JPS6145495Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、ビームモニターなどの被駆動体のた
めの高真空の下に使用される直線駆動装置に関す
るものである。

例えば、ビームモニター装置は、高真空の下に
作動されるので、そのビームモニター保持部材が
外部に対して確実にシールされて取付けわくに対
して移動自在とされることが必要であることは無
論のことであるが、その全体の寸法も、できるだ
け小さいことが要求されている。また、ビームモ
ニター部分からのモニター用信号を高真空のシー
ルの維持の下に、外部に容易に取出すことが、可
能であることも必要である。

本考案は、このような種々の要求のすべてを満
足させることのできるビームモニターなどのため
の高真空用直線駆動装置を得ることを、その目的
とするものである。

以下、本考案をその１実施例を示す添付図面に
基づいて説明する。

ある間隔に対向して平行に１対の取付け板１，
２が、数本のロツド棒３によつて固定的に配置さ
れて、取付けわくが構成されている。これらの取
付け板１，２の間にはロツド棒３を包囲するよう
に中空円筒状のロータ４が回転自在に支持されて
いる。すなわち、ロータ４は、その１端部におい
て取付け板１に推力軸受５を介して支持され、そ
の他端部において、取付け板２に設けられた円周
溝６内に滑べり可能に支持されている。ロータ４
は、内面に雌角ねじを形成されており、これにか
み合う雄角ねじを外周に形成されている円板状の
真空フランジ７が、ロータ４の内部にねじ係合さ
れて配置されている。なお、この真空フランジ７
は、各ロツド棒３をゆるく貫通している。この真
空フランジ７には、取付け板１に面しているその
片面の中心部にモニターなどの被駆動部材の保持
用管８がその１端部において固着されているが、
このモニターなどの被駆動部材の保持用管８は、
取付け板１を貫通してその外部に突出している
が、取付板１の貫通部には、軸受９が取付けられ
ていて、モニターなどの被駆動部材の保持用管８
をしゆう動可能に支持している。また、モニター
などの被駆動部材の保持用管８は、ロータ４の内
部において、取付け板１と、真空フランジ７とに
各端部を気密に固着されているベローズ１０によ
つて包囲されていて、外部に対してシールされて
いる。

更に、取付け板２には、その取付け板１に面す
る側においてモータ１１が取付け板１２を介して
固着されており、その電機子軸１３には歯車１４
が固着されている。この歯車１４は、ロータ４に
その取付け板２に隣接する端部において固着され
た歯車１５にかみ合つており、モータ１１が駆動
されると、歯車１４，１５を介してロータ４が回
転されるようになつている。

このようにして、ロータ４が推力軸受５及び円
周溝６を介して取付け板１及び２に対して回転す
ると、この回転は、その内面に形成された雌角ね
じにねじ係合している雄角ねじを介して真空フラ
ンジ７に伝達される。この場合、真空フランジ７
は、ロツド棒３によつてその回転を阻止されてい
るので、真空フランジ７はロツド棒３に沿つて軸
方向にしゆう動し、従つて、真空フランジ７に固
着されたモニターなどの被駆動部材保持用管８も
軸方向にしゆう動し、その自由端部に取付けられ
るようにされたビームモニターなど（図示されて
いない）を、前後進させることができるようにな
つている。

また、この場合、真空フランジ７の位置を外部
から確認することができるように、ロータ４の外
周面に内周面と同一ピツチの雄角ねじを形成して
おき、これに係合するねじを内周面に有している
リング２０を、真空フランジ７を放射方向におい
て重なる位置においてねじ係合させてあるが、こ
のリング２０には、支持棒２１を放射方向に突出
させてあり、これを取付け板１に１端部において
固着された外筒２２に軸方向に形成されたみぞ２
３から突出させてある。このようにして、ロータ
４の回転によつて真空フランジ７が軸方向に移動
する時に、リング２０も同方向に同量だけ軸方向
に移動するので、その位置を支持棒２１の位置に
よつて知ることができる。なお、みぞ２３の両端
部において外筒２２にそれぞれリミツトスイツチ
２４を取付けておき、これを支持棒２１によつて
作動させるようにし、これによつて、ビームモニ
ターなどの被駆動部材の移動の両端部位置におい
て、リミツトスイツチ２４が作動しモータ１１の
運動を停止させるようにする。

更に、モータ１１の電機子軸１３には、歯車１
４の取付け端部と反対端部には、取付け棒３０を
介して歯車３１を取付けてあり、この歯車３１に
かみ合う歯車３２を、外筒２２に取付け板３３を
介して取付けられたポテンシヨメータ３４の回転
軸に取付けてある。このようにして、モータ１１
の回転をポテンシヨメータ３４を介して遠隔表示
させ、真空フランジ７、従つて、ビームモニター
などの被駆動部材の位置を間接表示させ、あるい
は、本装置の遠隔操作を可能とさせる。

また、真空フランジ７には、コネクタ４０を固
着し、これを介してビームモニターなどの被駆動
部材からモニターなどの被駆動部材の保持用管８
を貫通するケーブルを経て導かれるモニター用信
号の外部への取出しを、高真空のシールの維持の
下に可能としてある。

本考案装置は、上記のような構成および作用を
有しているので、次ぎのような効果を有してい
る。

すなわち (1) ビームモニターなどの被駆動部材の保持用管
８、真空シール用ベローズ１０、ロータ４が同
軸に配置されているので、全体をこじんまりと
まとめることができること (2) ビームモニターなどの被駆動部材の保持用管
８は、１端部を真空フランジ７によつて保持さ
れると共に他端部近くを取付け板１に軸受９に
よつて支持されているので、ビームモニターな
どの被駆動部材保持用管８の振れがほとんどな
く、また、その高精度の位置決めが可能である
こと (3) ビームモニターなどの被駆動部材用信号が、
ビームモニターなどの被駆動部材保持用管８及
びコネクタ４０を介して、容易に且つ外部に対
して完全にシールされて取出されること (4) モータ１１を両取付け板１，２の間において
ロータ４に対して平行に取付けてあるので、装
置の全長を短縮することのできること などである。

【図面の簡単な説明】

図は、本考案の１実施例を示す縦断面図であ
る。 １，２……取付け板；３……ロツド棒；４……
ロータ；７……真空フランジ；８……ビームモニ
ターなどの被駆動部材保持用部材；１１……モー
タ；１４，１５，３１，３２……歯車；４０……
コネクタ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ ある間隔を置いて対向して平行に配置された
   １対の取付け板１，２を、数本のロツド棒３に
   より相互に固定的に取付けることにより取付け
   わくを構成し、この取付けわくの内部に中空円
   筒状のロータ４をロツド棒３を包囲するように
   回転自在に取り付け板１，２により支承し、ロ
   ータ４の内周面には雌ねじを形成し、この雌ね
   じに係合する雄ねじを外周面に設けられた円板
   状の真空フランジ７を、ロツド棒３がこれをゆ
   るく貫通するようにすることにより回転不能に
   ロータ４の内部に収容し、また、真空フランジ
   ７には、同軸にビームモニターなどの被駆動部
   材保持用部材８をその一端部において固着する
   と共にその他端部を取付けわくを構成する一方
   の取付け板１を貫通して外部に突出させ、更
   に、ビームモニターなどの被駆動部材保持用部
   材８を、これが貫通する取付け板１と、真空フ
   ランジ７とに各端部を固着されたベローズ１０
   により包囲し、また、ロータ４を取付けわくに
   取付けたモータ１１を介して駆動するようにし
   たビームモニターなどのための高真空用直線駆
   動装置。 ２ モータ１１を、他方の取付け板２に、その一
   方の取付け板１に面する側において固着し、ま
   た、その電機子軸及びロータ４に歯車１４及び
   歯車１５を、それぞれ、取付け、これらの歯車
   １４，１５を相互にかみ合わせるようにした実
   用新案登録請求の範囲第１項記載の高真空用直
   線駆動装置。 ３ ビームモニターなどの被駆動部材保持用部材
   ８を中空管から形成し、これを貫通して配置さ
   れたモニター用ケーブルを真空フランジ７に固
   着されたコネクタ４０に接続して成る実用新案
   登録請求の範囲第１又は２項記載のビームモニ
   ターなどのための高真空用直線駆動装置。