JPS614905A - 線幅測定方法 - Google Patents
線幅測定方法Info
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- JPS614905A JPS614905A JP12611484A JP12611484A JPS614905A JP S614905 A JPS614905 A JP S614905A JP 12611484 A JP12611484 A JP 12611484A JP 12611484 A JP12611484 A JP 12611484A JP S614905 A JPS614905 A JP S614905A
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- film
- refractive index
- light
- prism
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- Pending
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- 238000000034 method Methods 0.000 title description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005331 crown glasses (windows) Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は微細加工をこより形成されたパターンの線幅測
定方法に関するものである。
定方法に関するものである。
（従来技術とその問題点）
従来、微細加工により得られたパターンの線幅を測定す
るには、パターン上方から集光した光を照射し、パター
ン各部からの光の反射率を測定することにより行なわれ
てきた。しかし、光の反射率ハパターンエッジにおいて
急唆には変化せず、このために、得られたパターン線幅
の測定値が真のパターン線幅とは等しくならす、０．１
μｍ程度の不確定性があった。
るには、パターン上方から集光した光を照射し、パター
ン各部からの光の反射率を測定することにより行なわれ
てきた。しかし、光の反射率ハパターンエッジにおいて
急唆には変化せず、このために、得られたパターン線幅
の測定値が真のパターン線幅とは等しくならす、０．１
μｍ程度の不確定性があった。
（発明の目的）
゛ 本発明の目的は、上記のような欠点を除去し、測定
誤差の小さい線幅測定方法を提供することにある。
誤差の小さい線幅測定方法を提供することにある。
（発明の構成）
すなわち、本発明は、基板上の屈折率と膜厚とが既知で
ある、パターニングされた可透光性材質膜にプリズムを
通して光を導波せしめ、次に、導波せしめた光及びこれ
と偏光方向が異なる元とが、鉄膜からプリズムを通して
同じ出射角で出射するような光の波長を求めて、この波
長と元の伝搬定数、膜の形状、屈折率の間に成りたつ式
から膜の加工線幅を求めるこａを特徴とするａ幅測定方
法である。
ある、パターニングされた可透光性材質膜にプリズムを
通して光を導波せしめ、次に、導波せしめた光及びこれ
と偏光方向が異なる元とが、鉄膜からプリズムを通して
同じ出射角で出射するような光の波長を求めて、この波
長と元の伝搬定数、膜の形状、屈折率の間に成りたつ式
から膜の加工線幅を求めるこａを特徴とするａ幅測定方
法である。
（発明の原理）
以下に本発明を図面を参照しながら説明する。
第１図に示すように屈折率ｆｉｌ 、厚さｔで線幅Ｗ
で加工された膜１が屈折率ｎ、の物質２（この場合は基
板）と屈折率ｎ。の物質（例えば空気あるいは液体）３
との間にはさすれている場合において、ます、膜１上ζ
こ密着して置かれた屈折率ｎ 、／のプリズム４を通し
て波長λの光５を膜１中に導波させ、次をこ、膜１上に
密着して置かれた屈折率ｎ、のプリズム６を通して光を
出射角θ１で出射させる。なお、１）ｐ＋ ｎｐ’は
ともにｒｔｏ、ｎ２より大きいことが必要である。
で加工された膜１が屈折率ｎ、の物質２（この場合は基
板）と屈折率ｎ。の物質（例えば空気あるいは液体）３
との間にはさすれている場合において、ます、膜１上ζ
こ密着して置かれた屈折率ｎ 、／のプリズム４を通し
て波長λの光５を膜１中に導波させ、次をこ、膜１上に
密着して置かれた屈折率ｎ、のプリズム６を通して光を
出射角θ１で出射させる。なお、１）ｐ＋ ｎｐ’は
ともにｒｔｏ、ｎ２より大きいことが必要である。
この時、ＴＥ波について、各変数間には式（１）から（
５）の関係が成り立つ。βＭ、β８はそれぞれＴＭ波、
ＴＢ波の伝搬定数。
５）の関係が成り立つ。βＭ、β８はそれぞれＴＭ波、
ＴＢ波の伝搬定数。
ｋ＝２π／λ （４
）ｎｏ／ｎｐ＝ｔｈ（θｐ−α）／５ｆｒｌθＩ（５）
但しαはプリズムの光出射面とプリズムが膜１と接する
面とのなす角度。
）ｎｏ／ｎｐ＝ｔｈ（θｐ−α）／５ｆｒｌθＩ（５）
但しαはプリズムの光出射面とプリズムが膜１と接する
面とのなす角度。
また、ＴＭ波ｔこついては前記式（３）から（５）及び
式（６）（７）が成り立つ。
式（６）（７）が成り立つ。
また、特定の波長λにおいては、式（１）から（７）が
同時に成り立ち、プリズム６からは偏光方向の異１ｊる
光が同じ出射角θｉで出射する。従って、プリズム６か
ら偏光方向が異なる光が同じ出射角で出射する光の波長
λを測定し、式（１功１ら（７）を解くこと番こよりパ
ターンの線幅Ｗを求めることができる。
同時に成り立ち、プリズム６からは偏光方向の異１ｊる
光が同じ出射角θｉで出射する。従って、プリズム６か
ら偏光方向が異なる光が同じ出射角で出射する光の波長
λを測定し、式（１功１ら（７）を解くこと番こよりパ
ターンの線幅Ｗを求めることができる。
なお第１図ではまっすぐなパターンの線幅を測る例を示
しであるが、線幅が一定であればまがったパターンでも
測定できる、 （実施例） 以下、本発明の実施例を記載する。
しであるが、線幅が一定であればまがったパターンでも
測定できる、 （実施例） 以下、本発明の実施例を記載する。
屈折率１４５７の石英ガラス上にポリメチルメタアクリ
ル酸（ＰＭＭＡ）を塗布し、−光解析法で測定した所、
ＰＭＭＡの屈折率は１，４９１ 、膜厚は０８μｍであ
った。次に、ＰＭＭＡを線状パターン壷こ加工後、空気
（屈折率１．０００ ）中より、重クラウンカラスプリ
ズムを通しで、ローダミツＢ色素レーザ元を全搬波長を
６０００〜６４００Ａの範囲で変化させてＰＭＭＡ中に
導波させて、屈折率１．５８７の重クラウンガラスプリ
ズム（α−４５°）かう＋’）出光させた所、波長６３
２８ ＡでＴＢ波及びＴＭ波が出射角３４．２２度で出
射した。従って、式（］）から（７）よりＷを求めるこ
とによって、加工後のＰＭＭＡパターンの線幅は１゜２
２μｍであることが判った。
ル酸（ＰＭＭＡ）を塗布し、−光解析法で測定した所、
ＰＭＭＡの屈折率は１，４９１ 、膜厚は０８μｍであ
った。次に、ＰＭＭＡを線状パターン壷こ加工後、空気
（屈折率１．０００ ）中より、重クラウンカラスプリ
ズムを通しで、ローダミツＢ色素レーザ元を全搬波長を
６０００〜６４００Ａの範囲で変化させてＰＭＭＡ中に
導波させて、屈折率１．５８７の重クラウンガラスプリ
ズム（α−４５°）かう＋’）出光させた所、波長６３
２８ ＡでＴＢ波及びＴＭ波が出射角３４．２２度で出
射した。従って、式（］）から（７）よりＷを求めるこ
とによって、加工後のＰＭＭＡパターンの線幅は１゜２
２μｍであることが判った。
（発明の効果）
したがって、本発明によれば、プリズムを用いてパター
ンに導波した光の波長を測定下るのみで、パターンの線
幅を正確に求めることかできる効果を有するものである
。
ンに導波した光の波長を測定下るのみで、パターンの線
幅を正確に求めることかできる効果を有するものである
。
第１図は膜の加工後の線幅を測定する方法を表わす模式
図である。 １・・−・・・膜、２・・・・・屈Ｆｌｎｔの物質・３
°゛°°°゛屈折率ｎ の物質、４・・・・・・入射プ
リズム、５・・・・・・元、６・・・・・・出射プリズ
ム。 曝 代１人弁］士内原 漕
図である。 １・・−・・・膜、２・・・・・屈Ｆｌｎｔの物質・３
°゛°°°゛屈折率ｎ の物質、４・・・・・・入射プ
リズム、５・・・・・・元、６・・・・・・出射プリズ
ム。 曝 代１人弁］士内原 漕
Claims (1)
- （１）基板上の、屈折率と膜厚とが既知である、パター
ニングされた可透光性材質膜にプリズムを通して光を導
波せしめ、次に導波せしめた光及びこれと偏光方向が異
なる光とが、該膜からプリズムを通して同じ出射角で出
射するような光の波長を求めて、この波長と光の伝搬定
数、膜の形状、屈折率の間に成りたつ式から膜の加工線
幅を求めることを特徴とする線幅測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12611484A JPS614905A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 線幅測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12611484A JPS614905A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 線幅測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS614905A true JPS614905A (ja) | 1986-01-10 |
Family
ID=14926979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12611484A Pending JPS614905A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 線幅測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS614905A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6104486A (en) * | 1995-12-28 | 2000-08-15 | Fujitsu Limited | Fabrication process of a semiconductor device using ellipsometry |
| US7515253B2 (en) | 2005-01-12 | 2009-04-07 | Kla-Tencor Technologies Corporation | System for measuring a sample with a layer containing a periodic diffracting structure |
| US7859659B2 (en) | 1998-03-06 | 2010-12-28 | Kla-Tencor Corporation | Spectroscopic scatterometer system |
-
1984
- 1984-06-19 JP JP12611484A patent/JPS614905A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6104486A (en) * | 1995-12-28 | 2000-08-15 | Fujitsu Limited | Fabrication process of a semiconductor device using ellipsometry |
| US7859659B2 (en) | 1998-03-06 | 2010-12-28 | Kla-Tencor Corporation | Spectroscopic scatterometer system |
| US7898661B2 (en) | 1998-03-06 | 2011-03-01 | Kla-Tencor Corporation | Spectroscopic scatterometer system |
| US7515253B2 (en) | 2005-01-12 | 2009-04-07 | Kla-Tencor Technologies Corporation | System for measuring a sample with a layer containing a periodic diffracting structure |
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