JPS6142481U - 半導体装置の試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は被測定の半導体装置の斜視図、第２図は従来の
試験装置を示す一部断面にした正面図、第３図は第２図
の押付け片の装着機構を示す拡大断面図、第４図はこの
考案の一実施例による試験装置の要部を示す一部断面に
した正面図である。 １・・・半導体装置、３・・・リード、４・・・試験台
、４ａ・・・収容部、５・・・測定用基板、９・・・押
付け片、１０・・・ばね部材、２１・・・押えふた、２
２・・・ばね押え板、２３・・・支持部材、２４・・・
棒状可動体、２５・・・押えローラ、２６・・・支持軸
、２７・・・移動駆動手段、２８・・・駆動電動機、２
９・・・減速歯車手段、３０・・・小歯車、５０・・・
小歯車、３１・・・ラック、３３・・・台板。 なお、図中同一符号は同一又は相当部分を示す。

Claims (6)

【実用新案登録請求の範囲】
1. （１）磁性金属材からなり、上面中央部にくり下げられ
   た収容部が形成され試験台、この試験台の上部の一端部
   に開閉可能に支持され、閉じられると上記収容部上を覆
   う押えふた、上記収容部の底部に取付けられており、マ
   イクロ波回路が形成され、上面に複数の接触端子部が設
   けられており、載せられた被測定の半導体装置の各リー
   ドを対応する上記各接触端子部上に受ける測定用基板、
   上記押えふた上下動可能に保持され、ばね部材により押
   圧され下端部が上記押えふたの下面から突出しており、
   押えふたが閉じられると上記半導体装置の各リードをそ
   れぞれ上方から押える複数の押付け片、合板上に固定さ
   れた支持部材に水平方向に前進、後退可能に支持された
   棒状可動体、この可動体を前進、後退させる移動駆動手
   段、及び上記可動体の前端部に支持軸を介して回転自在
   に支持され、“可動体の前進により、閉じられてある上
   記押えふたを上方から押圧し、上記各押付け片で上記半
   導体装置の各リードを対応する上記各接触端子上に押圧
   接触させる押えローラを備えた半導体装置の試験装置。
2. （２）移動駆動手段は、駆動電動機の回転を減速歯車機
   構を介し、棒状可動体に設けられたラックに伝えるよう
   にした実用新案登録請求の範囲第１項記載の半導体装置
   の試験装置。
3. （３） 移動駆動手段は、流体圧シリンダにより棒状
   可動体を移動させるようにした実用新案登録請求の範囲
   第１項記載の半導体装置の試験装置。
4. （４） 押えローラの外円周の下部高さ位置の調整手
   段として、棒状可動体に垂直方向にねじ込んだ調整ねじ
   により、押えローラの支持軸の固定位置を上下方向に調
   整するようにした実用新案登録請求の範囲第１項ないし
   第３項のいづれかに記載の半導体装置。
5. （５）押えローラの外円周の下部高さ位置の調整手 ・
   段として、支持部材の下部に調整ライナを挿入し、枚数
   を可減するようにした実用新案登録請求の範囲第１項な
   いし第３項のいづれかに記載の半導体装置の試験装置。
6. （６）棒状可動体を押えふたを開閉回動可能に連結し、
   棒状動体の前進により押えふたを閉じ、後退により押え
   ふたを開くようにした実用新案登録請求の半導体装置の
   試験装置。