JPS6140655U - 光学的検査用プロ−ブ - Google Patents

光学的検査用プロ−ブ

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Publication number
JPS6140655U
JPS6140655U JP12502484U JP12502484U JPS6140655U JP S6140655 U JPS6140655 U JP S6140655U JP 12502484 U JP12502484 U JP 12502484U JP 12502484 U JP12502484 U JP 12502484U JP S6140655 U JPS6140655 U JP S6140655U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical inspection
specimen
inspection probe
irradiation part
reflective surface
Prior art date
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Pending
Application number
JP12502484U
Other languages
English (en)
Inventor
俊夫 千竈
Original Assignee
株式会社 町田製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社 町田製作所 filed Critical 株式会社 町田製作所
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Priority to US06/765,670 priority patent/US4718760A/en
Publication of JPS6140655U publication Critical patent/JPS6140655U/ja
Priority to US07/072,121 priority patent/US4732474A/en
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Instruments For Viewing The Inside Of Hollow Bodies (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】 第１図、第２図は本考案の異なる実施例をそれぞれ示す
断面図、第３図〜第５図は検体の異なる態様をそれぞれ
示す図、第６図は従来例を示す図、第７図は本考案を発
案するまでの過程で考えた例を示す図である。 １・・・プローブ、５・・・受光部、８ａ・・・照射部
、９，１０・・・反射面部、１００・・・検体、１００
ａ・・・検体の表面（反射面）。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 反射面を有する検体を光学的に検査するプローフにおい
    て、照明光を照射する照射部と、この照射部に対向して
    配置され、照射部からの照明光を反射して検体に供給す
    る反射面部と、検体の像をとらえる受光部とを、先端部
    に備えたことを特徴とする光学的検査用プローブ。
JP12502484U 1984-08-18 1984-08-18 光学的検査用プロ−ブ Pending JPS6140655U (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12502484U JPS6140655U (ja) 1984-08-18 1984-08-18 光学的検査用プロ−ブ
US06/765,670 US4718760A (en) 1984-08-18 1985-08-14 Apparatus for optically inspecting object having reflecting surface
US07/072,121 US4732474A (en) 1984-08-18 1987-07-10 Apparatus for optically inspecting object having reflecting surface

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12502484U JPS6140655U (ja) 1984-08-18 1984-08-18 光学的検査用プロ−ブ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6140655U true JPS6140655U (ja) 1986-03-14

Family

ID=30683714

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12502484U Pending JPS6140655U (ja) 1984-08-18 1984-08-18 光学的検査用プロ−ブ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6140655U (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5870150A (ja) * 1981-10-22 1983-04-26 Fuji Electric Co Ltd 光学検査装置用照明器

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5870150A (ja) * 1981-10-22 1983-04-26 Fuji Electric Co Ltd 光学検査装置用照明器

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