JPS6147049A - 飛行時間による質量スペクトル定量方法及び飛行時間型質量分析計 - Google Patents
飛行時間による質量スペクトル定量方法及び飛行時間型質量分析計Info
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- JPS6147049A JPS6147049A JP60174961A JP17496185A JPS6147049A JP S6147049 A JPS6147049 A JP S6147049A JP 60174961 A JP60174961 A JP 60174961A JP 17496185 A JP17496185 A JP 17496185A JP S6147049 A JPS6147049 A JP S6147049A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/10—Ion sources; Ion guns
- H01J49/16—Ion sources; Ion guns using surface ionisation, e.g. field-, thermionic- or photo-emission
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
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- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/40—Time-of-flight spectrometers
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- Analytical Chemistry (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、飛行時間による質量スペクトルの定量に関す
るものである。
るものである。
本願の発明は、飛行時間によって質量スペクトルを定量
するものであり、固体表層ををする放出源にその固体表
層と電極との間の電界の作用を及ぼすことによって、電
子と自然脱着によって解放された負イオンとの同時放出
を引き起こし、上記の電子及び負イオンを検出器によっ
て受け止めて、上記の電子と負イオンとの受け止めの瞬
間の差の関数として質量スペクトルを定量する様にした
ものである。
するものであり、固体表層ををする放出源にその固体表
層と電極との間の電界の作用を及ぼすことによって、電
子と自然脱着によって解放された負イオンとの同時放出
を引き起こし、上記の電子及び負イオンを検出器によっ
て受け止めて、上記の電子と負イオンとの受け止めの瞬
間の差の関数として質量スペクトルを定量する様にした
ものである。
飛行時間型質量分析計では、分析されるべき物質を含ん
でいる放出源からイオンが取り出される。
でいる放出源からイオンが取り出される。
そして取り出されたイオンの質量は、検出装置まで飛行
する時間を測定することによって定量される。
する時間を測定することによって定量される。
イオン源は例えば固体表層によって構成されており、こ
の固体表層から脱着によってイオンが解放される。
の固体表層から脱着によってイオンが解放される。
この目的のために幾つかの技術が用いられている０例え
ば、サイクロトロンで加速された１次イオンで固体表層
を衝撃したり、高エネルギー放射に固体表層をさらした
りしている。また、放射性源カリホルニウム２５２を用
いることもよく知られている。このカリホルニウム２５
２は、互いに反対の方向へ２つの核分裂破片を放出する
。そのうちの１つは、イオンを解放するために固体表層
へ向かい、他の１つは、検出されることによって時間的
基準（開始信号）を与えるための電子を射出するために
金属片へ向かう。
ば、サイクロトロンで加速された１次イオンで固体表層
を衝撃したり、高エネルギー放射に固体表層をさらした
りしている。また、放射性源カリホルニウム２５２を用
いることもよく知られている。このカリホルニウム２５
２は、互いに反対の方向へ２つの核分裂破片を放出する
。そのうちの１つは、イオンを解放するために固体表層
へ向かい、他の１つは、検出されることによって時間的
基準（開始信号）を与えるための電子を射出するために
金属片へ向かう。
本願の発明は、公知の方法よりも極めて簡単な条件のも
とで飛行時間によって質量スペクトルを定量するための
方法を提供することを第１の目的としている。
とで飛行時間によって質量スペクトルを定量するための
方法を提供することを第１の目的としている。
また本願の発明は、この様な方法を実行するための飛行
時間による質量分析計を提供することを第２−の目的と
している。
時間による質量分析計を提供することを第２−の目的と
している。
上記の第１の目的は、電子と自然脱着による負イオンと
の同時放出を引き起こす定電界の作用を固体表層を有す
る放出源に及ぼし、この放出源と検出装置との間の電子
及び負イオンの飛行時間の差から質量スペクトルを定量
するという本願の発明による方法によって達成される。
の同時放出を引き起こす定電界の作用を固体表層を有す
る放出源に及ぼし、この放出源と検出装置との間の電子
及び負イオンの飛行時間の差から質量スペクトルを定量
するという本願の発明による方法によって達成される。
２
この発明は、定電界を印加することによって、時間に関
して相関関係にある電子と負イオンとの放出が意外にも
引き起こされるという観察に基づいている。その時、検
出装置の電子の受け止めが、この検出装置に到達する負
イオンの飛行時間を測定すための時間的基準を与える。
して相関関係にある電子と負イオンとの放出が意外にも
引き起こされるという観察に基づいている。その時、検
出装置の電子の受け止めが、この検出装置に到達する負
イオンの飛行時間を測定すための時間的基準を与える。
質量スペクトルの飛行時間による定量が簡単になる他に
、この発明による方法には、イオン源を破壊する虞れが
ないという利点も存している。
、この発明による方法には、イオン源を破壊する虞れが
ないという利点も存している。
上記の自然脱着は、著しく高い強度の電界を必要とはし
ない、目安として、１〜３ Ｍ Ｖ ／ ｍの定強度電
界で十分である。
ない、目安として、１〜３ Ｍ Ｖ ／ ｍの定強度電
界で十分である。
また、上記の第２の目的は、真空源に接続される様にな
されている密閉容器と、この密閉容器内に配されている
固体表層によって形成されている放出源から脱着によっ
てイオンを解放するための手段と、上記の放出源から発
しているイオンを検出するための手段を有する検出装置
と、上記の放出源と上記の検出装置との間のイオンの飛
行時間を表わしている量から求めるべき質量スペクトル
を定量するためめ測定装置とを夫々具備し、更に電子と
自然脱着によって上記の固体表層から解放された負イオ
ンとの同時放出を引き起こすために、上記の固体表層と
この固体表層の前方に配されているグリッド状電極との
間に定電界を発生させるための手段が設けられていると
共に、上記の検出装置による電子の受け止めと負イオン
の受け止めとを分離している時間間隔を表わしている量
を作り出すための手段を、上記の測定装置が具備してい
る質量分析計によって達成される。
されている密閉容器と、この密閉容器内に配されている
固体表層によって形成されている放出源から脱着によっ
てイオンを解放するための手段と、上記の放出源から発
しているイオンを検出するための手段を有する検出装置
と、上記の放出源と上記の検出装置との間のイオンの飛
行時間を表わしている量から求めるべき質量スペクトル
を定量するためめ測定装置とを夫々具備し、更に電子と
自然脱着によって上記の固体表層から解放された負イオ
ンとの同時放出を引き起こすために、上記の固体表層と
この固体表層の前方に配されているグリッド状電極との
間に定電界を発生させるための手段が設けられていると
共に、上記の検出装置による電子の受け止めと負イオン
の受け止めとを分離している時間間隔を表わしている量
を作り出すための手段を、上記の測定装置が具備してい
る質量分析計によって達成される。
以下、図面を参照して本願の発明を更に詳細に説明す−
る。
る。
第１図に示す分析針は、管１０を不可欠に有している。
この管１０は、この管１０の内部を例えばＩＯ−’〜１
０−’）ルの高い真空状態にするための真空源（ｒｊＩ
Ｊ示せず）に接続されている。
０−’）ルの高い真空状態にするための真空源（ｒｊＩ
Ｊ示せず）に接続されている。
イオン源１１は、管ｌＯの内部でこの管１０の第１の端
部つまり後端部の近傍に配されている。
部つまり後端部の近傍に配されている。
第１図の実施例では、イオン源１１は平らな円盤状の薄
い金属片１１ａによって構成されている。
い金属片１１ａによって構成されている。
金属片１１ａの前面には、質量を分析されるべき化合物
、特に有機化合物の薄い均一な層１１ｂが堆積されてい
る。金属片１１ａは、例えば厚さ５ミクロンのアルミニ
ウム片である０分析されるべき化合物は、例えば静電射
出によって金属片１１ａに堆積されており、堆積されて
いる化合物の質量は数マイクログラムのオーダである。
、特に有機化合物の薄い均一な層１１ｂが堆積されてい
る。金属片１１ａは、例えば厚さ５ミクロンのアルミニ
ウム片である０分析されるべき化合物は、例えば静電射
出によって金属片１１ａに堆積されており、堆積されて
いる化合物の質量は数マイクログラムのオーダである。
管ｌＯの第２の端部つまり前端部の近傍で、管１０は検
出装置１２を内挿している。この検出装置１２は、通常
のマイクロチャネルウェハ検出器によって構成されてお
り、管１０の外部の測定装置１３に接続されている。
出装置１２を内挿している。この検出装置１２は、通常
のマイクロチャネルウェハ検出器によって構成されてお
り、管１０の外部の測定装置１３に接続されている。
本願の発明の不可欠な特徴によれば、イオン源１０に定
電界の作用を及ぼすことによって、イオン源ｌＯからの
電子と負イオンとの同時放出が引き起こされる。このた
めに金属片１１ａの前方に金属片１１ａに平行に且つ金
属片１１ａから離間してグリッド状電極１５が配されて
おり、金属片１１ａとグリッド状電極１５との間に電位
差が与えられている０例えば、グリッド状電極１５は基
準電位（アース）に設定されており、一方、金属片１１
ａには、電圧源１６によって供給される定員電圧−■が
管１０の壁を貫通している導体を介して印加されている
。
電界の作用を及ぼすことによって、イオン源ｌＯからの
電子と負イオンとの同時放出が引き起こされる。このた
めに金属片１１ａの前方に金属片１１ａに平行に且つ金
属片１１ａから離間してグリッド状電極１５が配されて
おり、金属片１１ａとグリッド状電極１５との間に電位
差が与えられている０例えば、グリッド状電極１５は基
準電位（アース）に設定されており、一方、金属片１１
ａには、電圧源１６によって供給される定員電圧−■が
管１０の壁を貫通している導体を介して印加されている
。
電界の作用を受けて放出された電子と負イオンとは、電
界によって加速され、電極１５を通り抜けて検出装置１
２にまで飛行する。なお電極１５は、高い透過率（例え
ば９０％）を有する非常に微細なグリッドによって形成
されているのが望ましい。
界によって加速され、電極１５を通り抜けて検出装置１
２にまで飛行する。なお電極１５は、高い透過率（例え
ば９０％）を有する非常に微細なグリッドによって形成
されているのが望ましい。
電子とイオンとは、同時に放出され、質量が増加してい
る順番で順次に受け止められる。電子またはイオンを受
け止めるたびに、検出装置１２は電気信号ｓｄを生成し
、この電気信号ｓｄは測定装置１３へ供給される。電子
の放出とイオンの放出との間には時間的相関関係が存在
しており、また電子の飛行時間が知られているので、検
出装置１２による電子の受け止めは、その後に受け止め
られる負イオンの飛行時間を測定するための時間的基準
として用いることができる。
る順番で順次に受け止められる。電子またはイオンを受
け止めるたびに、検出装置１２は電気信号ｓｄを生成し
、この電気信号ｓｄは測定装置１３へ供給される。電子
の放出とイオンの放出との間には時間的相関関係が存在
しており、また電子の飛行時間が知られているので、検
出装置１２による電子の受け止めは、その後に受け止め
られる負イオンの飛行時間を測定するための時間的基準
として用いることができる。
測定装置１３は、定分数弁別回路２１、時間−計数変換
器２２及びデータ取得回路２３を有している。
器２２及びデータ取得回路２３を有している。
定分数弁別回路２１は、後続の回路に適合するレベルに
まで校正されたパルスへ各信号Ｓａを変換する。この様
な定分数弁別回路２１はそれ自体が知られており、フラ
ンスの会社であるエネルテック（シェルンベルジェ）社
によって照合番号７１７４で売られている回路が、特に
使用されてよい。
まで校正されたパルスへ各信号Ｓａを変換する。この様
な定分数弁別回路２１はそれ自体が知られており、フラ
ンスの会社であるエネルテック（シェルンベルジェ）社
によって照合番号７１７４で売られている回路が、特に
使用されてよい。
定分数弁別回路２１の出力は、一方では、時間−計数変
換器２２の開始制御人力２２ｄに直接に接続されており
、他方では、定遅延回路２４を経て時間−計数変換器２
２の停止を制御するための入力２２ｓに接続されている
０時間−計数変換器２２としては、イー・フェスタやア
ール・セレンによってアメリカの刊行物「核計器とその
方法」の第１８８号（１９８１年）、９９ページに原理
が示されている回路等が用いられてよい。開始信号を受
け取った後、時間−計数変換器２２は、予め決められた
育限の時間間隔（例えば１６又は３２マイクロ秒）の間
に複数の（例えば３２個の）停止信号を受け取り、個々
の停止信号に対応して開始信号の受け取りとこの停止信
号の受け取りとの間の経過時間を表す計数値を供給する
。この様な計数値は、時間−計数変換器２２の出力に接
続されているデータ取得回路２３を介して記録される。
換器２２の開始制御人力２２ｄに直接に接続されており
、他方では、定遅延回路２４を経て時間−計数変換器２
２の停止を制御するための入力２２ｓに接続されている
０時間−計数変換器２２としては、イー・フェスタやア
ール・セレンによってアメリカの刊行物「核計器とその
方法」の第１８８号（１９８１年）、９９ページに原理
が示されている回路等が用いられてよい。開始信号を受
け取った後、時間−計数変換器２２は、予め決められた
育限の時間間隔（例えば１６又は３２マイクロ秒）の間
に複数の（例えば３２個の）停止信号を受け取り、個々
の停止信号に対応して開始信号の受け取りとこの停止信
号の受け取りとの間の経過時間を表す計数値を供給する
。この様な計数値は、時間−計数変換器２２の出力に接
続されているデータ取得回路２３を介して記録される。
時間−計数変換器２２の処理周期は、殆ど総ての場合、
１つの電子の受け止めに対応して生成される１つの信号
によって開始される。１つの電子の受け止めに対応して
生成され遅延回路２４によって遅延された信号は、最初
の６カウント結果を与える。この最初のカウント結果は
、一方では、受け止められた電子の表示とカウントとを
可能にし、−また負イオンの受け止めに対応して生成さ
れた信号も遅延回路２４を介して停止制御入力２２ｓへ
伝達されるので、他方では、負イオンの受け止め時間を
測定するための正確な基準を存することを可能にしてい
る。
１つの電子の受け止めに対応して生成される１つの信号
によって開始される。１つの電子の受け止めに対応して
生成され遅延回路２４によって遅延された信号は、最初
の６カウント結果を与える。この最初のカウント結果は
、一方では、受け止められた電子の表示とカウントとを
可能にし、−また負イオンの受け止めに対応して生成さ
れた信号も遅延回路２４を介して停止制御入力２２ｓへ
伝達されるので、他方では、負イオンの受け止め時間を
測定するための正確な基準を存することを可能にしてい
る。
観測時間が経過するにつれて、時間−計数変換器２２の
連続的な処理周期の同じ相対的な瞬間において得られた
結果つまりカウントは、所望の質量スペクトルを与える
ために積算される。目安としては、観測時間の期間は数
分間である。
連続的な処理周期の同じ相対的な瞬間において得られた
結果つまりカウントは、所望の質量スペクトルを与える
ために積算される。目安としては、観測時間の期間は数
分間である。
第２Ａ図は、第１図に示した様な分析計によって得られ
たバリン有機化合物（分子量１１７）の質量スペクトル
を示している。なおこの分析計の管１０は、０．３ｍの
長さと０．１ｍの直径とを存している。金属片１１ａに
は一９ｋＶの電圧が印加されており、グリッド状電極１
５は金属片１１ａから５ｍ＋だけ離間している。
たバリン有機化合物（分子量１１７）の質量スペクトル
を示している。なおこの分析計の管１０は、０．３ｍの
長さと０．１ｍの直径とを存している。金属片１１ａに
は一９ｋＶの電圧が印加されており、グリッド状電極１
５は金属片１１ａから５ｍ＋だけ離間している。
第２Ａ図における最初のピークは、遅延回路２４で遅延
された電子の受け止めによって生成されている。この最
初のピークは、飛行時間を測定するための原点のオフセ
ットを与えている。そして最初のピークの積分は、開始
信号を生成した電子ｎｅ−の全数量を与えている。質量
ｎの負イオンに対する肌着収率は、質量ｍのピークにお
けるカウント数とｎｅ−の数量との比として定義されて
よい、バリンの負イオン（ｍ＝１１６−）では、この様
にして算出された自然脱着の収率は本例では１％である
。
された電子の受け止めによって生成されている。この最
初のピークは、飛行時間を測定するための原点のオフセ
ットを与えている。そして最初のピークの積分は、開始
信号を生成した電子ｎｅ−の全数量を与えている。質量
ｎの負イオンに対する肌着収率は、質量ｍのピークにお
けるカウント数とｎｅ−の数量との比として定義されて
よい、バリンの負イオン（ｍ＝１１６−）では、この様
にして算出された自然脱着の収率は本例では１％である
。
比較例として、脱着によってイオンを解放するために通
常の放射性源であるカリホルニウム２５２が使用されて
いる分析計によって得られた同一化合物の質量スペクト
ルを第２図に示す。Ｃ−ＣＨ−１Ｏ−及びＯＨ−に対応
する質量に対してより多くの印を付けられているピーク
が存在している点で、本発明による分析針で得られたス
ペクトルが第２Ｂ図のスペクトルとは相違していること
に、気付（。
常の放射性源であるカリホルニウム２５２が使用されて
いる分析計によって得られた同一化合物の質量スペクト
ルを第２図に示す。Ｃ−ＣＨ−１Ｏ−及びＯＨ−に対応
する質量に対してより多くの印を付けられているピーク
が存在している点で、本発明による分析針で得られたス
ペクトルが第２Ｂ図のスペクトルとは相違していること
に、気付（。
比較的低い分子量を有する有機化合物のスペクトルを得
るための本発明の実施例を上記において述べたが、質量
が２０００〜３０００の範囲である分子イオンも自然脱
着というこの技術によって観測されたことは、特筆すべ
きことである。
るための本発明の実施例を上記において述べたが、質量
が２０００〜３０００の範囲である分子イオンも自然脱
着というこの技術によって観測されたことは、特筆すべ
きことである。
更に本発明は、存機化合物の質量スペクトルの定量に限
定されるものでは勿論ない。例えば、所望の電位にされ
ている検査されるべき金属片または合金片によって直接
に構成されている金属源を測定することもできる。
定されるものでは勿論ない。例えば、所望の電位にされ
ている検査されるべき金属片または合金片によって直接
に構成されている金属源を測定することもできる。
電子の放出と同時に負イオンを自然着脱される電界強度
は、分子堆積物１１ｂの性質と測定装置の性能との関数
としである程度選択される。実際、電界強度があるしき
い値を超えた時に、放出が始まる。更に、電界強度が増
加して放出が増加した時は電子の数は測定装置１３の取
得容量が飽和する程になり、事象の一部はあるしきい値
を越える強度値のために失われる。
は、分子堆積物１１ｂの性質と測定装置の性能との関数
としである程度選択される。実際、電界強度があるしき
い値を超えた時に、放出が始まる。更に、電界強度が増
加して放出が増加した時は電子の数は測定装置１３の取
得容量が飽和する程になり、事象の一部はあるしきい値
を越える強度値のために失われる。
金属片１１ａと電極１５との間隔が５１１である本発明
の上述の実施例の場合は、金属片１１ａに供給される電
圧が絶対値で３〜４ｋＶを越えると、この放出が始まる
。５鶴の間隔で１０ｋＶの場合は、１秒間にカウントさ
れる電子の数は１０，０００よりも少ない、５鶴の間隔
で１５ｋＶの場合は、電子の数は本実施例で使用されて
いる測定装置１３の取得容量が飽和する程になった。
の上述の実施例の場合は、金属片１１ａに供給される電
圧が絶対値で３〜４ｋＶを越えると、この放出が始まる
。５鶴の間隔で１０ｋＶの場合は、１秒間にカウントさ
れる電子の数は１０，０００よりも少ない、５鶴の間隔
で１５ｋＶの場合は、電子の数は本実施例で使用されて
いる測定装置１３の取得容量が飽和する程になった。
一般に、１〜３ＭＶ／ｍの電界強度値が好都合であると
思われる。この電界強度値の適用は、分子堆積物の性質
に依存する。また本願の発明によれば、電界強度は１〜
３ Ｍ Ｖ ／ ｍ程度でよく、磁気型質量分析計にお
ける非常に大きな電界効果による脱着を行うための電界
強度よりも遥かに低い値である。更にまた、上記の穏や
かな電界は観察の全期間に亘って印加され、その印加の
瞬間が時間的基準になるのではない。
思われる。この電界強度値の適用は、分子堆積物の性質
に依存する。また本願の発明によれば、電界強度は１〜
３ Ｍ Ｖ ／ ｍ程度でよく、磁気型質量分析計にお
ける非常に大きな電界効果による脱着を行うための電界
強度よりも遥かに低い値である。更にまた、上記の穏や
かな電界は観察の全期間に亘って印加され、その印加の
瞬間が時間的基準になるのではない。
本願の発明によれば、負イオンの飛行時間から質量スペ
クトルを定量するに際して、電子の飛行時間を時間的基
準とするので、質量スペクトルの定量が非常に簡単に行
われる。
クトルを定量するに際して、電子の飛行時間を時間的基
準とするので、質量スペクトルの定量が非常に簡単に行
われる。
また、サイクロトロンで加速された一次イオンでイオン
源を衝撃したりしないので、イオン源が破壊される虞れ
がない。
源を衝撃したりしないので、イオン源が破壊される虞れ
がない。
第１図は本願の発明による飛行時間型質量分析計の一実
施例の概略図、第２Ａ図及び第２Ｂ図は同一の有機化合
物に対して夫々本願の発明による方法と従来の方法とに
よって得られたスペクトルを示す図である。 なお図面に用いた符号において、 １０・−−−−−−−一−・−・−・・管１１−−−−
−−・−・・−・−・・−イオン源１２−−−−−−−
−−−・−−−−−−・検出装置１３−−−−−−−・
−・−・測定装置１５・−・−・−・・・−・・−−一
−−・グリッド状電極１６−・−−−−一・−−−−−
−−−−一電圧源２２・−・−−−−−−−−−−−一
−一時間一計数変換器である。
施例の概略図、第２Ａ図及び第２Ｂ図は同一の有機化合
物に対して夫々本願の発明による方法と従来の方法とに
よって得られたスペクトルを示す図である。 なお図面に用いた符号において、 １０・−−−−−−−一−・−・−・・管１１−−−−
−−・−・・−・−・・−イオン源１２−−−−−−−
−−−・−−−−−−・検出装置１３−−−−−−−・
−・−・測定装置１５・−・−・−・・・−・・−−一
−−・グリッド状電極１６−・−−−−一・−−−−−
−−−−一電圧源２２・−・−−−−−−−−−−−一
−一時間一計数変換器である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、電子と自然脱着によって固体表層から解放された負
イオンとの同時放出を引き起こす定電界の作用を前記固
体表層を有する放出源に及ぼす工程と、 前記放出源と検出装置との間における前記電子と前記負
イオンとの飛行時間の差かれ質量スペクトルを定量する
工程とを夫々具備する飛行時間による質量スペクトル定
量方法。 ２、前記固体表層とこの固体表層に平行なグリッド状電
極との関に電位差を与えることによって前記定電界を生
成している特許請求の範囲第１項に記載の方法。 ３、前記定電界の強度が１〜３ＭＶ／ｍである特許請求
の範囲第１項または第２項に記載の方法。 ４、真空源に接続される様になされている密閉容器と、
この密閉容器内に配されている固体表層によって形成さ
れている放出源から脱着によってイオンを解放するため
の手段と、前記放出源から発しているイオンを検出する
ための手段を有する検出装置と、前記放出源と前記検出
装置との間のイオンの飛行時間を表わしている量から求
めるべき質量スペクトルを定量するための測定装置とを
夫々具備する飛行時間型質量分析計において、電子と自
然脱着によって前記固体表層から解放された負イオンと
の同時放出を引き起こすために、前記固体表層とこの固
体表層の前方に配されているグリッド状電極との間に定
電界を発生させるための手段が設けられていると共に、 前記検出装置による電子の受け止めと負イオンの受け止
めとを分離している時間間隔を表わしている量を作り出
すための手段を、前記測定装置が具備していることを特
徴とする質量分析計。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8412609A FR2569009B1 (fr) | 1984-08-09 | 1984-08-09 | Procede de determination de spectre de masse par temps de vol et spectrometre mettant en oeuvre ce procede |
| FR8412609 | 1984-08-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6147049A true JPS6147049A (ja) | 1986-03-07 |
Family
ID=9306939
Family Applications (1)
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