JPS6147046A - 電子顕微鏡像の部分強調装置 - Google Patents
電子顕微鏡像の部分強調装置Info
- Publication number
- JPS6147046A JPS6147046A JP59169117A JP16911784A JPS6147046A JP S6147046 A JPS6147046 A JP S6147046A JP 59169117 A JP59169117 A JP 59169117A JP 16911784 A JP16911784 A JP 16911784A JP S6147046 A JPS6147046 A JP S6147046A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contrast
- window
- display
- electron microscope
- area
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Television Receiver Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、電子顕微鏡像の指定されたウィンドウ領域に
ついてコントラストの強調を行う電子顕微鏡像の部分強
m装置に関するものである。
ついてコントラストの強調を行う電子顕微鏡像の部分強
m装置に関するものである。
電子a徽鏡像のコントラストの強調については、従来は
T補正等特定の変換曲線を使って変換を行う方法Φ、叉
は外部画像記憶装置に電子顕微鏡のデータを一端出力し
、その中で変換テーブル等を使ってディジタル的にいろ
いろな変換を行う方法■があった。
T補正等特定の変換曲線を使って変換を行う方法Φ、叉
は外部画像記憶装置に電子顕微鏡のデータを一端出力し
、その中で変換テーブル等を使ってディジタル的にいろ
いろな変換を行う方法■があった。
しかしながら、前者の方法のでは、補正が特定の変換曲
線に限られており、変換曲線を変えることができなかっ
た。叉、画像の一部のみのコントラストを変えることも
不可能であった。
線に限られており、変換曲線を変えることができなかっ
た。叉、画像の一部のみのコントラストを変えることも
不可能であった。
他方、後者の方法■では、外部画像記憶装置を用意せね
ばならず、装置が非常に高価なものとなった。また、画
像の一部のみのコントラストを変えることはディジタル
処理が必要で、更に外部コンビエータが必要であった。
ばならず、装置が非常に高価なものとなった。また、画
像の一部のみのコントラストを変えることはディジタル
処理が必要で、更に外部コンビエータが必要であった。
本発明は、上記の問題点の解決を図るものであって、画
像の一部のみのコントラストの強調を容易に行うことが
できる電子顕微鏡像の部分強調装置を提供することを目
的とするものである。
像の一部のみのコントラストの強調を容易に行うことが
できる電子顕微鏡像の部分強調装置を提供することを目
的とするものである。
そのために本発明の電子顕微鏡像の部分強調装置は、電
子顕微鏡像にウィンドウの指定を行い、当該指定したウ
ィンドウ領域のみコントラストの強調を行う電子m微鏡
像の部分性mv装置であって、コントラストの強調特性
を設定するコントラスト設定手段、ウィンドウ位置を指
定するウィンドウ指定手段、及び電子顕微鏡像信号をデ
ィスプレイ画面上に表示する表示制御手段を具備し、該
表示制御手段は、走査信号が、ウィンドウ指定手段で指
定されたウィンドウ領域か否かを調べ、ウィンドウ領域
であることを条件にコントラスト設定手段で設定された
コントラストの強調特性により電子顕微鏡像信号を表示
するように構成したことを特徴とするものである。
子顕微鏡像にウィンドウの指定を行い、当該指定したウ
ィンドウ領域のみコントラストの強調を行う電子m微鏡
像の部分性mv装置であって、コントラストの強調特性
を設定するコントラスト設定手段、ウィンドウ位置を指
定するウィンドウ指定手段、及び電子顕微鏡像信号をデ
ィスプレイ画面上に表示する表示制御手段を具備し、該
表示制御手段は、走査信号が、ウィンドウ指定手段で指
定されたウィンドウ領域か否かを調べ、ウィンドウ領域
であることを条件にコントラスト設定手段で設定された
コントラストの強調特性により電子顕微鏡像信号を表示
するように構成したことを特徴とするものである。
本発明の電子U微鏡像の部分強m装置では、コントラス
ト設定手段によりコントラストの強調特性を設定し、ウ
ィンドウ指定手段により電子顕微鏡像の中のウィンドウ
領域を指定すると、表示制御手段において走査信号より
ウィンドウ領域を判定する。そして、ウィンドウ領域以
外の領域の場合には電子増倍管から送られてきた電子顕
微鏡像をそのままディスプレイ画面上に表示し、ウィン
ドウ領域では電子a徽鏡像を設定されたコントラストの
強調特性に従ってディスプレイ画面上に表示する。また
、設定されたコントラストの強調特性のルンク・アップ
・テーブル(Look Up Table)は、ディス
プレイ画面上の一部領域を使って表示される。
ト設定手段によりコントラストの強調特性を設定し、ウ
ィンドウ指定手段により電子顕微鏡像の中のウィンドウ
領域を指定すると、表示制御手段において走査信号より
ウィンドウ領域を判定する。そして、ウィンドウ領域以
外の領域の場合には電子増倍管から送られてきた電子顕
微鏡像をそのままディスプレイ画面上に表示し、ウィン
ドウ領域では電子a徽鏡像を設定されたコントラストの
強調特性に従ってディスプレイ画面上に表示する。また
、設定されたコントラストの強調特性のルンク・アップ
・テーブル(Look Up Table)は、ディス
プレイ画面上の一部領域を使って表示される。
以下、実施例を図面を参照しつつ説明する。
第1図は本発明の1実施例構成を示す図、第2図はディ
スプレイ画面の表示例を示す図、第3図はコントラスト
の強調特性の設定例を説明する図、第4図は表示制御部
の具体的な構成例を示す図、第5図はコントラスト強!
l1vi域の表示態様を説明する信号波形図、第6図は
ルック・アップ・テーブル表示領域を設けたディスプレ
イ画面の表示例を示す図、第7図はDZM機能を用いた
電子顕微鏡像の表示例を説明する図、第8図は本発明の
他の実施例構成を示す図である0図において、lは電子
増倍管、2は増幅器、3は表示制御部、4は観察用CR
T、5はビーム制御部、6はスキャン・オシレータ、7
はコントラスト持重設定手段、8はウィンドウ位置指定
手段、9はウィンドウ・サイズ指定手段、1Gは表示画
面、11はウィンドウ部、12はルック・アンプ・テー
ブル、13は全体像、14はウィンドウ部の拡大像、1
5はDZM処理部、31はエンハンス回路、32はタイ
ミング・パルス発生回路、VRIないしVH2は可変抵
抗、R1ないしRnは抵抗、Sはスイッチをそれぞれ示
している。
スプレイ画面の表示例を示す図、第3図はコントラスト
の強調特性の設定例を説明する図、第4図は表示制御部
の具体的な構成例を示す図、第5図はコントラスト強!
l1vi域の表示態様を説明する信号波形図、第6図は
ルック・アップ・テーブル表示領域を設けたディスプレ
イ画面の表示例を示す図、第7図はDZM機能を用いた
電子顕微鏡像の表示例を説明する図、第8図は本発明の
他の実施例構成を示す図である0図において、lは電子
増倍管、2は増幅器、3は表示制御部、4は観察用CR
T、5はビーム制御部、6はスキャン・オシレータ、7
はコントラスト持重設定手段、8はウィンドウ位置指定
手段、9はウィンドウ・サイズ指定手段、1Gは表示画
面、11はウィンドウ部、12はルック・アンプ・テー
ブル、13は全体像、14はウィンドウ部の拡大像、1
5はDZM処理部、31はエンハンス回路、32はタイ
ミング・パルス発生回路、VRIないしVH2は可変抵
抗、R1ないしRnは抵抗、Sはスイッチをそれぞれ示
している。
第1図において、コントラスト特性設定手段7は、可変
抵抗VRLとVH2とを使って例えば第3図図示の如り
出力算度のローレベル、ハイレベルのそれぞれに対応す
る入力輝度レベルa−,bを設定するものであり、ウィ
ンドウ位置指定手段8は、可変抵抗VR3とVH2とを
使ワて例えば第2図図示の如きウィンドウ部11の位置
(例えばウィンドウ部11の先頭座標位置)を指定する
ものであり、ウィンドウ・サイズ指定手段9は、スイッ
チSにより抵抗R1ないしRnを切り携えることによっ
てウィンドウ部11の大きさを指定するものである。ビ
ーム制御部5は、スキャン・オシレータ6よりスキ ・
ヤン信号を受けて試料(図示省略)上をスキャンし、同
じ(、観察用CRT4は、スキャン・オシレータ6から
供給されるスキャン信号をもとに、表示制御部3を通し
て送られてきた顕微鏡像を表示する0表示制御部3は、
スキャン・オシレータ6よりスキャン信号を受け、ウィ
ンドウ位置指定手段8とウィンドウ・サイズ指定手段9
の指定内容を参照してウィンドウf、l域を判定し、ス
キャン・タイミングがウィンドウ領域でない場合には増
幅器2を通して送られてきた顕微鏡像信号の入力輝度レ
ベルをそのまま観察用CRT4表示の出力輝度レベルと
する。しかし、スキャン・タイミングがウィンドウ領域
である場合には増幅器2を通して送られてきた顕微鏡像
信号の入力輝度レベルをコントラスト特性設定手段7に
より設定された出力輝度レベルに変換して観察用CRT
4に送る。
抵抗VRLとVH2とを使って例えば第3図図示の如り
出力算度のローレベル、ハイレベルのそれぞれに対応す
る入力輝度レベルa−,bを設定するものであり、ウィ
ンドウ位置指定手段8は、可変抵抗VR3とVH2とを
使ワて例えば第2図図示の如きウィンドウ部11の位置
(例えばウィンドウ部11の先頭座標位置)を指定する
ものであり、ウィンドウ・サイズ指定手段9は、スイッ
チSにより抵抗R1ないしRnを切り携えることによっ
てウィンドウ部11の大きさを指定するものである。ビ
ーム制御部5は、スキャン・オシレータ6よりスキ ・
ヤン信号を受けて試料(図示省略)上をスキャンし、同
じ(、観察用CRT4は、スキャン・オシレータ6から
供給されるスキャン信号をもとに、表示制御部3を通し
て送られてきた顕微鏡像を表示する0表示制御部3は、
スキャン・オシレータ6よりスキャン信号を受け、ウィ
ンドウ位置指定手段8とウィンドウ・サイズ指定手段9
の指定内容を参照してウィンドウf、l域を判定し、ス
キャン・タイミングがウィンドウ領域でない場合には増
幅器2を通して送られてきた顕微鏡像信号の入力輝度レ
ベルをそのまま観察用CRT4表示の出力輝度レベルと
する。しかし、スキャン・タイミングがウィンドウ領域
である場合には増幅器2を通して送られてきた顕微鏡像
信号の入力輝度レベルをコントラスト特性設定手段7に
より設定された出力輝度レベルに変換して観察用CRT
4に送る。
その結果、ウィンドウ部11では、入力輝度レベル ゛
がaからbの間についてはコントラストの僅かな違いも
鮮明に観察することができる。
がaからbの間についてはコントラストの僅かな違いも
鮮明に観察することができる。
表示制御部3は、例えば第4図の如く構成される。第4
図において、スキャン・オシレータ6から第5図図示の
Talの如き水平スキャン同期信号(CRT Hori
zontal 5can Signal)がタイミング
・パルス発生回路32に送られると、タイミング・パル
ス発生回路32はウィンドウ位置指定とウィンドウ・サ
イズ指定とをもとにウィンドウ領域を判定して第5図図
示のQllの如きエンハンス用タイミング・パルスを発
生する。エンハンス回路31は、タイミング・パルス発
生回路32からエンハンス用タイミング・パルスを受け
ると、その間Tでは第5図図示の(C1の如きイメージ
・シグナル(IN)をコントラスト特性設定内容に従っ
てコントラストを強調した第5図図示のTd+の如きイ
メージ・シグナル(OtlT)に変換して観察用CRT
4に送る。
図において、スキャン・オシレータ6から第5図図示の
Talの如き水平スキャン同期信号(CRT Hori
zontal 5can Signal)がタイミング
・パルス発生回路32に送られると、タイミング・パル
ス発生回路32はウィンドウ位置指定とウィンドウ・サ
イズ指定とをもとにウィンドウ領域を判定して第5図図
示のQllの如きエンハンス用タイミング・パルスを発
生する。エンハンス回路31は、タイミング・パルス発
生回路32からエンハンス用タイミング・パルスを受け
ると、その間Tでは第5図図示の(C1の如きイメージ
・シグナル(IN)をコントラスト特性設定内容に従っ
てコントラストを強調した第5図図示のTd+の如きイ
メージ・シグナル(OtlT)に変換して観察用CRT
4に送る。
なお、本発明は、上記の如き構成に限定されるものでは
なく、第6図図示の如く表示画面10の一部にコントラ
ストの強調特性を表示するルック・アップ・テーブル1
2を設けてもよい、このルック・アンプ・テーブル12
は、下から入力輝度レベルに対応して出力輝度レベルが
表示される。従って、第3図図示の如きコントラストの
強調特性が表示された場合には、上部付近−帯は最大輝
度、下部付近−帯は最低輝度で表示され、中央部付近の
みで最大輝度から最低輝度までの輝度変化が見られる。
なく、第6図図示の如く表示画面10の一部にコントラ
ストの強調特性を表示するルック・アップ・テーブル1
2を設けてもよい、このルック・アンプ・テーブル12
は、下から入力輝度レベルに対応して出力輝度レベルが
表示される。従って、第3図図示の如きコントラストの
強調特性が表示された場合には、上部付近−帯は最大輝
度、下部付近−帯は最低輝度で表示され、中央部付近の
みで最大輝度から最低輝度までの輝度変化が見られる。
また、エンハンス回路31ではフィルタ機能をもたせ、
ウィンドウの部分ではフィルタ機能を働かせるようにし
てもよい、さらには第7図図示の如く、走査顕微鏡に従
来からあるD Z M (Dual Z。
ウィンドウの部分ではフィルタ機能を働かせるようにし
てもよい、さらには第7図図示の如く、走査顕微鏡に従
来からあるD Z M (Dual Z。
ova Magnificatton)機能(例えば特
公昭46−24459号公報)を用いた顕微鏡像にウィ
ンドウ指定を行い、その指定した部分にのみコントラス
トの強調表示を行ってもよい。
公昭46−24459号公報)を用いた顕微鏡像にウィ
ンドウ指定を行い、その指定した部分にのみコントラス
トの強調表示を行ってもよい。
DZMllitlを適用した本発明の他の実施例構成を
示したのが第8図である。DZM機能では、第7図図示
の如(観察用CRT上の表示画面10を2分し、左側に
ウィンドウ部11を指定した元の全体像13を、右側に
ウィンドウ部11の拡大像14を表示する。ウィンドウ
部11は例えば1辺の長さを元の全体像13に対して1
.1/2 、l八等により選択ができるように構成され
る。そこで、第8図図示構成の装置では、この02Mm
能をもつDZM処理部15から表示制御部3がタイミン
グ・パルスを受けると、そのタイミング・パルスで指定
された時間のみ指定された強調特性により像のコントラ
ストを変換し、観察用CRT4に表示する。
示したのが第8図である。DZM機能では、第7図図示
の如(観察用CRT上の表示画面10を2分し、左側に
ウィンドウ部11を指定した元の全体像13を、右側に
ウィンドウ部11の拡大像14を表示する。ウィンドウ
部11は例えば1辺の長さを元の全体像13に対して1
.1/2 、l八等により選択ができるように構成され
る。そこで、第8図図示構成の装置では、この02Mm
能をもつDZM処理部15から表示制御部3がタイミン
グ・パルスを受けると、そのタイミング・パルスで指定
された時間のみ指定された強調特性により像のコントラ
ストを変換し、観察用CRT4に表示する。
なお、上記の説明ではコントラスト特性設定手段や、ウ
ィンドウ位置指定手段、ウィンドウ・サイズ指定手段等
として、可変抵抗、抵抗、スイッチ等を使ワた構成を例
示したが、これらの手段は、キー・ボードによりキー指
定したり、また、ライト・ペンや他のポインティング・
デバイスを使ってウィンドウの先頭の表示位置と最後の
表示位置とを指定するようにするなど、他の構成と置き
換えても本発明の目的を達成できることは云うまでもな
い。
ィンドウ位置指定手段、ウィンドウ・サイズ指定手段等
として、可変抵抗、抵抗、スイッチ等を使ワた構成を例
示したが、これらの手段は、キー・ボードによりキー指
定したり、また、ライト・ペンや他のポインティング・
デバイスを使ってウィンドウの先頭の表示位置と最後の
表示位置とを指定するようにするなど、他の構成と置き
換えても本発明の目的を達成できることは云うまでもな
い。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、画像
の特定部分のみコントラストの強調表示を行うことによ
り、コントラストの僅かな部分を鮮明にすることができ
、その際、他の部分がハレーシランや黒ぺたとなって見
に(くなるのを防ぐことができる。また、強調したい領
域の設定も例えば2個のスライド・スイッチを用いるだ
けの簡単な構成でも実現できる。さらには、ルック・ア
ップ・テーブルを表示することにより、コントラストの
特性を明示することによって、写真を撮る場合など、そ
れを後日みてもコントラストの特性を参照することがで
きる。特に部分的なコントラストの強調表示は、従来、
画像処理装置が必要であると考えられていたが、本発明
によれば簡単な構成により安価に部分的なコントラスト
の強調表示を行うことができる。
の特定部分のみコントラストの強調表示を行うことによ
り、コントラストの僅かな部分を鮮明にすることができ
、その際、他の部分がハレーシランや黒ぺたとなって見
に(くなるのを防ぐことができる。また、強調したい領
域の設定も例えば2個のスライド・スイッチを用いるだ
けの簡単な構成でも実現できる。さらには、ルック・ア
ップ・テーブルを表示することにより、コントラストの
特性を明示することによって、写真を撮る場合など、そ
れを後日みてもコントラストの特性を参照することがで
きる。特に部分的なコントラストの強調表示は、従来、
画像処理装置が必要であると考えられていたが、本発明
によれば簡単な構成により安価に部分的なコントラスト
の強調表示を行うことができる。
第1図は本発明の1実施例構成を示す図、第2図はディ
スプレイ画面の表示例を示す図、第3図はコントラスト
の強調特性の設定例を説明する図、第4mは表示制御部
の具体的な構成例を示す図、第5Wはコントラスト強t
Atl域の表示態様を説明する償号波形図、第6図はル
ック・アップ・テーブル表示領域を設けたディスプレイ
画面の表示例を示す図、第7図は02M機能を用1)だ
電子顕微鏡像の表示例を説明する図、第8図は本発明の
他の実施例構成を示す図である。 1・・・電子増倍管、2・・・増幅器、3・・・表示a
m部、4・・・観察用CRT、5・・・ビーム制御部、
6・・・スキャン・オシレータ、7・・・コントラスト
特性設定手段、8・・・ウィンドウ位置指定手段、9・
・・ウィンドウ・サイズ指定手段、10・・・表示画面
、11・・・ウィンドウ部、12・・・ルック・アンプ
・テーブル、13・・・全体像、14・・・ウィンドウ
部の拡大像、15・・−D Z M処理部、31・・・
エンハンス回路、32・・・タイミング・パルス発生回
路、νR工ないしVH2・・・可変抵抗、R1ないしR
n・・・抵抗、S・・・スイッチ。 特許出願人 日本電子株式会社 代理人弁理士 阿 部 龍 吉 プ 2図 プ 3 図 ゲ4図 ケ5図 ゲ 6図
スプレイ画面の表示例を示す図、第3図はコントラスト
の強調特性の設定例を説明する図、第4mは表示制御部
の具体的な構成例を示す図、第5Wはコントラスト強t
Atl域の表示態様を説明する償号波形図、第6図はル
ック・アップ・テーブル表示領域を設けたディスプレイ
画面の表示例を示す図、第7図は02M機能を用1)だ
電子顕微鏡像の表示例を説明する図、第8図は本発明の
他の実施例構成を示す図である。 1・・・電子増倍管、2・・・増幅器、3・・・表示a
m部、4・・・観察用CRT、5・・・ビーム制御部、
6・・・スキャン・オシレータ、7・・・コントラスト
特性設定手段、8・・・ウィンドウ位置指定手段、9・
・・ウィンドウ・サイズ指定手段、10・・・表示画面
、11・・・ウィンドウ部、12・・・ルック・アンプ
・テーブル、13・・・全体像、14・・・ウィンドウ
部の拡大像、15・・−D Z M処理部、31・・・
エンハンス回路、32・・・タイミング・パルス発生回
路、νR工ないしVH2・・・可変抵抗、R1ないしR
n・・・抵抗、S・・・スイッチ。 特許出願人 日本電子株式会社 代理人弁理士 阿 部 龍 吉 プ 2図 プ 3 図 ゲ4図 ケ5図 ゲ 6図
Claims (2)
- (1)電子顕微鏡像にウィンドウの指定を行い、当該指
定したウィンドウ領域のみコントラストの強調を行う電
子顕微鏡像の部分強調装置であって、コントラストの強
調特性を設定するコントラスト設定手段、ウィンドウ位
置を指定するウィンドウ指定手段、及び電子顕微鏡像信
号をディスプレイ画面上に表示する表示制御手段を具備
し、該表示制御手段は、走査信号が、ウィンドウ指定手
段で指定されたウィンドウ領域か否かを調べ、ウィンド
ウ領域であることを条件にコントラスト設定手段で設定
されたコントラストの強調特性により電子顕微鏡像信号
を表示するように構成したことを特徴とする電子顕微鏡
の部分強調装置。 - (2)表示制御手段は、ディスプレイ画面上の一部領域
にコントラストの強調特性を表示するように構成したこ
とを特徴とする特許請求の範囲第(1)項に記載の電子
顕微鏡の部分強調装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59169117A JPS6147046A (ja) | 1984-08-13 | 1984-08-13 | 電子顕微鏡像の部分強調装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59169117A JPS6147046A (ja) | 1984-08-13 | 1984-08-13 | 電子顕微鏡像の部分強調装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6147046A true JPS6147046A (ja) | 1986-03-07 |
Family
ID=15880610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59169117A Pending JPS6147046A (ja) | 1984-08-13 | 1984-08-13 | 電子顕微鏡像の部分強調装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6147046A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03252279A (ja) * | 1990-03-01 | 1991-11-11 | Nippon Avionics Co Ltd | オートコントラストエンハンス回路 |
| US5681112A (en) * | 1991-03-22 | 1997-10-28 | Hitachi, Ltd. | Image enhancement |
-
1984
- 1984-08-13 JP JP59169117A patent/JPS6147046A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03252279A (ja) * | 1990-03-01 | 1991-11-11 | Nippon Avionics Co Ltd | オートコントラストエンハンス回路 |
| US5681112A (en) * | 1991-03-22 | 1997-10-28 | Hitachi, Ltd. | Image enhancement |
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