接続してなる粉末状固体の表面被覆装置により、
その目的を達成することができる。
覆用物質を被着させる装置において、上記粉末状固体め
載置台を機械的振動発生装置に形成するとともに、この
装置を真空容器外に別に設けた発振装置に、増幅装置を
介して接続してなる粉末状固体の表面被覆装置により、
その目的を達成することができる。
次に添付図面によって、本発明の装置の１例を具体的に
説明する。１は真空容器であり、通常はガラス製であっ
て、これは真空ポンプ２に接続し、必要時にこれによっ
て内容が真空にもたらされるようになっている。１１は
蒸着用金属ホルダーであって、この中に被覆用物質、例
えば蒸着用金属５が収容され、これをとりまく蒸着用ヒ
ーター３およびこれに接続する加熱用電源４によって加
熱されてガス化される。粉末用固体試料６は適当な容器
に収納され、載置台８上に置かれている。この載置台は
機械的振動発生装置に形成され、導線により真空容器外
の増幅装置１０を経て発振装置９に接続している。
説明する。１は真空容器であり、通常はガラス製であっ
て、これは真空ポンプ２に接続し、必要時にこれによっ
て内容が真空にもたらされるようになっている。１１は
蒸着用金属ホルダーであって、この中に被覆用物質、例
えば蒸着用金属５が収容され、これをとりまく蒸着用ヒ
ーター３およびこれに接続する加熱用電源４によって加
熱されてガス化される。粉末用固体試料６は適当な容器
に収納され、載置台８上に置かれている。この載置台は
機械的振動発生装置に形成され、導線により真空容器外
の増幅装置１０を経て発振装置９に接続している。
パ杼用
・１本発明は上記のように構成され、発振装置９に゛よ
り発生する０、１〜１００ＯＨ２の電気的な接続振動に
よる電気信号を、増幅装置１０により所要太きさの出力
電圧に増幅させ、この出力電圧により機械的振動発生装
置８、例えば電磁コイルと永久磁石振動子よりなる最も
一般的な電磁振動機を作動させ、粉末状固体試料６を振
動により転勤状態に保持しながら、蒸発中の金属蒸気７
と接触させ。
り発生する０、１〜１００ＯＨ２の電気的な接続振動に
よる電気信号を、増幅装置１０により所要太きさの出力
電圧に増幅させ、この出力電圧により機械的振動発生装
置８、例えば電磁コイルと永久磁石振動子よりなる最も
一般的な電磁振動機を作動させ、粉末状固体試料６を振
動により転勤状態に保持しながら、蒸発中の金属蒸気７
と接触させ。
所要の蒸着を行うものである。
この場合、上記粉末状固体試料６の転動は、各粒子間に
乾燥摩擦が作用し、この転勤の開始時期は粉末状固体試
料の形状、材質１粒度によシ定まると考えられ、この転
勤に必要な振幅つまり振動発生装置を作動する電気的接
続振動の周波数により変化する。このため、前記発振装
置９は、粉末状固体試料６の性質、形状に応じてその発
生周波数を大幅に変化できることが必要であり、したが
って発生した電気信号を増幅する増幅装置１０が必要と
なってくる。
乾燥摩擦が作用し、この転勤の開始時期は粉末状固体試
料の形状、材質１粒度によシ定まると考えられ、この転
勤に必要な振幅つまり振動発生装置を作動する電気的接
続振動の周波数により変化する。このため、前記発振装
置９は、粉末状固体試料６の性質、形状に応じてその発
生周波数を大幅に変化できることが必要であり、したが
って発生した電気信号を増幅する増幅装置１０が必要と
なってくる。
発明の効果
この発明は以上説明したように、機械的振動装置８上の
粉末状固体試料６は、上下左右前後の振動により転動し
て外表面の全体が現われ、したが・らて表面全体に均等
の被覆を施こすことができるから極めて能率的である。
粉末状固体試料６は、上下左右前後の振動により転動し
て外表面の全体が現われ、したが・らて表面全体に均等
の被覆を施こすことができるから極めて能率的である。
実施例
次に実施例によシ本発明をさらに詳細に説明する。
例１
前記図面に示した装置において、真空容器をガラス製真
空容器（直径４２０１１１１、高さ６３０１１１）とし
たものを用いて、薄片状ガラスの表面に亜鉛を被覆する
ために発振装置で発生させた周波数２００Ｈｚの微弱な
サイン波を増巾装置で３Ｗに増巾したのち、機械的振動
発生装置に加え、その上にのせた平均直径１０５μｍの
薄片状ガラス１０９を転動させながら％ Ｉ Ｘ １０
−５Ｔｏｒｒの真空下で０．５２の亜鉛を約１分間、６
００℃に加熱して下向きに蒸着したＯ このようにして、調製した亜鉛被覆薄片状ガラスには亜
鉛層が、薄片状ガラスの両面ともにすきまなく被覆され
ていることが判った。
空容器（直径４２０１１１１、高さ６３０１１１）とし
たものを用いて、薄片状ガラスの表面に亜鉛を被覆する
ために発振装置で発生させた周波数２００Ｈｚの微弱な
サイン波を増巾装置で３Ｗに増巾したのち、機械的振動
発生装置に加え、その上にのせた平均直径１０５μｍの
薄片状ガラス１０９を転動させながら％ Ｉ Ｘ １０
−５Ｔｏｒｒの真空下で０．５２の亜鉛を約１分間、６
００℃に加熱して下向きに蒸着したＯ このようにして、調製した亜鉛被覆薄片状ガラスには亜
鉛層が、薄片状ガラスの両面ともにすきまなく被覆され
ていることが判った。
比較例１
例１と向−の装置を用い、機械的振動発生装置を作動さ
せないで同一形状の薄片状ガラスに対して亜鉛の蒸着を
行った結果、薄片状ガラスの下面には皮膜を形成するこ
とができず、上面でも、薄片状ガラスの重なり合いによ
って影になる部分には皮膜全形成することができなかっ
た。すなわち上面で、しかも蒸発源に面した部分にしか
皮膜全形成することができないことが判った。
せないで同一形状の薄片状ガラスに対して亜鉛の蒸着を
行った結果、薄片状ガラスの下面には皮膜を形成するこ
とができず、上面でも、薄片状ガラスの重なり合いによ
って影になる部分には皮膜全形成することができなかっ
た。すなわち上面で、しかも蒸発源に面した部分にしか
皮膜全形成することができないことが判った。
例２
例１と全く同一の装置を用いて、平均直径３．５ｍｍの
活性アルミナビーズの表面に亜鉛を被覆した。
活性アルミナビーズの表面に亜鉛を被覆した。
すなわち発振装置で発生させた周波数５０Ｈｚの微弱な
サイン波を増巾装置で０．３Ｗに増巾したのち、機械的
振動発生装置に加えて、活性アルミナビーズ５１を転動
させながら、Ｉ Ｘ １０ ’Ｔｏｒｒの真空下で亜鉛
を１分間６００℃に加熱して下向きに蒸着した。このよ
うにして調製した亜鉛被覆活性アルミナビーズは、活性
アルミナビーズの全ての面が亜鉛層ですきまなく被覆さ
れているのが判った。
サイン波を増巾装置で０．３Ｗに増巾したのち、機械的
振動発生装置に加えて、活性アルミナビーズ５１を転動
させながら、Ｉ Ｘ １０ ’Ｔｏｒｒの真空下で亜鉛
を１分間６００℃に加熱して下向きに蒸着した。このよ
うにして調製した亜鉛被覆活性アルミナビーズは、活性
アルミナビーズの全ての面が亜鉛層ですきまなく被覆さ
れているのが判った。
比較例２
例２と同一の装置を用い、機械的振動発生装置を作動さ
せず、全く同一の手順・条件によシ、例２で用いたのと
同一形状の活性アルミナビーズに対して亜鉛の蒸着を行
った。その結果、亜鉛の蒸、発源に面した活性アルミナ
ビーズの面にはすきまのない皮膜を形成することができ
たが、その反対側の面には亜鉛蒸気のまわりこみにより
、若干の被覆が行われるものの、底になる面や、隣接す
るビーズとふれ合う部分には皮膜を形成することができ
なかった。
せず、全く同一の手順・条件によシ、例２で用いたのと
同一形状の活性アルミナビーズに対して亜鉛の蒸着を行
った。その結果、亜鉛の蒸、発源に面した活性アルミナ
ビーズの面にはすきまのない皮膜を形成することができ
たが、その反対側の面には亜鉛蒸気のまわりこみにより
、若干の被覆が行われるものの、底になる面や、隣接す
るビーズとふれ合う部分には皮膜を形成することができ
なかった。
図面は、この発明の説明図である。
的振動発生装置、９・・・発振装置、１０・・・増幅装
置、１１・・・蒸着用金属ホルダー。
置、１１・・・蒸着用金属ホルダー。
Claims (1)
- １ 真空容器中で、粉末状固体の表面に被覆用物質を被
着させる装置において、上記粉末状固体の載置台を機械
的振動発生装置に形成するとともに、この装置を真空容
器外に別に設けた発振装置に、増幅装置を介して接続し
てなる粉末状固体の表面被覆装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15383284A JPS6130663A (ja) | 1984-07-23 | 1984-07-23 | 粉末状固体の表面被覆装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15383284A JPS6130663A (ja) | 1984-07-23 | 1984-07-23 | 粉末状固体の表面被覆装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6130663A true JPS6130663A (ja) | 1986-02-12 |
Family
ID=15571063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15383284A Pending JPS6130663A (ja) | 1984-07-23 | 1984-07-23 | 粉末状固体の表面被覆装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6130663A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004059031A1 (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-15 | Youtec Co.,Ltd. | 多角バレルスパッタ装置、多角バレルスパッタ方法及びそれにより形成された被覆微粒子、マイクロカプセル及びその製造方法 |
| JP2016122750A (ja) * | 2014-12-25 | 2016-07-07 | 株式会社島津製作所 | ワークホルダ及び成膜装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4836082A (ja) * | 1971-09-09 | 1973-05-28 |
-
1984
- 1984-07-23 JP JP15383284A patent/JPS6130663A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4836082A (ja) * | 1971-09-09 | 1973-05-28 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004059031A1 (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-15 | Youtec Co.,Ltd. | 多角バレルスパッタ装置、多角バレルスパッタ方法及びそれにより形成された被覆微粒子、マイクロカプセル及びその製造方法 |
| JP2016122750A (ja) * | 2014-12-25 | 2016-07-07 | 株式会社島津製作所 | ワークホルダ及び成膜装置 |
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