JPS6135585U - 超高真空用回転導入装置 - Google Patents
超高真空用回転導入装置Info
- Publication number
- JPS6135585U JPS6135585U JP12066284U JP12066284U JPS6135585U JP S6135585 U JPS6135585 U JP S6135585U JP 12066284 U JP12066284 U JP 12066284U JP 12066284 U JP12066284 U JP 12066284U JP S6135585 U JPS6135585 U JP S6135585U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultra
- high vacuum
- rotating body
- introduction device
- coupling element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000005339 levitation Methods 0.000 claims description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 2
Landscapes
- Dynamo-Electric Clutches, Dynamo-Electric Brakes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【図面の簡単な説明】
第１図乃至第４図は従来の回転導入装置の断面図、第５
図は本考案の実施例の断面図、第６図は第５図のＶｌ−
Ｖｌ線部分の断面図、第７図は本考案の他の実施例の断
面図である。 １・・・真空室、５・・・真空壁、６・・・モータ、７
ａ，７ｂ・・・磁気カップリング素子、８・・・回転体
、１０ａ，１０ｂ・・・横振れ防止用磁石、ｌｌａ，ｌ
ｌｂ・・・浮上用磁石。
図は本考案の実施例の断面図、第６図は第５図のＶｌ−
Ｖｌ線部分の断面図、第７図は本考案の他の実施例の断
面図である。 １・・・真空室、５・・・真空壁、６・・・モータ、７
ａ，７ｂ・・・磁気カップリング素子、８・・・回転体
、１０ａ，１０ｂ・・・横振れ防止用磁石、ｌｌａ，ｌ
ｌｂ・・・浮上用磁石。
Claims (1)
- 超高真空室の真空壁を介して該室外のモータにより回転
される磁気カップリング素子と該室内の回転体に取付け
た磁気カップリング素子とを対向して設け、該回転体と
真空壁に、互に吸引して該回転体を浮上させる浮上用磁
石と、該回転体の回転に伴なう横振れを防止する横振れ
防止用磁石とを設けて成る超高真空用回転導入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12066284U JPS6135585U (ja) | 1984-08-07 | 1984-08-07 | 超高真空用回転導入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12066284U JPS6135585U (ja) | 1984-08-07 | 1984-08-07 | 超高真空用回転導入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6135585U true JPS6135585U (ja) | 1986-03-05 |
| JPH028548Y2 JPH028548Y2 (ja) | 1990-02-28 |
Family
ID=30679476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12066284U Granted JPS6135585U (ja) | 1984-08-07 | 1984-08-07 | 超高真空用回転導入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6135585U (ja) |
-
1984
- 1984-08-07 JP JP12066284U patent/JPS6135585U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH028548Y2 (ja) | 1990-02-28 |
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