JPS6147657A - Lead frame - Google Patents

Lead frame

Info

Publication number
JPS6147657A
JPS6147657A JP59167818A JP16781884A JPS6147657A JP S6147657 A JPS6147657 A JP S6147657A JP 59167818 A JP59167818 A JP 59167818A JP 16781884 A JP16781884 A JP 16781884A JP S6147657 A JPS6147657 A JP S6147657A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lead
tab
lead frame
pellet
sides
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59167818A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshio Sugano
利夫 菅野
Shunji Koike
俊二 小池
Takeshi Komaru
小丸 健
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP59167818A priority Critical patent/JPS6147657A/en
Publication of JPS6147657A publication Critical patent/JPS6147657A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W70/00Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
    • H10W70/40Leadframes
    • H10W70/421Shapes or dispositions

Landscapes

  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To improve reliability of semiconductor device by attaching a pellet where bonding pads are arranged almost continuously along opposed two sides of tab. CONSTITUTION:Regarding the second lead 7b which is the second lead counted in the right or left from the centers respective of opposed two sides 3a, 3b of tab 3 or successive leads among the leads 7 corresponding to the external lead 4 extended near the side 3a among two opposed sides of tab 3, the internal end portion is extended up to the position exceeding the left side end 3c and the internal end portion is arranged almost along the left wide end 3c. Thereby, in the case that a pellet 9 where the bonding pads 8 are arranged almost continuously is attached to the tab 3 of lead frame along opposed two sides in the vertical direction for opposed two sides 3a, 3b of tab 3, the internal end portions of leads 7a, 7b, 7c and bonding pads 8a, 8b, 8c can be wire-bonded in the very closed condition.

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、リードフレームに関し、半導体装置の信鯨性
向上に適用して有効な技術に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field] The present invention relates to a lead frame, and relates to a technique effective when applied to improving reliability of a semiconductor device.

〔背景技術〕[Background technology]

ペレットの電極であるポンディングパッドを、ペレット
の対向する2辺に沿ってほぼ2連記列で形成するこ・と
が考えられる。このようにパッドを形成することにより
、パッドを周囲4辺に沿って形成する場合に比べ、ペレ
ットサイズをほとんど変えることなく動作領域を拡大す
ることが可能となり、ペレットの高集積化を達成するこ
とができるものである。
It is conceivable to form the bonding pads, which are the electrodes of the pellet, in approximately double rows along two opposing sides of the pellet. By forming the pads in this way, compared to the case where the pads are formed along the four surrounding sides, it is possible to expand the operating area without changing the pellet size, and achieve high pellet integration. It is something that can be done.

ところが、前記ペレットを搭載するリードフレームを用
いて形成される樹脂封止型半導体装置においては、パッ
ドが配列形成されていないペレットの辺(パッド不在辺
)の側方に外部リードが形成されているリードであって
、かつワイヤボンディング部であるその内端部もパッド
不在辺近傍に形成されている場合は、該内端部と前記パ
ッドとの距離が長いため、こめ両者の電気的接続に使用
される金等のワイヤも長くなってしまい、ワイヤ間また
はワイヤとペレットコーナー等との間で接触が起こりシ
ョートの原因となり易く、またコストが高くなる等の問
題があることが明らかにされた。この問題は、一方の辺
に沿って配列されているパッドと接続される前記リード
が2以上である場合は特に重要であることが本発明者に
より見い出された。
However, in a resin-sealed semiconductor device formed using a lead frame on which the pellets are mounted, external leads are formed on the side of the pellet where the pads are not arranged (the side without pads). If the inner end of the lead, which is the wire bonding part, is also formed near the non-pad side, the distance between the inner end and the pad is long, so it cannot be used for electrical connection between the two. It has been revealed that there are problems such as the wires made of gold or the like used become long, and contact occurs between the wires or between the wires and pellet corners, which tends to cause short circuits, and the cost increases. The inventors have found that this problem is particularly important when there are two or more leads connected to pads arranged along one side.

また、前記関係にあるリード内端部とバンドとをワイヤ
ボンディングする場合は、該両者を結ぶ直線と該リード
内端部の辺とのなす角度が極度に鋭角になるため、ボン
ディングツールがリード内端部上に載り難く、ボンディ
ングエラーが起こり易いという問題もある。
In addition, when wire bonding the inner end of the lead and the band that have the above relationship, the angle between the straight line connecting the two and the side of the inner end of the lead becomes an extremely acute angle, so the bonding tool cannot be inserted into the lead. There is also the problem that it is difficult to rest on the edge and bonding errors are likely to occur.

さらに、前記半導体装置の製造工程のモールド工程にお
いて、ペレットのバンド配列辺の側方よりモールド用樹
脂を注入する場合、ペレットの前記パッド不在辺側方に
外部リードを有するリードの内端部と前記パッドとを接
続するワイヤは、樹脂が流れる方向に交叉して結線され
ているため、該樹脂に流され゛易く、ワイヤ間の接触等
が生じ易いという問題があることも本発明者により見い
出された。
Furthermore, in the molding step of the manufacturing process of the semiconductor device, when molding resin is injected from the side of the band arrangement side of the pellet, the inner end of the lead having the external lead on the side of the non-pad side of the pellet and the side of the band arrangement side of the pellet. The inventor has also discovered that since the wires connecting the pads are connected to cross the direction in which the resin flows, there is a problem in that they are easily washed away by the resin and contact between the wires is likely to occur. Ta.

なお、リードフレームについては、工業調査会発行rI
C化実装技術J 1980年1月15日発行、日本マイ
クロエレクトロニクス協会編、P139〜P140に記
載がある。
Regarding lead frames, please refer to the rI published by the Industrial Research Council.
It is described in "C Mounting Technology J" published on January 15, 1980, edited by Japan Microelectronics Association, pages 139 to 140.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明の目的は、リードフレームに関し、該リードフレ
ームを用いて形成される半導体装置の信顛性向上に適用
して有効な技術に関するものである。
An object of the present invention is to relate to a lead frame, and to a technique that is effective when applied to improve the reliability of a semiconductor device formed using the lead frame.

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
A brief overview of typical inventions disclosed in this application is as follows.

すなわち、ペレット取付部であるタブの対向する2辺の
それぞれに対し垂直に延在されている外部リードが、該
対向2辺に沿って配列されてなるリードフレームであっ
て、前記対向2辺のそれぞれの中心を起点として左また
は右の両方向に向かって少なくとも2木目の第2リード
以上について、その内端部がタブの左側端または右側端
を越えて位置せしめられてなるリードフレームを用いて
、該リードフレームのタブ上に、該タブの前記対向2辺
とペレットの対向するバンド不在辺とをほぼ平行な状態
で、対向する2辺に沿ってほぼ連続してポンディングパ
ッドが配列形成されているペレットを取り付けることに
より、該パッドとリード内端部とを近接させることがで
きることより、電気的接続に用いられるワイヤを短くす
ることができると同時にワイヤの結線方向をモールド時
の樹脂の流にほぼ一致させることができるものである。
That is, it is a lead frame in which external leads extending perpendicularly to each of two opposing sides of a tab serving as a pellet mounting portion are arranged along the two opposing sides, and the external leads are arranged along the two opposing sides. Using a lead frame in which the inner end of at least the second lead of at least the second grain of wood is positioned beyond the left end or right end of the tab, starting from the respective centers in both directions to the left or right, On the tab of the lead frame, bonding pads are arranged and formed substantially continuously along the two opposing sides, with the two opposing sides of the tab and the opposing band-free side of the pellet being substantially parallel to each other. By attaching the pellet, the pad and the inner end of the lead can be brought close to each other, making it possible to shorten the length of the wire used for electrical connection and at the same time changing the direction of wire connection to match the flow of resin during molding. It is possible to almost match them.

それ故に、ワイヤが樹脂に流されること等によるワイヤ
どうしのまたはワイヤとペレットコーナー等との接触を
防止することができ、前記目的が達成されるものである
Therefore, it is possible to prevent the wires from coming into contact with each other or with the pellet corners etc. due to the wires being washed away by the resin, thereby achieving the above object.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は、本発明による一実施例であるリードフレーム
の特徴を、その拡大部分平面図で示すものである。
FIG. 1 is an enlarged partial plan view showing the features of a lead frame according to an embodiment of the present invention.

第2図は、本実施例のリードフレームの概略を、その平
面図で示すものである。
FIG. 2 is a plan view schematically showing the lead frame of this embodiment.

前記リードフレームは、外枠1および仕切枠2で四角形
状εこ周囲が形成され、そのほぼ中央部にはタブ3がタ
ブ吊りリード4を介して外枠1に連結されており、該タ
ブ3の対向する2辺3aおよび3bの側方には外部リー
ド5が該2辺3a、3bのそれぞれに対し垂直方向に延
在形成されており、かつこれら外部リード5は、その中
程をタイバー6で互いに連結され、該タイバー6を越え
た内側には内部リード7が形成され、また該タイバー6
はその両端で外枠1に連結されて、概ね一単位が形成さ
れてなるものである。なお、通常リードフレームは、図
中上下方向に同一形状のものが複数個連結されてなるも
のである。
The lead frame has an outer frame 1 and a partition frame 2 forming a rectangular shape ε, and a tab 3 is connected to the outer frame 1 via a tab suspension lead 4 at approximately the center thereof. External leads 5 are formed on the sides of the two opposing sides 3a and 3b to extend perpendicularly to the two sides 3a and 3b, respectively. An internal lead 7 is formed on the inside beyond the tie bar 6, and the tie bar 6
is connected to the outer frame 1 at both ends to form approximately one unit. Incidentally, a lead frame is usually made up of a plurality of lead frames having the same shape connected in the vertical direction in the figure.

本実施例の特徴は、第1図の部分平面図で示すように、
その内部リード7にある。
The features of this embodiment are as shown in the partial plan view of FIG.
It is on its internal lead 7.

すなわち、タブ3の対向する2辺のうち3aの側方に延
在形成されている外部リード4に対応する内部リード7
のうち、タブ3の対向する2辺3a、3bのそれぞれの
中心を起点にして左または右の方向(本図においては3
aについて左方向のみ示す。)に数えて第2番目である
第2リード7b以上であるリード(本図においては他に
第3リード7Cのみ)について、その内端部をタブ3の
左側端3Cを越えた位置まで延在せしめ、かつそゐ内端
部をほぼ該左側端3Cに沿って配列せしめたものである
That is, the inner lead 7 corresponds to the outer lead 4 extending to the side of 3a of the two opposing sides of the tab 3.
Of these, the left or right direction (in this figure, 3
Only the left direction of a is shown. ), the inner end of the lead (in this figure, only the third lead 7C) is extended to a position beyond the left end 3C of the tab 3. The inner end portion is arranged substantially along the left end 3C.

前記の如き形状のリードフレームは、そのタブ3に2点
破線で示すようなタブ3の対向する2辺3a、3bに対
し、垂直方向の対向する2辺(本図においては1辺のみ
を示す。)に沿ってボンディングバンド8がほぼ連続配
列されているペレ・2ト9を取り付ける場合、7aの内
端部と8aとを、7bの内端部と8bとを、7Cの内端
部と80とを、それぞれワイヤボンディングを行うこと
により、非常に近接した状態でワイヤボンディングを行
うことができるものである。
The lead frame having the above-mentioned shape has two opposing sides 3a and 3b of the tab 3 shown by two dotted lines in the vertical direction (only one side is shown in this figure). ) When attaching a pellet 9 in which bonding bands 8 are arranged substantially continuously along By performing wire bonding with 80 respectively, wire bonding can be performed in a very close state.

また、ボンディングバンド8とリード内端部とを結ぶ直
線と該内端部の辺の交叉する角度を比較的緩やかにする
ことができることより、ワイヤポンダのボンディングツ
ールがリード上に載り易くなるとも言える。
Furthermore, since the angle at which the straight line connecting the bonding band 8 and the inner end of the lead intersects with the side of the inner end can be made relatively gentle, it can be said that the bonding tool of the wire bonder can be easily placed on the lead.

さらに、パッケージのモールド工程においてボンディン
グバンドが配列されているベレットの辺の側方、すなわ
ちタブの左側端の側方よりモールド樹脂を注入する場合
、通常タブ吊りリード4の外枠1との連結部近傍のモー
ルド金型(図示せず。
Furthermore, in the package molding process, when molding resin is injected from the side of the bullet where the bonding bands are arranged, that is, from the side of the left end of the tab, the connecting portion of the tab suspension lead 4 with the outer frame 1 is usually A nearby mold (not shown).

)に設けられているゲートより前記樹脂が注入されるた
め、タブ吊りリード4に沿った方向に該樹脂は流動して
いく。本実施例のリードフレームの主なリード内端部は
、はぼ前記タブ吊りリード4と同方向に延在されており
、かつそのほぼ延長線上にボンディングワイヤ(図示せ
ず。)が結ばれているため、前記モールド樹脂の流動に
伴う押力による影響は非常に小さいものである。
), the resin flows in the direction along the tab suspension lead 4. The inner ends of the main leads of the lead frame of this embodiment extend in the same direction as the tab suspension leads 4, and bonding wires (not shown) are connected approximately on the extended line thereof. Therefore, the influence of the pressing force accompanying the flow of the mold resin is very small.

なお、本実施例においては、第1リード7aとポンディ
ングパッド8aとを接続するワイヤのみが前記モールド
樹脂の流れる方向を交叉する状態にあるが、この場合は
ワイヤが短い上に近接する他のリードがないため、ワイ
ヤ間の接触等が生じにくり、特に問題がないものである
In this embodiment, only the wire connecting the first lead 7a and the bonding pad 8a intersects the flow direction of the molding resin, but in this case, the wire is short and other nearby Since there are no leads, contact between the wires is unlikely to occur, so there is no particular problem.

また、特に第2リード7b、第3リード7Cは内部リー
ドが長い形状になるため、パ・7ケージ完成後のモール
ド樹脂との接着部が拡大されることになり、リード固定
が強固になるので、その結果耐湿性が向上することにも
なる。
In addition, since the internal leads of the second lead 7b and third lead 7C in particular have a long shape, the bonding area with the molded resin after the package is completed is expanded, and the leads are firmly fixed. As a result, moisture resistance is also improved.

〔効果〕〔effect〕

(1)、タブの対向する2辺のそれぞれに対し垂直に延
在されている外部リードが、該対向2辺に沿って配列さ
れてなるリードフレームであって、前記対向2辺のそれ
ぞれの中心を起点として左または右の両方向に対し、少
なくとも2番目以上のリードの内端部をタブの左側端ま
たは右側端を越えて位置せしめることにより、タブに対
向2辺に沿ってバンドが形成されているペレットを該タ
ブの前記対向2辺と該ベレットの対向するバット不在辺
とがほぼ平行になるように取り付ける場合、前記リード
内端部とパッドとを近接させることができる。
(1) A lead frame in which external leads extending perpendicularly to each of two opposing sides of a tab are arranged along the two opposing sides, the lead frame being arranged at the center of each of the two opposing sides. A band is formed along two opposite sides of the tab by positioning the inner end of at least the second or more lead beyond the left end or right end of the tab with respect to both the left and right directions from the starting point. When attaching the pellet so that the two opposing sides of the tab and the opposing butt-free side of the pellet are substantially parallel, the inner end of the lead and the pad can be brought close to each other.

(2)、前記(11により、モールド金型の樹脂注入ゲ
ートが搭載ベレットのバンド配列辺の側方に設けられて
いる場合は、金型キャビティ内の注入樹脂の流れと先端
リードの配列方向とをほぼ一致させることができる。
(2) According to (11) above, if the resin injection gate of the molding die is provided on the side of the band arrangement side of the mounting pellet, the flow of the injected resin in the mold cavity and the arrangement direction of the tip leads can be almost matched.

(3)、前記(1)により、電気的接続部であるリード
内端部とペレットのバンドとをワイヤボンディングする
場合、ワイヤの結線方向と先端リードの延長方向とをほ
ぼ一致させることができる。
(3) According to (1) above, when wire bonding is performed between the inner end of the lead, which is an electrical connection part, and the band of the pellet, the wire connection direction and the extension direction of the tip lead can be made to substantially match.

(4)、前記(2)および(3)により、注入樹脂の流
動に伴う押力によるワイヤ曲がりを防止できるので、ワ
イヤどうしの接触またはワイヤとペレットコーナー等と
の接触等による電気的不良の発生を防止できる。
(4) With (2) and (3) above, it is possible to prevent the wire from bending due to the pushing force associated with the flow of the injected resin, so electrical failures may occur due to contact between wires or contact between the wire and a pellet corner, etc. can be prevented.

(5)、前記(2)により、リードが細い場合であって
も注入樹脂の流動に伴う押力によるリード曲がりをも防
止できる。
(5) According to (2) above, even if the lead is thin, it is possible to prevent the lead from bending due to the pressing force accompanying the flow of the injected resin.

(6)、前記+11により、リード内端部とパッドとを
結ぶ直線と該内端部の交叉する辺とのなす角度を緩やか
にすることができるので、ボンディングツールのリード
内端部への載りを良くすることができ、ワイヤのボンデ
ィングエラーを防止するーことができる。
(6) Due to +11 above, the angle between the straight line connecting the inner end of the lead and the pad and the intersecting side of the inner end can be made gentler, so that the bonding tool rests on the inner end of the lead. This can improve wire bonding errors and prevent wire bonding errors.

(7)、前記(11に示す如く、1番目のリードのみの
内端部をタブの対向する辺の近傍に位置せしめる場合は
、該リード内端部とパッドとを電気的に接続するワイヤ
の結線方向とモールド時の注入樹脂の流れとは交叉する
ことになるが、該関係にあるリードが前記リードのみで
あることより、ワイヤどうしの接触等の発生を防止でき
る。
(7) As shown in (11) above, when the inner end of only the first lead is located near the opposite side of the tab, the wire that electrically connects the inner end of the lead and the pad is Although the wire connection direction and the flow of the injected resin during molding intersect, since the lead is the only lead in this relationship, it is possible to prevent the occurrence of contact between the wires.

(8)、前記(1)により、内部リードの長さを延長す
ることになるので、パッケージ完成後の樹脂とリードと
の接着部を拡大でき、リード固定強度を増大できる。
(8) According to (1) above, the length of the internal leads is extended, so the bonding area between the resin and the leads can be expanded after the package is completed, and the lead fixing strength can be increased.

(9)、前記(8)により、リードと樹脂との接着の剥
がれを防止できるので、半導体装置の耐湿性を向上さセ
ることができる。
(9) According to (8) above, it is possible to prevent the adhesive between the lead and the resin from peeling off, so that the moisture resistance of the semiconductor device can be improved.

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
Although the invention made by the present inventor has been specifically explained above based on examples, it goes without saying that the present invention is not limited to the above-mentioned examples and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. Nor.

たとえば、実施例では第1番目のリードの内端部をタブ
の側方に位置せしめたものについて説明したが、これに
限るものでなく、全てのリードについてその内端部をタ
ブの左側端または右側端を越えて位置せしめたものであ
っても良い。
For example, in the embodiment, the inner end of the first lead is positioned on the side of the tab, but the invention is not limited to this. It may be positioned beyond the right edge.

〔利用分野〕[Application field]

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である、いわゆるDIP型
半導体装置用のリードフレームに適用した場合について
説明したが、それに限定されるものではな(、たとえば
、対向する2辺に沿ってほぼ連続してボンディングバン
ドが形成されているペレットを搭載する半導体装置の製
造に用いるものであれば、フラントパソケージ型等の種
々の樹脂封止型半導体装置の製造に用いられるリードフ
レームに適用して有効な技術である。
In the above explanation, the invention made by the present inventor was mainly applied to a lead frame for a so-called DIP type semiconductor device, which is the background field of application, but the invention is not limited to this. For example, if it is used to manufacture a semiconductor device that mounts a pellet in which a bonding band is formed almost continuously along two opposing sides, various resin-sealed semiconductor devices such as a flanto passocage type can be used. This is an effective technology when applied to lead frames used in manufacturing.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、本発明による一実施例であるリードフレーム
の特徴を示す拡大部分平面図、第2図は、本実施例のリ
ードフレームを示す概略平面図である。 1・・・外枠、2・・・仕切枠、3・・・タブ、3a、
3b・・・辺、3C・・・左側端、4・・・タブ吊りリ
ード、5・・・外部リード、6・・・タイバー、7・・
・内部リード、7a・・・第1リード、7b・・・第2
 ’J−ド、7C・・・第3リード、8.8a、8b、
8c −−−ポンディングパッド。 第  2  図
FIG. 1 is an enlarged partial plan view showing the features of a lead frame according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic plan view showing the lead frame of this embodiment. 1... Outer frame, 2... Partition frame, 3... Tab, 3a,
3b... Side, 3C... Left end, 4... Tab hanging lead, 5... External lead, 6... Tie bar, 7...
・Internal lead, 7a...first lead, 7b...second
'J-do, 7C...3rd lead, 8.8a, 8b,
8c --- Ponding pad. Figure 2

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、タブの対向する2辺のそれぞれに対し垂直方向に延
在されている外部リード部が、該対向する2辺に沿って
配列されてなるリードフレームであって、前記対向する
2辺のそれぞれの中心を起点として左または右の両方向
に対し、少なくとも第2以上のリードの内端部が、タブ
の左側端または右側端を越えて位置せしめられてなるリ
ードフレーム。 2、タブの左側端および右側端のほぼ中央部にタブ吊り
リードが接続されていることを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載のリードフレーム。 3、リードフレームが、デュアルインライン型半導体装
置に用いられることを特徴とする特許請求の範囲第1項
または第2項記載のリードフレーム。
[Scope of Claims] 1. A lead frame in which external lead portions extending perpendicularly to each of the two opposing sides of the tab are arranged along the two opposing sides, A lead frame in which the inner end portions of at least a second or more lead are positioned beyond the left end or right end of a tab in both the left and right directions starting from the center of each of two opposing sides. 2. The lead frame according to claim 1, wherein a tab suspension lead is connected to approximately the center of the left end and right end of the tab. 3. The lead frame according to claim 1 or 2, wherein the lead frame is used for a dual in-line semiconductor device.
JP59167818A 1984-08-13 1984-08-13 Lead frame Pending JPS6147657A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59167818A JPS6147657A (en) 1984-08-13 1984-08-13 Lead frame

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59167818A JPS6147657A (en) 1984-08-13 1984-08-13 Lead frame

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6147657A true JPS6147657A (en) 1986-03-08

Family

ID=15856663

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59167818A Pending JPS6147657A (en) 1984-08-13 1984-08-13 Lead frame

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6147657A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR0149798B1 (en) Semiconductor device and method of manufacture and lead frame
US5907769A (en) Leads under chip in conventional IC package
USRE36097E (en) Semiconductor package for a semiconductor chip having centrally located bottom bond pads
US6157074A (en) Lead frame adapted for variable sized devices, semiconductor package with such lead frame and method for using same
JPH08222681A (en) Resin-sealed semiconductor device
US6750080B2 (en) Semiconductor device and process for manufacturing the same
KR950000205B1 (en) Lead frame and semiconductor device using same
JP2002198482A (en) Semiconductor device and method of manufacturing the same
JPH01220463A (en) semiconductor equipment
JP2000058578A (en) Semiconductor device
JPH0546098B2 (en)
JPH09107062A (en) Semiconductor device and manufacturing method thereof
JPS6147657A (en) Lead frame
JP3036339B2 (en) Semiconductor device
JPH03163858A (en) Resin-sealed semiconductor device
JPH02278857A (en) Resin-sealed type semiconductor device
KR19990034731A (en) Lead-on chip lead frames and packages using them
KR950014116B1 (en) Semiconductor device and the manufacture method
JP3468447B2 (en) Resin-sealed semiconductor device and method of manufacturing the same
JPH01280343A (en) Resin sealing type semiconductor device, and manufacture of lead frame, and resin sealing type semiconductor device
JP2000114449A (en) Semiconductor device, its lead frame and its manufacturing method
JPH01135055A (en) Resin-sealed semiconductor device
JP3957722B2 (en) Manufacturing method of semiconductor device
KR200159002Y1 (en) Lead frame of inner lead stack
JPH0595018A (en) Manufacture of semiconductor device