JPS6141104A - カラ−撮像装置の製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の分野］ 本発明は、カラー撮像装置の製造法に関するものである
。さらに詳しくは本発明は、タンニング現像法を利用し
たカラー撮像装置の製造法に関するものである。

［発明の背景］ ＶＴＲ用カメラなどにおいて、カラー画像に対応するカ
ラー信号を取り出すために、受光部にマイクロカラーフ
ィルターを験けたカラー撮像管が従来より一般的に用い
られている。

。一方、最近では撮像管に代るデバイスとして。

たとえば、ＣＣＤ、ＢＢＤ、ＭＯＳなどの各種の固体撮
像素子が開発されたため、上記のＶＴＲ用カメラなどの
小型化を主な目的として、固体撮像素子とマイクロカラ
ーフィルターとを組み合わせたカラー固体撮像素子の実
用化の検討が行なわれており、一部では既に実用化され
ている。

カラー固体撮像素子は、一般に画素と呼ばれる微小の光
電変換素子と、走査回路を集積化した平板状の撮像集積
回路（ＩＣ）とからなる固体撮像素子の受光部の表面に
、それぞれの画素に対応する赤、緑、青、シアン、マゼ
ンタ、およびイエローなどの微小の色分解フィルター要
素（着色樹脂膜）がモザイク状あるいはストライプ状に
数種類組み合わされたマイクロカラーフィルターが付設
されたＳ成からなるものである。

カラー固体撮像素子は、一般には、「貼り合せ法」ある
いは「オン・ウェハー法」と呼ばれる方法により製造さ
れる。

このうち貼り合せ法は、固体撮像素子の各画素に対応す
る色分解フィルター要素をガラスなどの透明支持体上に
形成してマイクロカラーフィルターを製造し、次にこれ
を固体撮像素子の表面（受光部）に接着してカラー固体
撮像素子とする方法である。従ってこの方法では、独立
に製造したマイクロカラーフィルターを固体撮像素子表
面−に接着する際に、固体撮像素子の各画素に対して色
分解フィルター要素の各々が正確に対応するように厳密
に制御する操作が必要となる。

一方、オン・ウェハー法は、固体撮像素子の受光部の上
に直接マイクロカラーフィルターを形成する方法である
。従って、このオン・ウェハー法は、固体撮像素子の製
造プロセスに組み込むことが可能となり、カラー固体撮
像素子の製造が容易となるとの利点がある。

なお、オン・ウェハー法には、固体撮像素子を多数個配
列したウェハー上にそれぞれの固体撮像素子の各画素に
対応した色分解フィルター要素を形成することにより多
数個のカラー固体撮像素子を同時に製造する方法と、固
体撮像素子を多数個配列したウェハーから単体の固体撮
像素子（チップ）を切り出し、この各チップの上に色分
解フィルター要素を形成することにより単一のカラー固
体撮像素子を製造する方法（オン◆チップ法）が知られ
ているが、本明細書においては、これらのいずれの方法
をもオン・ウェハー法に含めるものである。

撮像管、固体撮像素子など撮像装置の受光部の表面にマ
イクロカラーフィルターを形成する方法としては、たと
えば、光硬化性樹脂を用いる方法が知られている。この
マイクロフィルターの形成方法は、撮像装置の受光部表
面に重クロム酸ゼラチンなどの光硬化性樹脂溶液を塗布
して光硬化性樹脂層を形成する工程；該樹脂層の表面に
露光用パターン（マイクロパターン）を通過した光を照
射して、樹脂層にモザイク状あるいはストライプ状の硬
化部分を生成させる工程；この樹脂層を適当な溶媒で洗
浄することにより、未硬化部分を溶解除去して、モザイ
ク状あるいはストライプ状の硬化樹脂層（レリーフ像）
を得る工程；このレリーフ像を赤、緑、青、シアン、マ
ゼンタおよびイエローなどの内の一種の色素を含む染色
液で染色して色分解フィルター要素（着色樹脂膜）Ｉを
得る工程−次いで、このように形成した色分解フィルタ
ー要素工の上に色汚染防止層を形成し、その上に同様に
して別のレリーフ像を形成し、こ−のレリーフ像を別の
色素で染色して色分解フィルター要素（着色樹脂ｙｓ）
ｎを形成する工程；さらに、必要によりこのような色分
解フィルター要素形成の操作を繰り返して所望の色分解
フィルタ一群を形成させたのち、最後に表面被覆層を形
成する工程；からなる方法である。または、別に用意し
た透明支持体の表面に、先ず上記の方法によりマイクロ
カラーフィルターを形成し、次いでその透明支持体を撮
像装置の受光部表面に付設する方法も利用される。

［発明の目的および要旨］ 本発明は、上記のような公知のマイクロフィルター形成
方法と異なる新規なマイクロフィルター形成方法を利用
するカラー撮像装置の製造法を提供するものである。

すなわち、本発明は、 （１）微粒子ハロゲン化銀・ゼラチン乳剤を含有する感
光性塗布液を撮像装置の受光部に塗布乾燥して感光性ゼ
ラチン層を形成する工程；（２）該ゼラチン層にマイク
ロパターンを介しイ賽り閣＆＋↓１−し番ヂレｔＩ　Ｍ
二（い隠、感皇−理を行なう工程； （３）露光処理されたゼラチン層をタンニング現像処理
して露光部分を硬化させ、ついで脱銀処理と未硬化部分
を溶出する処理とを行なうことによりレリーフ像を形成
する工程； （４）レリーフ像を染色して着色樹脂膜とする工程；お
よび、 （５）該着色樹脂膜の上に同様にして所望の数の着色樹
脂膜を積層してマイクロカラーフィルターを形成する工
程； を含むカラー撮像装置の製造法からなるものである。

なお、上記（１）の工程における感光性塗布液に予め色
素を含有させることにより上記の（４）の染色工程を省
略することも可能である。

またの本発明のカラー撮像装置の製造法は、先ず透明支
持体の表面に上記の方法によりマイクロカラーフィルタ
ーを形成したのち、その透明支持体を撮像装置の受光部
表面に付設する方法に適用＋ス一し表−１４都１ ［発明の詳細な記述］ 本発明の第一の工程は、微粒子ハロゲン化銀・ゼラチン
乳剤を含有する感光性塗布液を撮像装置の受光部あるい
は透明支持体に塗布乾燥して感光性ゼラチン層を形成す
る工程である。

本発明における微粒子ハロゲン化銀としては、通常は粒
径がＩＪＬｍ以下のものが用いられるが、好ましいのは
粒径０．０３〜０．４１１．ｍのものである。特に好ま
しいのは、原子核乾板、マイクロフィルム、ホログラフ
ィなどに用いられる微粒子ハロゲン化銀と同程度の粒径
、すなわち粒径０゜０３〜０．１５１Ｌｍのものである
。この特に好ましい範囲の粒径を有する微粒子ハロゲン
化銀では粒子による光学的散乱の影響がＳ視できる程度
となるため実用上で特に有利である。

ハロゲン化銀の例としては、塩化銀、臭化銀、塩臭化銀
および沃臭化銀を挙げることができ、特に塩臭化銀、お
よび微量（１％以下）の沃化銀を含む沃臭化銀が好まし
い。

なお、前述のように感光性塗布液には色素を含有させて
もよく、この目的に用いられる色素の例としてハ銅フタ
ロシアニン、ベンジジンイエローなどを挙げることがで
きるが、その外にも、たとえばｒ染料便覧」　（有機合
成化学協会編、丸善株式会社１９７０年発行）に記載の
各種の色素を用いることができ、これらを目的に応じて
適宜選択して使用する。

上記の感光性塗布液は撮像装置の受光部もしくは、のち
に撮像装置の受光部に付設される透明支持体の表面に塗
布、乾燥されて感光性ゼラチン層とされる。この感光性
ゼラチン層の層厚は通常は０．１−１１−１Ｏ乾燥時の
層厚）の範囲の値とされる。

本発明における第二の工程、すなわち、上記のようにし
て形成された感光性ゼラチン層にマイクロパターンを介
して光を照射することにより、ゼラチン層の露光処理を
行なう工程は、従来の重クロム酸ゼラチンなどの光硬化
性ポリマーを用いたマイクロカラーフィルター製造法に
おける操−作と同一もしくはそれに準じた方法により実
施することができる。すなわち、製造対象のレリーフ像
において凸部（マイクロフィルター構成部分）として残
したい部分に窓（透孔）を形成したマスク（マイクロパ
ターン）を上記感光性ゼラチン層の表面に置き、これに
光を照射して該ゼラチン層を部分的に露光する方法であ
る。

本発明の第三工程、すなわち、露光処理されたゼラチン
層をタンニング現像処理して露光部分を硬化させ、つい
で脱銀処理と未硬化部分を溶出する処理とを行なうこと
によりレリーフ像を形成する工程は、タンニング現像技
術において知られている操作を利用することができる。

露光処理されたゼラチン層をタンニング現像処理して露
光部分を硬化させる方法としては、たとえば公知のタン
ニング現像主薬を含有するアルカリ性のタンニング現像
液を用いることができる。

タンニング現像主薬の例としては、ピロガロール、ヒド
ロキノン、アミンカテコール、アミノピロガロール、ク
ロロカテコール、クロロヒドロキージアミノフェノール
）、メトール（Ｎ−メチル−ｐ−７ミノフエノール）、
ｐ−７ミノフエノール、オルドール（Ｎ−メチル−〇−
７ミノフエノール）、アイコノゲン（１−アミノ−２−
ヒドロキシナフタレン−６−スルホン酸）、０−７ミノ
フエノール、アスコルビン酸を挙げることができる。こ
れらは単独で使用することもでき、また二種以上を組合
わせて用いてもよい０本発明において使用することので
きるタンニング現像試薬の他の例は、たとえば、Ｒ，Ｂ
、　Ｐａｎｔｉｕｓ、　”↑ｈｅ　Ａｃｔｉｏｎｏｆ　
Ｄｅｖｅｌｏｐｅｒｓ　ａｓ　丁ａｎｎｉｎｇ　Ａｇｅ
ｎｔｓ”およびｐ、ｓ。

Ａ、　Ｊｏｕｒｎａｌ、　１９Ｂ（Ｉｌｌ）　、　７８
　（１８５１）に記載されている。

このタンニング現像操作は、露光処理したゼラチン層を
タンニング現像液に通常は液温３０’０以下にて５秒間
〜数分間浸漬することにより実施される。

上記のタンニング現像処理のあとに脱銀処理と未硬化部
分の溶出処理が行なわれる。この脱−銀翅１ｍ）−−ｔ
−Ｊａｉ＆＃ＡＭｍｋｍｍｌ＋ＩＪｙａ−／−Ｊ−ｓ−
１＋ｌ−−ってもよい。以下に脱銀処理を先に行なう方
法を例にとって説明する。

脱銀処理はカラー写真現像処理で利用されている脱銀処
理を適用することができる。この脱銀処理の代表的な方
法としては、漂白と定着の二工程からなる方法と、漂白
定着を一工程で行なうとがあるが、本発明においてはい
ずれの方法も利用することができる。ただし操作の簡便
さの点を考慮すれば後者の一工程で行なう方法が有利で
ある。

この一工程の漂白定着法に用いられる処理液としては、
たとえばＦｅ（ＩＩ）ｏＥＤＴＡのアルカリ金属塩ある
いはアンモニウム塩などの酸化剤とチオ硫酸ナトリウム
あるいはチオ硫酸アンモニウムなどの定着剤を組み合わ
せたものが利用される。

この脱銀工程は、現像処理されたゼラチン層を脱銀処理
液に室温にて数分間程度浸漬するなどの方法により実施
される。

脱銀処理のあとに、未硬化部分を溶出することによりレ
リーフ像を形成する処理が行なわれる。

この処理は通常、脱銀処理したゼラチン層を、４０〜５
０℃の水に浸漬しながら、たとえば、その表面をスポン
ジなどにより軽くこするなどの方法により未硬化部分を
溶出させ、ついで３０℃以下の水を用いて２〜１０秒間
程度リンスする方法により実施される。

以上に述べた第三工程、すなわち、タンニング現像−説
銀一未硬化部分溶出処理（あるいは、タンニング現像−
未硬化部分溶出一説銀処理）により、マイクロフィルタ
ー基体部分となる凸部を有するレリーフ像が形成される
。ただし第一工程において感光性塗布液に色素を予め含
有させておいた場合には、このレリーフ像は着色レリー
フ像として得られ、従って、そのまま着色樹脂膜（色分
解フィルター要素）となる。

レリーフ像が着色していない場合には、レリーフ像を染
色して着色樹脂膜とする工程を行なう必要がある。この
レリーフ像の染色工程は、従来の重クロム酸ゼラチンな
どの光硬化性ポリマーを用いたマイクロカラーフィルタ
ー製造法における染色操作と同一もしくはそれに準じた
方法により実施することができる。すなわち、ゼラチン
に染着性を有する染料（たとえば、アンスラキノン・ブ
ルーＡＢ、アンスラキン・ルビノールＲコンク、タート
ラジンなどの酸性染料、およびフタロシアニン染料など
）を含む染着液にレリーフ像を浸漬し、ついでリンス処
理を行なう方法などが利用される。このリンス処理は、
たとえば３０℃以下の水を用いて２〜１０秒間程度リン
スする方法が利用される。リンス処理された着色レリー
フ像は乾燥されて着色樹脂膜（色分解フィルター要素）
となる。

通常の撮像装置に付設されるマイクロカラーフィルター
はそれぞれ異なった色で染色された複数（たとえば二層
、三層）の着色樹脂膜が積層された構成を有している。

従って、本発明により撮像装置に形成されるマ・イクロ
カラーフィルターも、所望により複数の着色樹脂膜の積
層構成体とすることができる。

複数の着色樹脂膜の積層構成体は、前述のように１−で
形言された簀色樹脂鱒のＦに、同様にして他の色で着色
された着色樹脂膜を形成する方法により得ることができ
る。ただし、複数の着色樹脂膜を積層形成する操作中に
着色樹脂膜の間で混色（色汚染）が発生しやすいため、
通常は、各着色樹脂膜の間に色汚染防止層が設けられる
。あるいは、先に設けられた着色樹脂膜に色汚染防止の
ための表面改質処理を行なうことにより上記の色汚染防
止層の付設を省略することもできる。

以上のようにして単層の着色樹脂膜もしくは複数の着色
樹脂膜の積層体を得たのち、通常は、その上に透明プラ
スチック材料からなる表面保護層を付設もしくは形成し
、これによりマイクロカラーフィルターが形成される。

なお、マイクロカラーフィルターが撮像装置の受光部に
形成された場合には、その後、ポンディングパッド部の
除去など公知の処理を行なうことによりカラー撮像装置
が得られる。マイクロカラーフィルターが、別に用意し
た透明支持体の表面に形成された場合には、この支持体
に必要な処理を行なったのち、これを撮像装置の受光部
に付設することによりカラー撮像装置が得られる。

本発明により製造されるカラー撮像装置は撮像管あるい
は固体撮像素子のいずれを利用するものでもよい、ただ
し、固体撮像素子を利用したカラー撮像装置を製造する
場合には固体撮像素子のアルカリ金属汚染を防止するた
めに、たとえば、アルカリ金属含有量の低減されたゼラ
チンの使用、アンモニウム塩もしくは有機アミン塩のよ
うなアルカリ金属を含有しない化合物とされた染料の使
用などの配慮を行なうことが望ましい。

本発明のカラー撮像装置の製造法におけるマイクロカラ
ーフィルターの形成に利用される各種の工程のそれぞれ
は写真技術および製版技術で既に確立している工程であ
る。従って、本発明において利用される各工程のそれぞ
れは全て精度高く、かつ安定に実施することが容易であ
り、このため、本発明により高い信頼性を有するカラー
撮像装置を製造することができるため実用上非常に有利
である。

次に本発明の実施例を示す。

［実施例１］ ｉ）感光性ゼラチン層の形成 臭化銀（平均粒子径０．２ｐｍ）８重量％およびゼラチ
ン８重量％含有する乳剤Ｃｍ光性塗布液）を得た。

この感光性塗布液を、ＣＣＤタイプの固体撮像素子（表
面にリンケイ酸ガラスからなる保護層および透明有機高
分子化合物からなる下塗り層が設けられているもの）の
下塗り層の上に厚み１．５＃Ｌｍ（乾燥時の厚み）とな
るように塗布した後、乾燥して感光性ゼラチン層を得た
。

ｉｉ）感光性ゼラチン層の露光処理 感光性ゼラチン層の上にモザイク模様からなるマスク（
マイクロパターン）を置いて密着露光を行なった。

１ｉｉ）タンニング現像−説銀一未硬化部溶出処理ハイ
ドロキノン４０ｇ、アスコルビン酸５ｇ、硫酸パラメチ
ルスミノフェノール４ｇ、臭化ナトリウム２ｇ、硫酸ナ
トリウム５０ｇ、およびベーンシトリアゾール０．１ｇ
を水１Ｊｌｋ溶解して現像液（Ｉ液）を調製し、この■
液に露光処理したゼラチン層を２０℃にて１０秒間浸漬
処理した０次に、該ゼラチン層を現像液（■液、炭酸ナ
トリウム１００ｇ、臭化ナトリウム７ｇ、および硫酸ナ
トリウム２００ｇを水１ｊ１に溶解して調製したもの）
に２０℃、２０秒間の浸漬し、現像処理を行なった。

次に、ＥＤＴＡ鉄（１）アンモニウム３０ｇ、チオ硫酸
アンモニウム（５０％水溶漆）３０ｍｌ、炭酸ナトリウ
ム４ｇ、および炭酸水素ナトリウムｌＯｇを水１Ｍに溶
解して調製した脱銀処理液に、室温で上記のゼラチン層
を１分間浸漬した。ついで２０℃の水を用いて３秒間リ
ンス処理して脱銀処理を完了した。

そして、現像・脱銀処理したゼラチン層を次に約５０℃
の温湯に浸漬して未露光部（未硬化部）を溶出除去して
レリーフ像を得た。

ｉマ）染色処理 レリーフ像をイエロー色素（ベンジジンイエロー）溶液
に２６〜３０℃の温度にて１分間浸漬したのち、２０℃
の水を用いて３秒間リンス処理し、次いで乾燥してイエ
ロー着色樹脂膜を得た。

Ｖ）シアン着色樹脂膜の形成 上記のイエロー着色樹脂膜の上にｐ−フェニレンジアク
リル酸エチル−１，４−ビス（β−ヒドロキシエトキシ
）シクロヘキサンを用いて色汚染防止層を形成し、更に
その上に上記のＩ）〜１ｉｉ）同様にしてレリーフ像を
形成し、このレリーフ像をシアン染料（銅フタロシアニ
ン）溶液に２６〜３０℃の温度にて１分間浸漬したのち
、２０℃の水を用いて３秒間リンス処理し、次いで乾燥
してシアン着色樹脂膜を得た。

ｖｉ）表面被覆層の形成 上記のシアン着色樹脂膜の上にＰ−フェニレンジアクリ
ル酸エチル−１，４−ビス（β−ヒドロキシエトキシ）
シクロヘキサンを用いて表面被覆層を形成した。

以上の操作を順次実施することにより、カラー固体撮像
素子を得た。

［実施例２］ ｉ）感光性ゼラチン層の形成 沃素３モル％を含む沃臭化銀（平均粒子径０゜０６ｐｍ
）９重量％およびゼラチン８重量％含有する乳剤１ｋｇ
に銅フタロシアニン色素（２０重量％溶液）を２５ｇ添
加して感光性塗布液を調製した。

この感光性塗布液を、ＣＣＤタイプの固体撮像素子（表
面にリンケイ酸ガラスからなる保護層および透明有機高
分子化合物からなる下塗り層が設けられているもの）の
下塗り層の上に厚み１．５ｐｍ（乾燥時の厚み）となる
ように塗布したのち、乾燥して感光性ゼラチン層を得た
。

ｉｉ）感光性ゼラチン層の露光処理 感光性ゼラチン層の上にモザイク模様からなるマスク（
マイクロパターン）を置いて密着露光を行なった。

１ｉｉ）タンニング現像−未硬化部溶出一説銀処理クエ
ン酸１６ｇ、ピロガロール１４０ｇ、および臭化アンモ
ニウム４０ｇを水に溶解して１液を調製し、また別に水
酸化ナトリウム３０ｇを水１文に溶解した■液を調製し
、このＩ液と■液のそれぞれ１部を水２５部に溶解して
現像液とした。

この現像液に、露光処理したゼラチン層を２０℃にて３
分間浸漬処理した。

次に、ＥＤＴＡ鉄（ＩＮ）アンモニウム３０ｇ、チオ硫
酸アンモニウム（５０％水溶液）３０ｍＪ１、炭酸ナト
リウム４ｇ、および炭酸水素ナトリウムＬｏｇを水ＩＪ
１に溶解して調製した脱銀処理液に、室温で上記のゼラ
チン層を１分間浸漬した。

ついで２０℃の水を用いて３秒間リンス処理して脱銀処
理を完了した。

そして、現像・脱銀処理したゼラチン層を次に約５０℃
の温湯に浸漬して未露光部（未硬化部）を溶出除去して
着色レリーフ像（シアン着色樹脂膜）を得た。

ｉマ）イエロー着色樹脂膜の形成 上記のシアン着色樹脂膜の上にｐ−フェニレンジアクリ
ル酸エチル−１，４−ビス（β−ヒドロキシエトキシ）
シクロヘキサンを用いて色汚染防止層を形成し、更にそ
の上に上記のｉ）〜１ｉｉ）同様にしてイエロー着色樹
脂膜（イエロー色素としてベンジジンイエローを使用）
を形成した。

■）表面被覆層の形成 上記のイエロー着色樹脂膜の上にＰ−フェニレンジアク
リル酸エチル−１，４−ビス（β−ヒドロキシエトキシ
）シクロヘキサンを用いて表面被覆層を形成した。

以上の操作を順次実施することにより、カラー固体撮像
素子を得た。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、（１）微粒子ハロゲン化銀・ゼラチン乳剤を含有す
   る感光性塗布液を撮像装置の受光部に塗布乾燥して感光
   性ゼラチン層を形成する工程；（２）該ゼラチン層にマ
   イクロパターンを介して光を照射することにより、ゼラ
   チン層の露光処理を行なう工程； （３）露光処理されたゼラチン層をタンニング現像処理
   して露光部分を硬化させ、ついで脱銀処理と未硬化部分
   を溶出する処理とを行なうことによりレリーフ像を形成
   する工程； （４）レリーフ像を染色して着色樹脂膜とする工程；お
   よび、 （５）該着色樹脂膜の上に同様にして所望の数の着色樹
   脂膜を積層してマイクロカラーフィルターを形成する工
   程； を含むカラー撮像装置の製造法。 ２、撮像装置が固体撮像素子であることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載のカラー撮像装置の製造法。 ３、（１）微粒子ハロゲン化銀・ゼラチン乳剤および色
   素を含有する感光性塗布液を撮像装置の受光部に塗布乾
   燥して感光性ゼラチン層を形成する工程； （２）該ゼラチン層にマイクロパターンを介して光を照
   射することにより、ゼラチン層の露光処理を行なう工程
   ； （３）露光処理されたゼラチン層をタンニング現像処理
   して露光部分を硬化させ、ついで脱銀処理と未硬化部分
   を溶出する処理とを行なうことにより着色樹脂膜を形成
   する工程；および （４）該着色樹脂膜の上に同様にして所望の数の着色樹
   脂膜を積層してマイクロカラーフィルターを形成する工
   程； を含むカラー撮像装置の製造法。 ４、撮像装置が固体撮像素子であることを特徴とする特
   許請求の範囲第３項記載のカラー撮像装置の製造法。 ５、（１）微粒子ハロゲン化銀・ゼラチン乳剤を含有す
   る感光性塗布液を透明支持体に塗布乾燥して感光性ゼラ
   チン層を形成する工程； （２）該ゼラチン層にマイクロパターンを介して光を照
   射することにより、ゼラチン層の露光処理を行なう工程
   ； （３）露光処理されたゼラチン層をタンニング現像処理
   して露光部分を硬化させ、ついで脱銀処理と未硬化部分
   を溶出する処理とを行なうことによりレリーフ像を形成
   する工程； （４）レリーフ像を染色して着色樹脂膜とする工程； （５）該着色樹脂膜の上に同様にして所望の数の着色樹
   脂膜を積層してマイクロカラーフィルターを形成する工
   程；および、 （６）マイクロカラーフィルターが形成された該支持体
   を撮像装置の受光部に付設する工程；を含むカラー撮像
   装置の製造法。 ６、撮像装置が固体撮像素子であることを特徴とする特
   許請求の範囲第５項記載のカラー撮像装置の製造法。 ７、（１）微粒子ハロゲン化銀・ゼラチン乳剤および色
   素を含有する感光性塗布液を透明支持体に塗布乾燥して
   感光性ゼラチン層を形成する工程； （２）該ゼラチン層にマイクロパターンを介して光を照
   射することにより、ゼラチン層の露光処理を行なう工程
   ； （３）露光処理されたゼラチン層をタンニング現像処理
   して露光部分を硬化させ、ついで脱銀処理と未硬化部分
   を溶出する処理とを行なうことにより着色樹脂膜を形成
   する工程； （５）該着色樹脂膜の上に同様にして所望の数の着色樹
   脂膜を積層してマイクロカラーフィルターを形成する工
   程；および、 （６）マイクロカラーフィルターが形成された該支持体
   を撮像装置の受光部に付設する工程；を含むカラー撮像
   装置の製造法。 ８、撮像装置が固体撮像素子であることを特徴とする特
   許請求の範囲第７項記載のカラー撮像装置の製造法。