JPS6140071A - 可撓性圧電素子 - Google Patents
可撓性圧電素子Info
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- JPS6140071A JPS6140071A JP16267084A JP16267084A JPS6140071A JP S6140071 A JPS6140071 A JP S6140071A JP 16267084 A JP16267084 A JP 16267084A JP 16267084 A JP16267084 A JP 16267084A JP S6140071 A JPS6140071 A JP S6140071A
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- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2041—Beam type
- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
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- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は変位発生素子、焦電素子、あるいは振動子とし
て使用できる柔軟性に優れた圧電素子に係り、特に高分
子圧電体と可撓性電極シートと保護膜よりなり、信号取
り出しや電圧印加のためのリード線を直接ハンダ付けす
ることが可能な可撓性圧電素子に関する。
て使用できる柔軟性に優れた圧電素子に係り、特に高分
子圧電体と可撓性電極シートと保護膜よりなり、信号取
り出しや電圧印加のためのリード線を直接ハンダ付けす
ることが可能な可撓性圧電素子に関する。
高分子圧電体は薄膜形成が容易で、且つ可撓性を有する
ので、省スペースで取り付けることができ、特に屈曲部
への取り付けが容易であり、大きな変形を与えることが
できる等の優れた性質を有している。
ので、省スペースで取り付けることができ、特に屈曲部
への取り付けが容易であり、大きな変形を与えることが
できる等の優れた性質を有している。
高分子圧電体の表面から電極を通して電気信号を取り出
したり、あるいは電極に電圧を印加して変位を生じせし
めるために、両電極に信号取り出しや電圧印加のための
リード線を接続する場合がある。
したり、あるいは電極に電圧を印加して変位を生じせし
めるために、両電極に信号取り出しや電圧印加のための
リード線を接続する場合がある。
しかし高分子圧電体は低い軟化温度を有しているので、
高温度に耐える無機圧電体のようにその両電極にリード
線を直接ハンダ付けすることができない欠点を有してい
る。また、ソケットに高分子圧電体を直接挿入してその
電極よりソケ７）を通して信号を取り出そうとしても、
高分子圧電体の種類にもよるが、柔らか過ぎて挿入でき
ないか、あるいは硬いが脆くて繰り返しの挿入・抜き出
しに耐えられない等の欠点を有している。
高温度に耐える無機圧電体のようにその両電極にリード
線を直接ハンダ付けすることができない欠点を有してい
る。また、ソケットに高分子圧電体を直接挿入してその
電極よりソケ７）を通して信号を取り出そうとしても、
高分子圧電体の種類にもよるが、柔らか過ぎて挿入でき
ないか、あるいは硬いが脆くて繰り返しの挿入・抜き出
しに耐えられない等の欠点を有している。
従来は高分子圧電体の両電極にリード線を接続するため
第５図（Ａ）〜（Ｃ）に示すような手段が用いられてい
る。
第５図（Ａ）〜（Ｃ）に示すような手段が用いられてい
る。
第５図（八）の例は高分子圧電体゛１の両電極２ａ。
２ｂにリード線３ａ、 ３ｂを導電性接着剤４によって
接着した場合である。導電性接着剤４は高分子圧電体１
の可撓性を損なわないようにその一部にのみ塗布される
ので、リード線３ａ、 ３ｂと電極２ａ、 ２ｂとの接
着強度は弱く、特に振動子として用いるにはその接着強
度が不足し耐久性に欠ける欠点がある。
接着した場合である。導電性接着剤４は高分子圧電体１
の可撓性を損なわないようにその一部にのみ塗布される
ので、リード線３ａ、 ３ｂと電極２ａ、 ２ｂとの接
着強度は弱く、特に振動子として用いるにはその接着強
度が不足し耐久性に欠ける欠点がある。
また、曲げ変形時に圧電体１の両面に発生する電荷量が
ほぼ等しくなるため小さな出力信号ｔか得られないとい
う致命的な欠点がある。
ほぼ等しくなるため小さな出力信号ｔか得られないとい
う致命的な欠点がある。
第５図（Ｂ）の例は高分子圧電体ｌの両面に電極を兼ね
た導電性ゴムシート５ａ 、 ５ｂを圧着させ、この導
電性ゴムシート５ａ、５ｂと高分子圧電体１との間にそ
れぞれ部分的に金属片６ａ、 ６ｂを挿入し、この各金
属片６ａ、 ６ｂにリード線３ａ、 ３ｂをハンダ付け
する場合である。低い導体抵抗を実現゛するため導電性
ゴムシート５ａ、５ｂは、例えば両面合わせて１龍以上
の厚さになってしまい、大きな変位を生じせしめること
が困難になり、省スペースで取り付けることができなく
なる欠点がある。また、曲げ変形時の信号を大きくする
には相対する導電性ゴムシート５ａ、５ｂの厚さに大差
をつけなければならないなど構造上の欠点を有している
。
た導電性ゴムシート５ａ 、 ５ｂを圧着させ、この導
電性ゴムシート５ａ、５ｂと高分子圧電体１との間にそ
れぞれ部分的に金属片６ａ、 ６ｂを挿入し、この各金
属片６ａ、 ６ｂにリード線３ａ、 ３ｂをハンダ付け
する場合である。低い導体抵抗を実現゛するため導電性
ゴムシート５ａ、５ｂは、例えば両面合わせて１龍以上
の厚さになってしまい、大きな変位を生じせしめること
が困難になり、省スペースで取り付けることができなく
なる欠点がある。また、曲げ変形時の信号を大きくする
には相対する導電性ゴムシート５ａ、５ｂの厚さに大差
をつけなければならないなど構造上の欠点を有している
。
第５図（Ｃ）の例は高分子圧電体１の両面にリード線接
続部７ａ 、 ７ｂを有する金属箔よりなる薄い電極８
ａ、’８ｂを添着し、その各リード接続部？ａ 、 ７
ｂにリード線３ａ、 ３ｂをハンダ付けする場合である
。これでは素子全体が硬くなってしまい、大きな曲げ変
位を必要とする素子には不適当である。素子に柔軟性を
もたせるため電極８ａ 、 ８ｂを薄＜シ過ぎると、リ
ード接続部７ａ 、 ７ｂの強度が低下し使用に耐えな
い欠点を生じる。
続部７ａ 、 ７ｂを有する金属箔よりなる薄い電極８
ａ、’８ｂを添着し、その各リード接続部？ａ 、 ７
ｂにリード線３ａ、 ３ｂをハンダ付けする場合である
。これでは素子全体が硬くなってしまい、大きな曲げ変
位を必要とする素子には不適当である。素子に柔軟性を
もたせるため電極８ａ 、 ８ｂを薄＜シ過ぎると、リ
ード接続部７ａ 、 ７ｂの強度が低下し使用に耐えな
い欠点を生じる。
本発明はかかる従来例の欠点に鑑みてなされたものであ
って、その目的とするところは、厚さが薄く可撓性と機
械的強度に優れ適度の剛性を有し、省スペースで取り付
けることができると共に大きな変位を生じせしめたり、
大きな曲げ変位を与えたりすることができ、大吉な信号
出力を得ることができることは勿論、リード線を十分な
強度で取り付けることができ、かつリード部のソケット
への挿入・抜き出しも容易に行える可撓性圧電素子を提
供することである。
って、その目的とするところは、厚さが薄く可撓性と機
械的強度に優れ適度の剛性を有し、省スペースで取り付
けることができると共に大きな変位を生じせしめたり、
大きな曲げ変位を与えたりすることができ、大吉な信号
出力を得ることができることは勿論、リード線を十分な
強度で取り付けることができ、かつリード部のソケット
への挿入・抜き出しも容易に行える可撓性圧電素子を提
供することである。
本発明素子は上記の目的を達成するため、第１図及び第
２図示のように一方の面に薄膜電極１１ａを有する高分
子圧電体１と、この高分子圧電体１の一方の面の薄膜電
極１１ａに接続される薄膜リード部１３ａと、高分子圧
電体１の他方の面に接合するリード部１３ｔｌを存する
薄膜電極１１とを備えた可視性電極シート９と、高分子
圧電体１の一方の面の薄膜電極１１ａ 、！：薄薄膜リ
ド１部１３ａ跨がって接合された接続用導電体１２と、
この接続用導電体１２の表面と高分子圧電体１の一方の
面の薄膜電極１１ａ露出面に接合された保護膜１０とよ
りなる構成としたもので、薄形部品の使用により素子全
体の厚さを薄く可撓性と機械的強度に優れ適度°の剛性
を有するものとすることができると共に、両リード部１
３ａ、１３ｂにリード線を接続したり、ソケットに両リ
ード部１３ａ 、 １３ｂを挿入し、これより抜き出
したりすることができるようにしたものである。
２図示のように一方の面に薄膜電極１１ａを有する高分
子圧電体１と、この高分子圧電体１の一方の面の薄膜電
極１１ａに接続される薄膜リード部１３ａと、高分子圧
電体１の他方の面に接合するリード部１３ｔｌを存する
薄膜電極１１とを備えた可視性電極シート９と、高分子
圧電体１の一方の面の薄膜電極１１ａ 、！：薄薄膜リ
ド１部１３ａ跨がって接合された接続用導電体１２と、
この接続用導電体１２の表面と高分子圧電体１の一方の
面の薄膜電極１１ａ露出面に接合された保護膜１０とよ
りなる構成としたもので、薄形部品の使用により素子全
体の厚さを薄く可撓性と機械的強度に優れ適度°の剛性
を有するものとすることができると共に、両リード部１
３ａ、１３ｂにリード線を接続したり、ソケットに両リ
ード部１３ａ 、 １３ｂを挿入し、これより抜き出
したりすることができるようにしたものである。
高分子圧電体１としては、例えばポリアセクール樹脂と
アクリロニトリル・ブタジェンラバーの混合物等のプラ
スチックにチタン酸・ジルコン酸鉛やチタン酸鉛もしく
はチタン酸バリウム等の強誘電性セラミックスの微粉末
を分散させ、これを高電圧下で分極処理して得られた圧
電体、あるいはポリ弗化ビニリデン樹脂やポリ （シア
ン化ビニリデン・酢酸ビニル）共重合体樹脂のキャスト
フィルムもしくは加熱成形フィルムを延伸した配向フィ
ルム等を高電圧下で分極処理して得られた圧電体を用い
ることができるが、延伸工程を経ることにより得られた
配向性を有する圧電体をユニモ・ルフ型素子として用い
る場合には、配向と直角方向には小さな圧電性しか得ら
れないので、その延伸方向が素子の屈曲方向と同一方向
となるように構成する必要がある。また本発明の構成に
よる素子を可撓性を有する焦電素子として屈曲部に貼付
して用いる場合には方向に留意する必要がないことは記
す迄もない。
アクリロニトリル・ブタジェンラバーの混合物等のプラ
スチックにチタン酸・ジルコン酸鉛やチタン酸鉛もしく
はチタン酸バリウム等の強誘電性セラミックスの微粉末
を分散させ、これを高電圧下で分極処理して得られた圧
電体、あるいはポリ弗化ビニリデン樹脂やポリ （シア
ン化ビニリデン・酢酸ビニル）共重合体樹脂のキャスト
フィルムもしくは加熱成形フィルムを延伸した配向フィ
ルム等を高電圧下で分極処理して得られた圧電体を用い
ることができるが、延伸工程を経ることにより得られた
配向性を有する圧電体をユニモ・ルフ型素子として用い
る場合には、配向と直角方向には小さな圧電性しか得ら
れないので、その延伸方向が素子の屈曲方向と同一方向
となるように構成する必要がある。また本発明の構成に
よる素子を可撓性を有する焦電素子として屈曲部に貼付
して用いる場合には方向に留意する必要がないことは記
す迄もない。
高分子圧電体１の一方の面には薄膜電極１１ａを必要と
するが、他方の面には設けなくてもよい。
するが、他方の面には設けなくてもよい。
この場合、可撓性電極シート９の薄膜電極１１が高分子
圧電体Ｉの他方の薄膜電極を兼ねることになるが、高分
子圧電体１との接触を良好にするため、高分子圧電体１
の他方の面にも図示のように薄膜電極１１ｂを設けるこ
とが望ましい。薄膜電極１１ａ、、１１ｂは蒸着やスパ
ッタリング等の公知の方法によって高分子圧電体１の面
に設けられる。
圧電体Ｉの他方の薄膜電極を兼ねることになるが、高分
子圧電体１との接触を良好にするため、高分子圧電体１
の他方の面にも図示のように薄膜電極１１ｂを設けるこ
とが望ましい。薄膜電極１１ａ、、１１ｂは蒸着やスパ
ッタリング等の公知の方法によって高分子圧電体１の面
に設けられる。
可撓性電極シート９はフレキシブル・プリント・サーキ
ット（ＦＰＣ）と呼ばれているもので、高分子圧電体１
を保持すると共に、信号取り出しや電圧印加のための役
目を果たし、高分子フィルム１４上に薄膜リード部１３
ａと、リード部１３ｂを有する薄膜電極１１が形成され
てなるものである。
ット（ＦＰＣ）と呼ばれているもので、高分子圧電体１
を保持すると共に、信号取り出しや電圧印加のための役
目を果たし、高分子フィルム１４上に薄膜リード部１３
ａと、リード部１３ｂを有する薄膜電極１１が形成され
てなるものである。
薄膜リード部１３ａと薄膜電極１１は、高分子フィルム
１４に金属箔を接着し、この金属箔をエツチングするこ
とにより所要パターンに形成することができる。
１４に金属箔を接着し、この金属箔をエツチングするこ
とにより所要パターンに形成することができる。
高分子フィルムとしては厚さ２５〜５０μｍのポリイミ
ドや厚さ５０〜２５０μｍのポリエステルあるいはナイ
ロンなどの耐薬品性、耐熱性に優れ、また剛性が高く機
械的強度の大きなプラスチックフィルムが用いられ、金
属箔としては厚さ３５μｍ程度の銅箔等が用いられる。
ドや厚さ５０〜２５０μｍのポリエステルあるいはナイ
ロンなどの耐薬品性、耐熱性に優れ、また剛性が高く機
械的強度の大きなプラスチックフィルムが用いられ、金
属箔としては厚さ３５μｍ程度の銅箔等が用いられる。
リード部１３ａ、１３ｂはフィルム１４の端部に形成さ
れるが、第１図示のように同一面上に隣接して並設して
も、また第３．第４図示のようにスルーホールなどの公
知技術により一方のリード部１３ｂを他方のリード部１
３ａ側とは反対の面に相対向して並設してもよい。
れるが、第１図示のように同一面上に隣接して並設して
も、また第３．第４図示のようにスルーホールなどの公
知技術により一方のリード部１３ｂを他方のリード部１
３ａ側とは反対の面に相対向して並設してもよい。
接続用導電体１２としては銅箔導電塗料等が用いられ、
保護膜１０としては可撓性電極シート９と共に内部を保
護するもので、可撓性を有し、高分子圧電体１よりも弾
性率の小さいものが圧電素子の特性を損なわないので好
ましく、上記高分子フィルム１４と同様のものあるいは
シリコンゴムなどの可撓性シートや各種のコーティング
剤を用いることができる。
保護膜１０としては可撓性電極シート９と共に内部を保
護するもので、可撓性を有し、高分子圧電体１よりも弾
性率の小さいものが圧電素子の特性を損なわないので好
ましく、上記高分子フィルム１４と同様のものあるいは
シリコンゴムなどの可撓性シートや各種のコーティング
剤を用いることができる。
高分子圧電体ｌ、可撓性電極シート９及び接続用導電体
１２の相互の導電部間は可撓性を有し圧電特性を低下さ
せない公知の各種導電性粘着剤や接着剤によって接着さ
れるが、高分子圧電体ｌに生じた表面電荷を有効にシー
ト９上のリード部１３ａ、１３ｂに集め、またリード線
あるいはソケットを通じて該シート９上のリード部１３
ａ、１３ｂに供給された電気信号を有効に高分子圧電体
ｌに印加するため、粘着剤や接着剤の厚さは電気信号を
伝えるに充分な厚さにすることが好ましい。絶縁性粘着
剤や接着剤を用いることもできるが、この場合は部分的
に接着し、導通状態を確保し信号の取り出しや電圧印加
ができるようにすることは勿論である。
１２の相互の導電部間は可撓性を有し圧電特性を低下さ
せない公知の各種導電性粘着剤や接着剤によって接着さ
れるが、高分子圧電体ｌに生じた表面電荷を有効にシー
ト９上のリード部１３ａ、１３ｂに集め、またリード線
あるいはソケットを通じて該シート９上のリード部１３
ａ、１３ｂに供給された電気信号を有効に高分子圧電体
ｌに印加するため、粘着剤や接着剤の厚さは電気信号を
伝えるに充分な厚さにすることが好ましい。絶縁性粘着
剤や接着剤を用いることもできるが、この場合は部分的
に接着し、導通状態を確保し信号の取り出しや電圧印加
ができるようにすることは勿論である。
接続用導電体１２として金属箔を用いた場合の接着には
導電性粘着剤あるいは接着剤付きのものを用いると、金
属箔が補強され施工性が増大するので好ましい。金属箔
１２の接着によってリード部１３ａ、１３ｂが導通する
場合には、第１図示のようにリード部１３ｂの当該部分
に絶縁塗料１５を塗布すればよい。
導電性粘着剤あるいは接着剤付きのものを用いると、金
属箔が補強され施工性が増大するので好ましい。金属箔
１２の接着によってリード部１３ａ、１３ｂが導通する
場合には、第１図示のようにリード部１３ｂの当該部分
に絶縁塗料１５を塗布すればよい。
保護膜１０としてシートを用いる場合の接着には公知の
各種粘着剤や接着剤を用いることができ、また、シート
に代えて゛リード部１３ａ、１３ｂの端部を除く素子全
体に絶縁塗料を塗布することにより保護膜を形成するこ
ともできる。
各種粘着剤や接着剤を用いることができ、また、シート
に代えて゛リード部１３ａ、１３ｂの端部を除く素子全
体に絶縁塗料を塗布することにより保護膜を形成するこ
ともできる。
本発明によって構成された可撓性圧電素子は、例えば素
子に曲げ変形あるいは振動を与えると高分子圧電体１の
相対する面に異なった力学的歪を与えることができ、リ
ード部１３ａ、１３ｂより大きな信号出力を得ることが
でき葛。また、リード部１３ａ、１３ｂ間に交流電圧を
印加すると、交流電圧が高分子圧電体１の両面に加わり
、その周波数に同期して素子を振動させることができる
。
子に曲げ変形あるいは振動を与えると高分子圧電体１の
相対する面に異なった力学的歪を与えることができ、リ
ード部１３ａ、１３ｂより大きな信号出力を得ることが
でき葛。また、リード部１３ａ、１３ｂ間に交流電圧を
印加すると、交流電圧が高分子圧電体１の両面に加わり
、その周波数に同期して素子を振動させることができる
。
信号の取り出しや電圧印加のためリード線を接続する場
合は、リード部１３ａ、１３ｂにリード線をハンダ付け
により接続し、またソケットを用いる場合にはリード部
１３ａ、１３ｂをソケットに挿入すればよい。この場合
、素子は柔軟性と適度の剛性を有しているので、リード
部１３ａ 、 １３ｂのソケットへの挿入・抜き出しも
容易に行えるものである。
合は、リード部１３ａ、１３ｂにリード線をハンダ付け
により接続し、またソケットを用いる場合にはリード部
１３ａ、１３ｂをソケットに挿入すればよい。この場合
、素子は柔軟性と適度の剛性を有しているので、リード
部１３ａ 、 １３ｂのソケットへの挿入・抜き出しも
容易に行えるものである。
第１図は本発明素子の第１実施例を示す部分分解斜視図
、第２図はその断面図である。
、第２図はその断面図である。
第１．第２図において１は高分子圧電体、ｌｌａ、１１
ｂはその薄膜電極である。９は可撓性電極シートで、高
分子フィルム１４の一面に、一方の薄膜電極１１ａに接
続される薄膜リード部１３ａと、他方の薄膜電極１１ｂ
に接着される。リード部１３ｂを有する薄膜電極１１と
を、両リード部１３ａ 、 １３ｂが一端部に幅方向に
隣接して並設されるよう形成してなるものである。
ｂはその薄膜電極である。９は可撓性電極シートで、高
分子フィルム１４の一面に、一方の薄膜電極１１ａに接
続される薄膜リード部１３ａと、他方の薄膜電極１１ｂ
に接着される。リード部１３ｂを有する薄膜電極１１と
を、両リード部１３ａ 、 １３ｂが一端部に幅方向に
隣接して並設されるよう形成してなるものである。
１２は導電性粘着剤付き銅箔、１０は高分子フィルムよ
りなる保護シートである。
りなる保護シートである。
そして可撓性電極シート９の薄膜電極１１に高分子圧電
体１の他方の薄膜電極１１ｂを導電性接着剤によって接
着し、その一方の薄膜電極１１ａと薄膜リード部１３ａ
を両者に跨がって導電性粘着剤付き銅箔１２を接着して
接続すると共に、この銅箔１２の表面と一方の薄膜電極
１１ａの露出面に保護シート１０を接着剤によって接着
せしめる。１５は絶縁塗料である。
体１の他方の薄膜電極１１ｂを導電性接着剤によって接
着し、その一方の薄膜電極１１ａと薄膜リード部１３ａ
を両者に跨がって導電性粘着剤付き銅箔１２を接着して
接続すると共に、この銅箔１２の表面と一方の薄膜電極
１１ａの露出面に保護シート１０を接着剤によって接着
せしめる。１５は絶縁塗料である。
第３図は第２実施例を示す部分分解斜視図、第４図はそ
の断面図である。
の断面図である。
この第２実施例では高分子フィルム１４の一面に、一方
の薄膜電極１１ａに接続される薄膜リード部１３ａと、
他方の薄膜電極１１ｂに接着される薄膜電極１１とを長
さ方向に隣接するよう形成し、高分子フィルム１４の他
面において一面の薄膜電極１１とスルーホールで連通す
るリード部１３ｂをリード部１３ａと相対向して形成し
てなる可撓性電極シート９を用いる以外、第１実施例と
同様に構成されている。
の薄膜電極１１ａに接続される薄膜リード部１３ａと、
他方の薄膜電極１１ｂに接着される薄膜電極１１とを長
さ方向に隣接するよう形成し、高分子フィルム１４の他
面において一面の薄膜電極１１とスルーホールで連通す
るリード部１３ｂをリード部１３ａと相対向して形成し
てなる可撓性電極シート９を用いる以外、第１実施例と
同様に構成されている。
上記のような構成あ第１．第２実施例による可撓性圧電
素子は、信号取り出しや電圧印加のため、リード部１３
ａ、１３ｂにリード線を接続し、あるいはリード部１３
ａ、１３ｂをソケットに差し込むことにより外部電気回
路と接続することができる。
素子は、信号取り出しや電圧印加のため、リード部１３
ａ、１３ｂにリード線を接続し、あるいはリード部１３
ａ、１３ｂをソケットに差し込むことにより外部電気回
路と接続することができる。
具体例を示すと、高分子圧電体ｌとしてポリアセクール
樹脂とアクリロニトリル・ブタジェンラバーの混合物に
チタン酸・ジルコン酸鉛やチタン酸鉛・チタン酸バリウ
ム等の強誘電性セラミックスの微粉末を分散させ、これ
を高電圧下で分極処理して得られた厚さ１００ ａｍ
、幅１００．長さ３０鶴の大きさを有し圧電定数ｄ＋＋
＝１７Ｐｃ／ Ｎである圧電体の両面に蒸着法によりア
ルミ薄膜電極１１ａ 、−１１ｂを形成したものを用い
、可撓性電極シート９として厚さ１５０μｍ、幅１０削
、長さ５０ｍの大きさのポリエステルフィルム１４の一
面に、ｍｆｊｌ膜リードす１３ａと薄膜電極１１とを３
５μｍの厚さに長さ方向に隣接するよう形成し、該フィ
ルム１４の他面に薄膜電極１１とスルーホールで連通ず
るリード部１３ｂをリード部１３ａと相対向して形成し
たものを用い、接続用金属箔１２として厚さ３５μｍ、
縦１０龍、横１０鰭の大きさの銅箔を用い、保護シート
１０として厚さ１０８ｍ９幅１０ｆｉ、長さ４０＋ｎの
大きさのポリエステルフィルムを用いて本発明素子を構
成し、素子先端に１１劇Ｐ−Ｐの変位を与えたところ、
０．２５ＶＰ−Ｐの電圧が得られた。
樹脂とアクリロニトリル・ブタジェンラバーの混合物に
チタン酸・ジルコン酸鉛やチタン酸鉛・チタン酸バリウ
ム等の強誘電性セラミックスの微粉末を分散させ、これ
を高電圧下で分極処理して得られた厚さ１００ ａｍ
、幅１００．長さ３０鶴の大きさを有し圧電定数ｄ＋＋
＝１７Ｐｃ／ Ｎである圧電体の両面に蒸着法によりア
ルミ薄膜電極１１ａ 、−１１ｂを形成したものを用い
、可撓性電極シート９として厚さ１５０μｍ、幅１０削
、長さ５０ｍの大きさのポリエステルフィルム１４の一
面に、ｍｆｊｌ膜リードす１３ａと薄膜電極１１とを３
５μｍの厚さに長さ方向に隣接するよう形成し、該フィ
ルム１４の他面に薄膜電極１１とスルーホールで連通ず
るリード部１３ｂをリード部１３ａと相対向して形成し
たものを用い、接続用金属箔１２として厚さ３５μｍ、
縦１０龍、横１０鰭の大きさの銅箔を用い、保護シート
１０として厚さ１０８ｍ９幅１０ｆｉ、長さ４０＋ｎの
大きさのポリエステルフィルムを用いて本発明素子を構
成し、素子先端に１１劇Ｐ−Ｐの変位を与えたところ、
０．２５ＶＰ−Ｐの電圧が得られた。
上述のように本発明素子によれば、高分子圧電体ｌ、可
撓性電極シート９、接続用導電体１２及び保護膜ＩＯ等
の薄形部分で構成されているので、素子全体の厚さを薄
く可撓性と機械的強度に優れ、適度の剛性を有するもの
とすることができるため、省スペースで取り付けること
ができると共に、大きな変位を生じせしめたり、大きな
曲げ変位を与えたりすることができ、大きな信号出力を
得ることができることは勿論、リード部１３ａ、１３ｂ
にリード線をハンダ付は等により十分な強度で取り付け
ることができ、かつリード部１３ａ 、 １３ｂのソ
ケットへの挿入・抜き出しも容易に行えるという効果を
奏する。
撓性電極シート９、接続用導電体１２及び保護膜ＩＯ等
の薄形部分で構成されているので、素子全体の厚さを薄
く可撓性と機械的強度に優れ、適度の剛性を有するもの
とすることができるため、省スペースで取り付けること
ができると共に、大きな変位を生じせしめたり、大きな
曲げ変位を与えたりすることができ、大きな信号出力を
得ることができることは勿論、リード部１３ａ、１３ｂ
にリード線をハンダ付は等により十分な強度で取り付け
ることができ、かつリード部１３ａ 、 １３ｂのソ
ケットへの挿入・抜き出しも容易に行えるという効果を
奏する。
第１図は本発明素子の第１実施例を示す部分分解斜視図
、第２図はその断面図、第３図は第２実施例を示す部分
分解斜視図、第４図はその断面図、第５図（＾）〜（Ｃ
）は従来素子の各側を示す斜視図である。 １・・・・・・高分子圧電体、９・・・・・・可撓性電
極シート、１０・・・・・・保護膜、ｌｌａ 、 ｌｌ
ｂ 、 １１・・・・・・薄膜電極、１２・・・・・・
接続用導電体、１３ａ・・・・・・薄膜リード部、１３
ｂ・・・・・・リード部。 箋１目 答２− 箋３目 算ｑ頂 俸５目 〔Ａ〕 ）〕 〔Ｃ〕
、第２図はその断面図、第３図は第２実施例を示す部分
分解斜視図、第４図はその断面図、第５図（＾）〜（Ｃ
）は従来素子の各側を示す斜視図である。 １・・・・・・高分子圧電体、９・・・・・・可撓性電
極シート、１０・・・・・・保護膜、ｌｌａ 、 ｌｌ
ｂ 、 １１・・・・・・薄膜電極、１２・・・・・・
接続用導電体、１３ａ・・・・・・薄膜リード部、１３
ｂ・・・・・・リード部。 箋１目 答２− 箋３目 算ｑ頂 俸５目 〔Ａ〕 ）〕 〔Ｃ〕
Claims (1)
- 一方の面に薄膜電極１１ａを有する高分子圧電体１と
、この高分子圧電体１の一方の面の薄膜電極１１ａに接
続される薄膜リード部１３ａと、高分子圧電体１の他方
の面に接合するリード部１３ｂを有する薄膜電極１１と
を備えた可撓性電極シート９と、高分子圧電体１の一方
の面の薄膜電極１１ａと薄膜リード部１３ａに跨がって
接合された接続用導電体１２と、この接続用導電体１２
の表面と高分子圧電体１の一方の面の薄膜電極１１ａ露
出面に接合された保護膜１０とよりなる可撓性圧電素子
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16267084A JPS6140071A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 可撓性圧電素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16267084A JPS6140071A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 可撓性圧電素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6140071A true JPS6140071A (ja) | 1986-02-26 |
| JPH0412634B2 JPH0412634B2 (ja) | 1992-03-05 |
Family
ID=15759049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16267084A Granted JPS6140071A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 可撓性圧電素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6140071A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1473782A3 (en) * | 2003-04-30 | 2005-10-12 | VIBRATION-X di Bianchini Emanuele e C. Sas | Piezoelectric device and method to manufacture a piezoelectric device |
| WO2017013224A1 (en) | 2015-07-21 | 2017-01-26 | Koninklijke Philips N.V. | Transducer laminate |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP16267084A patent/JPS6140071A/ja active Granted
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1473782A3 (en) * | 2003-04-30 | 2005-10-12 | VIBRATION-X di Bianchini Emanuele e C. Sas | Piezoelectric device and method to manufacture a piezoelectric device |
| US7105988B2 (en) | 2003-04-30 | 2006-09-12 | Vibration-X Di Bianchini Emanulee E C. Sas | Piezoelectric device and method to manufacture a piezoelectric device |
| WO2017013224A1 (en) | 2015-07-21 | 2017-01-26 | Koninklijke Philips N.V. | Transducer laminate |
| CN108028308A (zh) * | 2015-07-21 | 2018-05-11 | 皇家飞利浦有限公司 | 换能器层压板 |
| RU2657114C1 (ru) * | 2015-07-21 | 2018-06-08 | Конинклейке Филипс Н.В. | Слоистое изделие с преобразователем |
| JP2018528604A (ja) * | 2015-07-21 | 2018-09-27 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェＫｏｎｉｎｋｌｉｊｋｅ Ｐｈｉｌｉｐｓ Ｎ．Ｖ． | トランスデューサ積層体 |
| US10413940B2 (en) | 2015-07-21 | 2019-09-17 | Koninklijke Philips N.V. | Transducer laminate |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0412634B2 (ja) | 1992-03-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |