JPS614890A - 回転ポンプ - Google Patents

回転ポンプ

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JPS614890A
JPS614890A JP60117648A JP11764885A JPS614890A JP S614890 A JPS614890 A JP S614890A JP 60117648 A JP60117648 A JP 60117648A JP 11764885 A JP11764885 A JP 11764885A JP S614890 A JPS614890 A JP S614890A
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partition
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ルートヴイヒ・フアーベル
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Pfeiffer Vacuum Technology AG
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Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar GmbH
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/008Hermetic pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C27/00Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C27/008Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
    • F04C27/009Shaft sealings specially adapted for pumps
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S277/00Seal for a joint or juncture
    • Y10S277/926Seal including fluid pressure equalizing or balancing feature

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は回転ポンプに係シ、更に詳細にいえば、ポンプ
系統と電気的駆動モータとがハウジングの2つの隔室内
に収容され、これら隔室が壁によシ分離されポンプ系統
と電気的駆動モータとをおおう程度にオイル等の液体を
満たしてあるオイルまたはその他の適当な液体で密封さ
れている回転真空ポンプに係るものである。
従来の技術 直接連結した駆動モータを有するこの構造形式のオイル
密封型のすベシ羽根回転真空ポンプがトゝイツ国特許出
顕公開公報2620375号に記載されている。ポンプ
系統とモータとはハウジング内で壁によシ分離され、こ
の壁にはオイルを循環させる連通孔が設けておる。電気
的信号発生器がポンプシャフトに装着され回転速度を監
視する。
この構造のものでは、ポンプと外部に装着した空冷式の
駆動モータとの間の外側へ対する問題を生じやすいシャ
フトシールの使用を回避することができ、その結果とし
て外部からの密封が可成シ改善され、従ってポンプの応
用分野がいちじるしく広くなった。
発明が解決しようととす問題点 それにもかかわらず1種々の工業的方法に使用する際に
特に回転真空ポンプでは可成りの問題が生じる。蒸気相
で吐き出される気体物質の範囲が約+90℃の作用温度
で1000ミリバール以上に圧縮する結果としての腐食
性凝縮物にまで広がる。
このようにして汚染されるオイルは循環の結果として軸
受を通シ駆動モータ用の隔室内の仕切シの連通導管を通
る。駆動モータおよび電気的接続部とモータ軸受とは従
って腐食しやすい。固定子回転子との間の間隙を塞ぐよ
うな凝縮物が重合するとモータを動かなくすることにも
なる。
更に他の1つの欠点はモータ用隔室内のオイルの絶縁効
率を短絡にもなるよう減少せしめるということである。
電気的駆動モータ、従ってポンプ全体の作用的信頼度が
前記した欠点によシいちじるしく損われる。
作用 本発明はポンプ系統用の隔室からの汚染した液体があら
ゆる作用条件の下で電気的駆動モーフ用の隔室内に侵入
するのを防止するととを求めるものである。
本発明は駆動シャフトによシ互いに接続されかつそれぞ
れのハウジング隔室に収容されたポンプ系統と電気的駆
動モータとを備え、それぞれのハウジング隔室が仕切り
によシ分離され、ポンプ系統と電気的駆動モータとをお
おう程度に液体を満たされ、仕切りには駆動シャフト用
のほぼ液密の通路が設けてあり、存在することのあシ得
るいかなる漏洩流も電気的駆動モータを収容する隔室か
らポンプ系統を収容する隔室に向かう方向にのみしか流
れないようにした回転ポンプを提供するものである。
駆動シャフトは、たとえば、半径方向のシャフトシール
かすベシリングシールによシはぼ液密に装着されるが次
の条件を考慮に入れる必要がある。
1 既知のすべてのシャフトシールでは、潜在的に漏洩
があシ、その漏洩の方向は配置、差圧、回転シャフトと
の接触点の構造または形状と材料のその他の釣り合いと
に左右される。
2、始動後、ポンプ、従ってモータ隔室内のオイルが室
温から約+90℃の作用温度にまで上昇する。従ってモ
ータ隔室内のオイルが膨張し余分な圧力を生じる。
3、 スイッチを切った後、ポンプは冷却しモータ隔室
内は減圧することになる。
従って、シャフトシールは交互に圧力をかけられその結
果作用状態に従い漏洩流が両方向に生じる。
この圧力の作用をさけるかまたは一定した圧力関係を確
立することが好ましい。
本発明の1つの具体例では、このことはオイルの液面の
上方で2つの隔室間で圧力を平衡にする連通手段を設け
ることにより達成する。
これら条件の下で、生じる非常に僅かな漏洩をモータの
隔室からポンプ系統の隔室に指向させることができる。
たとえば、すベシリングシールを使用する時、半径方向
密封面に侵入するオイルは遠心力の作用によシ汚染した
オイルに逆らう。すなわち、オイルがポンプ系統を収容
する隔室の方向に搬送される。
従って、シールの半径方向すベシ面の大きい方の直径は
ポンプ系統の隔室側に配置する必要がある。
汚染されたオイルがポンプ系統を収容する隔室から電気
的駆動モータを収容する隔室に侵入するのを防止する別
の方法は減圧した室を提供することから成シ、この室内
では、たとえば、オイル送給ポンプの吸込みにより減圧
を生じる。オイル送給ポンプは仕切りとポンプ系統との
間でポンプを収容する隔室内に配置することが好ましい
。この場合一定の減圧がオイル送給ポンプによシ積極的
に形成され、存在する漏洩iを所用の方向に導く。
更にまた、作用の信頼性を維持するには発電機の如き回
転監視手段と爪形ストッパの如き逆回転防止手段とを、
ポンプ系統を収容する汚染された隔室から電気的駆動モ
ータ用のきれいな隔室に移動することが重要である。
本発明の1つの好ましい具体例を添付図面を参照して説
明する。
実施例□ 図面を参照すると、第1図にはポンプ系統4用の隔室3
と電気的駆動モータ6用の隔室5とを形成する仕切シ2
が設けてあるハウジング1が示してある。
ポンプ系統4の上方には短かい吸込み管8を有する安全
弁7が設けてある。ポンプ系統の隔室3内に満たすオイ
ルの量は符号9で示してあシまた電気的駆動モータ用の
隔室5に満たすオイルの量は符号10で示してある。
圧力平衡用の連通手段11はオイルの液面よシ上方で仕
切り2に設けた開口である。
駆動シャフト12用の液密の通路13が仕切り2に設け
てある。電気的駆動モータ6用の汚染されてない隔室5
にはそれぞれ駆動シャフト12に装着した回転監視発電
@14と爪形ストン/り15とが含まれている。
第2図にはすべりリングシール17−2C1有する駆動
シャフト12の液密通路13の1つの形式の配置が示し
てある。
駆動シャツ)12用の平軸受16が仕切シ2内に設けて
ある。ポンプ系統4用の隔室3は仕切シ2の左側にあり
電気的駆動モータ6用の隔室5は仕切シ2の右側にある
。弾性のシール支持体18に支持した固定のすべりリン
グ17はシャフト12に装着した回転する対抗リング2
0に圧縮ばね19によシ押圧されている。すべりリング
17と対抗リング20との間には密封面が形成され、こ
の密封面の大きい方の直径21はポンプ系統4の隔室3
の側にあり、その結果として侵入するオイルは遠心力の
作用により隔室3の方向に搬送される。
対抗リング20は密封リング22によシ駆動シャフト1
2上に密封されている。平軸受16とすべp IJソン
グ7−20との間の間隙23は孔24を介して隔室5に
連通している。
第3図にはポンプ系統4と仕切り2との間でシャフト1
2に装着したオイル送給ポンプ26が示してある。一定
の減圧隔室が符号25で示してある。オイル送給ポンプ
26により生じたオイルの流れは矢印で示してある。
第2図と第3図との配置は併用もできるしそれらのいづ
れか一方のみを使用することもできる。
発明の効果 以上のように、本発明によれば汚染されたオイル等の液
体がポンプ用の隔室からモータ用の隔室に漏洩してモー
タ用隔室内の電気的部品に種々の障害を引起すことがな
い回転ポンプが得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は回転真空ポンプの縦断面図、第2図は第1図の
駆動シャフトの液密通路をすべりリングと共に示す図、
第3図は第1図の液密通路を減圧隔室とオイル送給ポン
プと共に示す図である。 2・・・仕切シ、3・・・ポンプ系統用隔室、4・・・
ポンプ系統、5・・・モータ用隔室、6・・・駆動モー
タ、11・・・平衡接続部、12・・・駆動シャフト、
13・・・液密通路、14・・・監視手段、15・・・
逆回転防止手段、23・・・間隙、25・・・減圧室、
26・・・オイくヒ送給ポンゾ。 第1図 2:仕切り 6:モータ 11°圧力平衡用達通手段 12:駆動シャフト 26:オイル供給ポンフ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)駆動シャフトにより互いに接続されかつハウジング
    のそれぞれの隔室に収容されたポンプ系統と電気的駆動
    モータとを備え、ハウジングのこれら隔室が仕切りによ
    り分離されかつポンプ系統と電気的駆動モータとをおお
    う程度に液体が満たされており、駆動シャフト用の実質
    的に液密の通路が仕切りに設けてあり、存在し得る漏洩
    流が電気的駆動モータを収容する隔室からポンプ系統を
    収容する隔室に向かう方向にのみ流れることが可能であ
    ることを特徴とする回転ポンプ。 2)駆動シャフト用のすべりリングシールが駆動モータ
    を収容する隔室とポンプ系統を収容する隔室との間に設
    けてある特許請求の範囲第1項の回転ポンプ。 3)シール間隙の大きい方の直径がポンプ系統の隔室の
    側に配置されるようにすべりリングが配置してある特許
    請求の範囲第2項の回転ポンプ。 4)オイル送給ポンプの吸込みにより減圧が内部で生じ
    る減圧室が設けてある前記各項のいづれか1つの回転ポ
    ンプ。 5)仕切りとポンプ系統との間でポンプ系統を収容する
    隔室にオイル送給ポンプが配置されている特許請求の範
    囲第4項の回転ポンプ。 6)2つの隔室間にはその内部のオイルの液面の上方で
    圧力平衡させる連結手段がある前記各項のいづれか1つ
    の回転ポンプ。 7)回転監視手段か逆回転防止手段かもしくはその両方
    が電気的駆動モータを収容する隔室に配置されている前
    記各項のいずれか1つの回転ポンプ。
JP60117648A 1984-05-30 1985-05-30 回転ポンプ Granted JPS614890A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3420190A DE3420190A1 (de) 1984-05-30 1984-05-30 Oelgedichtete rotationsvakuumpumpe
DE3420190.4 1984-05-30

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS614890A true JPS614890A (ja) 1986-01-10
JPH0561473B2 JPH0561473B2 (ja) 1993-09-06

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ID=6237238

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JP60117648A Granted JPS614890A (ja) 1984-05-30 1985-05-30 回転ポンプ

Country Status (8)

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US (1) US4652214A (ja)
JP (1) JPS614890A (ja)
CH (1) CH667498A5 (ja)
DE (1) DE3420190A1 (ja)
FR (1) FR2565295B1 (ja)
GB (1) GB2159581B (ja)
IT (1) IT1183668B (ja)
NL (1) NL8501163A (ja)

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