JPS6138532A - サ−モグラフイ装置 - Google Patents
サ−モグラフイ装置Info
- Publication number
- JPS6138532A JPS6138532A JP16104784A JP16104784A JPS6138532A JP S6138532 A JPS6138532 A JP S6138532A JP 16104784 A JP16104784 A JP 16104784A JP 16104784 A JP16104784 A JP 16104784A JP S6138532 A JPS6138532 A JP S6138532A
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- JP
- Japan
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- infrared
- temperature
- subject
- detector
- wavelength
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/60—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using determination of colour temperature
- G01J5/601—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using determination of colour temperature using spectral scanning
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は検出すべき赤外線の波長域を可変出来る線溝を
有するサーモグラフィ装置に関する。
有するサーモグラフィ装置に関する。
[従来の技術]
赤外線の一部を通過する様な物体、例えばガラスやフィ
ルム等の様な物体をサーモグラフィ装置により温度II
測する場合、該透過波長域においCバックからの赤外線
を検出してしまい、物体自身の温度測定に支障を来たす
ので、従来は物体と赤外線検出器の間に該透過波長域の
赤外線の通過を阻止するフィルタを配置している。又、
測定しようとしている物体とサーモグラフィ装置の赤外
線検出器の間に赤外線の一部を透過させない様なガスが
存在している時に該非透過波長域において該ガスからの
赤外線を検出してしまい、物体の温度測定に支障を来た
すので、従来、該ガスと赤外線検出器の間に該ガスの非
透過波長域の赤外線の通過を阻止するフィルタを配置し
ている。
ルム等の様な物体をサーモグラフィ装置により温度II
測する場合、該透過波長域においCバックからの赤外線
を検出してしまい、物体自身の温度測定に支障を来たす
ので、従来は物体と赤外線検出器の間に該透過波長域の
赤外線の通過を阻止するフィルタを配置している。又、
測定しようとしている物体とサーモグラフィ装置の赤外
線検出器の間に赤外線の一部を透過させない様なガスが
存在している時に該非透過波長域において該ガスからの
赤外線を検出してしまい、物体の温度測定に支障を来た
すので、従来、該ガスと赤外線検出器の間に該ガスの非
透過波長域の赤外線の通過を阻止するフィルタを配置し
ている。
[発明゛が解決しようとする問題tj:i 1しかし、
従来は前記の様に、専用の固定)、Cルタを前2したガ
ラス温度測定用サーモグラフィ装置とか、ガス除去温度
測定用ナーモグラフィ装置の如き専用サーモグラフィ装
置を使用しているのが現状で、一台のサーモグラフィ装
置で前記の如く様々の状態にある物体の温度測定を行な
うことが出来なかった。
従来は前記の様に、専用の固定)、Cルタを前2したガ
ラス温度測定用サーモグラフィ装置とか、ガス除去温度
測定用ナーモグラフィ装置の如き専用サーモグラフィ装
置を使用しているのが現状で、一台のサーモグラフィ装
置で前記の如く様々の状態にある物体の温度測定を行な
うことが出来なかった。
本発明はこの様な問題を解決することを目的としたもの
である。
である。
[問題点を解決するだめの手段]
本発明のサーモグラフィ装置は、被写体を光学的に走査
し、該被写体からの赤外線を赤外線検出器で検出し、該
検出器の出力を表示装置に送って前記被写体の温度分布
像を表示させる様に成した装置において、前記被写体と
赤外線検出器の間に該赤外線検出器に検出される赤外線
の波長を種々連続的に可変出来る手段を配置し、該手段
により連続的に赤外線検出器に検出される赤外線の波長
を可変した時に、該赤外線検出器に検出される赤外線の
強度変化を検出し、該検出した変化の極大11貞又は極
小値に基づいて、該手段により可変され・る前記赤外線
検出器に検出される赤外線の波長を特定の埴に固定する
手段、及び該固定した波長の赤外線に基づいて前記赤外
線検出器の出力補正を行なう回路を具備したものである
。
し、該被写体からの赤外線を赤外線検出器で検出し、該
検出器の出力を表示装置に送って前記被写体の温度分布
像を表示させる様に成した装置において、前記被写体と
赤外線検出器の間に該赤外線検出器に検出される赤外線
の波長を種々連続的に可変出来る手段を配置し、該手段
により連続的に赤外線検出器に検出される赤外線の波長
を可変した時に、該赤外線検出器に検出される赤外線の
強度変化を検出し、該検出した変化の極大11貞又は極
小値に基づいて、該手段により可変され・る前記赤外線
検出器に検出される赤外線の波長を特定の埴に固定する
手段、及び該固定した波長の赤外線に基づいて前記赤外
線検出器の出力補正を行なう回路を具備したものである
。
[実施例]
第1図は本発明の一実施例として示したサーモグラフィ
装置の概略図である。図中1は被写体で、該被写体から
の赤外線は走査鏡2.集光鏡39反射鏡4等から成る光
学系を経、連続的に赤外線の透過波長域を可変出来る可
変フィルタ5を介して赤外線検出器6に導入される。該
可変フィルタは透過波長域の異なった複数のフィルタか
ら成り、制御装置20の指令により作動する回転駆動機
構7により何れかのフィルタが赤外線光路上に位置する
様に回転される。該光学系内の走査鏡2は互いに直交す
る二方向を支持軸として駆動手段8゜9に取付にノられ
ている。該駆動手段は夫々カム数構等を備えることによ
り走査信号発生回路10からの水平走査信号、!!!直
走査信号によって前記走査鏡2に振動を与える。該走査
鏡の振動により、前記検出器6の像は前記被写体1の一
定領域を走査する様に構成されている。前記赤外線検出
器6に検出された信号は前記制御装置20に送られると
共にアンプ11を介して温度補正回路12へ送られる。
装置の概略図である。図中1は被写体で、該被写体から
の赤外線は走査鏡2.集光鏡39反射鏡4等から成る光
学系を経、連続的に赤外線の透過波長域を可変出来る可
変フィルタ5を介して赤外線検出器6に導入される。該
可変フィルタは透過波長域の異なった複数のフィルタか
ら成り、制御装置20の指令により作動する回転駆動機
構7により何れかのフィルタが赤外線光路上に位置する
様に回転される。該光学系内の走査鏡2は互いに直交す
る二方向を支持軸として駆動手段8゜9に取付にノられ
ている。該駆動手段は夫々カム数構等を備えることによ
り走査信号発生回路10からの水平走査信号、!!!直
走査信号によって前記走査鏡2に振動を与える。該走査
鏡の振動により、前記検出器6の像は前記被写体1の一
定領域を走査する様に構成されている。前記赤外線検出
器6に検出された信号は前記制御装置20に送られると
共にアンプ11を介して温度補正回路12へ送られる。
該補正回路は、前記赤外線検出器6の有効入射光率が入
射して来る赤外線の波長によって異なるので、前記赤外
線検出器6に入射して来る赤外線の波長に対応して該検
出器からの出力信号(電圧)を補正する回路である。1
3は前記可変フィルタ5のどのフィルタが光路上にある
のかを前記回転駆動機溝7から検出し、前記温度補正回
路12の補正動作を制御するセンサである。該補正回路
の出力はリニアライザ14により被写体温度とリニアな
関係を右する温度信号に変換される。
射して来る赤外線の波長によって異なるので、前記赤外
線検出器6に入射して来る赤外線の波長に対応して該検
出器からの出力信号(電圧)を補正する回路である。1
3は前記可変フィルタ5のどのフィルタが光路上にある
のかを前記回転駆動機溝7から検出し、前記温度補正回
路12の補正動作を制御するセンサである。該補正回路
の出力はリニアライザ14により被写体温度とリニアな
関係を右する温度信号に変換される。
該温度信号は処理回路15においてカラー信号に変換さ
れてカラー表示装置(カラーCRT)16に供給される
。該カラーCRTには前記走査信号発生回路10から水
平走査信号及び垂直走査信号が供給されている。
れてカラー表示装置(カラーCRT)16に供給される
。該カラーCRTには前記走査信号発生回路10から水
平走査信号及び垂直走査信号が供給されている。
斯くの如ぎ装置において、予め、温度補正回路12に各
種赤外線波長に対応した補正値を持つテーブルをセット
しておく。
種赤外線波長に対応した補正値を持つテーブルをセット
しておく。
では、被写体1と赤外線検出器6の間にガスAが存在す
る時の被写体の温度を測定する場合について次に説明す
る。
る時の被写体の温度を測定する場合について次に説明す
る。
先ず、被写体1の1点を測定出来る様に光学的走査系を
駆動しく停止させ)、制nt+装置20の指令により回
転駆動機構7を作動させフィルタ5を回転させる。この
時、前記制御装置20は赤外線検出器6に検出されて送
られて来た温度情報信号の強度が極小になる(この実施
例ではガス△の温度が被写体1の温度に比べ低いので、
極小を検出しているが、ガスAの温度が被写体1より高
い場合は極大を検出する)波長域を検出し、該波長域頃
外の波長戦中の特定波長(例えばλ0)の赤外線を通過
させるフィルタが赤外線光路上に停止する様に前記回転
駆動機構7に指令を送る。この状態は、ガスAがλ1〜
λ2の波長域の赤外線の透過率が悪い場合(第2図(a
)参照)に、可変フィルタ5を回転させることにより
各波長フィルタを連続的に赤外線光軸上に位置させ、被
写体1からの赤外線強度(第2図(b)参照)を検出し
、前記波長域21〜λ2を見つけた状態である。尚、波
長域λ1〜λ2での赤外線強度はガスへ丈からの赤外線
強度で、該ガスAの温度によってここの強度は高くも低
くもなる。この実施例では強度が低い場合を示した。す
るとセンサ13は回転駆動□横7から前記赤外線光軸上
に固定されたフィルタの赤外線透過波長(λ0)を検出
し、この波長を表わず信号を温度補正回路12へ送る。
駆動しく停止させ)、制nt+装置20の指令により回
転駆動機構7を作動させフィルタ5を回転させる。この
時、前記制御装置20は赤外線検出器6に検出されて送
られて来た温度情報信号の強度が極小になる(この実施
例ではガス△の温度が被写体1の温度に比べ低いので、
極小を検出しているが、ガスAの温度が被写体1より高
い場合は極大を検出する)波長域を検出し、該波長域頃
外の波長戦中の特定波長(例えばλ0)の赤外線を通過
させるフィルタが赤外線光路上に停止する様に前記回転
駆動機構7に指令を送る。この状態は、ガスAがλ1〜
λ2の波長域の赤外線の透過率が悪い場合(第2図(a
)参照)に、可変フィルタ5を回転させることにより
各波長フィルタを連続的に赤外線光軸上に位置させ、被
写体1からの赤外線強度(第2図(b)参照)を検出し
、前記波長域21〜λ2を見つけた状態である。尚、波
長域λ1〜λ2での赤外線強度はガスへ丈からの赤外線
強度で、該ガスAの温度によってここの強度は高くも低
くもなる。この実施例では強度が低い場合を示した。す
るとセンサ13は回転駆動□横7から前記赤外線光軸上
に固定されたフィルタの赤外線透過波長(λ0)を検出
し、この波長を表わず信号を温度補正回路12へ送る。
そして、前記光学的走査機構を作動させ被写体1を光学
的に走査する。該走査による被写体1からの赤外線は前
記光軸−ヒに選択されたフィルタを通過し、赤外線検出
器6に検出される。この時、前記選択されたフィルタは
波長域λ1〜λ2の赤外線を通過させないので、前記赤
外線検出器6に検出される赤外線は大略被写体1丈から
のものである。該赤外線検出器の出力はアンプ11を介
して温度補正回路12に送られ、ここで前記赤外線検出
器6に入射して来る赤外線の特定波長(λ0)に対応し
。
的に走査する。該走査による被写体1からの赤外線は前
記光軸−ヒに選択されたフィルタを通過し、赤外線検出
器6に検出される。この時、前記選択されたフィルタは
波長域λ1〜λ2の赤外線を通過させないので、前記赤
外線検出器6に検出される赤外線は大略被写体1丈から
のものである。該赤外線検出器の出力はアンプ11を介
して温度補正回路12に送られ、ここで前記赤外線検出
器6に入射して来る赤外線の特定波長(λ0)に対応し
。
た出力補正が施されてリニアライザ12に送られる。そ
して、該リニアライザの出力は処理回路15を介してカ
ラーCRTI 6に供給されるので、該CRTの画面上
にガスAの影響の無い被写体の温度分布像が表示される
。
して、該リニアライザの出力は処理回路15を介してカ
ラーCRTI 6に供給されるので、該CRTの画面上
にガスAの影響の無い被写体の温度分布像が表示される
。
この時、ガスAの温度を測定づ°る場合には前記制御装
置20は赤外線光軸上に21〜λlの波長域の内、特定
波長゛(例えばλa)の赤外線のみを透過させるフィル
タが位置する様に回転駆動機構7に指令を送る。すると
、温度補正回路12は該特定波長(λa)の赤外線に対
する補正を行なう様に動作し、前記赤外線検出器6は該
特定波長の赤外線丈を検出するので、前記CRT16に
はガスAのみの温度分布像が表示される。
置20は赤外線光軸上に21〜λlの波長域の内、特定
波長゛(例えばλa)の赤外線のみを透過させるフィル
タが位置する様に回転駆動機構7に指令を送る。すると
、温度補正回路12は該特定波長(λa)の赤外線に対
する補正を行なう様に動作し、前記赤外線検出器6は該
特定波長の赤外線丈を検出するので、前記CRT16に
はガスAのみの温度分布像が表示される。
次に、第3図(a)に示す様に、波長λ3〜λ4の赤外
線の透過率は良いがこの領域外の領域の赤外線の透過率
の悲いガラスQの温度を測定ザる場合について説明する
。
線の透過率は良いがこの領域外の領域の赤外線の透過率
の悲いガラスQの温度を測定ザる場合について説明する
。
前記“と同様に、先ず、被写体1(この場合ガラスQ)
の1点を測定出来る様に光学的走査系を駆動しくF′X
−止させ)、制御波′r120の指令により回転駆1;
JJ UNN13作動させフィルタ5を回転させる。
の1点を測定出来る様に光学的走査系を駆動しくF′X
−止させ)、制御波′r120の指令により回転駆1;
JJ UNN13作動させフィルタ5を回転させる。
この時、前記制御装置20は赤外線検出器6に検出され
て送られて来た温度情報信号の強度が極大になる(この
実施例ではガラスQの温度よりバックBの温度が高い場
合なので極大を検出する)波長域を検出し、該波長域以
外の波長域中の特定波長(例えばλo)の赤外線を通過
させるフィルタが赤外線光軸上に停止する様に前記回転
駆動様(古7に指令を送る。この状態は、ガラスQがλ
3〜λ4の波長域の赤外線の透過率が悪い場合(第3図
(a )参照)に、可変フィルタ5を回転させることに
より各波長フィルタを連続的に赤外線光軸上に位置させ
、ガラスQからの赤外線強度(第3図(11>参照)を
検出し、前記波長域λ3〜λ4を見つけた状態である。
て送られて来た温度情報信号の強度が極大になる(この
実施例ではガラスQの温度よりバックBの温度が高い場
合なので極大を検出する)波長域を検出し、該波長域以
外の波長域中の特定波長(例えばλo)の赤外線を通過
させるフィルタが赤外線光軸上に停止する様に前記回転
駆動様(古7に指令を送る。この状態は、ガラスQがλ
3〜λ4の波長域の赤外線の透過率が悪い場合(第3図
(a )参照)に、可変フィルタ5を回転させることに
より各波長フィルタを連続的に赤外線光軸上に位置させ
、ガラスQからの赤外線強度(第3図(11>参照)を
検出し、前記波長域λ3〜λ4を見つけた状態である。
尚、波長域23〜λ4での赤外線強度はバックBからの
赤外線強度で、該バックBの温度によってここの強度は
高くもなり低くもなる。この実施例では強度がガラスQ
より可成高い場合を示した。するとセンサ13は回転駆
動機構7から前記赤外線光軸上に固定されたフィルタの
赤9S線透過波長(λo)を検出し、この波長を温度補
正回路12へ送る。そして、前記光学的走査機構7を作
動させ被写体を光学的に走査する。該走査によるガラス
Qからの赤外線は前記光軸上に選択されたフィルタを通
過し、赤外線検出器6に検出される。この時、前記;E
択されたフィルタはλ3〜λ4の波長域の赤外線を通過
させないので、前記赤外線検出器6に検出される赤外線
は大略ガラス0丈からのものである。該赤外線検出器の
出力はアンプ9を介して温f’l補正回路12に送られ
、ここで前記赤外線検出器6に入射して来る赤外線の波
長に対応し!、:出力補正が施されてリニアライザ12
に送られる。そして、該リニアライザの出力は処理回路
15を介1・T カラ−CRTl 6に供給されるので
、該CRTの画面上にバックBの影響の無い被写体の温
度分布1≦9が表示される。この時、バックBの温度を
測定する場合には前記制御装置20は赤外線光611上
にλ3〜λ4の波長域の内、特定波長く例えばλa)の
赤外線のみ透過さけるフィルタが位置する様に回転駆動
開溝7に指令を送る。すると、温度補正回路は特定波長
(λa)の赤外線に対する補正を行なう株に動作し、前
記赤外線検出器6は該特定波長の波長の赤外線丈を検出
するので、前記CRT16にはバックBのみの温度分布
像が表示される。
赤外線強度で、該バックBの温度によってここの強度は
高くもなり低くもなる。この実施例では強度がガラスQ
より可成高い場合を示した。するとセンサ13は回転駆
動機構7から前記赤外線光軸上に固定されたフィルタの
赤9S線透過波長(λo)を検出し、この波長を温度補
正回路12へ送る。そして、前記光学的走査機構7を作
動させ被写体を光学的に走査する。該走査によるガラス
Qからの赤外線は前記光軸上に選択されたフィルタを通
過し、赤外線検出器6に検出される。この時、前記;E
択されたフィルタはλ3〜λ4の波長域の赤外線を通過
させないので、前記赤外線検出器6に検出される赤外線
は大略ガラス0丈からのものである。該赤外線検出器の
出力はアンプ9を介して温f’l補正回路12に送られ
、ここで前記赤外線検出器6に入射して来る赤外線の波
長に対応し!、:出力補正が施されてリニアライザ12
に送られる。そして、該リニアライザの出力は処理回路
15を介1・T カラ−CRTl 6に供給されるので
、該CRTの画面上にバックBの影響の無い被写体の温
度分布1≦9が表示される。この時、バックBの温度を
測定する場合には前記制御装置20は赤外線光611上
にλ3〜λ4の波長域の内、特定波長く例えばλa)の
赤外線のみ透過さけるフィルタが位置する様に回転駆動
開溝7に指令を送る。すると、温度補正回路は特定波長
(λa)の赤外線に対する補正を行なう株に動作し、前
記赤外線検出器6は該特定波長の波長の赤外線丈を検出
するので、前記CRT16にはバックBのみの温度分布
像が表示される。
尚、前記実施例に使用されている可変フィルタの代りに
グレーティングを使用してもよい。
グレーティングを使用してもよい。
[発明の効果]
本発明によると、任意の波長の赤外線のみを検出し、該
波長の赤外線に対し、自動的に赤外線検出器出力の補正
を施し、該補正した温度信号による被測定物の温度分布
像をIJることが出来る様に成しているので、一台の装
置により任意の赤外線波長域において赤外線透過率が良
い被写体や、任意の赤外線波長域において赤外線透過率
の悪いガスが介在している被写体の温度測定が出来る。
波長の赤外線に対し、自動的に赤外線検出器出力の補正
を施し、該補正した温度信号による被測定物の温度分布
像をIJることが出来る様に成しているので、一台の装
置により任意の赤外線波長域において赤外線透過率が良
い被写体や、任意の赤外線波長域において赤外線透過率
の悪いガスが介在している被写体の温度測定が出来る。
第1図は本発明の一実施例を示したサーモグラフィ装置
の概略図、第2図〜第3図は該装置の動作の説明を補足
する為に使用した図である。 1:被写体 2:走査鏡 3:集光鏡 4:反射鏡 5:可変フィルタ 6:赤外線検出器 7:回転駆動機構 12:温度補正回路 13:センサ 14:リニアライザ 15:カラー表示装置 20:制御装置
の概略図、第2図〜第3図は該装置の動作の説明を補足
する為に使用した図である。 1:被写体 2:走査鏡 3:集光鏡 4:反射鏡 5:可変フィルタ 6:赤外線検出器 7:回転駆動機構 12:温度補正回路 13:センサ 14:リニアライザ 15:カラー表示装置 20:制御装置
Claims (1)
- 被写体を光学的に走査し、該被写体からの赤外線を赤外
線検出器で検出し、該検出器の出力を表示装置に送つて
前記被写体の温度分布像を表示させる様に成した装置に
おいて、前記被写体と赤外線検出器の間に該赤外線検出
器に検出される赤外線の波長を種々連続的に可変出来る
手段を配置し、該手段により連続的に赤外線検出器に検
出される赤外線の波長を可変した時に、該赤外線検出器
に検出される赤外線の強度変化を検出し、該検出した変
化の極大値又は極小値に基づいて、該手段により可変さ
れる前記赤外線検出器に検出される赤外線の波長を特定
の値に固定する手段、及び該固定した波長の赤外線に基
づいて前記赤外線検出器の出力補正を行なう回路を具備
したサーモグラフイ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16104784A JPS6138532A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | サ−モグラフイ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16104784A JPS6138532A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | サ−モグラフイ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6138532A true JPS6138532A (ja) | 1986-02-24 |
Family
ID=15727590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16104784A Pending JPS6138532A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | サ−モグラフイ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6138532A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2716533A1 (fr) * | 1994-02-22 | 1995-08-25 | Yvon Christophe Robert | Dispositif de mesure de température à balayage. |
| JP2022029570A (ja) * | 2020-08-05 | 2022-02-18 | Jfeスチール株式会社 | 減圧下における溶鋼温度の測定方法 |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP16104784A patent/JPS6138532A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2716533A1 (fr) * | 1994-02-22 | 1995-08-25 | Yvon Christophe Robert | Dispositif de mesure de température à balayage. |
| JP2022029570A (ja) * | 2020-08-05 | 2022-02-18 | Jfeスチール株式会社 | 減圧下における溶鋼温度の測定方法 |
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