JPS614743U - クリ−ンル−ムのレリ−フダンパ - Google Patents
クリ−ンル−ムのレリ−フダンパInfo
- Publication number
- JPS614743U JPS614743U JP8662684U JP8662684U JPS614743U JP S614743 U JPS614743 U JP S614743U JP 8662684 U JP8662684 U JP 8662684U JP 8662684 U JP8662684 U JP 8662684U JP S614743 U JPS614743 U JP S614743U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- relief damper
- room relief
- damper
- room
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 2
Landscapes
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案に係るクリーンルームのレリーフダンパ
の一実施例を示す縦断面図である。 １・・・隔壁、２・・・レリーフダンパ、３・・・レリ
ーフダンパ本体、７・・・吸着剤層。
の一実施例を示す縦断面図である。 １・・・隔壁、２・・・レリーフダンパ、３・・・レリ
ーフダンパ本体、７・・・吸着剤層。
Claims (1)
- クリーンルームと他の部屋または廊下との境界に配設さ
れた隔壁に設置されたレリーフダンパの本体部に、吸着
剤層を装着してなることを特徴とするクリーンルームの
レリーフダンパ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8662684U JPS614743U (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | クリ−ンル−ムのレリ−フダンパ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8662684U JPS614743U (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | クリ−ンル−ムのレリ−フダンパ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS614743U true JPS614743U (ja) | 1986-01-13 |
Family
ID=30638108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8662684U Pending JPS614743U (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | クリ−ンル−ムのレリ−フダンパ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS614743U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS523095U (ja) * | 1975-06-23 | 1977-01-10 | ||
| JPS5321985U (ja) * | 1976-08-05 | 1978-02-24 |
-
1984
- 1984-06-13 JP JP8662684U patent/JPS614743U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS523095U (ja) * | 1975-06-23 | 1977-01-10 | ||
| JPS5321985U (ja) * | 1976-08-05 | 1978-02-24 |
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