JPS6132945U - 半導体装置の試験装置 - Google Patents

半導体装置の試験装置

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JPS6132945U
JPS6132945U JP11730984U JP11730984U JPS6132945U JP S6132945 U JPS6132945 U JP S6132945U JP 11730984 U JP11730984 U JP 11730984U JP 11730984 U JP11730984 U JP 11730984U JP S6132945 U JPS6132945 U JP S6132945U
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JP
Japan
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semiconductor device
device testing
testing equipment
gross leakage
bubbles
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JP11730984U
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English (en)
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徳雄 大岩
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication of JPS6132945U publication Critical patent/JPS6132945U/ja
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  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す構成図である。 ３・・・・・・半導体装置、５・・・・・・光源（検出
装置）、７・・・・・・受光装置（検出装置）。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 気密封止型半導体装置の容器のグ冶スリークを検出する
    試験装置において、前記半導体装置のグロスリーク部か
    ら発生する気泡を、該気泡を透過する光の量の変化によ
    り検出する検出器を備えたことを特徴とする半導体装置
    の試験装置。
JP11730984U 1984-07-31 1984-07-31 半導体装置の試験装置 Pending JPS6132945U (ja)

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